JPH09245637A - ブラウン管パネル内面への蒸着金属加熱制御方法と蒸着金属加熱制御装置 - Google Patents
ブラウン管パネル内面への蒸着金属加熱制御方法と蒸着金属加熱制御装置Info
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- JPH09245637A JPH09245637A JP4722296A JP4722296A JPH09245637A JP H09245637 A JPH09245637 A JP H09245637A JP 4722296 A JP4722296 A JP 4722296A JP 4722296 A JP4722296 A JP 4722296A JP H09245637 A JPH09245637 A JP H09245637A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 蒸着膜の膜厚の安定性を高め、且つ蒸着
用のヒーターの寿命を高める。 【解決手段】 予熱時に供給すべき電流として予め設定
しておいた値を電流制御部１６に記憶しておき、ヒータ
ー３への少なくとも予熱時における供給電流を電流検出
手段ＣＴ、１７により検出することとし、電流制御部１
６がヒーター３に供給すべき予熱電流と上記供給電流の
検出結果とを比較し、比較結果に基づいてヒーター３へ
の予熱電流を上記予め設定された予熱電流になるように
電力制御部１５ａを制御するようにする。
用のヒーターの寿命を高める。 【解決手段】 予熱時に供給すべき電流として予め設定
しておいた値を電流制御部１６に記憶しておき、ヒータ
ー３への少なくとも予熱時における供給電流を電流検出
手段ＣＴ、１７により検出することとし、電流制御部１
６がヒーター３に供給すべき予熱電流と上記供給電流の
検出結果とを比較し、比較結果に基づいてヒーター３へ
の予熱電流を上記予め設定された予熱電流になるように
電力制御部１５ａを制御するようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーブラウン管
のブラウン管パネル内面に例えばアルミニウム等の金属
を蒸着するための蒸着金属加熱制御方法と、その実施に
用いる蒸着金属加熱制御装置に関する。
のブラウン管パネル内面に例えばアルミニウム等の金属
を蒸着するための蒸着金属加熱制御方法と、その実施に
用いる蒸着金属加熱制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】カラーブラウン管のブラウン管パネルの
数多い製造工程の一つに、ブラウン管パネルの内面にア
ルミニウムの蒸着膜を形成する工程があり、図４は従来
におけるアルミニウム蒸着時の状態を示す。
数多い製造工程の一つに、ブラウン管パネルの内面にア
ルミニウムの蒸着膜を形成する工程があり、図４は従来
におけるアルミニウム蒸着時の状態を示す。
【０００３】図面において、１はブラウン管パネル、２
はその内面に形成されたアルミニウム蒸着膜で、画面の
明るさを向上させるために形成されるものである。３は
ヒーターで、この上に蒸着用の蒸発源であるアルミニウ
ムペレット４が載置される。５は該ヒーター３に加熱用
電力を供給する電源である。
はその内面に形成されたアルミニウム蒸着膜で、画面の
明るさを向上させるために形成されるものである。３は
ヒーターで、この上に蒸着用の蒸発源であるアルミニウ
ムペレット４が載置される。５は該ヒーター３に加熱用
電力を供給する電源である。
【０００４】加熱は、一般に、図５に示すように、予熱
と、本加熱との２段階で行われる。そして、予熱と本加
熱とでは必要とする電力が異なる（本加熱の方が必要と
する電力が大きい。）ので、上記電源５は供給電力を切
り換えることができるようにされている。この供給電力
の切換は一般にヒーターへの供給電圧の切換により行わ
れている。
と、本加熱との２段階で行われる。そして、予熱と本加
熱とでは必要とする電力が異なる（本加熱の方が必要と
する電力が大きい。）ので、上記電源５は供給電力を切
り換えることができるようにされている。この供給電力
の切換は一般にヒーターへの供給電圧の切換により行わ
れている。
【０００５】ところで、予熱は元々固体であるアルミニ
ウムペレット４を加熱して液体にし、蒸発の準備をする
ものであり、その準備が終わると電源５のヒーター３へ
の供給電力を増加させて液体状態になっているアルミニ
ウムペレット４を一気に蒸発させ、それによってアルミ
ニウム蒸着膜２を形成するのである。図５のは予備加
熱が理想的に行われた場合を示す。、は理想的に蒸
着が行われなかった場合を示すが、それについてはここ
では触れない。
ウムペレット４を加熱して液体にし、蒸発の準備をする
ものであり、その準備が終わると電源５のヒーター３へ
の供給電力を増加させて液体状態になっているアルミニ
ウムペレット４を一気に蒸発させ、それによってアルミ
ニウム蒸着膜２を形成するのである。図５のは予備加
熱が理想的に行われた場合を示す。、は理想的に蒸
着が行われなかった場合を示すが、それについてはここ
では触れない。
【０００６】尚、図６は所定の電圧をヒーター３にかけ
た場合のヒーター３を流れる電流（加熱電流）の変化を
示すものである。この図から次のことがいえる。
た場合のヒーター３を流れる電流（加熱電流）の変化を
示すものである。この図から次のことがいえる。
【０００７】即ち、ヒーター３による予熱が終了し、そ
れに対する印加電圧を高めて本加熱を始める。すると、
アルミニウムの蒸発と共に加熱電流が増大し始める。そ
して、アルミニウムの蒸発が終了に近づくと、加熱電流
が減少に転じる。そして、蒸発が完全に終了すると、即
ち、ヒーター３上のアルミニウムペレット４が全くなく
なると、その加熱電流は蒸着開始時点における加熱電流
の値に戻り、その値で安定する。そして、従来において
はそのように蒸着が終了してもしばらくの間は加熱が継
続して行われていた。というのは、従来においては蒸着
の終了時点の検出方法が開発されていなかったからであ
る。
れに対する印加電圧を高めて本加熱を始める。すると、
アルミニウムの蒸発と共に加熱電流が増大し始める。そ
して、アルミニウムの蒸発が終了に近づくと、加熱電流
が減少に転じる。そして、蒸発が完全に終了すると、即
ち、ヒーター３上のアルミニウムペレット４が全くなく
なると、その加熱電流は蒸着開始時点における加熱電流
の値に戻り、その値で安定する。そして、従来において
はそのように蒸着が終了してもしばらくの間は加熱が継
続して行われていた。というのは、従来においては蒸着
の終了時点の検出方法が開発されていなかったからであ
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のアル
ミニウム蒸着方法には下記に述べるような問題点があっ
た。
ミニウム蒸着方法には下記に述べるような問題点があっ
た。
【０００９】先ず、第１に蒸着用ヒーターは、繰り返し
使用されるとそれに応じて抵抗値が変化するが、その変
化に拘らず従来においてはヒーターにかける電圧の方は
変えていなかったので、加熱過剰が生じることが少ない
という問題があった。
使用されるとそれに応じて抵抗値が変化するが、その変
化に拘らず従来においてはヒーターにかける電圧の方は
変えていなかったので、加熱過剰が生じることが少ない
という問題があった。
【００１０】具体的には、蒸着の繰り返しによりヒータ
ーの抵抗値が減少する傾向にあり、にも拘らず同じよう
に電圧をかけると予備加熱が過剰になる（図５参
照）。すると、本加熱開始前に蒸着が始まってしまい、
本加熱に入った頃にはヒーター上のアルミニウムペレッ
トの何割かが既に蒸発をしてしまい、残りのアルミニウ
ムペレットによる蒸着が行われることになるので、所望
の膜厚が得られないという問題が起きた。
ーの抵抗値が減少する傾向にあり、にも拘らず同じよう
に電圧をかけると予備加熱が過剰になる（図５参
照）。すると、本加熱開始前に蒸着が始まってしまい、
本加熱に入った頃にはヒーター上のアルミニウムペレッ
トの何割かが既に蒸発をしてしまい、残りのアルミニウ
ムペレットによる蒸着が行われることになるので、所望
の膜厚が得られないという問題が起きた。
【００１１】また、ヒーターの抵抗値が大きく過ぎた場
合には、必然的に予備加熱過小（図５参照）になるの
で、本加熱に入ってもアルミニウムペレットは固体の状
態にあり、その後ある時間が経ってから蒸発を開始す
る、即ち蒸発開始タイミングが遅れることになる。にも
拘らず終了のタイミングは同じなので、やはり蒸着膜の
膜厚が薄くなる。
合には、必然的に予備加熱過小（図５参照）になるの
で、本加熱に入ってもアルミニウムペレットは固体の状
態にあり、その後ある時間が経ってから蒸発を開始す
る、即ち蒸発開始タイミングが遅れることになる。にも
拘らず終了のタイミングは同じなので、やはり蒸着膜の
膜厚が薄くなる。
【００１２】ちなみに、蒸着膜の膜厚は、本加熱中にお
ける印加電圧を上げた場合には厚くなり、下げた場合に
は薄くなる。即ち、本願発明者は、一定条件で蒸着を行
い、印加電圧のみ変えた場合にはその印加電圧に応じて
蒸着膜の膜厚が変化することを発見したのである。
ける印加電圧を上げた場合には厚くなり、下げた場合に
は薄くなる。即ち、本願発明者は、一定条件で蒸着を行
い、印加電圧のみ変えた場合にはその印加電圧に応じて
蒸着膜の膜厚が変化することを発見したのである。
【００１３】閑話休題、この蒸着膜の膜厚に変動が生じ
る原因はそのほかにも考えられ、その膜厚を所望どおり
にコントロールすることは従来においては非常に難しか
った。しかし、その膜厚は画面の明るさに少なからず影
響するので、その正確なコントロールが必要とされるの
である。
る原因はそのほかにも考えられ、その膜厚を所望どおり
にコントロールすることは従来においては非常に難しか
った。しかし、その膜厚は画面の明るさに少なからず影
響するので、その正確なコントロールが必要とされるの
である。
【００１４】第２に、ヒーターの断線などによる不良品
の発生率が低くなく、ヒーターの交換頻度の高さが生産
性向上を阻む要因の一つとなっていた。そこで、その原
因について追求したところ、従来においては、図６に示
すように、蒸発が終了してもすぐには加熱電流の供給が
停止されず、ヒーターの通電状態が暫く継続した。即
ち、加熱は継続したのであり、これは当然に余分な無駄
加熱である。これは従来において蒸発終了を検出するこ
とができなかったので、本加熱時間を長めに設定せざる
を得なかったことに起因する。
の発生率が低くなく、ヒーターの交換頻度の高さが生産
性向上を阻む要因の一つとなっていた。そこで、その原
因について追求したところ、従来においては、図６に示
すように、蒸発が終了してもすぐには加熱電流の供給が
停止されず、ヒーターの通電状態が暫く継続した。即
ち、加熱は継続したのであり、これは当然に余分な無駄
加熱である。これは従来において蒸発終了を検出するこ
とができなかったので、本加熱時間を長めに設定せざる
を得なかったことに起因する。
【００１５】しかし、ヒーターは加熱時間の累積値が大
きくなるほど消耗するので、余分な無駄加熱は必然的に
ヒーターの寿命を徒に短くする要因になり、延いては、
ヒーターを多く使用することによる費用の増大、ヒータ
ー交換に要するコストの増大を招き、カラーブラウン管
の価格低減を阻む要因になり、看過できない。
きくなるほど消耗するので、余分な無駄加熱は必然的に
ヒーターの寿命を徒に短くする要因になり、延いては、
ヒーターを多く使用することによる費用の増大、ヒータ
ー交換に要するコストの増大を招き、カラーブラウン管
の価格低減を阻む要因になり、看過できない。
【００１６】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、蒸着膜の膜厚の安定性を高め、且つ
蒸着用のヒーターの長寿命化を図ることを目的とする。
されたものであり、蒸着膜の膜厚の安定性を高め、且つ
蒸着用のヒーターの長寿命化を図ることを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明の第１のものは、
予熱時に供給すべき電流として妥当な値を予め設定して
おき、ヒーターへの少なくとも予熱時における供給電流
を検出することとし、ヒーターに供給すべき予熱電流と
上記供給電流の検出結果とを比較し、その比較結果に基
づいてヒーターへの予熱電流を上記予め設定された予熱
電流になるように制御するようにするものである。
予熱時に供給すべき電流として妥当な値を予め設定して
おき、ヒーターへの少なくとも予熱時における供給電流
を検出することとし、ヒーターに供給すべき予熱電流と
上記供給電流の検出結果とを比較し、その比較結果に基
づいてヒーターへの予熱電流を上記予め設定された予熱
電流になるように制御するようにするものである。
【００１８】従って、本発明の第１のものによれば、ヒ
ーターの抵抗値が変動しても予備加熱時における電流を
予め設定した値通りにコントロールすることができるの
で、ヒーターの抵抗値の変動に起因する予熱過剰、予熱
過小が生じるおそれがなくなる。従って、予熱過剰、予
熱過剰に起因する蒸着膜の膜厚の変動を防止することが
できる。
ーターの抵抗値が変動しても予備加熱時における電流を
予め設定した値通りにコントロールすることができるの
で、ヒーターの抵抗値の変動に起因する予熱過剰、予熱
過小が生じるおそれがなくなる。従って、予熱過剰、予
熱過剰に起因する蒸着膜の膜厚の変動を防止することが
できる。
【００１９】本発明の第２のものは、ブラウン管パネル
の蒸着膜の膜厚を検出しながら蒸着を行い、膜厚の検出
結果に対応するヒーター印加電圧と、形成すべき膜厚に
対応するヒーター印加電圧とを比較し、その比較結果に
基づいて上記ヒーターへの加熱用供給電圧を形成すべき
膜厚に対応するヒーター印加電圧になるように制御しな
がら蒸着を行うようにするものである。
の蒸着膜の膜厚を検出しながら蒸着を行い、膜厚の検出
結果に対応するヒーター印加電圧と、形成すべき膜厚に
対応するヒーター印加電圧とを比較し、その比較結果に
基づいて上記ヒーターへの加熱用供給電圧を形成すべき
膜厚に対応するヒーター印加電圧になるように制御しな
がら蒸着を行うようにするものである。
【００２０】即ち、上述したように、本願発明者によ
り、蒸発用ヒーターに対し印加する電圧と、形成される
蒸着膜の膜厚との間には密接な関係があることが判明し
た。従って、本発明の第２のものによれば、膜厚を検出
しながら蒸着を行うこととし、所望の膜厚が得られるよ
うにヒーター印加電圧をコントロールするので、確実に
蒸着膜の膜厚を所望通りの値にすることが可能になる。
り、蒸発用ヒーターに対し印加する電圧と、形成される
蒸着膜の膜厚との間には密接な関係があることが判明し
た。従って、本発明の第２のものによれば、膜厚を検出
しながら蒸着を行うこととし、所望の膜厚が得られるよ
うにヒーター印加電圧をコントロールするので、確実に
蒸着膜の膜厚を所望通りの値にすることが可能になる。
【００２１】本発明の第３のものは、ヒーターへの供給
電流を検出しながら蒸着を行い、供給電流が蒸着による
変動を終えて安定したときにヒーターへの電流の供給を
停止するようにするものである。
電流を検出しながら蒸着を行い、供給電流が蒸着による
変動を終えて安定したときにヒーターへの電流の供給を
停止するようにするものである。
【００２２】従って、本発明の第３によれば、供給電流
が蒸着による変動を終えて安定したときが将に、蒸着の
終了点であるので、そのときヒーターへの電流の供給を
停止することにより余分な無駄加熱を回避することがで
きる。従って、ヒーターを長寿命化することができる。
が蒸着による変動を終えて安定したときが将に、蒸着の
終了点であるので、そのときヒーターへの電流の供給を
停止することにより余分な無駄加熱を回避することがで
きる。従って、ヒーターを長寿命化することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示実施の形態に
従って詳細に説明する。
従って詳細に説明する。
【００２４】図１は本発明蒸発金属加熱制御装置の第１
の実施の形態を示す回路ブロック図である。
の実施の形態を示す回路ブロック図である。
【００２５】図面において、１５ａは交流電圧（例えば
２００Ｖ）を受けてヒーター３へ印加用電流を供給する
電力供給部であり、その供給電流は電流制御部１６から
の電流制御信号により制御される。即ち、本電力供給部
１５ａは出力電流の制御可能な電力供給部である。
２００Ｖ）を受けてヒーター３へ印加用電流を供給する
電力供給部であり、その供給電流は電流制御部１６から
の電流制御信号により制御される。即ち、本電力供給部
１５ａは出力電流の制御可能な電力供給部である。
【００２６】ＣＴは電力供給部１５ａからヒーター３へ
の加熱電流の供給経路に設けられた計器用変流器、１７
は加熱電流測定器で、変流器ＣＴを介して検出した加熱
電流を例えばＢＣＤ（バイナリーコードデータ）の形で
上記電流制御部１６へ出力する。
の加熱電流の供給経路に設けられた計器用変流器、１７
は加熱電流測定器で、変流器ＣＴを介して検出した加熱
電流を例えばＢＣＤ（バイナリーコードデータ）の形で
上記電流制御部１６へ出力する。
【００２７】電流制御部１６は予備加熱時における加熱
電流（予備加熱電流）として好適であるとして予め設定
しておいた値を記憶すると共に、その値と上記加熱電流
測定器１７から出力された予備加熱電流の値とを比較
し、その比較結果に基づいて上記電力供給部１５ａを予
備加熱電流が上記設定値通りになるように制御する。
電流（予備加熱電流）として好適であるとして予め設定
しておいた値を記憶すると共に、その値と上記加熱電流
測定器１７から出力された予備加熱電流の値とを比較
し、その比較結果に基づいて上記電力供給部１５ａを予
備加熱電流が上記設定値通りになるように制御する。
【００２８】このような蒸着金属加熱制御回路によれ
ば、予備加熱電流として好適な値を設定しておき、そし
て、予備加熱電流を検出しながら予備加熱することと
し、検出値と設定値に差異が生じたらその予備加熱電流
を設定値通りなるように電流供給部１５ａを制御するの
で、予備加熱電流を設定値通りに制御することができ
る。従って、ヒーター３の抵抗値の変動等が生じても予
備加熱電流は常に設定値通りの値に制御できるので、予
熱過剰、予熱過小を防止することができ、延いては予熱
過剰、予熱過小に起因する蒸着膜の膜厚の変動を防止す
ることができ、蒸着膜の膜厚の安定性を図ることができ
る。尚、電流制御部１６は、本加熱用の加熱電流あるい
はその推移（本加熱期間中における加熱電流の変化）と
して好適であるとして設定されたデータも記憶してお
り、予備加熱が終了すると、その本加熱用のデータに基
づいて電源部１５ａを制御する。これにより、本加熱も
良好な蒸発が行われるように制御することができる。
ば、予備加熱電流として好適な値を設定しておき、そし
て、予備加熱電流を検出しながら予備加熱することと
し、検出値と設定値に差異が生じたらその予備加熱電流
を設定値通りなるように電流供給部１５ａを制御するの
で、予備加熱電流を設定値通りに制御することができ
る。従って、ヒーター３の抵抗値の変動等が生じても予
備加熱電流は常に設定値通りの値に制御できるので、予
熱過剰、予熱過小を防止することができ、延いては予熱
過剰、予熱過小に起因する蒸着膜の膜厚の変動を防止す
ることができ、蒸着膜の膜厚の安定性を図ることができ
る。尚、電流制御部１６は、本加熱用の加熱電流あるい
はその推移（本加熱期間中における加熱電流の変化）と
して好適であるとして設定されたデータも記憶してお
り、予備加熱が終了すると、その本加熱用のデータに基
づいて電源部１５ａを制御する。これにより、本加熱も
良好な蒸発が行われるように制御することができる。
【００２９】図２は本発明蒸着金属加熱制御装置の第２
の実施の形態を示す回路ブロック図である。
の実施の形態を示す回路ブロック図である。
【００３０】図面において、１５ｂは交流電圧（例えば
２００Ｖ）を受けてヒーター３に加熱用電圧を印加する
電力供給部であり、その出力である加熱用電圧は電圧制
御部１６ｂからの電圧制御信号により制御される。即
ち、本電力供給部１５ａは出力電圧の制御可能な電力供
給部である。
２００Ｖ）を受けてヒーター３に加熱用電圧を印加する
電力供給部であり、その出力である加熱用電圧は電圧制
御部１６ｂからの電圧制御信号により制御される。即
ち、本電力供給部１５ａは出力電圧の制御可能な電力供
給部である。
【００３１】ＶＴは電力供給部１５ａからヒーター３に
対して並列に設けられた計器用変圧器、１７ａは加熱電
圧測定器で、変圧器ＶＴを介して検出した加熱電流を例
えばＢＣＤ（バイナリーコードデータ）の形で上記電圧
制御部１６ａへ出力する。
対して並列に設けられた計器用変圧器、１７ａは加熱電
圧測定器で、変圧器ＶＴを介して検出した加熱電流を例
えばＢＣＤ（バイナリーコードデータ）の形で上記電圧
制御部１６ａへ出力する。
【００３２】１ａは蒸着が済み理想通りの膜厚にアルミ
ニウム蒸着膜が形成されたブラウン管パネル、１８、１
８は蒸着膜の膜厚センサー、１９は該膜厚センサー１
８、１８の出力をデータ処理してそれに対応する電圧の
値を得て上記電圧制御部１６ａへ送る膜厚データ処理部
である。
ニウム蒸着膜が形成されたブラウン管パネル、１８、１
８は蒸着膜の膜厚センサー、１９は該膜厚センサー１
８、１８の出力をデータ処理してそれに対応する電圧の
値を得て上記電圧制御部１６ａへ送る膜厚データ処理部
である。
【００３３】電圧制御部１６ａは膜厚データ処理部１９
からの値と、電圧測定器１７ａからの値とを比較し、差
異があるならば電力供給部１５ｂの出力電圧がその膜厚
データ処理部１９からの値通りになるように該電力供給
部１５ｂを制御する。
からの値と、電圧測定器１７ａからの値とを比較し、差
異があるならば電力供給部１５ｂの出力電圧がその膜厚
データ処理部１９からの値通りになるように該電力供給
部１５ｂを制御する。
【００３４】その結果、所望通りの膜厚になるように電
力供給部１５ｂを電圧制御することができ、蒸着膜の膜
厚の安定性を高めることができる。
力供給部１５ｂを電圧制御することができ、蒸着膜の膜
厚の安定性を高めることができる。
【００３５】即ち、本願発明者の研究により、同じ条件
下で蒸発用ヒーターに対し印加する電圧のみを変える
と、それに応じて蒸着膜の膜厚が変化し、印加電圧とそ
の膜厚の間には密接な関係がある、換言すれば膜厚に印
加電圧依存性があることが判明した。
下で蒸発用ヒーターに対し印加する電圧のみを変える
と、それに応じて蒸着膜の膜厚が変化し、印加電圧とそ
の膜厚の間には密接な関係がある、換言すれば膜厚に印
加電圧依存性があることが判明した。
【００３６】そこで、所望の膜厚に対応する電圧をヒー
ター３に加熱電流として印加して加熱をすることにより
膜厚の安定化を図ろうとするのが本実施の形態である。
ター３に加熱電流として印加して加熱をすることにより
膜厚の安定化を図ろうとするのが本実施の形態である。
【００３７】尚、使用するヒーター３はロットにより特
性が相違するので、それに応じて印加すべき電圧が微妙
に異なるので、電圧制御部１６ａは各ロット毎の電圧修
正率が予め記憶せしめられている。そして、現在使用中
のヒーター３のロット番号も電圧制御部１６ａに入力
し、使用中のヒーター３に対応した修正率に基づいて修
正した電圧制御信号をつくり電力供給部１５ｂに供給し
ている。
性が相違するので、それに応じて印加すべき電圧が微妙
に異なるので、電圧制御部１６ａは各ロット毎の電圧修
正率が予め記憶せしめられている。そして、現在使用中
のヒーター３のロット番号も電圧制御部１６ａに入力
し、使用中のヒーター３に対応した修正率に基づいて修
正した電圧制御信号をつくり電力供給部１５ｂに供給し
ている。
【００３８】これにより、蒸着膜の膜厚はヒーター３の
特性にも依存しなくできる。尚、かかる修正は図１に示
す蒸着金属加熱制御回路にも同様に行うようにすること
ができることはいうまでもない。
特性にも依存しなくできる。尚、かかる修正は図１に示
す蒸着金属加熱制御回路にも同様に行うようにすること
ができることはいうまでもない。
【００３９】図３（Ａ）、（Ｂ）は本発明の第３の実施
の形態を説明するためのもので、（Ａ）は蒸着金属加熱
制御回路の構成を示す回路ブロック図、（Ｂ）は加熱電
流の推移図である。
の形態を説明するためのもので、（Ａ）は蒸着金属加熱
制御回路の構成を示す回路ブロック図、（Ｂ）は加熱電
流の推移図である。
【００４０】本蒸着金属加熱制御回路は図１に示した蒸
着金属加熱制御回路とは、電流制御部として加熱電流の
蒸発終了のときに生じる特有の変化を記憶し、加熱電流
のかかる変化が生じたとき蒸発終了として加熱電流の供
給を停止させることができるようにしたものを用いると
いう点でのみ異なり（図１に示した蒸着金属加熱制御回
路の電流制御部１６は予備加熱電流の理想値を記憶しそ
の理想値通りになるように制御する電流制御信号を出力
することができるという特徴を有していた。）、それ以
外の点では共通し、共通する部分については既に説明済
みであるので、説明を省略し、相違する点についてのみ
説明する。
着金属加熱制御回路とは、電流制御部として加熱電流の
蒸発終了のときに生じる特有の変化を記憶し、加熱電流
のかかる変化が生じたとき蒸発終了として加熱電流の供
給を停止させることができるようにしたものを用いると
いう点でのみ異なり（図１に示した蒸着金属加熱制御回
路の電流制御部１６は予備加熱電流の理想値を記憶しそ
の理想値通りになるように制御する電流制御信号を出力
することができるという特徴を有していた。）、それ以
外の点では共通し、共通する部分については既に説明済
みであるので、説明を省略し、相違する点についてのみ
説明する。
【００４１】前に説明したように、ヒーター３に一定の
電圧を与えると加熱電流は図６に示すように変化する。
即ち、蒸発の開始と共に加熱電流は増加し始め、やがて
その値はピークに達し、その後減少に転じ、蒸発が終了
するとその加熱電流の減少は終わり一定の値を保つ。従
って、加熱電流が減少しその後が一定の値を保ったとき
とは即ち蒸発が終了したときといえる。
電圧を与えると加熱電流は図６に示すように変化する。
即ち、蒸発の開始と共に加熱電流は増加し始め、やがて
その値はピークに達し、その後減少に転じ、蒸発が終了
するとその加熱電流の減少は終わり一定の値を保つ。従
って、加熱電流が減少しその後が一定の値を保ったとき
とは即ち蒸発が終了したときといえる。
【００４２】そこで、加熱電流のそのような変化を検出
し、その検出をしたとき加熱電流の供給を停止させるこ
とができるもの１６ｂを電流制御部制御部として用いる
ようにしたのが第３の実施の形態の蒸着金属加熱制御回
路である。
し、その検出をしたとき加熱電流の供給を停止させるこ
とができるもの１６ｂを電流制御部制御部として用いる
ようにしたのが第３の実施の形態の蒸着金属加熱制御回
路である。
【００４３】このような蒸着金属加熱制御回路によれ
ば、ピークから減少に移っていた加熱電流が蒸発の終了
により減少から一定の値を保つ安定な状態に変り始めた
とき、電流制御部１６ｂが電力供給部１５ａへ供給電流
を０にさせるような電流制御信号を送る。その結果、図
３（Ｂ）に示すように加熱が終了し、従来行われていた
余分な無駄加熱（２点鎖線参照）を行わなくて済む。そ
の結果、蒸発用ヒーターの長寿命化を図ることができ
る。
ば、ピークから減少に移っていた加熱電流が蒸発の終了
により減少から一定の値を保つ安定な状態に変り始めた
とき、電流制御部１６ｂが電力供給部１５ａへ供給電流
を０にさせるような電流制御信号を送る。その結果、図
３（Ｂ）に示すように加熱が終了し、従来行われていた
余分な無駄加熱（２点鎖線参照）を行わなくて済む。そ
の結果、蒸発用ヒーターの長寿命化を図ることができ
る。
【００４４】
【発明の効果】本発明の第１のものによれば、ヒーター
の抵抗値が変動しても予備加熱時における電流を予め設
定した値通りにコントロールすることができるので、ヒ
ーターの抵抗値の変動に起因する予熱過剰、予熱過小が
生じるおそれがなくなる。従って、予熱過剰、予熱過剰
に起因する蒸着膜の膜厚の変動を防止することができ
る。
の抵抗値が変動しても予備加熱時における電流を予め設
定した値通りにコントロールすることができるので、ヒ
ーターの抵抗値の変動に起因する予熱過剰、予熱過小が
生じるおそれがなくなる。従って、予熱過剰、予熱過剰
に起因する蒸着膜の膜厚の変動を防止することができ
る。
【００４５】本発明の第２のものによれば、蒸発用ヒー
ターに対し印加する電圧と、形成される蒸着膜の膜厚と
の間には密接な関係があることから、膜厚を検出しなが
ら蒸着を行うこととし、所望の膜厚が得られるようにヒ
ーター印加電圧をコントロールするので、確実に蒸着膜
の膜厚を所望通りの値にすることが可能になる。
ターに対し印加する電圧と、形成される蒸着膜の膜厚と
の間には密接な関係があることから、膜厚を検出しなが
ら蒸着を行うこととし、所望の膜厚が得られるようにヒ
ーター印加電圧をコントロールするので、確実に蒸着膜
の膜厚を所望通りの値にすることが可能になる。
【００４６】本発明の第３のものによれば、供給電流が
蒸着による変動を終えて安定したときというのは、蒸着
の終点であるといえるので、そのときヒーターへの電流
の供給を停止することにより余分な無駄加熱を回避する
ことができる。
蒸着による変動を終えて安定したときというのは、蒸着
の終点であるといえるので、そのときヒーターへの電流
の供給を停止することにより余分な無駄加熱を回避する
ことができる。
【００４７】従って、ヒーターの寿命を長くし、その変
換頻度を少なくすることができ、延いてはブラウン管パ
ネルの製造コストの低減を図ることができる。
換頻度を少なくすることができ、延いてはブラウン管パ
ネルの製造コストの低減を図ることができる。
【図１】本発明蒸着金属加熱制御回路の第１の実施の形
態の回路ブロック図である。
態の回路ブロック図である。
【図２】本発明蒸着金属加熱制御回路の第２の実施の形
態の回路ブロック図である。
態の回路ブロック図である。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）は本発明の第３の実施の形態を
説明するもので、（Ａ）は蒸着金属加熱制御回路の回路
ブロック図、（Ｂ）は加熱電流の変化図である。
説明するもので、（Ａ）は蒸着金属加熱制御回路の回路
ブロック図、（Ｂ）は加熱電流の変化図である。
【図４】ブラウン管パネルに対する金属（アルミニウ
ム）蒸着時の状態を示す図である。
ム）蒸着時の状態を示す図である。
【図５】蒸着プロセスの説明図である。
【図６】従来例における加熱電流の変化図である。
１・・・ブラウン管パネル、３・・・ヒーター、１５、
１５ａ、１５ｂ・・・電力供給部、１６、１６ａ、１６
ｂ・・・電流制御部、ＣＴ、１７・・・電流検出手段、
ＶＴ、１７ａ・・・電圧検出手段
１５ａ、１５ｂ・・・電力供給部、１６、１６ａ、１６
ｂ・・・電流制御部、ＣＴ、１７・・・電流検出手段、
ＶＴ、１７ａ・・・電圧検出手段
Claims (6)
- 【請求項１】 ヒーターにより金属ペレットを加熱して
該金属の蒸着膜をカラーブラウン管のブラウン管パネル
内面に形成するブラウン管パネル内面への蒸着金属加熱
制御方法において、 上記ヒーターに予熱時に供給すべき電流を予め設定して
おき、 上記ヒーターへの予熱時における供給電流を検出し、 上記ヒーターに供給すべき予熱電流と上記供給電流の検
出結果とを比較し、 上記比較結果に基づいて上記ヒーターへの予熱電流を上
記予め設定された予熱電流になるように制御することに
より蒸着膜の形成のための金属ペレットの予熱を行うこ
とを特徴とするブラウン管パネル内面への蒸着金属加熱
制御方法 - 【請求項２】 金属ペレットを加熱するヒーターと、 電流制御信号を受けてそれに対応する電流を上記ヒータ
ーに供給する電力供給部と、 上記電力供給部から上記ヒーターに供給される加熱電流
を検出する電流検出手段と、 上記ヒーターに供給すべき予熱電流と上記電流検出手段
の検出結果とを比較し、該比較の結果に基づいて現在の
供給予熱電流を供給すべき予熱電流にさせるような電流
制御信号を予熱時に上記電力供給部へ出力する電流制御
部と、 を有する蒸着金属加熱制御装置 - 【請求項３】 ヒーターにより金属ペレットを加熱して
該金属の蒸着膜をカラーブラウン管のブラウン管パネル
内面に形成するブラウン管パネル内面への蒸着金属加熱
制御方法において、 蒸着膜の所望の膜厚に対応する加熱電圧と、現在の加熱
電圧とを比較し、その比較結果に基づいて上記ヒーター
へ印加する加熱電圧を形成すべき膜厚に対応する印加電
圧になるように制御しながら蒸着を行うことを特徴とす
るブラウン管パネル内面への蒸着金属加熱制御方法 - 【請求項４】 金属ペレットを加熱するヒーターと、 電圧制御信号を受けてそれに対応する電圧を上記ヒータ
ーに印加する電力供給部と、 所望の膜厚の蒸着膜が形成されたブラウン管パネルの該
蒸着膜の膜厚を検出する膜厚検出手段と、 上記ヒーターに印加された電圧を検出する電圧検出手段
と、 上記膜厚検出手段により検出された膜厚に対応した電圧
と、上記電圧検出手段の検出結果とを比較し、該比較の
結果に基づいてヒーターに印加された電圧を、形成すべ
き蒸着膜の厚さに対応する値になるように上記電力供給
部を制御する印加電圧制御部と、 を有する蒸着金属加熱制御装置 - 【請求項５】 ヒーターにより金属ペレットを加熱して
該金属の蒸着膜をカラーブラウン管のブラウン管パネル
内面に形成するブラウン管パネル内面への蒸着金属加熱
制御方法において、 上記ヒーターへの加熱電流を検出しながら蒸着を行い、 上記加熱電流が蒸着による変動を終えて安定したときに
ヒーターへの電流の供給を停止することを特徴とするブ
ラウン管パネル内面への蒸着金属加熱制御方法 - 【請求項６】 金属ペレットを加熱するヒーターと、 上記ヒーターに加熱用電力を供給する電力供給部と、 上記ヒーターに供給される電流を検出する電流検出する
電流検出手段と、 上記ヒーターへ一定電圧を供給した場合における蒸着の
終了時に生じる該ヒーターを流れる電流の推移ないしそ
の傾向を記憶し、その記憶通りに該ヒーターの電流が変
化したとき上記電力供給部に電力供給を停止させる電力
供給部制御手段と、 を有することを特徴とする蒸発金属加熱制御装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04722296A JP3617168B2 (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | ブラウン管パネル内面への蒸着金属加熱制御方法と蒸着金属加熱制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04722296A JP3617168B2 (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | ブラウン管パネル内面への蒸着金属加熱制御方法と蒸着金属加熱制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09245637A true JPH09245637A (ja) | 1997-09-19 |
| JP3617168B2 JP3617168B2 (ja) | 2005-02-02 |
Family
ID=12769169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04722296A Expired - Fee Related JP3617168B2 (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | ブラウン管パネル内面への蒸着金属加熱制御方法と蒸着金属加熱制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3617168B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011191137A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Furuno Electric Co Ltd | マグネトロンの陰極加熱装置、マイクロ波発生装置、及びマグネトロンの陰極予熱方法 |
| JPWO2022101957A1 (ja) * | 2020-11-10 | 2022-05-19 |
-
1996
- 1996-03-05 JP JP04722296A patent/JP3617168B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011191137A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Furuno Electric Co Ltd | マグネトロンの陰極加熱装置、マイクロ波発生装置、及びマグネトロンの陰極予熱方法 |
| JPWO2022101957A1 (ja) * | 2020-11-10 | 2022-05-19 | ||
| US12437958B2 (en) | 2020-11-10 | 2025-10-07 | Hitachi High-Tech Corporation | Electron beam application device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3617168B2 (ja) | 2005-02-02 |
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