JPH09243953A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
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- JPH09243953A JPH09243953A JP4613496A JP4613496A JPH09243953A JP H09243953 A JPH09243953 A JP H09243953A JP 4613496 A JP4613496 A JP 4613496A JP 4613496 A JP4613496 A JP 4613496A JP H09243953 A JPH09243953 A JP H09243953A
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Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ハウジングを除去し、部品数の削減及び組み
立て作業の軽減をはかるとともに、従来よりはるかに小
型軽量化された光走査装置を提供すること。 【解決手段】 超弾性合金ワイヤ２が適当な張力で引っ
張られた状態でコア１に固定治具３によって固定されて
いる。超弾性合金ワイヤ２のほぼ中央に、磁石付きミラ
ー４が、図示しない接着剤にて固定されている。コア１
にはコイル５が巻き付けられており、例えば３００ター
ンほど巻かれている。そして、パルス電流発生器６によ
り、例えば３Ｖで１００ｍＡ程度の電流をコイル５に流
すと交番磁界が発生し、磁石付きミラー４が振動する。
光源７より発射されたレーザー光線８は磁石付きミラー
４によって反射され、磁石付きミラー４が共振すること
により被走査面９に走査される。
立て作業の軽減をはかるとともに、従来よりはるかに小
型軽量化された光走査装置を提供すること。 【解決手段】 超弾性合金ワイヤ２が適当な張力で引っ
張られた状態でコア１に固定治具３によって固定されて
いる。超弾性合金ワイヤ２のほぼ中央に、磁石付きミラ
ー４が、図示しない接着剤にて固定されている。コア１
にはコイル５が巻き付けられており、例えば３００ター
ンほど巻かれている。そして、パルス電流発生器６によ
り、例えば３Ｖで１００ｍＡ程度の電流をコイル５に流
すと交番磁界が発生し、磁石付きミラー４が振動する。
光源７より発射されたレーザー光線８は磁石付きミラー
４によって反射され、磁石付きミラー４が共振すること
により被走査面９に走査される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザープリン
タ、バーコードリーダ、レーザースキャンマイクロメー
タ等の事務機器、計測機に使用される光走査装置に関す
るものである。
タ、バーコードリーダ、レーザースキャンマイクロメー
タ等の事務機器、計測機に使用される光走査装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、磁石付きミラーと交流磁場を発生
させるためのコイルを備えた光走査装置としては、例え
ば図５に示す構成を有するものが知られている。その概
略を説明すると、超弾性合金等からなる弾性線状部材５
５が、適当な張力で引っ張られた状態でハウジング５１
に固定治具５２によって固定されている。弾性線状部材
５５のほぼ中央に、磁石付きミラー５３が、図示しない
接着剤で固定されている。
させるためのコイルを備えた光走査装置としては、例え
ば図５に示す構成を有するものが知られている。その概
略を説明すると、超弾性合金等からなる弾性線状部材５
５が、適当な張力で引っ張られた状態でハウジング５１
に固定治具５２によって固定されている。弾性線状部材
５５のほぼ中央に、磁石付きミラー５３が、図示しない
接着剤で固定されている。
【０００３】一方、コア５６にはコイル５７が巻き付け
られている。コイル５７は、コア５６に設けられたネジ
穴５８、及び、ハウジング５１に設けられた穴５４を通
して図示しないネジによってハウジング５１に固定され
ている。そして、パルス電流発生器５９より所定の電流
をコイルに流すと交番磁界が発生し、磁石付きミラー５
３が振動する。光源６１より発射されたレーザー光６０
は、磁石付きミラー５３によって反射され、磁石付きミ
ラー５３が共振することにより被走査面６２に走査され
るのである。
られている。コイル５７は、コア５６に設けられたネジ
穴５８、及び、ハウジング５１に設けられた穴５４を通
して図示しないネジによってハウジング５１に固定され
ている。そして、パルス電流発生器５９より所定の電流
をコイルに流すと交番磁界が発生し、磁石付きミラー５
３が振動する。光源６１より発射されたレーザー光６０
は、磁石付きミラー５３によって反射され、磁石付きミ
ラー５３が共振することにより被走査面６２に走査され
るのである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光走査装置は、ハウジング５１とコイル５７をそれぞれ
別々に作製した後、ネジ止め等で一体化して構成される
ため、装置が大型化するという問題点があった。また、
ハウジング５１には、通常非磁性金属材料のアルミ合金
やオーステナイト系ステンレス鋼等が用いられるため、
装置総重量が大きくなるという問題点もあった。
光走査装置は、ハウジング５１とコイル５７をそれぞれ
別々に作製した後、ネジ止め等で一体化して構成される
ため、装置が大型化するという問題点があった。また、
ハウジング５１には、通常非磁性金属材料のアルミ合金
やオーステナイト系ステンレス鋼等が用いられるため、
装置総重量が大きくなるという問題点もあった。
【０００５】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、弾性線状部材及び磁石付きミラ
ーをコアを介してコイルに直接取り付けた構成とするこ
とにより、ハウジングを除去し、部品数の削減及び組み
立て作業の軽減をはかるとともに、従来よりはるかに小
型軽量化された光走査装置を提供することを目的として
いる。
になされたものであり、弾性線状部材及び磁石付きミラ
ーをコアを介してコイルに直接取り付けた構成とするこ
とにより、ハウジングを除去し、部品数の削減及び組み
立て作業の軽減をはかるとともに、従来よりはるかに小
型軽量化された光走査装置を提供することを目的として
いる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１に記載の光走査装置は、レーザー光
線を出射する光源と、交番磁界を発生させるコイルと、
そのコイルが巻き付けられたコアの端部もしくは内部に
張設された弾性線状部材と、その弾性線状部材を揺動軸
線として揺動可能に前記弾性線状部材に固着され、前記
コイルから発生された交番磁界によって振動して前記レ
ーザー光線を反射させる磁石付きミラーとから構成され
ている。従って、コアを介して弾性線状部材と磁石付き
ミラーとをコイルに直接取り付けたので、従来必要であ
ったハウジングが不要となり、著しく小型軽量化された
光走査装置を提供できる。
に本発明の請求項１に記載の光走査装置は、レーザー光
線を出射する光源と、交番磁界を発生させるコイルと、
そのコイルが巻き付けられたコアの端部もしくは内部に
張設された弾性線状部材と、その弾性線状部材を揺動軸
線として揺動可能に前記弾性線状部材に固着され、前記
コイルから発生された交番磁界によって振動して前記レ
ーザー光線を反射させる磁石付きミラーとから構成され
ている。従って、コアを介して弾性線状部材と磁石付き
ミラーとをコイルに直接取り付けたので、従来必要であ
ったハウジングが不要となり、著しく小型軽量化された
光走査装置を提供できる。
【０００７】また、請求項２に記載の光走査装置は、前
記弾性線状部材に、疲労限の高いＴｉ−Ｎｉ系、Ｃｕ−
Ｚｎ系等の超弾性合金を使用している。そのため、長時
間駆動しても破断することなく極めて耐久性のよい光走
査装置を提供できる。
記弾性線状部材に、疲労限の高いＴｉ−Ｎｉ系、Ｃｕ−
Ｚｎ系等の超弾性合金を使用している。そのため、長時
間駆動しても破断することなく極めて耐久性のよい光走
査装置を提供できる。
【０００８】さらに、請求項３に記載の光走査装置は、
前記弾性線状部材に、疲労限の向上を目的とした表面処
理が施されている。そのため、極めて耐久性に優れた光
走査装置を提供できる。
前記弾性線状部材に、疲労限の向上を目的とした表面処
理が施されている。そのため、極めて耐久性に優れた光
走査装置を提供できる。
【０００９】また、請求項４に記載の光走査装置は、前
記弾性線状部材の、前記磁石付きミラーを支持している
支持部分に対して、前記コアに固定した固定部分の線径
を太く設定している。このため、弾性線状部材が固定部
分で破断することなく、極めて耐久性に優れた光走査装
置を提供できる。
記弾性線状部材の、前記磁石付きミラーを支持している
支持部分に対して、前記コアに固定した固定部分の線径
を太く設定している。このため、弾性線状部材が固定部
分で破断することなく、極めて耐久性に優れた光走査装
置を提供できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００１１】図１は、本実施形態の光走査装置の構造を
示すものである。弾性線状部材としての、Ｔｉ−Ｎｉ合
金からなる超弾性合金ワイヤ２が、適当な張力で引っ張
られた状態で、固定治具３によってコア１に固定されて
いる。超弾性合金ワイヤ２のほぼ中央に、磁石付きミラ
ー４が、図示しない接着剤にて固定されている。コア１
にはコイル５が巻き付けられており、例えば３００ター
ンほど巻かれている。そして、パルス電流発生器６によ
り、例えば３Ｖで１００ｍＡ程度の電流をコイル５に流
すと、交番磁界が発生し、交番磁界と超弾性合金ワイヤ
２の復元力により磁石付きミラー４が振動する。光源７
より発射されたレーザー光線８は、磁石付きミラー４に
よって反射され、磁石付きミラー４が共振することによ
り被走査面９に走査される。
示すものである。弾性線状部材としての、Ｔｉ−Ｎｉ合
金からなる超弾性合金ワイヤ２が、適当な張力で引っ張
られた状態で、固定治具３によってコア１に固定されて
いる。超弾性合金ワイヤ２のほぼ中央に、磁石付きミラ
ー４が、図示しない接着剤にて固定されている。コア１
にはコイル５が巻き付けられており、例えば３００ター
ンほど巻かれている。そして、パルス電流発生器６によ
り、例えば３Ｖで１００ｍＡ程度の電流をコイル５に流
すと、交番磁界が発生し、交番磁界と超弾性合金ワイヤ
２の復元力により磁石付きミラー４が振動する。光源７
より発射されたレーザー光線８は、磁石付きミラー４に
よって反射され、磁石付きミラー４が共振することによ
り被走査面９に走査される。
【００１２】次に、動作について説明する。
【００１３】今、コイル５に図１に示すようなパルス電
流を流すと、コイル５前方及び後方には、図２の（ａ）
及び（ｂ）に示すように、いわゆる交番磁界ができる。
そして、中心が超弾性合金ワイヤ２に固定され、かつ、
コイル５前方に設置されている磁石付きミラー４は、交
番磁界によりＭＨｃｏｓθのトルクを受ける（Ｍは磁石
付きミラーの磁気モーメント、Ｈは磁界の強さ、θはふ
れ角。）。また、ねじれ角θの場合、超弾性合金ワイヤ
２による復元力、ｋθも同時に受ける（ｋ：バネ定
数）。
流を流すと、コイル５前方及び後方には、図２の（ａ）
及び（ｂ）に示すように、いわゆる交番磁界ができる。
そして、中心が超弾性合金ワイヤ２に固定され、かつ、
コイル５前方に設置されている磁石付きミラー４は、交
番磁界によりＭＨｃｏｓθのトルクを受ける（Ｍは磁石
付きミラーの磁気モーメント、Ｈは磁界の強さ、θはふ
れ角。）。また、ねじれ角θの場合、超弾性合金ワイヤ
２による復元力、ｋθも同時に受ける（ｋ：バネ定
数）。
【００１４】さらに、磁石付きミラー４が高速に振動す
る場合、空気との摩擦抵抗及び超弾性合金ワイヤ２内部
の摩擦抵抗等によって、ｄθ／ｄｔに比例した減衰力も
受けることになる。そして前記トルクが周期的（角振動
数ω）に加わると、磁石付きミラー４はねじり振動を始
める。この振動系を方程式で表すと、次に示す数式１の
ようになる。
る場合、空気との摩擦抵抗及び超弾性合金ワイヤ２内部
の摩擦抵抗等によって、ｄθ／ｄｔに比例した減衰力も
受けることになる。そして前記トルクが周期的（角振動
数ω）に加わると、磁石付きミラー４はねじり振動を始
める。この振動系を方程式で表すと、次に示す数式１の
ようになる。
【００１５】
【数１】
【００１６】これは、減衰振動系に強制力が加わった場
合の方程式で、その一般解は以下の数式２で表される。
合の方程式で、その一般解は以下の数式２で表される。
【００１７】
【数２】
【００１８】つまり、電流の周波数ωと、磁石付きミラ
ー４及び超弾性合金ワイヤ２からなる機械系の固有振動
数ω0が一致した場合、いわゆる共振状態となり、最大
のふれ角が得られる。本実施形態の場合、コイル５にか
ける電圧が３Ｖ、コイル電流が約１００ｍＡで、約８０
０Ｈｚで共振し、そのふれ角は約５０度、すなわち、走
査角約１００度でレーザー光を走査するのである。
ー４及び超弾性合金ワイヤ２からなる機械系の固有振動
数ω0が一致した場合、いわゆる共振状態となり、最大
のふれ角が得られる。本実施形態の場合、コイル５にか
ける電圧が３Ｖ、コイル電流が約１００ｍＡで、約８０
０Ｈｚで共振し、そのふれ角は約５０度、すなわち、走
査角約１００度でレーザー光を走査するのである。
【００１９】本実施形態では、走査角約１００度、走査
周波数８００Ｈｚを例にとって説明したが、超弾性合金
ワイヤ２の線径φ及び磁石付きミラー４の質量ｍを変え
ることによって、様々な周波数の光走査装置をつくるこ
とができる。例えば、４００Ｈｚの光走査装置を製作す
る場合、周波数ｆは（ｋ／ｍ）1/2に比例し、バネ定数
ｋはφ4に比例することから、φの２乗が周波数に比例
することになる。φ＝４００μｍで共振周波数が８００
Ｈｚであったことから、おおよそφ＝１００μｍの超弾
性合金ワイヤ２を上記と同様な条件で用いれば、およそ
４００Ｈｚの光走査装置を製作することができる。
周波数８００Ｈｚを例にとって説明したが、超弾性合金
ワイヤ２の線径φ及び磁石付きミラー４の質量ｍを変え
ることによって、様々な周波数の光走査装置をつくるこ
とができる。例えば、４００Ｈｚの光走査装置を製作す
る場合、周波数ｆは（ｋ／ｍ）1/2に比例し、バネ定数
ｋはφ4に比例することから、φの２乗が周波数に比例
することになる。φ＝４００μｍで共振周波数が８００
Ｈｚであったことから、おおよそφ＝１００μｍの超弾
性合金ワイヤ２を上記と同様な条件で用いれば、およそ
４００Ｈｚの光走査装置を製作することができる。
【００２０】さらに、数式２の係数ＭＨ／Ｉからわかる
ように、色々な強さ（Ｍ）の磁石付きミラーを用いるこ
とにより、あるいは様々な振幅の磁界（Ｈ＝ｎｉ、ｎ：
コイル巻線数 ｉ：電流）即ち電流ｉを与えることによ
り、対象となる電気製品や電子機器に応じて所望の走査
角を持つ光走査装置も製作することができる。
ように、色々な強さ（Ｍ）の磁石付きミラーを用いるこ
とにより、あるいは様々な振幅の磁界（Ｈ＝ｎｉ、ｎ：
コイル巻線数 ｉ：電流）即ち電流ｉを与えることによ
り、対象となる電気製品や電子機器に応じて所望の走査
角を持つ光走査装置も製作することができる。
【００２１】また、本実施形態ではコイル５に流す電流
波形を矩形波とした。なぜなら、図２に示すようにねじ
れ角θによって磁石付きミラーに加えられるトルクはＭ
Ｈｃｏｓθとなり、ちょうど交番磁界Ｈｃｏｓθが磁石
付きミラーの磁気モーメントＭに作用することになり、
θ＝ωｔとおくと数式１が成立するからである。図３
に、矩形波電流に伴う磁石付きミラーのねじれ角θの振
動の様子を示す。数式（２ー２）より、ω＝ω0のと
き、α＝９０゜すなわちθは交番磁界に対して９０゜位
相遅れとなる。つまり、磁界の切りかわりから９０゜遅
れたところで磁石付きミラーのねじれ角θは最大にな
り、ひいては超弾性合金ワイヤ２による復元力ｋθ
（ｋ：バネ定数）も最大となる。電流波形の各点ａ、
ｂ，ｃ，ｄは、それぞれ磁石付きミラーの振動状態
（ａ）、（ｂ），（ｃ），（ｄ）に対応している。矩形
波にすると、超弾性合金ワイヤ２の復元力が最大になる
まで磁石付きミラー４にトルクを与えることができるの
で、他の電流波形に比べて走査幅を最大にすることがで
きる。しかしながら、走査幅に余裕があれば、ＳＩＮ
波、三角波等の周期波形でも十分走査可能である。
波形を矩形波とした。なぜなら、図２に示すようにねじ
れ角θによって磁石付きミラーに加えられるトルクはＭ
Ｈｃｏｓθとなり、ちょうど交番磁界Ｈｃｏｓθが磁石
付きミラーの磁気モーメントＭに作用することになり、
θ＝ωｔとおくと数式１が成立するからである。図３
に、矩形波電流に伴う磁石付きミラーのねじれ角θの振
動の様子を示す。数式（２ー２）より、ω＝ω0のと
き、α＝９０゜すなわちθは交番磁界に対して９０゜位
相遅れとなる。つまり、磁界の切りかわりから９０゜遅
れたところで磁石付きミラーのねじれ角θは最大にな
り、ひいては超弾性合金ワイヤ２による復元力ｋθ
（ｋ：バネ定数）も最大となる。電流波形の各点ａ、
ｂ，ｃ，ｄは、それぞれ磁石付きミラーの振動状態
（ａ）、（ｂ），（ｃ），（ｄ）に対応している。矩形
波にすると、超弾性合金ワイヤ２の復元力が最大になる
まで磁石付きミラー４にトルクを与えることができるの
で、他の電流波形に比べて走査幅を最大にすることがで
きる。しかしながら、走査幅に余裕があれば、ＳＩＮ
波、三角波等の周期波形でも十分走査可能である。
【００２２】さらに、本実施形態では、コイル５に流す
電流を最小限に止めるために、共振現象を利用して光走
査装置を構成したが、電力に余裕があるなら共振点をは
ずして光走査装置を駆動しても機能上問題はないのであ
る。
電流を最小限に止めるために、共振現象を利用して光走
査装置を構成したが、電力に余裕があるなら共振点をは
ずして光走査装置を駆動しても機能上問題はないのであ
る。
【００２３】尚、本実施形態では超弾性合金ワイヤ２に
Ｔｉ−Ｎｉ合金を採用したが、Ｃｕ−Ｚｎ、Ａｇ−Ｃ
ｄ、Ａｕ−Ｃｄ、Ｃｕ−Ｓｎ、Ｃｕ−Ａｌ−Ｎｉ、Ｎｉ
−Ａｌ、Ｆｅ−Ｐｔ等、応力誘起相変態を起こす超弾性
合金ならば、いずれを採用してもよい。
Ｔｉ−Ｎｉ合金を採用したが、Ｃｕ−Ｚｎ、Ａｇ−Ｃ
ｄ、Ａｕ−Ｃｄ、Ｃｕ−Ｓｎ、Ｃｕ−Ａｌ−Ｎｉ、Ｎｉ
−Ａｌ、Ｆｅ−Ｐｔ等、応力誘起相変態を起こす超弾性
合金ならば、いずれを採用してもよい。
【００２４】また、さらに低コスト化を図るために、弾
性線状部材として、あらかじめショットピーニング等の
表面処理を施して疲労限の向上を図ったステンレスワイ
ヤを用いてもよい。
性線状部材として、あらかじめショットピーニング等の
表面処理を施して疲労限の向上を図ったステンレスワイ
ヤを用いてもよい。
【００２５】さらに、他の実施形態として、図４に示す
ように、超弾性合金ワイヤ２のコア１との固定部分であ
るコア固定部１０の線径を、中央部に比べてあらかじめ
太く設定し、固定治具３によってコア固定部１０とコア
１とを固定して構成することも考えられる。磁石付きミ
ラー４の振動により最も断線しやすいコア固定部１０の
線径を、例えば電気メッキ法等であらかじめ太く形成し
ておくことにより駆動中の断線を防止し、耐久性に優れ
た光走査装置を提供できる。さらに、コア固定部１０の
線径を、中央部に向かって徐々に細くなるように、いわ
ゆるテーパ状に形成すると、最も応力集中が少なく断線
しにくくなり効果的である。
ように、超弾性合金ワイヤ２のコア１との固定部分であ
るコア固定部１０の線径を、中央部に比べてあらかじめ
太く設定し、固定治具３によってコア固定部１０とコア
１とを固定して構成することも考えられる。磁石付きミ
ラー４の振動により最も断線しやすいコア固定部１０の
線径を、例えば電気メッキ法等であらかじめ太く形成し
ておくことにより駆動中の断線を防止し、耐久性に優れ
た光走査装置を提供できる。さらに、コア固定部１０の
線径を、中央部に向かって徐々に細くなるように、いわ
ゆるテーパ状に形成すると、最も応力集中が少なく断線
しにくくなり効果的である。
【００２６】また、本実施形態では、便宜上コア１の端
面に超弾性合金ワイヤ２及び磁石付きミラー４を配置し
たが、コア１の内部に配置することも可能である。ま
た、もれ磁束をなくすため、コア１の中にさらにフェラ
イト等の透磁率の高い材料を入れてもよい。
面に超弾性合金ワイヤ２及び磁石付きミラー４を配置し
たが、コア１の内部に配置することも可能である。ま
た、もれ磁束をなくすため、コア１の中にさらにフェラ
イト等の透磁率の高い材料を入れてもよい。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、請
求項１に記載の光走査装置は、交番磁界を発生させるコ
イルが巻き付けられたコアの端部もしくは内部に弾性線
状部材を張設し、その弾性線状部材に磁石付きミラーを
揺動可能に固着したので、コイルに交番電流を流すとコ
イル周辺には交番磁界が発生し、弾性線状部材に固定さ
れた磁石付きミラーにトルクを与えるため、弾性線状部
材にはねじり応力が発生する。このため、弾性線状部材
は交番磁界によりトルクを、ねじりにより復元力を受け
るので、磁石付きミラーを周期的な交番電流によって振
動させることができる。特に、弾性線状部材及び磁石付
きミラーからなる振動系の機械的固有振動数と前記交番
電流の周波数が一致した場合は共振が起こり、振幅を最
大にできる。このような構成にすれば、入射するレーザ
ー光の走査角度を大きくすることができる。特に、従来
必要であったハウジングが不要となったため、製造過程
においてハウジングとコイルの組み付け工程が不要とな
り、作業性が著しく向上する。また、著しく小型軽量化
された光走査装置を提供できる。
求項１に記載の光走査装置は、交番磁界を発生させるコ
イルが巻き付けられたコアの端部もしくは内部に弾性線
状部材を張設し、その弾性線状部材に磁石付きミラーを
揺動可能に固着したので、コイルに交番電流を流すとコ
イル周辺には交番磁界が発生し、弾性線状部材に固定さ
れた磁石付きミラーにトルクを与えるため、弾性線状部
材にはねじり応力が発生する。このため、弾性線状部材
は交番磁界によりトルクを、ねじりにより復元力を受け
るので、磁石付きミラーを周期的な交番電流によって振
動させることができる。特に、弾性線状部材及び磁石付
きミラーからなる振動系の機械的固有振動数と前記交番
電流の周波数が一致した場合は共振が起こり、振幅を最
大にできる。このような構成にすれば、入射するレーザ
ー光の走査角度を大きくすることができる。特に、従来
必要であったハウジングが不要となったため、製造過程
においてハウジングとコイルの組み付け工程が不要とな
り、作業性が著しく向上する。また、著しく小型軽量化
された光走査装置を提供できる。
【００２８】また、請求項２に記載の光走査装置は、前
記弾性線状部材に、疲労限の高いＴｉ−Ｎｉ系、Ｃｕ−
Ｚｎ系等の超弾性合金を使用したので、長時間駆動して
も破断することなく極めて耐久性のよい光走査装置を提
供できる。
記弾性線状部材に、疲労限の高いＴｉ−Ｎｉ系、Ｃｕ−
Ｚｎ系等の超弾性合金を使用したので、長時間駆動して
も破断することなく極めて耐久性のよい光走査装置を提
供できる。
【００２９】さらに、請求項３に記載の光走査装置は、
前記弾性線状部材に、疲労限の向上を目的とした表面処
理を施したので、極めて耐久性に優れた光走査装置を安
価に提供できる。
前記弾性線状部材に、疲労限の向上を目的とした表面処
理を施したので、極めて耐久性に優れた光走査装置を安
価に提供できる。
【００３０】また、請求項４に記載の光走査装置は、弾
性線状部材の、磁石付きミラーを支持する支持部分に対
して、コアに固定した固定部分の線径を太く設定したの
で、従来駆動中最も応力集中が大きくなり破断に至るこ
とが多かった固定部分の断線をほとんど皆無にすること
ができ、その結果極めて耐久性に優れた光走査装置を提
供できる。
性線状部材の、磁石付きミラーを支持する支持部分に対
して、コアに固定した固定部分の線径を太く設定したの
で、従来駆動中最も応力集中が大きくなり破断に至るこ
とが多かった固定部分の断線をほとんど皆無にすること
ができ、その結果極めて耐久性に優れた光走査装置を提
供できる。
【図１】本実施形態の光走査装置の構成を示す斜視図で
ある。
ある。
【図２】本実施形態に用いた磁石付きミラーが交番磁界
からトルクを受ける模式図である。
からトルクを受ける模式図である。
【図３】本実施形態に用いた磁石付きミラーが矩形波電
流に伴って振動する様子を示す図である。
流に伴って振動する様子を示す図である。
【図４】本発明の光走査装置の他の実施形態を示す斜視
図である。
図である。
【図５】従来の光走査装置を示す斜視図である。
１ コア ２ 超弾性合金ワイヤ ４ 磁石付きミラー ５ コイル ７ 光源 ８ レーザー光線 １０ コア固定部
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザー光線を出射する光源と、交番磁
界を発生させるコイルと、そのコイルが巻き付けられた
コアの端部もしくは内部に張設された弾性線状部材と、
その弾性線状部材を揺動軸線として揺動可能に前記弾性
線状部材に固着され、前記コイルから発生された交番磁
界により揺動して前記レーザー光線を反射させる磁石付
きミラーとを備えたことを特徴とする光走査装置。 - 【請求項２】 前記弾性線状部材は、Ｔｉ−Ｎｉ系、Ｃ
ｕ−Ｚｎ系等の超弾性合金からなることを特徴とする請
求項１に記載の光走査装置。 - 【請求項３】 前記弾性線状部材は、疲労限の向上を目
的とした表面処理が施されていることを特徴とする請求
項１または２に記載の光走査装置。 - 【請求項４】 前記弾性線状部材は、前記磁石付きミラ
ーを支持している支持部分に対して、前記コアに固定し
た固定部分の線径を太く設定したことを特徴とする請求
項１乃至３に記載の光走査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4613496A JPH09243953A (ja) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | 光走査装置 |
| US08/751,077 US5982521A (en) | 1995-11-15 | 1996-11-15 | Optical scanner |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4613496A JPH09243953A (ja) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | 光走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09243953A true JPH09243953A (ja) | 1997-09-19 |
Family
ID=12738521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4613496A Pending JPH09243953A (ja) | 1995-11-15 | 1996-03-04 | 光走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09243953A (ja) |
-
1996
- 1996-03-04 JP JP4613496A patent/JPH09243953A/ja active Pending
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