JPH09253182A - オゾン殺菌装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オゾンセンサの劣化を容易にチェックし、
安全性の高い動作を確保することができるようにしたオ
ゾン殺菌装置を提供すること。 【解決手段】 殺菌ブース２内のオゾン濃度を検出する
オゾンセンサ１３を用いて得られたその濃度に応じたレ
ベルの第１信号Ｖ１と、殺菌終了後の所定の低レベル状
態時における第１信号Ｖ１のレベルが正常か否かを判別
するための第２信号Ｖ２とをレベル比較し、その比較結
果に応じて警報を出力すると共にオゾン殺菌装置１の運
転が開始されないようにした。また、レベル差が大きい
場合にはオゾン分解運転を一定時間だけ行わせてから再
度レベル差をチェックし、その結果に応じて警報を出力
すると共にオゾン殺菌装置１の運転が開始されないよう
にした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、殺菌処理時には殺
菌ブース内の空気のオゾン濃度を上げ、殺菌処理が終了
した場合には殺菌ブース内の空気のオゾン濃度を下げる
ようにしたオゾン殺菌装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種のオゾン殺菌装置は、殺菌ブース
とオゾン発生器とを有し、殺菌ブースに隣接して設けら
れたチャンバにより殺菌ブース内の空気を吸い込みチャ
ンバ内に吸い込まれた空気にオゾン発生器からのオゾン
を混合して殺菌ブースに排気することを繰り返すことに
よって、殺菌ブース内のオゾン濃度を殺菌処理に必要な
レベルにまで上げ、殺菌ブース内で殺菌処理を行なうよ
うになっている。そして、殺菌処理が終了したならば、
殺菌ブースより高濃度のオゾン含有空気を再びチャンバ
内に吸い込みオゾン分解触媒にてオゾンを分解した後殺
菌ブースへ排気するという処理を繰り返し、殺菌ブース
のオゾン濃度を人体に影響無いレベル、例えば０．１pp
m 未満の環境基準値、まで下げる後処理が行なわれる。
そしてオゾン濃度が人体に影響ないレベルまで下がった
かどうかはチャンバ内に設けられたオゾンセンサにより
検出される。したがって、オゾンセンサは、オゾン分解
運転の終了判定のために極めて低濃度のオゾン（０．１
ppm 未満）に反応しなければならないが、この様な低濃
度検出可能なオゾンセンサは現在のところコスト面、形
状面から実用上半導体式オゾンセンサに限られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、半導体式オ
ゾンセンサは、そのオゾン検出メカニズム上、原理的に
高濃度（約１０ppm 以上）のオゾンに暴露されるとその
特性が復帰しなくなるという性質を有している。したが
って、殺菌処理モードでの運転中チャンバ内において高
濃度（約２００ppm ）のオゾンに暴露されることによ
り、半導体式オゾンセンサは装置を使用しているうちに
特性が劣化する。この結果、チャンバ内に設けられたオ
ゾンセンサを頼りに環境基準以下になる迄オゾンを分解
しても環境の安全性を確保することができないという事
態を生じる虞がある。

【０００４】このように、従来のオゾン殺菌装置におい
ては、運転終了時オゾンセンサを頼りに環境基準値以下
になる迄殺菌ブース内のオゾンを分解することにより安
全を確保しており、オゾンセンサはこの意味で安全上極
めて重要な役割を果たしている。しかしながら、従来の
オゾン殺菌装置では、上述したようにオゾンセンサの単
品の信頼性に頼るのみでオゾンセンサが正常であるかど
うかを判断する手段を持っておらず、オゾン殺菌装置の
使用の際の環境の安全性を確保する面において問題があ
った。

【０００５】本発明の目的は、したがって、従来技術に
おける上述の問題点を解決し、安全性の高い動作を確保
することができるようにしたオゾン殺菌装置を提供する
ことにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の請求項１の発明の特徴は、殺菌ブースと、オゾン発生
器と、殺菌時には前記殺菌ブース内の空気に前記オゾン
発生器からのオゾンを混入して所定のオゾン濃度の殺菌
用環境を前記殺菌ブース内に生じさせると共に殺菌終了
後は前記殺菌ブース内の空気のオゾン濃度を所定の低レ
ベル状態に戻すようオゾン分解処理を行うための処理チ
ャンバとを備えたオゾン殺菌装置において、前記殺菌ブ
ース内のオゾン濃度を検出するためのオゾンセンサを含
み前記殺菌ブース内のオゾン濃度に応じたレベルの第１
信号を出力する第１回路と、前記所定の低レベル状態時
における前記第１信号のレベルが正常か否かを判別する
ための所定の一定レベルの第２信号を出力するための信
号出力手段と、前記第１信号と前記第２信号とに応答し
前記オゾン殺菌装置の運転開始時に前記第１信号と前記
第２信号とのレベル差を検出する検出手段と、該検出手
段に応答し前記レベル差が所定値以上である場合には警
報を出力すると共に前記オゾン殺菌装置の運転が開始さ
れないようにする警報・制御手段とを備えた点にある。

【０００７】当構成によれば、オゾン殺菌装置の運転開
始時に第１信号と第２信号とのレベル比較を行なうこと
によってオゾンセンサの特性に不具合が生じたか否かを
チェックすることができる。すなわち、オゾンセンサが
殺菌のために必要な高濃度のオゾンに暴露されることに
より第１信号のレベルがその時の実際のオゾン濃度に対
する所定のレベルよりも大きくなり、第１信号と第２信
号とのレベル差が所定値以上となったとき警報・制御手
段によって警報が出力され、オゾンセンサの特性の劣化
を操作者に知らせその点検を促すことができる。これと
同時にオゾン殺菌装置の運転が開始されないようにし、
環境の安全性を確保する。なお、第２の信号は自然界に
おける通常のオゾン濃度の平均値を目安に設定されてい
る。

【０００８】請求項２の発明の特徴は、殺菌ブースと、
オゾン発生器と、殺菌時には前記殺菌ブース内の空気に
前記オゾン発生器からのオゾンを混入して所定のオゾン
濃度の殺菌用環境を前記殺菌ブース内に生じさせると共
に殺菌終了後は前記殺菌ブース内の空気のオゾン濃度を
所定の低レベル状態に戻すようオゾン分解処理を行うた
めの処理チャンバとを備えたオゾン殺菌装置において、
前記殺菌ブース内のオゾン濃度を検出するためのオゾン
センサを含み前記殺菌ブース内のオゾン濃度に応じたレ
ベルの第１信号を出力する第１回路と、前記所定の低レ
ベル状態時における前記第１信号のレベルが正常か否か
を判別するための所定の一定レベルの第２信号を出力す
るための信号出力手段と、前記第１信号と前記第２信号
とに応答し前記オゾン殺菌装置の運転開始時に前記第１
信号と前記第２信号とのレベル差を検出する検出手段
と、該検出手段に応答し前記レベル差が所定値以上であ
る場合には前記オゾン殺菌装置の運転開始に先立って前
記チャンバにおいてオゾン分解運転を一定時間だけ行わ
せるための運転制御手段と、該運転制御手段によるオゾ
ン分解運転の終了後前記第１信号と前記第２信号とのレ
ベル差が所定値以上である場合には警報を出力すると共
に前記オゾン殺菌装置の運転が開始されないようにする
警報・制御手段とを備えた点にある。

【０００９】この構成では、第１信号と第２信号とのレ
ベル差が所定値以上となったとき、先ず運転制御手段に
よってチャンバ内におけるオゾンの分解運転を一定時間
だけ行った後、再度レベル差のチェックが行われる。オ
ゾンの分解運転を一定時間だけ行っても未だレベル差が
所定値以上である場合には、警報・制御手段によって警
報が出力され、オゾンセンサの特性の劣化を操作者に知
らせその点を促すことができる。これと同時にオゾン殺
菌装置の運転が開始されないようにし、環境の安全性を
確保する。

【００１０】以上のようにオゾン分解運転を行った後、
再チェックしてセンサの異常を確定する構成にする理由
を以下に説明する。請求項１の発明においては、運転開
始前はオゾンセンサ１は通常の環境下にあるから第２の
信号と大きなレベル差がないはずであり、この時第２の
信号とのレベル差が一定値以上あるということはセンサ
の異常であると判断している。しかしながら、運転開始
前においてオゾンセンサが通常の環境下にある事は保証
されているわけではない。例えば、当装置運転中に停電
が発生しオゾン分解が終了していない状態で停止した
後、再度次の運転を開始しようとした場合は殺菌ブース
内のオゾン濃度が環境基準以上になっている事は充分考
えられる。この点を考慮して、請求項２の発明において
は、オゾン分解運転を一度行いそれでもセンサの検出濃
度が低下しない場合のみ異常を確定するようにした。

【００１１】請求項３の発明の特徴は、殺菌ブースと、
オゾン発生器と、殺菌時には前記殺菌ブース内の空気に
前記オゾン発生器からのオゾンを混入して所定のオゾン
濃度の殺菌用環境を前記殺菌ブース内に生じさせると共
に殺菌終了後は前記殺菌ブース内の空気のオゾン濃度を
所定の低レベル状態に戻すようオゾン分解処理を行うた
めの処理チャンバとを備えたオゾン殺菌装置において、
前記殺菌ブース内のオゾン濃度を検出するためのオゾン
センサを含み前記殺菌ブース内のオゾン濃度に応じたレ
ベルの第１信号を出力する第１回路と、前記所定の低レ
ベル状態時における前記第１信号のレベルが正常か否か
を判別するための所定の一定レベルの第２信号を出力す
るための信号出力手段と、前記第１信号と前記第２信号
とに応答し前記オゾン殺菌装置の運転開始時に前記第１
信号と前記第２信号とのレベル差を検出する検出手段
と、該検出手段に応答し前記レベル差が所定値以上であ
る場合には警報を出力すると共に前記オゾン殺菌装置の
運転が開始されないようにする警報・制御手段と前記警
報の出力に応答し前記チャンバにおいてオゾン分解運転
を所定の時間だけ行わせるための分解運転制御手段とを
備えた点にある。

【００１２】請求項３の発明の構成によると、オゾン殺
菌装置の運転開始時に第１信号と第２信号とのレベル比
較を行なうことによってオゾンセンサの特性に不具合が
生じたか否かをチェックすることができ、第１信号と第
２信号とのレベル差が所定値以上となったとき警報・制
御手段によって警報が出力され、オゾンセンサの特性の
劣化を操作者に知らせその点検を促すことができる。こ
れと同時にオゾン殺菌装置の運転が開始されないように
する。さらに、警報の出力に応答し、分解運転制御手段
によってチャンバ内におけるオゾンの分解運転を一定時
間だけ行い、環境の安全性を確保する。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態の一例について説明する。

【００１４】図１は、本発明によるオゾン殺菌装置の実
施の形態の一例を示す概略構成図である。オゾン殺菌装
置１は、殺菌ブース２と、オゾン発生器３と、殺菌時に
は殺菌ブース２内の空気にオゾン発生器３からのオゾン
を混入して所定のオゾン濃度の殺菌用環境を殺菌ブース
２内に生じさせると共に殺菌終了後は殺菌ブース２内の
空気のオゾン濃度を所定の低レベル状態に戻すようオゾ
ン分解処理を行うための処理チャンバ４とを備えてい
る。オゾン発生器３及び処理チャンバ４は、超音波加湿
装置５、湿度検出器６、電源７及びオゾン殺菌装置１の
動作を制御するための制御装置８と共に装置外板９によ
り形成された保護空間１０内に収納されている。装置外
板９にはモータ１１によって駆動される冷却ファン１２
が取り付けられており、装置外板９内に設けられている
各種の装置類から出る熱を外部へ放出する構成となって
いる。

【００１５】処理チャンバ４は、吸込みダクト部４Ａと
吹出しダクト部４Ｂとによって殺菌ブース２と連通して
おり、吸込みダクト部４Ａを介して殺菌ブース２内の空
気を処理チャンバ４内に吸い込み、処理チャンバ４内で
処理された空気を吹出しダクト部４Ｂを介して殺菌ブー
ス２内に吹き出すことができる構成となっている。

【００１６】処理チャンバ４の内部には、吸込み通路４
Ｃ、オゾン分解室４Ｄ、吹出し通路４Ｅ、吸込み通路４
Ｃからの吸い込み空気を吹出し通路４Ｅに送るための連
通路４Ｆが形成されている。オゾン分解室４Ｄ内にはオ
ゾン分解触媒４Ｇが配置され、吹出し通路４Ｅ内にはモ
ータ４Ｈにより駆動される送風ファン４Ｉが配置されて
いる。吸込み通路４Ｃと連通路４Ｆとの間には第１ダン
パ４Ｊが設けられており、オゾン分解室４Ｄには吸込み
ダクト部４Ａに対向する位置に第２ダンパ４Ｋが設けら
れている。

【００１７】超音波加湿装置５は、加湿水タンク５Ａと
加湿器電源５Ｂと超音波加湿器５Ｃとから成る公知の構
成のものであり、超音波加湿器５Ｃにおいて霧状にされ
た水の微粒子が加湿ホース５Ｄを介して吹出し通路４Ｅ
内に送り込まれる構成となっている。一方、オゾン発生
器３には高圧電源３Ａから高圧電圧が供給されており、
酸素ホース３Ｂを介して外部から供給される酸素を用い
てオゾンを発生させ、ここで発生したオゾンはオゾンホ
ース３Ｃを介して吹出し通路４Ｅの出口付近に送り込ま
れる。

【００１８】第１ダンパ４Ｊ及び第２ダンパ４Ｋは制御
装置８によって開閉制御される。殺菌ブース２内で殺菌
を行う場合には第１ダンパ４Ｊが開かれ第２ダンパ４Ｋ
が閉じられる。この状態で送風ファン４Ｉがモータ４Ｈ
により回転せしめられ、殺菌ブース２内の空気が吹込み
通路４Ｃから連通路４Ｆを通って吹出し通路４Ｅに送り
込まれ、ここで、超音波加湿装置５からの加湿空気及び
オゾン発生器３からのオゾンが混入されて殺菌ブース２
に戻る。この結果、殺菌ブース２内のオゾン濃度を殺菌
に必要な所要の高濃度（例えば２００ｐｐｍ程度））と
することができる。

【００１９】一方、殺菌ブース２において殺菌処理が終
了したならば、第１ダンパ４Ｊを閉じ、第２ダンパ４Ｋ
を開いて終了運転が行われる。この状態では、殺菌ブー
ス２からの空気はオゾン分解室４Ｄに導かれ、ここでオ
ゾン分解触媒４Ｇによりその空気中に含まれるオゾンが
分解され、オゾン濃度の低下した空気は送風ファン４Ｉ
によって吹出し通路４Ｅに導かれ殺菌ブース２に戻るこ
とになる。このようにして殺菌ブース２内の空気を処理
チャンバ４に循環させることによりそのオゾン濃度を人
体に影響のない環境基準値にまで低下させる。

【００２０】殺菌ブース２内における空気のオゾン濃度
をチェックすることができるようにするため、本実施の
形態においては、吹込み通路４Ｃ内の入口付近にオゾン
センサ１３が設けられている。しかし、オゾンセンサ１
３の配設位置はこの実施の形態に構成に限定されるもの
ではなく、その他の適宜の位置に設けてもよい。オゾン
センサ１３は殺菌ブース２から吸込みダクト部４Ａを介
して処理チャンバ４内に送られてくる空気のオゾン濃度
を検出するためのものであり、上述の如くしてオゾン分
解運転を行った結果殺菌ブース２内のオゾン濃度が人体
に影響ない範囲である環境基準値（例えば０．１ｐｐｍ
未満）になったか否かがオゾンセンサ１３を用いてチェ
ックされる。このような用途に適するオゾンセンサ１３
として、本実施の形態においてはオゾン濃度に従ってそ
の抵抗値が変化する半導体式のオゾンセンサが使用され
ている。なお、符号６Ａで示されるのは、吹込み通路４
Ｃ内の空気の湿度を検出するための湿度センサであり、
湿度センサ６Ａは湿度検出器６に接続されている。

【００２１】図２には、吸込みダクト部４Ａ及び吹出し
ダクト部４Ｂによる殺菌ブース２と処理チャンバ４との
間の連結構造が拡大して詳細に示されている。吸込みダ
クト部４Ａは、殺菌ブース２と一体に設けられた第１連
結口２１と処理チャンバ４と一体に設けられた吸込側連
結口４Ｘとをフレキシブルパイプ１４で連結して成って
いる。フレキシブルパイプ１４の一端は第１連結口２１
ときつく嵌合されている。一方、フレキシブルパイプ１
４の他端は装置外板９の内側にまで延びるようにして吸
込側連結口４Ｘと嵌合しており、フレキシブルパイプ１
４と吸込側連結口４Ｘとの嵌合部は容易に離脱すること
がないよう締付バンド１５によってフレキシブルパイプ
１４の外側から締め付けられている。吹出しダクト部４
Ｂは、殺菌ブース２と一体に設けられた第２連結口２２
と処理チャンバ４と一体に設けられた吹出側連結口４Ｙ
とをフレキシブルパイプ１６で連結して成っている。フ
レキシブルパイプ１６の一端は第２連結口２２ときつく
嵌合されている。一方、フレキシブルパイプ１６の他端
は装置外板９の内側にまで延びるようにして吹出側連結
口４Ｙと嵌合しており、フレキシブルパイプ１６と吹出
側連結口４Ｙとの嵌合部は容易に離脱することがないよ
う締付バンド１７によってフレキシブルパイプ１６の外
側から締め付けられている。

【００２２】吸込みダクト部４Ａ及び吹出しダクト部４
Ｂは上述の如く構成されているため、締付バンド１５及
び又は１７による締め付けが弛んだとしても、フレキシ
ブルパイプ１４と吸込側連結口４Ｘとの間、又はフレキ
シブルパイプ１６と吹出側連結口４Ｙとの間から漏れた
オゾンは装置外板９によって形成される保護空間１０内
に収容されるので、オゾン殺菌装置１の外部のオゾン濃
度を直ちに上昇させることがなく安全である。オゾンの
比重は空気のそれより大きいため、漏れたオゾンは装置
外板９に沿って下方に移動することになる。装置外板９
の下部にはオゾン漏れを検出するための補助オゾンセン
サ１８が設けられており（図１参照）、この補助オゾン
センサ１８によってオゾン漏れを容易に検知することが
できる。補助オゾンセンサ１８により漏れオゾンの発生
が検知された場合、その旨の警報を発し、強制的にオゾ
ン分解運転に入るように構成することができる。

【００２３】次に、図３を参照して図１に示したオゾン
殺菌装置１の制御系統の要部の構成について説明する。

【００２４】オゾン殺菌装置１の制御系統は、安定化電
源回路２１の正出力端子２１Ａと負出力端子２１Ｂとの
間から供給される安定化低電圧ＶＣにより駆動されるマ
イクロコンピュータ装置２２を備えている。半導体式の
オゾンセンサ１３の一端はアースに接続されその他端は
抵抗器２３を介して正出力端子２１Ａに接続されてい
る。したがって、オゾンセンサ１３と抵抗器２３との接
続点からは吹込み通路４Ｃ内を通過する空気のオゾン濃
度に応じたレベルの第１電圧信号Ｖ１が出力され、第１
電圧信号Ｖ１はマイクロコンピュータ装置２２に入力さ
れている。

【００２５】殺菌ブース２において殺菌処理が終了した
場合に実行される処理チャンバ４でのオゾン分解運転に
よって、殺菌ブース２内の空気のオゾン濃度が所定の低
レベル、例えば人体に影響のない環境基準値である０．
１ｐｐｍにまで低下したか否かを第１電圧信号Ｖ１に基
づいて確認することができるようにするため、本実施の
形態では、吹込み通路４Ｃ内のオゾン濃度が所定の低レ
ベルになった場合における第１電圧信号Ｖ１の設計レベ
ル値に等しいレベルの第２電圧信号Ｖ２を出力するため
の電圧発生回路２４が設けられている。電圧発生回路２
４は抵抗器２５、２６を直列接続して成る抵抗分圧回路
として構成されており、第２電圧信号Ｖ２はマイクロコ
ンピュータ装置２２に入力されている。

【００２６】マイクロコンピュータ装置２２の出力端子
２２Ａと安定化電源回路２１の正出力端子２１Ａとの間
には抵抗器２７と警報用の発光ダイオード２８とが直列
に接続されており、出力端子２２Ａから出力される警報
信号ＡＬに応答して発光ダイオード２８が点灯する構成
となっているが、これについては後で詳しく説明する。
なお、マイクロコンピュータ装置２２には、第１電圧信
号Ｖ１、第２電圧信号Ｖ２のほか、オゾン殺菌装置１の
運転制御に必要な種々の入力信号ＩＳが入力されてお
り、これらの入力信号ＩＳに基づく演算結果に従う出力
信号ＯＳがオゾン殺菌装置１の運転制御のために出力さ
れている。しかし、これらの信号ＩＳ、ＯＳは従来のこ
の種の装置において用いられる信号と同じであり、これ
らの信号ＩＳ、ＯＳによる通常運転それ自体は公知のも
のであるから、ここではそれらについての詳しい説明は
省略する。

【００２７】次に図４を参照して図３に示した制御系統
によるオゾン殺菌装置１の運転制御にて説明する。図４
は図３のマイクロコンピュータ装置２２内のメモリ（図
示せず）に格納されておりマイクロコンピュータ装置２
２において実行される制御プログラムを示すフローチャ
ートである。この制御プログラムはオゾン殺菌装置１の
図示しない電源スイッチを投入することに応答して起動
され、実行される。制御プログラムが起動されると、先
ず、ステップ３１で初期化処理が行われ、ステップ３２
で第１電圧信号Ｖ１と第２電圧信号Ｖ２とが入力され、
ステップ３３で第１電圧信号Ｖ１と第２電圧信号Ｖ２と
のレベル比較が行われる。ステップ３４では第１電圧信
号Ｖ１と第２電圧信号Ｖ２とのレベル差｜Ｖ１−Ｖ２｜
が所定値Ｋ以下であるか否かが判別される。レベル差｜
Ｖ１−Ｖ２｜が所定値Ｋ以下であるとステップ３４の判
別結果はＹＥＳとなり、ステップ３５において通常制御
が行われる。すなわち、殺菌ブース２内のオゾン濃度を
殺菌に必要な高レベルにまで上昇させ、殺菌処理が終了
したならば殺菌ブース２内のオゾン濃度を人体に影響の
ない環境基準値にまで下げるようオゾンの分解運転が行
われる。その後、この制御プログラムの実行が終了す
る。

【００２８】一方、ステップ３４の判別結果がＮＯとな
った場合には、運転開始前において吹込み通路４Ｃ内の
オゾン濃度が既に人体に影響を与えないとされている所
定の低レベルを越えているか、或いはオゾンセンサ１３
の特性が異常になっていることを意味している。したが
って、この場合は異常時処理ステップ４０が実行され
る。図４に示す、請求項１の発明の実施の形態の場合に
は、ステップ４０Ａにおいて警報信号ＡＬを出力し、こ
れにより発光ダイオード２８（図３参照）を点灯させ、
操作者にオゾン濃度が高い状態にあることを知らせる。
そして、次のステップ４０Ｂにおいてオゾン殺菌装置１
の運転開始を禁止する制御を行い、この制御プログラム
の実行を終了する。

【００２９】ここで、ステップ３４の判別結果がＮＯと
なるのは、（１）実際に、何等かの理由でオゾン濃度が
所定の低レベル以上の場合、（２）オゾン濃度は所定の
低レベルより小さいが、オゾンセンサ１３が高濃度のオ
ゾンに暴露されることにより特性劣化を生じ実際のオゾ
ン濃度と異なる濃度に相当するレベルの第１信号Ｖ１を
出力している場合、の２通りが考えられる。

【００３０】したがって、この構成によれば、オゾン殺
菌装置１の運転開始時に第１電圧信号Ｖ１と第２電圧信
号Ｖ２とのレベル比較を行なうことによってオゾンセン
サ１３の特性に不具合が生じたか否かをチェックするこ
とができる。すなわち、オゾンセンサ１３が殺菌のため
に必要な高濃度のオゾンに暴露されることにより第１電
圧信号Ｖ１のレベルがその時の実際のオゾン濃度に対す
る所定のレベルから一定値以上ずれると、警報が出力さ
れ、オゾンセンサ１３の特性の劣化を操作者に知らせそ
の点検を促すことができることになる。これと同時にオ
ゾン殺菌装置１の運転が開始されないようにし、環境の
安全性を確保することができる。

【００３１】図５には、異常時処理の別の形態を示すフ
ローチャートが示されている。図５のフローチャートに
従う異常時処理は請求項２の発明の実施の形態の一例を
説明するためのものである。請求項２の発明の場合、図
５に示した異常時処理５０以外の部分は図１乃至図４に
示したものと同じである。図５に示す異常時処理５０に
ついて説明すると、異常時処理５０に入ると先ずステッ
プ５０Ａでオゾン分解運転が開始され、ステップ５０Ｂ
でオゾン分解運転が開始されてから一定時間（例えば３
０分）が経過したか否かが判別される。一定時間が経過
していない場合にはステップ５０Ｂの判別結果はＮＯと
なり、ステップ５０Ｂの実行を繰り返す。オゾン分解運
転が開始されてから一定時間が経過するとステップ５０
Ｂの判別結果はＹＥＳとなり、ステップ５０Ｃにおいて
オゾン分解運転が停止される。

【００３２】すなわち、オゾン殺菌装置１の運転開始時
に吹込み通路４Ｃ内のオゾン濃度が所定の環境基準値を
越えているような場合には、上述のようにオゾン分解運
転を所定の一定時間行い、そのオゾン濃度を低下させる
趣旨である。

【００３３】しかる後、ステップ５０Ｄで再度第１電圧
信号Ｖ１と第２電圧信号Ｖ２とを入力してレベル差を検
出し、ステップ５０Ｅでは第１電圧信号Ｖ１と第２電圧
信号Ｖ２とのレベル差｜Ｖ１−Ｖ２｜が所定値Ｋ以下で
あるか否かが判別される。レベル差｜Ｖ１−Ｖ２｜が所
定値Ｋ以下であるとステップ５０Ｅの判別結果はＹＥＳ
となり、ステップ３５に進み通常制御が行われることに
なる。すなわち、殺菌ブース２内のオゾン濃度が人体に
影響のない環境基準値にまで下ったことが確認されてか
らオゾン殺菌装置１の運転が開始されることになる。

【００３４】一方、ステップ５０Ｅの判別結果がＮＯと
なった場合には、オゾン分解運転を一定時間実行したに
も拘らず吹込み通路４Ｃ内のオゾン濃度が人体に影響を
与えないとされている所定の低レベルを越えていること
を意味している。したがって、ステップ５０Ｆにおいて
警報信号ＡＬを出力し、これにより発光ダイオード２８
（図３参照）を点灯させ、操作者にオゾン濃度が高い状
態にあるか、或いはオゾンセンサ１３の特性が異常にな
っていることを知らせる。そして、次のステップ５０Ｇ
においてオゾン殺菌装置１の運転開始を禁止する制御を
行い、この制御プログラムの実行を終了する。

【００３５】ここで、ステップ５０Ｅの判別結果がＮＯ
となるのは、（１）実際に、何等かの理由でオゾン濃度
が所定の低レベル以上の場合、（２）オゾン濃度は所定
の低レベルより小さいが、オゾンセンサ１３が高濃度の
オゾンに暴露されることにより特性劣化を生じ実際のオ
ゾン濃度と異なる濃度に相当するレベルの第１信号Ｖ１
を出力している場合、の２通りが考えられる。

【００３６】したがって、この構成によれば、第１電圧
信号Ｖ１と第２電圧信号Ｖ２とのレベル差が所定値以上
となったとき、処理チャンバ４内でオゾンの分解運転を
一定時間だけ行った後、再度レベル差のチェックが行わ
れる。オゾンの分解運転を一定時間だけ行ってもそのレ
ベル差が未だ所定値以上である場合には、発光ダイオー
ド２８を点灯させることにより警報が出力され、オゾン
センサ１３の特性の劣化を操作者に知らせその点検を促
すことができる。これと同時にオゾン殺菌装置１の運転
が開始されないようにし、環境の安全性を確保する。以
上のようにオゾン分解運転を行った後、再チェックして
オゾンセンサ１３の異常を確定する構成にする理由は既
に説明した通りであり、これによりより確実にオゾンサ
ンサ１３の不良判定を行うことができる。

【００３７】図６には、異常時処理の更に別の実施の形
態を示すフローチャートが示されている。図６のフロー
チャートに従う異常時処理は請求項３の発明の実施の形
態の一例を説明するためのものである。請求項３の発明
の場合、図６に示した異常時処理６０以外の部分は図１
乃至図４に示したものと同じである。図６に示す異常時
処理６０について説明すると、先ずステップ６０Ａにお
いて警報信号ＡＬを出力し、これにより発光ダイオード
２８（図３参照）を点灯させ、操作者にオゾン濃度が高
い状態にあることを知らせる。そして、次のステップ６
０Ｂにおいてオゾン殺菌装置１の運転開始を禁止する制
御が行われる。

【００３８】ここで、ステップ３４の判別結果がＮＯと
なるのは、（１）実際に、何等かの理由でオゾン濃度が
所定の低レベル以上の場合、（２）オゾン濃度は所定の
低レベルより小さいが、オゾンセンサ１３が高濃度のオ
ゾンに暴露されることにより特性劣化を生じ実際のオゾ
ン濃度と異なる濃度に相当するレベルの第１信号Ｖ１を
出力している場合、の２通りが考えられる。

【００３９】次のステップ６０Ｃにおいてはオゾン分解
運転が開始され、ステップ６０Ｄでオゾン分解運転が開
始されてから一定時間が経過したか否かが判別される。
一定時間が経過していない場合にはステップ６０Ｄの判
別結果はＮＯとなり、ステップ６０Ｄの実行を繰り返
す。オゾン分解運転が開始されてから一定時間が経過す
るとステップ６０Ｄの判別結果はＹＥＳとなり、ステッ
プ６０Ｅにおいてオゾン分解運転が停止され、制御プロ
グラムの実行が終了する。

【００４０】すなわち、オゾン殺菌装置１の運転開始前
に吹込み通路４Ｃ内のオゾン濃度が所定の環境基準値を
越えているような場合には、警報を出力してオゾン殺菌
装置１の運転開始を禁止した状態でオゾン分解運転が所
定の一定時間行われ、そのオゾン濃度を低下させる処理
を行う趣旨である。

【００４１】この構成によると、オゾン殺菌装置１の運
転開始前に第１電圧信号Ｖ１と第２電圧信号Ｖ２とのレ
ベル比較を行なうことによってオゾンセンサ１３の特性
に不具合が生じたか否かをチェックすることができる。
第１電圧信号Ｖ１と第２電圧信号Ｖ２とのレベル差が所
定値以上となったとき発光ダイオード２８の点灯による
警報が出力され、オゾンセンサ１３の特性の劣化を操作
者に知らせその点検を促すことができる。これと同時に
オゾン殺菌装置１の運転が開始されないようにして安全
性の確保を図る。さらに、警報の出力に応答し、処理チ
ャンバ４内でオゾンの分解運転が一定時間だけ行われ、
環境の安全性を確保することができる。

【００４２】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、オゾンセンサ
が殺菌のために必要な高濃度のオゾンに暴露されること
により第１信号のレベルがその時の実際のオゾン濃度に
対する所定のレベルと異なってしまい、第１信号と第２
信号とのレベル差が所定値以上となったとき警報・制御
手段によって警報が出力され、オゾンセンサの特性の劣
化を操作者に知らせその点検を促すことができる。これ
と同時にオゾン殺菌装置の運転が開始されないように
し、環境の安全性を確保するので、安全性の高い動作を
確保することができる。

【００４３】請求項２の発明によれば、第１信号と第２
信号とのレベル差が所定値以上となったとき、先ず運転
制御手段によってチャンバ内におけるオゾンの分解運転
を一定時間だけ行った後、再度レベル差のチェックが行
われ、オゾンの分解運転を一定時間だけ行っても未だレ
ベル差が所定値以上である場合には、警報・制御手段に
よって警報が出力され、オゾンセンサの特性の劣化を操
作者に知らせその点検を促すことができる。これと同時
にオゾン殺菌装置の運転が開始されないようにし、環境
の安全性を確保することができる。この結果、安全性の
高い動作を確保することができる。

【００４４】請求項３の発明によれば、オゾン殺菌装置
の運転開始時に第１信号と第２信号とのレベル比較を行
なうことによってオゾンセンサの特性に不具合が生じた
か否かをチェックすることができ、第１信号と第２信号
とのレベル差が所定値以上となったとき警報・制御手段
によって警報が出力され、オゾンセンサの特性の劣化を
操作者に知らせその点検を促すことができる。これと同
時にオゾン殺菌装置の運転開始が禁止され、さらに、警
報の出力に応答して分解運転制御手段によってチャンバ
内におけるオゾンの分解運転を一定時間だけ行い、環境
の安全性を確保することができる。この結果、安全性の
高い動作を確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるオゾン殺菌装置の実施の形態の一
例を示す概略構成図。

【図２】図１のオゾン殺菌装置の吸込みダクト部及び吹
出しダクト部の構成を拡大して詳細に示す要部拡大詳細
図。

【図３】図１のオゾン殺菌装置の制御系統を示す回路
図。

【図４】請求項１の発明の実施の形態を説明するため
の、図３に示すマイクロコンピュータ装置で実行される
制御プログラムを示すフローチャート。

【図５】請求項２の発明の実施の形態を説明するため
の、図３に示すマイクロコンピュータ装置で実行される
制御プログラムの要部を示すフローチャート。

【図６】請求項３の発明の実施の形態を説明するため
の、図３に示すマイクロコンピュータ装置で実行される
制御プログラムの要部を示すフローチャート。

【符号の説明】

１ オゾン殺菌装置 ２ 殺菌ブース ３ オゾン発生器 ４ 処理チャンバ ８ 制御装置 １３ オゾンセンサ ２２ マイクロコンピュータ装置 Ｖ１ 第１電圧信号 Ｖ２ 第２電圧信号 ２４ 電圧発生回路 ２８ 発光ダイオード ＡＬ 警報信号

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 殺菌ブースと、オゾン発生器と、殺菌時
   には前記殺菌ブース内の空気に前記オゾン発生器からの
   オゾンを混入して所定のオゾン濃度の殺菌用環境を前記
   殺菌ブース内に生じさせると共に殺菌終了後は前記殺菌
   ブース内の空気のオゾン濃度を所定の低レベル状態に戻
   すようオゾン分解処理を行うための処理チャンバとを備
   えたオゾン殺菌装置において、 前記殺菌ブース内のオゾン濃度を検出するためのオゾン
   センサを含み前記殺菌ブース内のオゾン濃度に応じたレ
   ベルの第１信号を出力する第１回路と、 前記所定の低レベル状態時における前記第１信号のレベ
   ルが正常か否かを判別するための所定の一定レベルの第
   ２信号を出力するための信号出力手段と、 前記第１信号と前記第２信号とに応答し前記オゾン殺菌
   装置の運転開始時に前記第１信号と前記第２信号とのレ
   ベル差を検出する検出手段と、 該検出手段に応答し前記レベル差が所定値以上である場
   合には警報を出力すると共に前記オゾン殺菌装置の運転
   が開始されないようにする警報・制御手段とを備えたこ
   とを特徴とするオゾン殺菌装置。
2. 【請求項２】 殺菌ブースと、オゾン発生器と、殺菌時
   には前記殺菌ブース内の空気に前記オゾン発生器からの
   オゾンを混入して所定のオゾン濃度の殺菌用環境を前記
   殺菌ブース内に生じさせると共に殺菌終了後は前記殺菌
   ブース内の空気のオゾン濃度を所定の低レベル状態に戻
   すようオゾン分解処理を行うための処理チャンバとを備
   えたオゾン殺菌装置において、 前記殺菌ブース内のオゾン濃度を検出するためのオゾン
   センサを含み前記殺菌ブース内のオゾン濃度に応じたレ
   ベルの第１信号を出力する第１回路と、 前記所定の低レベル状態時における前記第１信号のレベ
   ルが正常か否かを判別するための所定の一定レベルの第
   ２信号を出力するための信号出力手段と、 前記第１信号と前記第２信号とに応答し前記オゾン殺菌
   装置の運転開始時に前記第１信号と前記第２信号とのレ
   ベル差を検出する検出手段と、 該検出手段に応答し前記レベル差が所定値以上である場
   合には前記オゾン殺菌装置の運転開始に先立って前記チ
   ャンバにおいてオゾン分解運転を一定時間だけ行わせる
   ための運転制御手段と、 該運転制御手段によるオゾン分解運転の終了後前記第１
   信号と前記第２信号とのレベル差が所定値以上である場
   合には警報を出力すると共に前記オゾン殺菌装置の運転
   が開始されないようにする警報・制御手段とを備えたこ
   とを特徴とするオゾン殺菌装置。
3. 【請求項３】 殺菌ブースと、オゾン発生器と、殺菌時
   には前記殺菌ブース内の空気に前記オゾン発生器からの
   オゾンを混入して所定のオゾン濃度の殺菌用環境を前記
   殺菌ブース内に生じさせると共に殺菌終了後は前記殺菌
   ブース内の空気のオゾン濃度を所定の低レベル状態に戻
   すようオゾン分解処理を行うための処理チャンバとを備
   えたオゾン殺菌装置において、 前記殺菌ブース内のオゾン濃度を検出するためのオゾン
   センサを含み前記殺菌ブース内のオゾン濃度に応じたレ
   ベルの第１信号を出力する第１回路と、 前記所定の低レベル状態時における前記第１信号のレベ
   ルが正常か否かを判別するための所定の一定レベルの第
   ２信号を出力するための信号出力手段と、 前記第１信号と前記第２信号とに応答し前記オゾン殺菌
   装置の運転開始時に前記第１信号と前記第２信号とのレ
   ベル差を検出する検出手段と、 該検出手段に応答し前記レベル差が所定値以上である場
   合には警報を出力すると共に前記オゾン殺菌装置の運転
   が開始されないようにする警報・制御手段と、 前記警報の出力に応答し前記チャンバにおいてオゾン分
   解運転を所定の時間だけ行わせるための分解運転制御手
   段とを備えたことを特徴とするオゾン殺菌装置。