JPH0925890A - ターボ分子ポンプ - Google Patents

ターボ分子ポンプ

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JPH0925890A
JPH0925890A JP8154357A JP15435796A JPH0925890A JP H0925890 A JPH0925890 A JP H0925890A JP 8154357 A JP8154357 A JP 8154357A JP 15435796 A JP15435796 A JP 15435796A JP H0925890 A JPH0925890 A JP H0925890A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ロータの軸方向固有振動数が公称回転速度よ
りはるかに小さいロータの回転速度に対応するように、
より小さな軸方向の剛性を有するターボ分子ポンプを提
案する。 【解決手段】 一つのステータ（１、９）と、二つの転
がり軸受（６、８）を用いてステータ中で支えられる一
つのロータ（２）を備えたターボ分子ポンプであって、
二つの軸受のうちの少なくとも一つ（８）が、ロータ
（２）に対して軸方向の止め具の役割を果たすステータ
（９−１）の少なくとも一つの支え面（１６）上で支え
られており、前記の支え面（１６）上の前記の軸受
（８）の支承は、せん断式でなくたわみ式である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、転がり軸受上に取
り付けられるターボ分子ポンプに関する。
【０００２】ターボ分子ポンプとは、回転翼型またはホ
ルウェック型の機械式ポンプ、あるいはその両方を組み
合わせたものを意味する。
【０００３】数多くの用途において、とりわけ計装の分
野では、ターボ分子ポンプは非常に低い振動レベルを有
していなければならない。
【０００４】転がり軸受の周囲に配置されたエラストマ
製の環状継手を用いて径方向の振動を遮断する方法が知
られている。
【０００５】軸方向において、軸受の少なくともいずれ
か一つがステータの肩部に支えられている。この支承
は、ロータとステータとの間の軸方向の遊びを決定する
軸方向の位置決め基準となる。この支承用肩部は軸方向
の負荷作用の下にせん断式に作用する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、軸受を介し
てこの肩部に支えられたロータで構成されている振動シ
ステムは剛性が大きく、その固有振動数は残念なこと
に、まさにポンプの公称回転速度の範囲内である。
【０００７】本発明の目的は、ロータの軸方向固有振動
数が公称回転速度よりはるかに小さいロータの回転速度
に対応するように、より小さな軸方向の剛性を有するポ
ンプを提案することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このように、本発明は、
一つのステータと、二つの転がり軸受を用いてステータ
中で支えられている一つのロータを有するターボ分子ポ
ンプを対象としており、これらの軸受の少なくとも一つ
は、ロータに対して軸方向止め具の役割を果たすステー
タの少なくとも一つの支え面上に支えられており、前記
の支え面上の前記の軸受の支承は、せん断式ではなく、
たわみ式であることを特徴とする。
【０００９】この結果、ロータとステータとの間の軸方
向の遊びための軸方向の基準となるために十分な剛性を
もつ支承をつくりだしながら、その一方で軸方向にロー
タの優れた振動遮断を行うことができる。これは、エラ
ストマのワッシャでは得ることができない。
【００１０】この支え面は、単一の環状支え面でつくる
こともできるし、また複数の支え面、たとえばそれぞれ
が曲げビームを構成する三つの支え面で構成することも
できる。
【００１１】添付の図面を参照して、以下に本発明の実
施形態を説明する。
【００１２】
【発明の実施の形態】図面を参照すると、ターボ分子ポ
ンプは、ステータ１とロータ２を備えている。ロータ２
は、ロータ２を締め付ける止めネジ４によって、シャフ
ト３に連結しており、第１の軸受６の内側リング５は、
シャフト３の肩部７に支えられている。
【００１３】ロータ２は、防振型ロータ継手、軸受６に
ついては継手１０、軸受７については継手１１を介して
ステータ１の内部９のなかに取り付けられた第１の軸受
６及び第２の軸受８によってステータ１の中に支えられ
ている。エラストマでできたこれらの継手１０と１１
は、ステータ１においてロータ２の径方向の振動遮断を
行う。軸受８の内側リング１２は、止めネジ１４によっ
てシャフト３の肩部１３に対して締め付けられている。
ステータ１の中のロータ２の軸方向の位置決め基準は、
一方ではステータの支え面１８に、もう一方では軸受６
の外側リング１９に支えられている予荷重ばね１７を用
いたステータ１の一部９の支え面１６に対する軸受８の
外側リング１５の支承によって与えられる。このばね１
７は、ロータ全体を高方に向かって、前記の支え面１６
に対する軸受８の外側リング１５の支承まで押し付け
る。
【００１４】本発明によると、図２に示されているよう
に、支え面１６に対する軸受８の外側リング１５の支承
は、せん断式ではなくたわみ（曲げ）式の支承である。
【００１５】実際に、リング１５は、支え面１６上で、
支え面の底部２０においてではなく、支え面をたわませ
ることができるように単にこの底面から一定の間隔ｄを
あけて支えられている。
【００１６】備えられている溝２１のなかにこの支え面
１６に対して防振継手１１を置くためにこの構造が利用
される。当然のことながら、溝の深さは支え面１６の
「張り出し（ｐｏｒｔｅ ａ ｆａｕｘ）」とみなされ
る。また、もちろんこの場所に継手を置くためにこの支
え面１６が利用できるという利点はあるが、このことは
必ずしも必要なく、継手を外側リング１５上のもっと低
い位置に置くこともできる。
【００１７】支え面１６は単一の環状支え面であるが、
それぞれがたわみ式の一種のビーム、たとえば三本のビ
ームによる複数の支承で構成することもできる。
【００１８】以下の値は一つの例である。
【００１９】シャフト付きのすべてを含むポンプのロー
タの質量は２５０グラムである。
【００２０】公称回転速度は１分間に６００００回転で
ある。
【００２１】支え面１６は、内径１３ｍｍの単一環状支
え面であり、間隔ｄは７ｍｍ、この支え面の厚みｅは
０．７ｍｍである。
【００２２】軸方向の共振は、１分間に３００００回転
の回転速度に位置している。
【００２３】全体の軸方向の剛性は、２．５×１０6 Ｎ
／ｍである。
【００２４】この剛性は、ステータとロータの回転翼間
の軸方向の遊びｊ＝０．３ｍｍを得るのに十分である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるターボ分子ポンプを示す図であ
る。
【図２】図１を拡大した詳細図である。
【符号の説明】
１、９ ステータ ２ ロータ ３ シャフト ４、１４ 止めネジ ５ 内側リング ６、８ 転がり軸受 ７、１３ 肩部 １０、１１ 継手 １２ 内側リング １５、１９ 外側リング １６、１８ 支え面 １７ 予荷重ばね

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 一つのステータ（１、９）と、二つの転
    がり軸受（６、８）を用いてステータ中で支えられる一
    つのロータ（２）を備えたターボ分子ポンプであって、
    二つの軸受のうちの少なくとも一つ（８）が、ロータ
    （２）に対して軸方向の止め具の役割を果たすステータ
    （９−１）の少なくとも一つの支え面（１６）上で支え
    られており、前記支え面（１６）上の前記軸受（８）の
    支承は、せん断式でなくたわみ式であることを特徴とす
    るポンプ。
  2. 【請求項２】 前記の支え面（１６）が単一の環状支え
    面であることを特徴とする請求項１に記載のターボ分子
    ポンプ。
  3. 【請求項３】 それぞれが曲げビームを構成する複数の
    支え面（１６）を有することを特徴とする請求項１に記
    載のターボ分子ポンプ。
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EP0748940A1 (fr) 1996-12-18
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