JPH092566A - 基板搬送用カセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板１を出し入れする際の基板１とカセット
側との擦れを防止し、基板１との接触面からの発塵や基
板１の帯電を防止する。 【構成】 カセット本体12の収納部16の両側に側縁支持
部20を設ける。側縁支持部20は、基板１の両側縁部を係
合する第１の段部23を設け、第１の段部23の上部外側に
第２の段部26を設ける。第１の段部23の基板１との接触
面21，22を非導電材にて形成し、接触面以外を導電材に
て形成する。 【効果】 第１の段部23でカセット搬送時の基板１の移
動を規制し、第１の段部23より間隔が広い第２の段部26
で基板１の出し入れ時の横ぶれに対応できる。基板１と
の接触面21，22を非導電材とし、接触面以外を導電材と
して、接触面21，22からの発塵や、基板１の帯電を防止
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板を収納して搬送す
るための基板搬送用カセットに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、たとえば、液晶表示器の製造工程
においては、液晶表示器の基板を基板搬送用カセット内
に多段に収納し、この基板搬送用カセットによって各工
程の製造装置の間を移動させている。その各製造装置に
は、基板搬送用カセット内の基板を１枚ずつ製造装置側
に取り出したり、挿入するための基板移載機を備えてい
る。

【０００３】従来の基板搬送用カセットは、たとえば、
特開平２−２９５１５０号公報に記載されているよう
に、カセット本体を備え、このカセット本体の内部に基
板をほぼ水平に収納する収納部が形成されるとともに、
この収納部の前面に基板を出し入れする開口部が形成さ
れている。カセット本体の収納部の両側には基板の両側
縁部を載置して支持する側縁支持部が配設され、収納部
の後側に基板の後方への移動を規制する円柱状のストッ
パが配設されている。

【０００４】側縁支持部は、基板の側縁部を載置する載
置面を有するとともに、この載置面の外端から立ち上げ
られ基板の側縁方向への移動を規制する規制面を備えて
いる。両側の側縁支持部の規制面の対向間隔は、基板の
出し入れの際に基板の側縁部が規制面に当接しないよう
に、基板の横幅よりも広く形成されている。

【０００５】そして、基板搬送用カセットから基板を取
り出すときには、基板移載機のハンドが基板の下側に侵
入し、基板を上方へ多少持ち上げて載置面から離反させ
た後、そのまま基板を前方へ水平移動させて取り出す。
また、基板搬送用カセット内に基板を収納するときに
は、基板移載機によって基板を水平移動させて収納部内
に挿入させた後、基板を下降させて載置面に載置させ
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板搬送用カセットでは、カセット搬送時の振動などに
より基板が移動して一方の側縁支持部に片寄ることがあ
り、その状態から基板を上方へ多少持ち上げて載置面か
ら離反させた後に、基板を前方へ水平移動させて取り出
すとき、基板移載機の横ぶれによっては基板の一側縁部
が一方の側縁支持部の規制面を擦り、規制面からの発塵
や基板にマイクロクラックが生じる問題がある。

【０００７】また、基板搬送用カセットの両側の側縁支
持部によって両側縁のみが支持される基板は、横幅が広
い程、その中央部分が下方へ大きく湾曲するたわみが生
じる。そのため、基板の出し入れの際、出し入れする基
板の下側に侵入しようとする基板移載機のハンドがその
基板の前縁に接触したり、基板移載機のハンドが基板の
下面を擦り、発塵やマイクロクラックが生じる問題があ
る。

【０００８】しかも、カセット搬送時の振動によって基
板が移動したり基板自体が大きく振動して側縁支持部の
載置面との間で擦れが生じ、発塵する問題がある。

【０００９】本発明は、上記のような点に鑑みなされた
もので、基板を出し入れする際の基板とカセット側との
擦れを防止するとともに基板との接触面からの発塵や基
板の帯電を防止し、また、基板の下方へのたわみを低減
し、カセット搬送時の基板の振動を低減できる基板搬送
用カセットを提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の基板搬送用カセ
ットは、カセット本体の収納部の両側に側縁支持部を配
設し、この側縁支持部に、基板の側縁部が係合する第１
の段部を設けるとともに、この第１の段部の上部外側に
両側の第１の段部の対向間隔より広い間隔があけられる
第２の段部を設ける。第１の段部の基板との接触面は非
導電材にて形成し、その接触面以外は導電材にて形成す
る。

【００１１】また、カセット本体の収納部の後側に、基
板の後縁部を支持する後縁支持部を配設する。

【００１２】

【作用】本発明の基板搬送用カセットでは、側縁支持部
の第１の段部によってカセット搬送時の振動などによる
基板の移動を規制し、第１の段部より間隔が広い第２の
段部によって基板の出し入れ時の横ぶれに対応可能とす
る。基板との接触面を非導電材として、その接触面を導
電材で形成した場合のカーボンなどの発塵を防止し、そ
の接触面以外を導電材として基板に静電気が帯電するの
を防止する。

【００１３】また、後縁支持部によって、両側の側縁支
持部で両側縁部が支持される基板が下方へのたわむのを
低減し、カセット搬送時の基板の振動を抑える。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の基板搬送用カセットの一実施
例の構成を図面を参照して説明する。

【００１５】なお、本実施例では、液晶表示器の製造工
程において、液晶表示器の基板を基板搬送用カセット内
に多段に収納し、この基板搬送用カセットによって各工
程の製造装置の間を移動させ、各製造装置では基板移載
機によって基板搬送用カセット内の基板を１枚ずつ製造
装置側に取り出したり、挿入するものとする。

【００１６】図１および図２において、１は基板で、こ
の基板１は、たとえば、液晶表示器に使用されるもので
あり、無アルカリケイ酸塩ガラスにて、横幅ｂ1 が５５
０mm、前後幅（縦）ｂ2 が６５０mm、厚さｔが０．７mm
の直方体形状に形成されている。

【００１７】11は基板搬送用カセットで、この基板搬送
用カセット11は、カセット本体12を有し、このカセット
本体12は、上板13、底板14、両側の複数の側板15によっ
て箱状に形成され、内部に基板１がほぼ水平で上下方向
に沿って多段に収納される収納部16が形成されていると
ともに、この収納部16の前面に基板１が出し入れされる
開口部17が形成されている。なお、このカセット本体12
は導電材にて形成されている。

【００１８】側板15は上板13および底板14の前部、中間
部および後部に配設され、その各側板15の内面に側縁支
持体18が一体に形成されている。この側縁支持体18は、
側板15と一体の上下方向に長い基板19を備え、この基板
19に上下方向に沿って複数段の側縁支持部20が形成され
ている。

【００１９】各側縁支持部20は、基板１の両側縁部を載
置するほぼ水平な載置面21およびこの載置面21の外端か
らほぼ垂直に立ち上げられた規制面22を設けた第１の段
部23を有するとともに、この第１の段部23の規制面22の
上端から外方へ向けてほぼ水平な逃げ面24およびこの逃
げ面24の外端から立ち上げられた立上面25を設けた第２
の段部26を有している。

【００２０】なお、第１の段部23の載置面21および規制
面22すなわち基板１との接触面は、基板１との摩擦係数
が０．５以上となる材質、たとえば熱可塑性ポリエステ
ルエラストマなどの非導電材にて形成されている。ま
た、その第１の段部23の載置面21および規制面22以外は
導電材にて形成されている。

【００２１】そして、両側の対向する側縁支持部20にお
いて、載置面21の先端間の間隔をＬ1 、第１の段部23の
規制面22の間隔をＬ2 、第２の段部26の立上面25の間隔
をＬ3 とすると、基板１の横幅ｂ1 に対して、第１の段
部23の規制面22の間隔Ｌ2 が９mm程度、第２の段部26の
立上面25の間隔Ｌ3 が１４mm程度広く形成されている。

【００２２】すなわち、第１の段部23の規制面22の間隔
Ｌ2 は、基板１の外形精度：±０．５mm、カセット本体
12の精度：±１．０mm、カセット本体12の側板15の垂直
度（経時変化含む）：±１．５mm、カセットゲージング
精度：±０．２mm、基板移載機の停止精度：±０．５mm
にマージン：±０．８mmを加えた±４．５mmから、基板
１の横幅ｂ1 より９mm程度広く形成されている。また、
第２の段部26の立上面25の間隔Ｌ3 は、下段の±４．５
mmに、基板移載機の動作時左右振れ：±２．０mm、マー
ジン：±０．５mmを加えた±７．０mmから、基板１の横
幅ｂ1 より１４mm程度広く形成されている。

【００２３】しかも、それら各精度の向上により、第１
の段部23の規制面22の間隔Ｌ2 は基板１の横幅ｂ1 より
５mm以上とすることができ、また、第２の段部26の立上
面25の間隔Ｌ3 は基板１の横幅ｂ1 より７mm以上とする
ことが可能である。

【００２４】また、規制面22の高さＨは、基板移載機に
よる出し入れ時に基板１が昇降される高さよりも低く設
定される。

【００２５】基板搬送用カセット11の上板13および底板
14の後縁部間には、一対の後縁支持体28が配設されてい
る。この後縁支持体28は、上下方向に長い基板29を備
え、この基板29に上下方向に沿って各側縁支持部20に対
応する複数段の後縁支持部30が形成されている。各後縁
支持部30は、基板１の後縁部を載置するほぼ水平な載置
面31およびこの載置面31からほぼ垂直に立ち上げられた
規制面32を備えている。

【００２６】なお、載置面31および規制面32すなわち基
板１との接触面は、基板１との摩擦係数が０．５以上と
なる材質、たとえば熱可塑性ポリエステルエラストマな
どの非導電材にて形成されている。また、その載置面31
および規制面32以外は導電材にて形成されている。

【００２７】また、後縁支持体28は、両側の側縁支持体
20間に支持される基板１の自重によるたわみ量が均一と
なる両側の側縁支持部20間の等間隔Ｌ4 の位置に一対配
設されている。すなわち、両側の側縁支持部20間の間隔
Ｌ1 を５４０mmとすれば、間隔Ｌ4 は１８０mmとなる。

【００２８】また、後縁支持部30は対応する両側の側縁
支持部20とともに基板１を載置して支持するものである
が、後縁支持部30は側縁支持部20より３〜６mm下方に位
置する。

【００２９】ここで、後縁支持部30が側縁支持部20より
３〜６mm下方に位置する理由について説明する。図３に
示すように、後縁支持部30の載置面31の高さと側縁支持
部20の載置面21の高さとの相対的な高低差を横軸に、基
板１の最大たわみ量を縦軸にプロットすると、後縁支持
部30と側縁支持部20が同じ高さのときに最大たわみ量の
最大値を示すとともに、後縁支持部30が基板１から下方
へ離れた状態で最大たわみ量の最小値を示す。これは、
基板１の自重によるたわみ量が後縁支持部30により基板
１の後縁部だけ強制的に規制されるために、基板１の前
縁部がより下方へたわむことによって生じる。

【００３０】この場合、後縁支持部30の近傍の最も後側
の側縁支持部20に対して基板１は浮く現象を示す。図４
の実線に示すように、後縁支持部30と側縁支持部20との
高低差に対して浮き量をプロットすると、後縁支持部30
と側縁支持部20が同じ高さのときに浮き量の最大値を示
すとともに、後縁支持部30が側縁支持部20よりも３mm以
上下がったときに浮き量が０になる。基板１が側縁支持
部20から浮き上がっている場合、この側縁支持部20は機
能しないことになり、このような状態で基板搬送用カセ
ット11に基板１を収納して移動すれば、側縁支持部20と
基板１とが浮いている箇所では基板１が移動等の振動に
より大きな振れを生じ、結果として基板１と側縁支持部
20との擦れを生じ、基板１にマイクロクラックなどを発
生させる。よって、後縁支持部30は側縁支持部20に対
し、３mm以上低く設定する必要がある。

【００３１】一方、加速度ピックアップを取り付けた基
板１を基板搬送用カセット11に収納し、この基板搬送用
カセット11を台車などに搭載して段差のついた床上を移
動させ、後縁支持部30と側縁支持部20との高低差の値ご
とに、加速度ピックアップによって基板１に作用する振
動加速度を測定する振動試験を実施した。その結果を、
図４の破線に示す。この結果から、後縁支持部30と側縁
支持部20との高低差が３〜６mmの位置が最適であること
がわかる。

【００３２】よって、横幅が５５０mm、前後幅が６５０
mm、厚さが０．７mmの基板１を対象とする場合、後縁支
持部30を側縁支持部20より３〜６mm下方に位置させるこ
とにより、基板１の振動を最も低減できる。

【００３３】そして、その後縁支持部30と側縁支持部20
の高低差の値は、両側の側縁支持部20のみによって基板
１の両側縁部のみを支持するときの基板１のたわみ量の
１／３以下となる。

【００３４】以上のように構成された基板搬送用カセッ
ト11により、液晶表示器の製造工程において、基板１を
基板搬送用カセット11内に多段に収納し、この基板搬送
用カセット11によって各工程の製造装置の間を移動さ
せ、各製造装置では基板移載機によって基板搬送用カセ
ット11内の基板１が１枚ずつ製造装置側に取り出された
り、挿入される。

【００３５】基板搬送用カセット11から基板１を取り出
すときには、基板移載機のハンドが基板１の下側に侵入
し、基板１を上方へ多少持ち上げて側縁支持部20の載置
面21および後縁支持部30の載置面31から離反させた後、
そのまま基板１を前方へ水平移動させて取り出す。ま
た、基板搬送用カセット11内に基板１を収納するときに
は、基板移載機によって基板１を水平移動させて収納部
16内に挿入させた後、基板１を下降させて各載置面21，
31に載置させる。

【００３６】そして、側縁支持部20には、第１の段部23
と第２の段部26が形成されている。この第１の段部23に
よって、カセット搬送時の振動などにより収納されてい
る基板１が大きく移動してしまうのを規制できる。第２
の段部26によって、基板１の出し入れ時に、基板１の側
縁部が側縁支持体18に接触するのを防止できる。これ
は、たとえば、基板１を取り出すとき、基板移載機によ
って基板１を上方へ多少持ち上げて載置面21，31から離
反させた状態で、基板１は第１の段部23から第２の段部
26の高さ位置に上昇され、この状態から基板１が前方へ
水平移動されて取り出されるため、基板移載機の横ぶれ
によって基板１の側縁部が側縁支持体18に擦ることがな
い。そのため、基板１の出し入れ時において、発塵や基
板１にマイクロクラックが生じるのを防止できる。

【００３７】また、両側の側縁支持部20によって両側縁
が支持される基板１は、その横幅が広い程、その中央部
分が下方へ大きく湾曲するたわみが生じるが、後縁支持
部30によって基板１の中央部分が下方へのたわむのを低
減できる。そのため、基板の出し入れの際には、従来の
ように出し入れする基板１の下側に侵入しようとする基
板移載機のハンドがその基板１の前縁に接触したり、基
板移載機のハンドが基板１の下面を擦り、発塵やマイク
ロクラックが生じるような問題を解消できる。カセット
搬送時には、基板１が振動するのを低減できる。

【００３８】また、側縁支持部20の第１の段部23によっ
てカセット搬送時の基板１の移動を規制できるととも
に、後縁支持部30によってカセット搬送時の基板１の振
動を低減でき、載置面21，31と基板１との間の擦れを低
減して、発塵を減少させることができる。

【００３９】また、後縁支持体28の後縁支持部30が両側
の側縁支持部20間の等間隔位置に一対配設されるため、
両側の側縁支持体20間に支持される基板１の自重による
たわみ量を均一にできる。

【００４０】また、横幅が５５０mm、前後幅が６５０m
m、厚さが０．７mmの基板１を対象とする場合に、後縁
支持部30は側縁支持部20より３〜６mm下方に位置するこ
とにより、基板１の振動を最も低減できる。

【００４１】この後縁支持部30と側縁支持部20の高低差
の値は、両側の側縁支持部20のみによって基板１の両側
縁部のみを支持するときの基板１のたわみ量の１／３以
下とすることにより、基板１の振動を低減できる。

【００４２】また、載置面21，31および規制面22，32す
なわち基板１との接触面が非導電材にて形成されるた
め、その接触面を導電材で形成した場合に基板１と接触
面との擦れによってカーボンなどが発塵するのを防止で
きる。その接触面以外は導電材にて形成されるため、基
板１に静電気が帯電するのを防止できる。

【００４３】しかも、載置面21，31および規制面22，32
すなわち基板１との接触面の材質を基板１との摩擦係数
が０．５以上となる材質、たとえば熱可塑性ポリエステ
ルエラストマとすることにより、カセット搬送時の振動
などによる基板１の移動を防止し、発塵を低減できる。

【００４４】

【発明の効果】本発明の基板搬送用カセットによれば、
側縁支持部の第１の段部によってカセット搬送時の振動
などによる基板の移動を規制でき、第１の段部より間隔
が広い第２の段部によって基板の出し入れ時の横ぶれに
対応でき、さらに、基板との接触面を非導電材とすると
ともに、その接触面以外を導電材として、接触面からの
発塵や基板の帯電を防止できる。

【００４５】また、後縁支持部によって、両側の側縁支
持部で両側縁部が支持される基板の下方へのたわみを低
減できるとともに、カセット搬送時の基板の振動を低減
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す基板搬送用カセットの
一部を切り欠いた斜視図である。

【図２】同上実施例の基板搬送用カセットの一部を拡大
した正面図である。

【図３】側板支持部と後縁支持部の高低差に対する基板
最大たわみ量を示すグラフである。

【図４】側板支持部と後縁支持部の高低差に対する基板
浮き量および振動加速度を示すグラフである。

【符号の説明】

１ 基板 11 基板搬送用カセット 12 カセット本体 16 収納部 17 開口部 20 側縁支持部 21 接触面を構成する載置面 22 接触面を構成する規制面 23 第１の段部 26 第２の段部 30 後縁支持部

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部に基板をほぼ水平に収納する収納部
   を有するとともに、この収納部の前面に基板を出し入れ
   する開口部を有し、導電材にて形成されたカセット本体
   と、 このカセット本体の収納部の両側に対向配設され、前記
   基板の側縁部が係合する第１の段部を有するとともに、
   この第１の段部の上部外側に両側の第１の段部の対向間
   隔より広い間隔があけられる第２の段部を有し、第１の
   段部の基板との接触面が非導電材にて形成されるととも
   にその接触面以外が導電材にて形成された側縁支持部と
   を具備していることを特徴とする基板搬送用カセット。
2. 【請求項２】 内部に基板をほぼ水平に収納する収納部
   を有するとともに、この収納部の前面に基板を出し入れ
   する開口部を有するカセット本体と、 このカセット本体の収納部の両側に配設され、前記基板
   の両側縁部を支持する側縁支持部と、 前記カセット本体の収納部の後側に配設され、前記基板
   の後縁部を支持する後縁支持部とを具備していることを
   特徴とする基板搬送用カセット。
3. 【請求項３】 後縁支持部は、両側の側縁支持部間の等
   間隔位置に一対配設されたことを特徴とする請求項２記
   載の基板搬送用カセット。
4. 【請求項４】 後縁支持部は側縁支持部より下方に位置
   するとともに、後縁支持部と側縁支持部の高低差は両側
   の側縁支持部のみによって基板の両側縁部のみを支持す
   るときの基板のたわみ量の１／３以下とすることを特徴
   とする請求項２または３記載の基板搬送用カセット。
5. 【請求項５】 横幅が５５０mm、前後幅が６５０mm、厚
   さが０．７mmの基板を対象とするとき、後縁支持部は側
   縁支持部より３〜６mm下方に位置することを特徴とする
   請求項２または３記載の基板搬送用カセット。
6. 【請求項６】 基板との接触面は、基板との摩擦係数が
   ０．５以上となる材質にて形成したことを特徴とする請
   求項１ないし５いずれか記載の基板搬送用カセット。
7. 【請求項７】 基板との摩擦係数が０．５以上となる材
   質は、熱可塑性ポリエステルエラストマであることを特
   徴とする請求項６記載の基板搬送用カセット。