JPH09245642A - 陰極線管の露光装置及びその露光方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カラーＣＲＴの露光装置及びその露光方法に
於いて、フェースパネルと色選択電極のアッセンブル
（ＰＡＧ）を適正位置に小さな押圧力で位置決めする。 【解決手段】 フェースパネル２及びＡＧ板４を含む色
選択電極５のアッセンブル（ＰＡＧ）を露光装置１の露
光台テーブル１ｂ上に配設したＸＹスライダ３０を介し
てＸ及びＹ軸方向にシリンダ２５Ｘ及び２５Ｙで押圧し
てＰＡＧを適正位置に位置決めする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は陰極線管の露光装置
及びその露光方法の改良に係わり、特に大型陰極線管の
露光に適した露光装置及びその露光方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来からカラー陰極線管の内面に蛍光体
ストライプ或はドットを形成する際の露光装置は図４に
示す様な露光装置が用いられている。

【０００３】この様な露光装置は図４に示す様に構成さ
れている。即ち露光装置１の架体１ａ内下端には超高圧
水銀灯等の光源６を配し、シャッタ７，フィルタ８，補
正レンズ９等を介して露光装置１の露光台テーブル１ｂ
上のパネル受台１０上にフェースパネルを載置し、該フ
ェースパネル２内面に塗布した蛍光体ストライプを露光
する。

【０００４】露光装置１の露光台テーブル１ｂ上に持ち
来たされたフェースパネル２はアパーチャグリル板４を
マスクとして選択露光を行うために色選択電極（フレー
ム及びアパーチャグリル板を含む）５をフェースパネル
２の内面に形成したピン２ａに嵌着してある。

【０００５】上述の露光装置１の架体１ａ内のフィルタ
８は光源６からフェースパネル２までの距離の違いによ
り生じる減光量を補正し、紫外線が均等に照射される様
に中心部で透過率が小さく、周辺部で透過率が大きくな
る様な補正を行なっている。

【０００６】又、補正レンズ９はフェースパネル２内面
への光源６からの入射角が偏向ヨークによる電子ビーム
の入射角と同一になる様な補正が行なわれている。

【０００７】この様な露光装置での蛍光体ストライプ露
光では図５の様な露光工程で露光が成される。即ち一般
にはフェースパネル２の内面に三原色の蛍光体を塗布す
る工程は第１の工程ではカーボンストライプ（ＣＳ）を
作製するが、この工程では先ずフェースパネル内面に光
によって溶剤に不溶性となるポリビニールアルコール
（ＰＶＡ）等の感光剤を塗布し、乾燥後にアパーチャグ
リル板４を含む色選択電極５をフェースパネル２の内面
に装着して、露光台テーブル上に配置して光源６からの
紫外線を照射して焼付けを行った後に色選択電極５を外
して、露光されていない部分を純水で洗い流すことで感
光剤がストライプ状に残る。この上にカーボン膜を均一
の厚みとなる様に塗布し、次に感光剤を分解させて感光
剤と、この上のカーボンを除去してフェースパネル１の
内面にＣＳストライプが所定のピッチで形成される。

【０００８】この様なＣＳストライプ上にＲ（赤），Ｇ
（緑），Ｂ（青）の３色蛍光体を塗布する。一般にカラ
ー陰極線管（以下ＣＲＴと記す）の色蛍光体材料のＢは
銀を含む硫化亜鉛（ＺｎＳ：Ａｇ）、Ｇは緑発光の銅及
びアルミニウムを含む混晶硫化物（ＺｎＳ：ＣｕＡ
ｌ）、Ｒは希土類蛍光体（Ｙ₂ Ｏ₂ Ｓ等にユーロビウム
を加えたもの）等が用いられる。

【０００９】この様な色蛍光体は通常Ｇ，Ｂ，Ｒの蛍光
体毎にＰＶＡの如き感光性樹脂及び水を混合した色蛍光
体スラリーと成される。この様な色蛍光体スラリーをフ
ェースパネル２の内面に塗布する工程を図５に示す。図
５でフェースパネル２には前記した方法でＣＳストライ
プの塗布乾燥工程１１の後に反転現像１２を行い上述の
Ｇ蛍光体スラリーをＣＳストライプ上に均等に塗布す
る。スラリーの均一塗布にはスピンコート法等が用いら
れる。塗布後に乾燥１３を行った後に色選択電極５（以
下ＡＧ板４と記す）をフェースパネル内面に装着１４
し、Ｇの蛍光体の光源６によりＧ露光１５を行なう。そ
の後ＡＧ板４をフェースパネル２内から離脱１６し、現
像１７すると露光されていない部分のＧ蛍光体と感光剤
が溶出し、第１色目のＧ蛍光ストライプ或いは、ドット
が形成される。

【００１０】次の第２色目のＢ蛍光体の塗布もＢ蛍光体
スラリーにより上述の工程と同様な図５に示すＢ処理１
８が行なわれ、第２色目のＢ蛍光体ストライプ或いはド
ットが形成される。

【００１１】更に第３色目のＲ蛍光体の塗布もＲ蛍光体
スラリーにより上述の工程と同様な図５に示すＲ処理１
９が行なわれ、第３色目の蛍光体ストライプ或いはドッ
トが形成される。

【００１２】Ｒ蛍光体処理後、図５の工程図に示す様に
４２０℃程度で分解する有機物の中間膜塗布及び乾燥２
０し、その中間膜上に蛍光体の効率を上げるためのアル
ミニウム蒸着膜等のメタルバックが行なわれ、メタルバ
ック後に中間膜熱分解処理２２を行なって色蛍光体スラ
リー中の感光性樹脂と水並びに中間膜を分解させて、蛍
光ストライプ或いはドットより構成された蛍光面の塗布
工程が完了する。

【００１３】上述の露光装置１の露光台テーブル１ｂの
平面図を図６に又、図６のＡ−Ａ′断面矢視図を図７に
示す。

【００１４】図６及び図７で破線位置が露光台テーブル
１ｂ上の適正露光位置に配置された状態を示し、例えば
露光装置１の露光台テーブル１ｂ上にフェースパネル２
とＡＧ板４とを一体化させた色選択電極５を実線で示す
様に載置する。

【００１５】露光装置１の露光台テーブル１ｂ上にはフ
ェースパネル２のＸ軸方向（長辺部）のパネル上下側壁
２ｂ及び２ｃの下端と接するパネル受台１０が配設され
ている。

【００１６】このパネル受台１０はパネル上側壁２ｂの
Ｘ軸方向の略中心位置下側に配された第１のパネル受台
１０ａとパネル下側壁２ｃのＸ軸方向の両側部下側に配
された第２及び第３のパネル受台１０ｂ及び１０ｃで構
成され、これらパネル受台１０は略方形状の金属板２３
上に同様形状の潤滑性を有し、且つ耐摩耗性のあるアセ
タール樹脂等の合成樹脂材で選択された載置板２４が固
定されている。これらパネル受台１０の金属板２３は露
光装置１の露光台テーブル１ｂ上に固定されている。

【００１７】これらパネル受台１０（１０ａ，１０ｂ，
１０ｃ）上に載置された色選択電極５を含むフェースパ
ネル２は２個のＹ軸パネル方向アライメント手段及び１
個のＸ軸パネル方向アライメント手段によってＸ軸及び
Ｙ軸方向の位置調整が行なわれる。

【００１８】Ｙ軸パネル方向アライメント手段はフェー
スパネル２の上側壁２ｂを２個所で押圧するシリンダ２
５Ｙ及び２５Ｙと、フェースパネル２の下側壁２ｃに当
接する２個のストッパ２６Ｙ及び２６Ｙとで構成され、
ストッパ２６Ｙは所定のスペーサ２７を介して露光台テ
ーブル１ｂ上に固定され、シリンダ２５Ｙは同じく露光
台テーブル上に摺動自在に枢着されている。

【００１９】Ｘ軸パネル方向アライメント手段はフェー
スパネル２の左側壁２Ｌを下方向でＸ軸方向に押圧する
シリンダ２５Ｘとフェースパネル２の右側壁２Ｒに当接
する１個のストッパ２６Ｘとより構成され、ストッパ２
６Ｘは図７の様に所定のスペーサ２７を介して露光台テ
ーブル１ｂ上に固定され、シリンダ２５Ｘは上述のシリ
ンダ２５Ｙ及び２５Ｙと同様に摺動自在に露光台テーブ
ル１ｂ上に枢着されている。

【００２０】ストッパ２６Ｙ及び２６Ｘは、その例が図
７に示されている様にスペーサ２７上にコイルスプリン
グ等で１方向に偏倚されて摺動自在と成された先端が合
成樹脂で構成された突き当てピン２８を有し、突き当て
ピン２８の根本に配設したセンサ２９によって突き当て
状態が検知可能と成され異常時には警報音等が放音され
る様に成される。

【００２１】上述の構成で露光装置１の露光台テーブル
１ｂ上のパネル受台１０上に載置された色選択電極５を
組み込んだフェースパネル２（以下ＰＡＧと記す）はシ
リンダ２５Ｙ及び２５Ｘの押圧動作によりパネル受台の
載置板２４上を滑りながらストッパ２６Ｙ及び２６Ｘの
突き当てピン２８に当接することで適正露光位置に位置
決めされる。

【００２２】

【発明が解決しようとする課題】上述の露光装置の露光
位置決め用のＸ及びＹ軸パネル方向アライメント手段は
露光台テーブル１ｂ上にパネル受台１０が固定されてい
るため、パネル受台１０の載置板２４上に載置されるＰ
ＡＧが大型で重い場合（２５インチ以上約１５ｋｇ）或
いは２個のシリンダ２５Ｙ及び２５Ｙのうちの一方のシ
リンダとエア圧差がある様な圧力調整の悪い場合等にＰ
ＡＧのフェースパネル２の上下側壁２ｂ及び２ｃの下面
と載置板２４との間で摩擦及び摩擦差が発生し、ＰＡＧ
の滑りが悪くなり、傾いてストッパ２６Ｘ及び２６Ｙの
突き当てピン２８に当たったり、調整された正規位置に
ある突き当てピン２８に位置決めされないでフェースパ
ネル２の下側壁２ｃと突き当てピン２８との間に隙間を
発生する問題があった。

【００２３】又、パネル受台１０上の載置板２４が摩擦
により擦れて変形し、パネル受台１０の高さが徐々に変
わり、露光時の色蛍光体位置が露光装置１の光源側にず
れる様な弊害も発生していた。

【００２４】更に、フェースパネル２がストッパ２６Ｘ
及び２６Ｙの側壁に当接せず、異常であるとセンサ２９
から警報音を出す様に成されているが、この様な異常時
には人手でフェースパネル２を押圧し直し、突き当てピ
ン２８に当接した後に露光を開始するが、待機時間（約
０．５分）が長くなると蛍光体ストライプ幅がバラツク
弊害が発生する。

【００２５】上述のＰＡＧをパネル受台１０（１０ａ〜
１０ｃ）に載置させて、載置板２４上をスムースに摺動
するＣＲＴのフェースパネル口径は３インチ〜２０イン
チ（重量１５ｋｇ以下）であり、２５インチ以上の大型
管ではシリンダ２５Ｘ及び２５Ｙに大型のものを必要と
し、大きさが長くなる為に露光台テーブル１ｂの面積が
大きくなるだけでなく大きな押圧力をＰＡＧに与えなけ
ればならない。この様な大きな押圧力を与えるとＰＡＧ
にショックが与えられフェースパネル２と色選択電極５
の嵌合状態が悪くなり、ＡＧ４の位置がずれる問題もあ
った。

【００２６】又、振動が大きい為ＡＧ板の細糸が揺れを
起こしてとまらずマスクが揺れた状態で露光されること
になり色蛍光体面上にＡＧ揺れ不良を起こす等の問題が
あった。

【００２７】本発明は叙上の問題点を解消したカラーＣ
ＲＴの露光装置及びその露光方法を提供しようとするも
のであり、小さな押圧力（１ｋｇｆ／ｃｍ² ）のシリン
ダでＰＡＧをストッパの突き当てピンに確実に当接可能
で、露光台テーブルを小さく出来ると共にＡＧ揺れの生
じない精度の良い露光が可能な露光装置及びその露光方
法が得ようとするものである。

【００２８】

【課題を解決するための手段】本発明のＣＲＴの露光装
置はその例が図１に示されている様にＣＲＴのパネル２
の内面に色選別電極５を介して蛍光層を露光作製する様
に成したＣＲＴの露光装置に於いて、ＣＲＴ露光装置１
の露光台テーブル１ｂ上にＸ及びＹ軸方向に摺動自在な
摺動部材３０を配設して成るものである。

【００２９】本発明のＣＲＴの露光装置及びその露光方
法によれば小型シリンダの小さな押圧力（１ｋｇｆ／ｃ
ｍ² ）以下でもＰＡＧがスムースにストッパに当接して
ＡＧ揺れの生じない高精度の露光が可能となる。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、本発明のカラーＣＲＴの露
光装置及びその露光方法の１例を図１乃至図３によって
説明する。図１は本発明の露光装置の一部側断面図、図
２は本発明の露光装置のパネル載置板及びストッパ部分
の一部平面図、図３は本発明の露光装置に用いるＸＹス
ライダの１例を示す斜視図である。尚、本発明に於いて
図４乃至図７で説明した従来構成との対応部分には同一
符号を付して重複説明を省略する。

【００３１】図１に示す様に本例の露光装置１は図６で
詳記したと同様にフェースパネル２及び色選択電極５を
アッセンブルしたＰＡＧを露光台テーブル１ｂ上の３個
のパネル受台１０（１０ａ，１０ｂ，１０ｃ）上に配し
た載置板２４から成る。この載置板２４はポリアセター
ル樹脂（デルリン、商標）やポリイミド樹脂（ベスペ
ル、商標）等の耐摩耗性、耐熱性、潤滑性に優れた合成
樹脂が選択される。

【００３２】上述の載置板２４は図２に示す様に略長方
形状に形成され、Ｙ軸用スライダ３０Ｙ上に固定され
る。Ｙ軸用スライダ３０ＹはＹ軸方向に延設した左右角
柱部材３０ＹＬ及び３０ＹＲにベアリング受けを介在さ
せ、載置板２４の下面に固定した略長方形状の枠体３１
の左右側壁の下面にＹ軸方向に沿って固定され、これら
ベアリング受はＹ軸用スライダ３０ＹのＹ軸スライダベ
ース部３３の左右側壁部に配設したベアリング受部とベ
アリング３４を介して対向している。

【００３３】Ｘ軸用スライダ３０ＸはＸ軸方向にスライ
ド溝の延設されたＸ軸ベース３２を有し、該・Ｘ軸ベー
ス３２は略長方形状に形成されて露光台テーブル１ｂ上
に固定されている。Ｙ軸スライドベース３３はＸ軸ベー
ス３２より小面積で略正方形状に形成され、Ｘ軸方向に
摺動自在と成されている。従って、このＹ軸スライドベ
ース３３のＸ軸方向摺動に伴って角柱部材３０ＹＬ及び
３０ＹＲ、枠体３１並びに載置板２４もＸ軸方向に同時
に摺動する。

【００３４】図３はＸＹスライダ３０の他の構成を示す
斜視図であり、載置板２４の下面に形成したＶ型突溝３
５と平型突溝３６をＹ軸用スライダ３０Ｙの上面に形成
したＶ字溝３７及び凹溝３８にＹ軸方向に摺動自在に嵌
合させる。この為に、これら嵌合対向面にベアリング部
材を介在させて載置板２４をスムーズにＹ軸方向に移動
させる。

【００３５】同様にＹ軸スライダ３０Ｙの下端面にＸ軸
方向に延設したＶ型突溝３９と平型突溝４０を形成し、
Ｘ軸用スライダ３０ＸのＸ軸方向に延設したＶ字溝４１
及び凹溝４２にＸ軸方向に摺動自在に嵌合させ、これら
嵌合部間にベアリングを介在させてスムーズにＸ軸方向
へ移動させる様に成されている。

【００３６】この様なＸＹスライダ等から成るＸ及びＹ
軸方向摺動部材３０をパネル受台として載置板２４の下
端に図６と同様に３ヵ所或は４ヵ所に配し、ＰＡＧを載
置板２４上に図１及び図２に示す実線位置に載置した状
態から、シリンダ２５Ｘ及び２５Ｙとしては１ｋｇｆ／
ｃｍ² 程度の軽い押圧力でＰＡＧをＸ及びＹ軸方向から
押圧することでＸＹスライダ３０のＸ及びＹ軸用スライ
ダ３０Ｘ及び３０ＹによりスムーズにＸ及びＹ軸方向に
図１及び図２の破線位置に移動し、ＰＡＧのフェースパ
ネル２の右側壁２Ｒ及び下側壁２Ｃがストッパ２６Ｘ及
び２６Ｙの突き当てピン２８に当接して、位置決め用の
センサ２９が当接を感知後はＧ，Ｂ，Ｒの露光処理が開
始されることになる。本発明はＸ，Ｙスライダが載置板
２４の下面に配設されているためにＰＡＧの重量が１５
ｋｇ以上となっても１ｋｇｆ／ｃｍ² の押圧力のシリン
ダでスムースに突き当てが可能となり、ストライプ位置
不良、センサ感知不良が皆無となり載置板の摩耗が減少
し長期間（約１年）、これらパネル受台のメンテナンス
が不要となる等の効果を有する露光装置及びその露光方
法が得られた。

【００３７】

【発明の効果】本発明の露光装置及びその露光方法によ
れば下記の効果が得られる。 １．載置板にＸＹスライダ機構を設けた為、小型シリン
ダの小さい押圧力（約１ｋｇｆ／ｃｍ² ）でも、ＰＡＧ
を突き当てピンに移動できるようになり、且つ、突き当
てミスが皆無になった為、レジスト等の露光位置にバラ
ツキが無く精度の良い露光が出来るようになった。 ２．露光装置に大きなシリンダを使用しなくてよくな
り、露光装置もコンパクトになり、蛍光面露光工程の床
使用面積が広くなり、従来の露光台（１．５ｍ²）の面
積が約１０％削減出来た。 ３．載置板の上をＰＡＧが滑るのが少なくなった為、摩
擦抵抗が減少し、パネル受台の摩耗が減少し、正規の高
さが保たれる為、露光時の色ストライプ位置がずれるこ
とは無い、又、長期間メンテナンスしなくて良くなっ
た。 ４．小型シリンダは小さく、且つ押圧力を少なくした
為、ＰＡＧにショックを与えない。その結果、ＡＧズレ
が無いのでパネルとＡＧのマッチングが良くなり、適正
な位置に色ストライプ露光出来る。更に振動が小さい
為、ＡＧ揺れという不良も発生しない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の露光装置の一部側断面図である。

【図２】本発明の露光装置の一部平面図である。

【図３】本発明の露光装置に用いるＸＹスライダの他の
実施例を示す斜視図である。

【図４】従来の露光装置の構成図である。

【図５】従来の蛍光体露光工程図である。

【図６】従来の露光装置の平面図である。

【図７】従来の露光装置の一部側断面図である。

【符号の説明】

１ 露光装置、１ｂ 露光台テーブル、１０，１０ａ，
１０ｂ，１０ｃ パネル受台、２４ 載置板、２５Ｘ，
２５Ｙ シリンダ、２６Ｘ，２６Ｙ ストッパ、３０
ＸＹスライダ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 陰極線管のパネル内面に色選択電極を介
   して蛍光層を露光作製する様に成した陰極線管の露光装
   置に於いて、 上記陰極線管の露光装置の露光台テーブル上にＸ及びＹ
   軸方向に摺動自在な摺動部材を配設して成ることを特徴
   とする陰極線管の露光装置。
2. 【請求項２】 前記陰極線管の露光装置の露光台テーブ
   ルとパネル載置板間に前記摺動部材を介在させて成るこ
   とを特徴とする請求項１記載の陰極線管の露光装置。
3. 【請求項３】 前記摺動部材がＸＹスライダであること
   を特徴とする請求項１又は請求項２記載の陰極線管の露
   光装置。
4. 【請求項４】 陰極線管のパネル内面に色選択電極を介
   して蛍光層を露光作製する様に成した陰極線管の露光方
   法に於いて、 上記陰極線管のパネルと露光台テーブル間に一次及び二
   次元方向に摺動可能の摺動部材を介して該陰極線管のパ
   ネル側壁を押圧部材で押圧して所定位置に突き当てて位
   置出しを行なう際の該押圧部材の押圧力を下げて押圧す
   る様に成したことを特徴とする陰極線管の露光方法。