JPH09260538A - 樹脂封止型半導体装置及び製造方法とその実装構造 - Google Patents
樹脂封止型半導体装置及び製造方法とその実装構造Info
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 樹脂封止型半導体装置の軽薄短小化と、その
高密度実装化を図り得る樹脂封止型半導体装置及び製造
方法とその実装構造を提供する。 【解決手段】 リードが外表面上に露出している樹脂封
止型半導体装置において、半導体素子1の回路形成面に
絶縁性接着テープ2を挟んで接着され、かつ前記半導体
素子1を内側にしてそれぞれが独立して規則的に整列さ
れ外部に露出しているスポットリード7を設ける。
高密度実装化を図り得る樹脂封止型半導体装置及び製造
方法とその実装構造を提供する。 【解決手段】 リードが外表面上に露出している樹脂封
止型半導体装置において、半導体素子1の回路形成面に
絶縁性接着テープ2を挟んで接着され、かつ前記半導体
素子1を内側にしてそれぞれが独立して規則的に整列さ
れ外部に露出しているスポットリード7を設ける。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂封止型半導体
装置及び製造方法とその実装装置に関するものである。
装置及び製造方法とその実装装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年では、ICカードやメモリーカード
が急速に発達し、これに伴って、カードの中に搭載され
る樹脂封止型半導体装置も薄型のものが要求されるよう
になってきており、その薄型化を実現させる方法も、数
多く提案されている。その一つとして、例えば、特願平
6−273262号に示すように、チップサポートの表
面及び半導体素子裏面を露出させた構造がある。この構
造では、パッケージの厚み全体を0.5mm程度にする
ことができる。
が急速に発達し、これに伴って、カードの中に搭載され
る樹脂封止型半導体装置も薄型のものが要求されるよう
になってきており、その薄型化を実現させる方法も、数
多く提案されている。その一つとして、例えば、特願平
6−273262号に示すように、チップサポートの表
面及び半導体素子裏面を露出させた構造がある。この構
造では、パッケージの厚み全体を0.5mm程度にする
ことができる。
【0003】また、特開平5−309983号公報(特
願平4−119133号)に示すように、リードをL形
曲げにすることで、実装面積を小さくすることができ
る。
願平4−119133号)に示すように、リードをL形
曲げにすることで、実装面積を小さくすることができ
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の樹脂封止型半導体装置では、パッケージが薄く
なっても、実装面積は変わっていない。つまり、リード
がモールド樹脂外に長く延びているため、プリント基板
への実装面積は、半導体素子に比べると、かなり広い面
積となり、高密度実装の実現には程遠いものである。
た従来の樹脂封止型半導体装置では、パッケージが薄く
なっても、実装面積は変わっていない。つまり、リード
がモールド樹脂外に長く延びているため、プリント基板
への実装面積は、半導体素子に比べると、かなり広い面
積となり、高密度実装の実現には程遠いものである。
【0005】本発明は、上記問題点を除去し、樹脂封止
型半導体装置の軽薄短小化と、その高密度実装化を図り
得る樹脂封止型半導体装置及び製造方法とその実装構造
を提供することを目的とする。
型半導体装置の軽薄短小化と、その高密度実装化を図り
得る樹脂封止型半導体装置及び製造方法とその実装構造
を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔1〕リードが外表面上に露出している樹脂封止型半導
体装置において、半導体素子の回路形成面に絶縁性接着
テープを挟んで接着され、かつ前記半導体素子を内側に
してそれぞれが独立して規則的に整列され外部に露出し
ているスポットリードを設けるようにしたものである。
成するために、 〔1〕リードが外表面上に露出している樹脂封止型半導
体装置において、半導体素子の回路形成面に絶縁性接着
テープを挟んで接着され、かつ前記半導体素子を内側に
してそれぞれが独立して規則的に整列され外部に露出し
ているスポットリードを設けるようにしたものである。
【0007】したがって、樹脂封止型半導体装置の軽薄
短小化と、その高密度実装化を図ることができる。 〔2〕上記〔1〕記載の樹脂封止型半導体装置におい
て、前記スポットリードと半導体素子との接続を行う、
絶縁性接着テープと同じ厚さの金属バンプを設けるよう
にしたものである。
短小化と、その高密度実装化を図ることができる。 〔2〕上記〔1〕記載の樹脂封止型半導体装置におい
て、前記スポットリードと半導体素子との接続を行う、
絶縁性接着テープと同じ厚さの金属バンプを設けるよう
にしたものである。
【0008】このように、半導体素子との接合が金属バ
ンプのみでなく絶縁性接着テープを用いることにより、
熱膨張の違いによる金属バンプへのストレスが緩和さ
れ、金属バンプの破壊等の電気的特性の低下や不良の発
生を防ぐことができる。 〔3〕上記〔1〕又は〔2〕記載の樹脂封止型半導体装
置において、前記スポットリードの側面を除いて金属メ
ッキを施すようにしたものである。
ンプのみでなく絶縁性接着テープを用いることにより、
熱膨張の違いによる金属バンプへのストレスが緩和さ
れ、金属バンプの破壊等の電気的特性の低下や不良の発
生を防ぐことができる。 〔3〕上記〔1〕又は〔2〕記載の樹脂封止型半導体装
置において、前記スポットリードの側面を除いて金属メ
ッキを施すようにしたものである。
【0009】このように、外部端子用および内部接続用
の金属メッキをスポットリードの側面には施さないよう
にしたので、モールド樹脂と金属メッキとの接触がなく
なり、モールド成形後のモールド樹脂のクラック等を防
ぐことができる。 〔4〕上記〔1〕、〔2〕又は〔3〕記載の樹脂封止型
半導体装置において、前記スポットリードと半導体素子
サポートとを有するリードフレームを設けるようにした
ものである。
の金属メッキをスポットリードの側面には施さないよう
にしたので、モールド樹脂と金属メッキとの接触がなく
なり、モールド成形後のモールド樹脂のクラック等を防
ぐことができる。 〔4〕上記〔1〕、〔2〕又は〔3〕記載の樹脂封止型
半導体装置において、前記スポットリードと半導体素子
サポートとを有するリードフレームを設けるようにした
ものである。
【0010】このように、スポットリードと半導体素子
サポートとを有するリードフレームを用いるようにした
ので、堅牢で信頼性の高い樹脂封止型半導体装置を得る
ことができる。 〔5〕上記〔2〕、〔3〕又は〔4〕記載の樹脂封止型
半導体装置において、前記スポットリードに延長リード
を設け、この延長リードの下に金属バンプを設け、この
金属バンプを介して前記半導体素子に接続するようにし
たものである。
サポートとを有するリードフレームを用いるようにした
ので、堅牢で信頼性の高い樹脂封止型半導体装置を得る
ことができる。 〔5〕上記〔2〕、〔3〕又は〔4〕記載の樹脂封止型
半導体装置において、前記スポットリードに延長リード
を設け、この延長リードの下に金属バンプを設け、この
金属バンプを介して前記半導体素子に接続するようにし
たものである。
【0011】このように、外部端子となっているスポッ
トリードを、配線のように半導体素子上の接合部まで延
長した延長リードを設けて、その延長リードに金属バン
プを接合するようにしたので、半導体素子上の回路形成
による接合部の位置にあまり依存しないで、整列された
外部端子を形成することができる。 〔6〕樹脂封止型半導体装置の製造方法において、リー
ドフレームにおける半導体素子サポートと金属メッキ後
の複数のリードを絶縁性接着テープで接着・固定する工
程と、前記複数のリードを前記リードフレームから切り
離してスポットリードを形成する工程とを施すようにし
たものである。
トリードを、配線のように半導体素子上の接合部まで延
長した延長リードを設けて、その延長リードに金属バン
プを接合するようにしたので、半導体素子上の回路形成
による接合部の位置にあまり依存しないで、整列された
外部端子を形成することができる。 〔6〕樹脂封止型半導体装置の製造方法において、リー
ドフレームにおける半導体素子サポートと金属メッキ後
の複数のリードを絶縁性接着テープで接着・固定する工
程と、前記複数のリードを前記リードフレームから切り
離してスポットリードを形成する工程とを施すようにし
たものである。
【0012】このように、金属メッキ後の複数リードを
絶縁性接着テープで接着固定した後、スポットリードに
打ち抜くため、スポットリードが目的位置に、かつ所定
の大きさに固定される。また、事前に金属メッキされる
ため、半導体装置組立工程でも、金属メッキは不要とな
る。 〔7〕樹脂封止型半導体装置の製造方法において、リー
ドフレームにおける半導体素子サポートと金属メッキ後
の複数のリードを絶縁性接着テープで接着・固定する工
程と、前記複数のリードを前記リードフレームから切り
離してスポットリードを形成する工程と、前記接着テー
プにより接着される半導体素子をモールド樹脂により樹
脂封止する工程とを施すようにしたものである。
絶縁性接着テープで接着固定した後、スポットリードに
打ち抜くため、スポットリードが目的位置に、かつ所定
の大きさに固定される。また、事前に金属メッキされる
ため、半導体装置組立工程でも、金属メッキは不要とな
る。 〔7〕樹脂封止型半導体装置の製造方法において、リー
ドフレームにおける半導体素子サポートと金属メッキ後
の複数のリードを絶縁性接着テープで接着・固定する工
程と、前記複数のリードを前記リードフレームから切り
離してスポットリードを形成する工程と、前記接着テー
プにより接着される半導体素子をモールド樹脂により樹
脂封止する工程とを施すようにしたものである。
【0013】したがって、半導体素子が安定的に支持さ
れ、堅牢な樹脂封止型半導体装置を得ることができる。 〔8〕リードが外表面上に露出している樹脂封止型半導
体装置において、複数のスポットリードが独立して半導
体素子の回路形成面に絶縁性接着テープを挟んで接着さ
れ、かつ、前記半導体素子を内側に配置してこの半導体
素子の側面にこの半導体素子の裏面に届くまで曲げら
れ、規則的に整列され外部に露出しているL形リードを
設けるようにしたものである。
れ、堅牢な樹脂封止型半導体装置を得ることができる。 〔8〕リードが外表面上に露出している樹脂封止型半導
体装置において、複数のスポットリードが独立して半導
体素子の回路形成面に絶縁性接着テープを挟んで接着さ
れ、かつ、前記半導体素子を内側に配置してこの半導体
素子の側面にこの半導体素子の裏面に届くまで曲げら
れ、規則的に整列され外部に露出しているL形リードを
設けるようにしたものである。
【0014】このように、L形リードは、半導体素子の
側面まで露出しているため、外部端子とプリント基板の
フットパターンを接合する半田の接合強度が向上でき
る。
側面まで露出しているため、外部端子とプリント基板の
フットパターンを接合する半田の接合強度が向上でき
る。
〔9〕樹脂封止型半導体装置の製造方法において、リー
ドフレームにおける半導体素子サポートと金属メッキ後
の複数のリードを絶縁性接着テープで接着・固定する工
程と、前記接着テープにより接着される半導体素子をモ
ールド樹脂により樹脂封止する工程と、前記複数のリー
ドを前記リードフレームから切り離して前記半導体素子
を内側に配置してこの半導体素子の側面に該半導体素子
の裏面に届くまで曲げられ、規則的に整列され外部に露
出しているL形リードを形成する工程とを施すようにし
たものである。
ドフレームにおける半導体素子サポートと金属メッキ後
の複数のリードを絶縁性接着テープで接着・固定する工
程と、前記接着テープにより接着される半導体素子をモ
ールド樹脂により樹脂封止する工程と、前記複数のリー
ドを前記リードフレームから切り離して前記半導体素子
を内側に配置してこの半導体素子の側面に該半導体素子
の裏面に届くまで曲げられ、規則的に整列され外部に露
出しているL形リードを形成する工程とを施すようにし
たものである。
【0015】このように、スポットリードの形成は、リ
ードフレームの加工・形成後、モールド樹脂封止される
のではなく、半導体装置の組立のモールド樹脂封止工程
後に、リードフレームを加工・形成するようにしたの
で、高密度実装化を図り得る樹脂封止型半導体装置を製
造することができる。 〔10〕樹脂封止型半導体装置の実装構造において、隣
合う前記樹脂封止型半導体装置のL形リードを、互いに
接続し、かつ基板の同一フットパターンに接続するよう
にしたものである。
ードフレームの加工・形成後、モールド樹脂封止される
のではなく、半導体装置の組立のモールド樹脂封止工程
後に、リードフレームを加工・形成するようにしたの
で、高密度実装化を図り得る樹脂封止型半導体装置を製
造することができる。 〔10〕樹脂封止型半導体装置の実装構造において、隣
合う前記樹脂封止型半導体装置のL形リードを、互いに
接続し、かつ基板の同一フットパターンに接続するよう
にしたものである。
【0016】したがって、同一のプリント基板のフット
パターンに、前記2つのL形リードを一緒に接続するこ
とができる。したがって、基板上への高密度実装化を図
ることができる。 〔11〕上記〔10〕記載の樹脂封止型半導体装置の実
装構造において、基板上に実装される下段の前記樹脂封
止型半導体装置上に逆さまにして上段の前記樹脂封止型
半導体装置を積み重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装
置のL形リードの先端を接続するようにしたものであ
る。
パターンに、前記2つのL形リードを一緒に接続するこ
とができる。したがって、基板上への高密度実装化を図
ることができる。 〔11〕上記〔10〕記載の樹脂封止型半導体装置の実
装構造において、基板上に実装される下段の前記樹脂封
止型半導体装置上に逆さまにして上段の前記樹脂封止型
半導体装置を積み重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装
置のL形リードの先端を接続するようにしたものであ
る。
【0017】このように、基板上に実装される下段の前
記樹脂封止型半導体装置上に逆さまにして上段の前記樹
脂封止型半導体装置を積み重ね、それぞれの樹脂封止型
半導体装置のL形リードの先端を接続するようにしたの
で、基板上への高密度実装化を図ることができる。 〔12〕上記〔11〕記載の樹脂封止型半導体装置の実
装構造において、前記下段と上段の前記樹脂封止型半導
体装置の裏面を接着剤を用いて互いに固定するようにし
たものである。
記樹脂封止型半導体装置上に逆さまにして上段の前記樹
脂封止型半導体装置を積み重ね、それぞれの樹脂封止型
半導体装置のL形リードの先端を接続するようにしたの
で、基板上への高密度実装化を図ることができる。 〔12〕上記〔11〕記載の樹脂封止型半導体装置の実
装構造において、前記下段と上段の前記樹脂封止型半導
体装置の裏面を接着剤を用いて互いに固定するようにし
たものである。
【0018】このように、前記下段と上段の前記樹脂封
止型半導体装置の裏面を接着剤を用いて互いに固定する
ようにしたので、堅牢で、かつコンパクトな樹脂封止型
半導体装置を得ることができる。 〔13〕上記〔11〕又は〔12〕記載の樹脂封止型半
導体装置の実装構造において、前記上段の樹脂封止型半
導体装置上に前記下段の樹脂封止型半導体装置と同じ向
きに更に積み重ねるようにしたものである。
止型半導体装置の裏面を接着剤を用いて互いに固定する
ようにしたので、堅牢で、かつコンパクトな樹脂封止型
半導体装置を得ることができる。 〔13〕上記〔11〕又は〔12〕記載の樹脂封止型半
導体装置の実装構造において、前記上段の樹脂封止型半
導体装置上に前記下段の樹脂封止型半導体装置と同じ向
きに更に積み重ねるようにしたものである。
【0019】このように、上記(11)の2段の樹脂封
止型半導体装置の積み重ねに、更にもう1段樹脂封止型
半導体装置を積み重ねて、3段重ねにしそれぞれのL形
リードを接合させるようにしたので、より一層の基板上
への高密度実装化を図ることができる。 〔14〕上記〔10〕記載の樹脂封止型半導体装置の実
装構造において、基板上に実装される下段の樹脂封止型
半導体装置上に同じ向きで上段の樹脂封止型半導体装置
を積み重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装置のL形リ
ードの先端と曲げ部を接続するようにしたものである。
止型半導体装置の積み重ねに、更にもう1段樹脂封止型
半導体装置を積み重ねて、3段重ねにしそれぞれのL形
リードを接合させるようにしたので、より一層の基板上
への高密度実装化を図ることができる。 〔14〕上記〔10〕記載の樹脂封止型半導体装置の実
装構造において、基板上に実装される下段の樹脂封止型
半導体装置上に同じ向きで上段の樹脂封止型半導体装置
を積み重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装置のL形リ
ードの先端と曲げ部を接続するようにしたものである。
【0020】このように、基板上に実装される下段の前
記樹脂封止型半導体装置上に同じ向きで上段の前記積み
重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装置のL形リードの
先端と曲げ部を接続するようにしたので、同じ向きに順
番に接続樹脂封止型半導体装置を積み重ねるだけで、よ
り一層の基板上への高密度実装化を図ることができる。
記樹脂封止型半導体装置上に同じ向きで上段の前記積み
重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装置のL形リードの
先端と曲げ部を接続するようにしたので、同じ向きに順
番に接続樹脂封止型半導体装置を積み重ねるだけで、よ
り一層の基板上への高密度実装化を図ることができる。
【0021】〔15〕上記〔14〕記載の樹脂封止型半
導体装置において、前記下段と上段の樹脂封止型半導体
装置間を接着剤を用いて互いに固定するようにしたもの
である。このように、前記下段と上段の前記樹脂封止型
半導体装置間を接着剤を用いて互いに固定するようにし
たので、堅牢で、かつコンパクトな樹脂封止型半導体装
置を得ることができる。
導体装置において、前記下段と上段の樹脂封止型半導体
装置間を接着剤を用いて互いに固定するようにしたもの
である。このように、前記下段と上段の前記樹脂封止型
半導体装置間を接着剤を用いて互いに固定するようにし
たので、堅牢で、かつコンパクトな樹脂封止型半導体装
置を得ることができる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。図1は本発明の
第1実施例を示す樹脂封止型半導体装置の断面図、図2
はその樹脂封止型半導体装置の部分斜視図である。これ
らの図に示すように、スポットリード7は、半導体素子
サポート4とともに絶縁性接着テープ(以下、単に接着
テープという)2によって、半導体素子1の回路形成面
に熱により接着されている。
て図面を参照しながら詳細に説明する。図1は本発明の
第1実施例を示す樹脂封止型半導体装置の断面図、図2
はその樹脂封止型半導体装置の部分斜視図である。これ
らの図に示すように、スポットリード7は、半導体素子
サポート4とともに絶縁性接着テープ(以下、単に接着
テープという)2によって、半導体素子1の回路形成面
に熱により接着されている。
【0023】上記スポットリード7と半導体素子1の電
気的接続は、整列された金属バンプ9で行われている。
スポットリード7には、外部端子用及び内部接続用にそ
れぞれ金属メッキ8が施されている。そして、スポット
リード7、半導体素子サポート4と半導体素子1を金型
で挟むようにして、モールド樹脂6で封止している。な
お、スポットリード7は、半導体素子1の面積の内側に
規則正しく整列されている。
気的接続は、整列された金属バンプ9で行われている。
スポットリード7には、外部端子用及び内部接続用にそ
れぞれ金属メッキ8が施されている。そして、スポット
リード7、半導体素子サポート4と半導体素子1を金型
で挟むようにして、モールド樹脂6で封止している。な
お、スポットリード7は、半導体素子1の面積の内側に
規則正しく整列されている。
【0024】また、上記金属バンプ9の高さと接着テー
プ2は、ほぼ同じ厚みである。従って、半導体装置の厚
みは、半導体素子1の厚みと金属バンプ9の高さとスポ
ットリード7の厚みとなり、外部端子は半導体装置内と
なる。このように第1実施例によれば、半導体装置の厚
みは、スポットリード7の厚さ約0.125mm、金属
バンプ9の高さ0.05mm、半導体素子1の厚さ0.
250mmで、0.4〜0.5mm程度と薄く、かつ、
面積は半導体素子1内に収めることが可能となる。ま
た、半導体素子1との接合が金属バンプ9のみでなく接
着テープ2を用いるため、熱膨張の違いによる金属バン
プ9へのストレスは緩和され、金属バンプ9の破壊等の
電気的特性の低下や不良の発生を防ぐことができる。
プ2は、ほぼ同じ厚みである。従って、半導体装置の厚
みは、半導体素子1の厚みと金属バンプ9の高さとスポ
ットリード7の厚みとなり、外部端子は半導体装置内と
なる。このように第1実施例によれば、半導体装置の厚
みは、スポットリード7の厚さ約0.125mm、金属
バンプ9の高さ0.05mm、半導体素子1の厚さ0.
250mmで、0.4〜0.5mm程度と薄く、かつ、
面積は半導体素子1内に収めることが可能となる。ま
た、半導体素子1との接合が金属バンプ9のみでなく接
着テープ2を用いるため、熱膨張の違いによる金属バン
プ9へのストレスは緩和され、金属バンプ9の破壊等の
電気的特性の低下や不良の発生を防ぐことができる。
【0025】また、図3及び図4に示すように、上記し
た半導体素子サポート4を無くした樹脂封止型半導体装
置に適用できることは言うまでもない。更に、図5に示
すように、スポットリード7とモールド樹脂6は、熱膨
張係数が異なるため、モールド樹脂6により封止後、常
温に戻されたとき、それぞれの境界より隙間101が生
じ、さらには、クラック102まで発展する場合が考え
られる。
た半導体素子サポート4を無くした樹脂封止型半導体装
置に適用できることは言うまでもない。更に、図5に示
すように、スポットリード7とモールド樹脂6は、熱膨
張係数が異なるため、モールド樹脂6により封止後、常
温に戻されたとき、それぞれの境界より隙間101が生
じ、さらには、クラック102まで発展する場合が考え
られる。
【0026】そこで、その境界で密着性を上げるため
に、図1及び図3に示すように、外部端子用および内部
接続用の金属メッキ8をスポットリード7の側面には施
さないようにする。金属メッキ8はモールド樹脂6との
密着を低下させてしまうからである。そして、モールド
樹脂6と金属メッキ8との接触面をなくすようにする。
このようにすれば、モールド樹脂6と金属メッキ8との
接触がなくなるので、モールド成形後のモールド樹脂の
クラック等は防ぐことができる。
に、図1及び図3に示すように、外部端子用および内部
接続用の金属メッキ8をスポットリード7の側面には施
さないようにする。金属メッキ8はモールド樹脂6との
密着を低下させてしまうからである。そして、モールド
樹脂6と金属メッキ8との接触面をなくすようにする。
このようにすれば、モールド樹脂6と金属メッキ8との
接触がなくなるので、モールド成形後のモールド樹脂の
クラック等は防ぐことができる。
【0027】図6は、本発明の第1実施例のリードフレ
ームの製造工程平面図であり、図6(a)はリードフレ
ームの切断前の平面図、図6(b)はそのリードフレー
ムの切断後の平面図である。まず、図6(a)に示すよ
うに、枠部10aと、仕切部10bと、枠部10aを連
結する半導体素子サポート4と、仕切部10bから内部
へ延びる複数リード7Aとを有するリードフレーム10
を用意する。その複数リード7Aの先端部に金属メッキ
8を行い、その後、その複数リード7Aの先端部と接着
テープ2とを熱圧着で接着させる。
ームの製造工程平面図であり、図6(a)はリードフレ
ームの切断前の平面図、図6(b)はそのリードフレー
ムの切断後の平面図である。まず、図6(a)に示すよ
うに、枠部10aと、仕切部10bと、枠部10aを連
結する半導体素子サポート4と、仕切部10bから内部
へ延びる複数リード7Aとを有するリードフレーム10
を用意する。その複数リード7Aの先端部に金属メッキ
8を行い、その後、その複数リード7Aの先端部と接着
テープ2とを熱圧着で接着させる。
【0028】その後、図6(b)に示すように、リード
7Aと接着テープ2が接触していない部分、つまり、リ
ード7Aの先端部と仕切部10bとの間を打ち抜き、最
終的にスポットリード7を形成する。すなわち、スポッ
トリード7を外部端子となる大きさに打ち抜く。打ち抜
かれたスポットリード7は、接着テープ2に固定され、
そのまま半導体装置組立に入る。
7Aと接着テープ2が接触していない部分、つまり、リ
ード7Aの先端部と仕切部10bとの間を打ち抜き、最
終的にスポットリード7を形成する。すなわち、スポッ
トリード7を外部端子となる大きさに打ち抜く。打ち抜
かれたスポットリード7は、接着テープ2に固定され、
そのまま半導体装置組立に入る。
【0029】このように第1実施例によれば、金属メッ
キ8後の複数リード7Aを接着テープ2で固定した後、
スポットリード7に打ち抜くため、スポットリード7が
目的位置に、かつ所定の大きさに固定される。また、事
前に金属メッキされるため、半導体装置組立工程でも、
金属メッキは不要となる。次に、本発明の第1実施例の
第2の変形例について説明する。
キ8後の複数リード7Aを接着テープ2で固定した後、
スポットリード7に打ち抜くため、スポットリード7が
目的位置に、かつ所定の大きさに固定される。また、事
前に金属メッキされるため、半導体装置組立工程でも、
金属メッキは不要となる。次に、本発明の第1実施例の
第2の変形例について説明する。
【0030】図7は本発明の第1実施例の第2の変形例
を示す樹脂封止型半導体装置の要部斜視図である。図7
において、6はモールド樹脂、7はスポットリード、7
−1は延長リード、8はスポットリード及び延長リード
の表面に形成される金属メッキ、9は金属バンプであ
る。
を示す樹脂封止型半導体装置の要部斜視図である。図7
において、6はモールド樹脂、7はスポットリード、7
−1は延長リード、8はスポットリード及び延長リード
の表面に形成される金属メッキ、9は金属バンプであ
る。
【0031】上記第1実施例のスポットリード7の配置
は整列されており、これに対応して、プリント基板(図
示なし)のフットパターン(図示なし)と半田接合され
る。このスポットリード7の位置と同じ位置に、半導体
素子1の接合部があることになるということは、半導体
素子の回路形成に自由度がなく、制約される場合がでて
くる。そこで、半導体素子上の接合部が、ある程度バラ
バラに配置されても、この実施例では、延長リード7−
1によりスポットリードの外部端子は整列できるように
した。
は整列されており、これに対応して、プリント基板(図
示なし)のフットパターン(図示なし)と半田接合され
る。このスポットリード7の位置と同じ位置に、半導体
素子1の接合部があることになるということは、半導体
素子の回路形成に自由度がなく、制約される場合がでて
くる。そこで、半導体素子上の接合部が、ある程度バラ
バラに配置されても、この実施例では、延長リード7−
1によりスポットリードの外部端子は整列できるように
した。
【0032】すなわち、外部端子となっているスポット
リード7を、配線のように半導体素子上の接合部まで延
長した延長リード7−1を設けて、その延長リード7−
1の先端部に金属バンプ9を接合する。したがって、半
導体素子上の回路形成による接合部の位置にあまり依存
しないで、整列された外部端子を形成することができ
る。
リード7を、配線のように半導体素子上の接合部まで延
長した延長リード7−1を設けて、その延長リード7−
1の先端部に金属バンプ9を接合する。したがって、半
導体素子上の回路形成による接合部の位置にあまり依存
しないで、整列された外部端子を形成することができ
る。
【0033】次に、本発明の第2実施例について説明す
る。図8は本発明の第2実施例を示す樹脂封止型半導体
装置の断面図である。この図に示すように、第1実施例
と構造はほとんど同じであるが、上記したスポットリー
ドが半導体素子1側面まで露出し、L形に曲げられたL
形リード12となっている。
る。図8は本発明の第2実施例を示す樹脂封止型半導体
装置の断面図である。この図に示すように、第1実施例
と構造はほとんど同じであるが、上記したスポットリー
ドが半導体素子1側面まで露出し、L形に曲げられたL
形リード12となっている。
【0034】従って、スポットリードの形成は、第1実
施例とは異なり、リードフレームの加工・形成後、モー
ルド樹脂封止されるのではなく、半導体装置の組立のモ
ールド樹脂封止工程後に、リードが加工・形成される。
このように、L形リード12は、半導体素子1側面まで
露出しているため、外部端子とプリント基板(図示な
し)のフットパターン(図示なし)を接合する半田の接
合強度が向上できる。
施例とは異なり、リードフレームの加工・形成後、モー
ルド樹脂封止されるのではなく、半導体装置の組立のモ
ールド樹脂封止工程後に、リードが加工・形成される。
このように、L形リード12は、半導体素子1側面まで
露出しているため、外部端子とプリント基板(図示な
し)のフットパターン(図示なし)を接合する半田の接
合強度が向上できる。
【0035】なお、図9に示すように、図8に示す半導
体素子サポート4をなくした樹脂封止型半導体装置に適
用できることは言うまでもない。図10は図9に示す半
導体素子サポートをなくした樹脂封止型半導体装置の要
部斜視図であり、半導体素子が封止されたモールド樹脂
6の両側に、金属メッキ8が施されたL形リード12が
配列される。
体素子サポート4をなくした樹脂封止型半導体装置に適
用できることは言うまでもない。図10は図9に示す半
導体素子サポートをなくした樹脂封止型半導体装置の要
部斜視図であり、半導体素子が封止されたモールド樹脂
6の両側に、金属メッキ8が施されたL形リード12が
配列される。
【0036】図11は本発明の第2実施例の第1の応用
例を示す断面図である。本発明の第2実施例で示したモ
ールド樹脂6により封止された樹脂封止型半導体装置
は、側面にL形リード12が存在するため、樹脂封止型
半導体装置AのL形リード12aと隣合う、樹脂封止型
半導体装置BのL形リード12bを接合することができ
る。
例を示す断面図である。本発明の第2実施例で示したモ
ールド樹脂6により封止された樹脂封止型半導体装置
は、側面にL形リード12が存在するため、樹脂封止型
半導体装置AのL形リード12aと隣合う、樹脂封止型
半導体装置BのL形リード12bを接合することができ
る。
【0037】また、同一のプリント基板13のフットパ
ターン15に上記L形リード12aとL形リード12b
を半田14等で一緒に接続することができる。つまり、
L形リード12aとL形リード12bを同じフットパタ
ーン15の上に共有できる。これらの接合の仕方は、メ
モリとしての半導体素子に多く、隣同士の半導体素子の
回路形成は逆になっており、端子の入出力も逆になって
いる。
ターン15に上記L形リード12aとL形リード12b
を半田14等で一緒に接続することができる。つまり、
L形リード12aとL形リード12bを同じフットパタ
ーン15の上に共有できる。これらの接合の仕方は、メ
モリとしての半導体素子に多く、隣同士の半導体素子の
回路形成は逆になっており、端子の入出力も逆になって
いる。
【0038】このように、樹脂封止型半導体装置の側面
にL形リード12が存在するため、樹脂封止型半導体装
置を同一のプリント基板13上に直列にコンパクトに実
装することができる。また、プリント基板の配線の簡略
化を図ることができる。図12は本発明の第2実施例の
第2の応用例を示す断面図である。
にL形リード12が存在するため、樹脂封止型半導体装
置を同一のプリント基板13上に直列にコンパクトに実
装することができる。また、プリント基板の配線の簡略
化を図ることができる。図12は本発明の第2実施例の
第2の応用例を示す断面図である。
【0039】本発明の第2実施例で示したモールド樹脂
6により封止された樹脂封止型半導体装置は、L形リー
ド12が側面を通って、反対の面まで達しているため、
図12に示すように、樹脂封止型半導体装置を逆にして
2段に積み重ねると、樹脂封止型半導体装置AのL形リ
ード12aの先端と、樹脂封止型半導体装置BのL形リ
ード12bの先端とを、また、樹脂封止型半導体装置A
のL形リード12bの先端と、樹脂封止型半導体装置B
のL形リード12aの先端とを半田14等により接続で
きる。更に、半導体素子1(図示なし)の裏面側同士を
接着剤16で固定する。
6により封止された樹脂封止型半導体装置は、L形リー
ド12が側面を通って、反対の面まで達しているため、
図12に示すように、樹脂封止型半導体装置を逆にして
2段に積み重ねると、樹脂封止型半導体装置AのL形リ
ード12aの先端と、樹脂封止型半導体装置BのL形リ
ード12bの先端とを、また、樹脂封止型半導体装置A
のL形リード12bの先端と、樹脂封止型半導体装置B
のL形リード12aの先端とを半田14等により接続で
きる。更に、半導体素子1(図示なし)の裏面側同士を
接着剤16で固定する。
【0040】このように、L形リード12が側面を通っ
て、反対の面まで達しているため、樹脂封止型半導体装
置Aと逆さまにした樹脂封止型半導体装置Bのそれぞれ
のL形リード12の先端同士で、半田14等により接続
ができる。かつ、半導体素子1裏面側同士を接着剤16
で固定するようにしたので、プリント基板13への実装
密度の向上を図ることができる。
て、反対の面まで達しているため、樹脂封止型半導体装
置Aと逆さまにした樹脂封止型半導体装置Bのそれぞれ
のL形リード12の先端同士で、半田14等により接続
ができる。かつ、半導体素子1裏面側同士を接着剤16
で固定するようにしたので、プリント基板13への実装
密度の向上を図ることができる。
【0041】なお、使用される樹脂封止型半導体装置
は、それぞれの半導体素子1の回路形成が逆になってお
り、端子の入出力も逆になっている。図13は本発明の
第2実施例の第3の応用例を示す断面図である。この第
3の応用例によると、図13に示すように、図12に示
した2段の積み重ねに、更にもう1段積み重ねて、3段
重ねにしたものである。すなわち、2段目の樹脂封止型
半導体装置B上に、第1段目と同様の向きで3段目の樹
脂封止型半導体装置Cを積み重ねそれぞれのL形リード
12を接合させるようにしたものである。
は、それぞれの半導体素子1の回路形成が逆になってお
り、端子の入出力も逆になっている。図13は本発明の
第2実施例の第3の応用例を示す断面図である。この第
3の応用例によると、図13に示すように、図12に示
した2段の積み重ねに、更にもう1段積み重ねて、3段
重ねにしたものである。すなわち、2段目の樹脂封止型
半導体装置B上に、第1段目と同様の向きで3段目の樹
脂封止型半導体装置Cを積み重ねそれぞれのL形リード
12を接合させるようにしたものである。
【0042】このように、本発明の第2実施例の樹脂封
止型半導体を3段重ねにしたので、プリント基板13へ
の更なる実装密度の向上を図ることができる。更に、4
段、5段と段数を増加させることも可能である。図14
は本発明の第2実施例の第4の応用例を示す断面図であ
る。本発明の第2実施例で示したモールド樹脂6により
封止された樹脂封止型半導体装置は、L形リード12が
側面を通って、反対の面まで達しているため、図14に
示すように、同じ向きで上方へ積み重ねることができ
る。すなわち、樹脂封止型半導体装置Aをプリント基板
13上に実装し、その上に同じ向きに樹脂封止型半導体
装置Bを積み重ね、樹脂封止型半導体装置AのL形リー
ド12aと樹脂封止型半導体装置BのL形リード12a
とを、樹脂封止型半導体装置AのL形リード12bと樹
脂封止型半導体装置BのL形リード12bとを、L形リ
ード12の先端とL形の曲げ部にて半田14等で接続が
できる。また、樹脂封止型半導体装置の間は接着剤16
で固定する。
止型半導体を3段重ねにしたので、プリント基板13へ
の更なる実装密度の向上を図ることができる。更に、4
段、5段と段数を増加させることも可能である。図14
は本発明の第2実施例の第4の応用例を示す断面図であ
る。本発明の第2実施例で示したモールド樹脂6により
封止された樹脂封止型半導体装置は、L形リード12が
側面を通って、反対の面まで達しているため、図14に
示すように、同じ向きで上方へ積み重ねることができ
る。すなわち、樹脂封止型半導体装置Aをプリント基板
13上に実装し、その上に同じ向きに樹脂封止型半導体
装置Bを積み重ね、樹脂封止型半導体装置AのL形リー
ド12aと樹脂封止型半導体装置BのL形リード12a
とを、樹脂封止型半導体装置AのL形リード12bと樹
脂封止型半導体装置BのL形リード12bとを、L形リ
ード12の先端とL形の曲げ部にて半田14等で接続が
できる。また、樹脂封止型半導体装置の間は接着剤16
で固定する。
【0043】したがって、プリント基板13への実装密
度の向上を図ることができる。これらの接合の仕方は、
メモリ半導体素子に多く、まったく同一の回路形成素子
で、多段に積み重ねが可能となる。なお、本発明は上記
実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づ
いて種々の変形が可能であり、それらを本発明の範囲か
ら排除するものではない。
度の向上を図ることができる。これらの接合の仕方は、
メモリ半導体素子に多く、まったく同一の回路形成素子
で、多段に積み重ねが可能となる。なお、本発明は上記
実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づ
いて種々の変形が可能であり、それらを本発明の範囲か
ら排除するものではない。
【0044】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。 (1)請求項1記載の発明によれば、樹脂封止型半導体
装置の軽薄短小化と、その高密度実装化を図ることがで
きる。
よれば、以下のような効果を奏することができる。 (1)請求項1記載の発明によれば、樹脂封止型半導体
装置の軽薄短小化と、その高密度実装化を図ることがで
きる。
【0045】(2)請求項2記載の発明によれば、特
に、半導体素子との接合が金属バンプのみでなく、絶縁
性接着テープを用いることにより、熱膨張の違いによる
金属バンプへのストレスは緩和され、金属バンプの破壊
等の電気的特性の低下や不良の発生を防ぐことができ
る。 (3)請求項3記載の発明によれば、外部端子用および
内部接続用の金属メッキをスポットリードの側面には施
さないようにしたので、モールド樹脂と金属メッキとの
接触がなくなり、モールド成形後のモールド樹脂のクラ
ック等を防ぐことができる。
に、半導体素子との接合が金属バンプのみでなく、絶縁
性接着テープを用いることにより、熱膨張の違いによる
金属バンプへのストレスは緩和され、金属バンプの破壊
等の電気的特性の低下や不良の発生を防ぐことができ
る。 (3)請求項3記載の発明によれば、外部端子用および
内部接続用の金属メッキをスポットリードの側面には施
さないようにしたので、モールド樹脂と金属メッキとの
接触がなくなり、モールド成形後のモールド樹脂のクラ
ック等を防ぐことができる。
【0046】(4)請求項4記載の発明によれば、スポ
ットリードと半導体素子サポートとを有するリードフレ
ームを用いるようにしたので、堅牢で信頼性の高い樹脂
封止型半導体装置を得ることができる。 (5)請求項5記載の発明によれば、外部端子となって
いるスポットリードを、配線のように半導体素子上の接
合部まで延長した延長リードを設けて、その延長リード
に金属バンプを接合するようにしたので、半導体素子上
の回路形成による接合部の位置にあまり依存しないで、
整列された外部端子を形成することができる。
ットリードと半導体素子サポートとを有するリードフレ
ームを用いるようにしたので、堅牢で信頼性の高い樹脂
封止型半導体装置を得ることができる。 (5)請求項5記載の発明によれば、外部端子となって
いるスポットリードを、配線のように半導体素子上の接
合部まで延長した延長リードを設けて、その延長リード
に金属バンプを接合するようにしたので、半導体素子上
の回路形成による接合部の位置にあまり依存しないで、
整列された外部端子を形成することができる。
【0047】(6)請求項6記載の発明によれば、金属
メッキ後の複数リードを絶縁性接着テープで接着固定し
た後、スポットリードに打ち抜くため、スポットリード
を目的位置に、かつ所定の大きさに固定することができ
る。また、事前に金属メッキされるため、半導体装置組
立工程でも、金属メッキは不要となる。 (7)請求項7記載の発明によれば、半導体素子が安定
的に支持され、堅牢な樹脂封止型半導体装置を得ること
ができる。
メッキ後の複数リードを絶縁性接着テープで接着固定し
た後、スポットリードに打ち抜くため、スポットリード
を目的位置に、かつ所定の大きさに固定することができ
る。また、事前に金属メッキされるため、半導体装置組
立工程でも、金属メッキは不要となる。 (7)請求項7記載の発明によれば、半導体素子が安定
的に支持され、堅牢な樹脂封止型半導体装置を得ること
ができる。
【0048】(8)請求項8記載の発明によれば、L形
リードは、半導体素子の側面まで露出しているため、外
部端子とプリント基板のフットパターンを接合する半田
の接合強度を向上させることができる。 (9)請求項9記載の発明によれば、スポットリードの
形成は、リードフレームの加工・形成後、モールド樹脂
封止されるのではなく、半導体装置の組立のモールド樹
脂封止工程後に、リードフレームを加工・形成するよう
にしたので、高密度実装化を図え得る樹脂封止型半導体
装置を製造することができる。
リードは、半導体素子の側面まで露出しているため、外
部端子とプリント基板のフットパターンを接合する半田
の接合強度を向上させることができる。 (9)請求項9記載の発明によれば、スポットリードの
形成は、リードフレームの加工・形成後、モールド樹脂
封止されるのではなく、半導体装置の組立のモールド樹
脂封止工程後に、リードフレームを加工・形成するよう
にしたので、高密度実装化を図え得る樹脂封止型半導体
装置を製造することができる。
【0049】(10)請求項10記載の発明によれば、
隣合う前記樹脂封止型半導体装置のL形リードを、互い
に接続し、かつ基板の同一フットパターンに接続するよ
うにしたものである。したがって、同一のプリント基板
のフットパターンに、前記2つのL形リードを一緒に接
続することができる。
隣合う前記樹脂封止型半導体装置のL形リードを、互い
に接続し、かつ基板の同一フットパターンに接続するよ
うにしたものである。したがって、同一のプリント基板
のフットパターンに、前記2つのL形リードを一緒に接
続することができる。
【0050】(11)請求項11記載の発明によれば、
基板上に実装される下段の前記樹脂封止型半導体装置上
に逆さまにして上段の前記樹脂封止型半導体装置を積み
重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装置のL形リードの
先端を接続するようにしたので、基板上への高密度実装
化を図ることができる。 (12)請求項12記載の発明によれば、前記下段と上
段の前記樹脂封止型半導体装置の裏面を接着剤を用いて
互いに固定するようにしたので、堅牢で、かつコンパク
トな樹脂封止型半導体装置を得ることができる。
基板上に実装される下段の前記樹脂封止型半導体装置上
に逆さまにして上段の前記樹脂封止型半導体装置を積み
重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装置のL形リードの
先端を接続するようにしたので、基板上への高密度実装
化を図ることができる。 (12)請求項12記載の発明によれば、前記下段と上
段の前記樹脂封止型半導体装置の裏面を接着剤を用いて
互いに固定するようにしたので、堅牢で、かつコンパク
トな樹脂封止型半導体装置を得ることができる。
【0051】(13)請求項13記載の発明によれば、
上記(11)の2段の樹脂封止型半導体装置の積み重ね
に、更にもう1段樹脂封止型半導体装置を積み重ねて、
3段重ねにしそれぞれのL形リードを接合させるように
したので、より一層の基板上への高密度実装化を図るこ
とができる。 (14)請求項14記載の発明によれば、基板上に実装
される下段の前記樹脂封止型半導体装置上に同じ向きで
上段の前記積み重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装置
のL形リードの先端と曲げ部を接続するようにしたの
で、同じ向きに順番に接続樹脂封止型半導体装置を積み
重ねるだけで、より一層の基板上への高密度実装化を図
ることができる。
上記(11)の2段の樹脂封止型半導体装置の積み重ね
に、更にもう1段樹脂封止型半導体装置を積み重ねて、
3段重ねにしそれぞれのL形リードを接合させるように
したので、より一層の基板上への高密度実装化を図るこ
とができる。 (14)請求項14記載の発明によれば、基板上に実装
される下段の前記樹脂封止型半導体装置上に同じ向きで
上段の前記積み重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装置
のL形リードの先端と曲げ部を接続するようにしたの
で、同じ向きに順番に接続樹脂封止型半導体装置を積み
重ねるだけで、より一層の基板上への高密度実装化を図
ることができる。
【0052】(15)請求項15記載の発明によれば、
前記下段と上段の前記樹脂封止型半導体装置間を接着剤
を用いて互いに固定するようにしたので、堅牢で、かつ
コンパクトな樹脂封止型半導体装置を得ることができ
る。
前記下段と上段の前記樹脂封止型半導体装置間を接着剤
を用いて互いに固定するようにしたので、堅牢で、かつ
コンパクトな樹脂封止型半導体装置を得ることができ
る。
【図1】本発明の第1実施例を示す樹脂封止型半導体装
置の断面図である。
置の断面図である。
【図2】本発明の第1実施例を示す樹脂封止型半導体装
置の部分斜視図である。
置の部分斜視図である。
【図3】本発明の第1実施例の変形例を示す樹脂封止型
半導体装置の断面図である。
半導体装置の断面図である。
【図4】本発明の第1実施例の変形例を示す樹脂封止型
半導体装置の部分斜視図である。
半導体装置の部分斜視図である。
【図5】樹脂封止型半導体装置の問題点の説明図であ
る。
る。
【図6】本発明の第1実施例のリードフレームの製造工
程平面図である。
程平面図である。
【図7】本発明の第1実施例の第2の変形例を示す樹脂
封止型半導体装置の要部斜視図である。
封止型半導体装置の要部斜視図である。
【図8】本発明の第2実施例を示す樹脂封止型半導体装
置の断面図である。
置の断面図である。
【図9】本発明の第2実施例の変形例を示す樹脂封止型
半導体装置の断面図である。
半導体装置の断面図である。
【図10】本発明の第2実施例の変形例を示す樹脂封止
型半導体装置の部分斜視図である。
型半導体装置の部分斜視図である。
【図11】本発明の第2実施例の第1の応用例を示す断
面図である。
面図である。
【図12】本発明の第2実施例の第2の応用例を示す断
面図である。
面図である。
【図13】本発明の第2実施例の第3の応用例を示す断
面図である。
面図である。
【図14】本発明の第2実施例の第4の応用例を示す断
面図である。
面図である。
1 半導体素子 2 絶縁性接着テープ 4 半導体素子サポート 6 モールド樹脂 7 スポットリード 7A 複数リード 7−1 延長リード 8 金属メッキ 9 金属バンプ 10 リードフレーム 10a 枠部 10b 仕切部 12,12a,12b L形リード 13 プリント基板 14 半田 15 フットパターン 16 接着剤
フロントページの続き (72)発明者 白石 靖 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号 沖電気 工業株式会社内 (72)発明者 河野 博 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号 沖電気 工業株式会社内
Claims (15)
- 【請求項1】 リードが外表面上に露出している樹脂封
止型半導体装置において、 半導体素子の回路形成面に絶縁性接着テープを挟んで接
着され、かつ前記半導体素子を内側にしてそれぞれが独
立して規則的に整列され外部に露出しているスポットリ
ードを具備することを特徴とする樹脂封止型半導体装
置。 - 【請求項2】 請求項1記載の樹脂封止型半導体装置に
おいて、 前記スポットリードと半導体素子との接続を行う、前記
絶縁性接着テープと同じ厚さの金属バンプを具備する樹
脂封止型半導体装置。 - 【請求項3】 請求項1又は2記載の樹脂封止型半導体
装置において、 前記スポットリードの側面を除いて金属メッキを施して
なる樹脂封止型半導体装置。 - 【請求項4】 請求項1、2又は3記載の樹脂封止型半
導体装置において、 前記スポットリードと半導体素子サポートとを有するリ
ードフレームを具備する樹脂封止型半導体装置。 - 【請求項5】 請求項2、3又は4記載の樹脂封止型半
導体装置において、 前記スポットリードに延長リードを設け、該延長リード
の下に金属バンプを設け、該金属バンプを介して前記半
導体素子に接続してなる樹脂封止型半導体装置。 - 【請求項6】 樹脂封止型半導体装置の製造方法におい
て、(a)リードフレームにおける半導体素子サポート
と金属メッキ後の複数のリードを絶縁性接着テープで接
着・固定する工程と、(b)前記複数のリードを前記リ
ードフレームから切り離してスポットリードを形成する
工程とを施すことを特徴とする樹脂封止型半導体装置の
製造方法。 - 【請求項7】 樹脂封止型半導体装置の製造方法におい
て、(a)リードフレームにおける半導体素子サポート
と金属メッキ後の複数のリードを絶縁性接着テープで接
着・固定する工程と、(b)前記複数のリードを前記リ
ードフレームから切り離してスポットリードを形成する
工程と、(c)前記接着テープにより接着される半導体
素子をモールド樹脂により樹脂封止する工程とを施すこ
とを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法。 - 【請求項8】 リードが外表面上に露出している樹脂封
止型半導体装置において、 複数のスポットリードが独立して半導体素子の回路形成
面に絶縁性接着テープを挟んで接着され、かつ、前記半
導体素子を内側に配置して該半導体素子の側面に該半導
体素子の裏面に届くまで曲げられ、規則的に整列され外
部に露出しているL形リードを具備する樹脂封止型半導
体装置。 - 【請求項9】 樹脂封止型半導体装置の製造方法におい
て、(a)リードフレームにおける半導体素子サポート
と金属メッキ後の複数のリードを絶縁性接着テープで接
着・固定する工程と、(b)前記接着テープにより接着
される半導体素子をモールド樹脂により樹脂封止する工
程と、(c)前記複数のリードを前記リードフレームか
ら切り離して前記半導体素子を内側に配置して該半導体
素子の側面に該半導体素子の裏面に届くまで曲げられ、
規則的に整列され外部に露出しているL形リードを形成
する工程とを施すことを特徴とする樹脂封止型半導体装
置の製造方法。 - 【請求項10】 樹脂封止型半導体装置の実装構造にお
いて、 隣合う前記樹脂封止型半導体装置のL形リードを、互い
に接続し、かつ基板の同一フットパターンに接続してな
る樹脂封止型半導体装置の実装構造。 - 【請求項11】 請求項10記載の樹脂封止型半導体装
置の実装構造において、 基板上に実装される下段の前記樹脂封止型半導体装置上
に逆さまにして上段の前記樹脂封止型半導体装置を積み
重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装置のL形リードの
先端を接続してなる樹脂封止型半導体装置の実装構造。 - 【請求項12】 請求項11記載の樹脂封止型半導体装
置の実装構造において、 前記下段と上段の樹脂封止型半導体装置の裏面を接着剤
を用いて互いに固定してなる樹脂封止型半導体装置の実
装構造。 - 【請求項13】 請求項11又は12記載の樹脂封止型
半導体装置の実装構造において、 前記上段の樹脂封止型半導体装置上に前記下段の樹脂封
止型半導体装置と同じ向きに更に積み重ねてなる樹脂封
止型半導体装置の実装構造。 - 【請求項14】 請求項10記載の樹脂封止型半導体装
置の実装構造において、 基板上に実装される下段の樹脂封止型半導体装置上に同
じ向きで上段の樹脂封止型半導体装置を積み重ね、それ
ぞれの樹脂封止型半導体装置のL形リードの先端と曲げ
部を接続してなる樹脂封止型半導体装置の実装構造。 - 【請求項15】 請求項14記載の樹脂封止型半導体装
置の実装構造において、 前記下段と上段の樹脂封止型半導体装置間を接着剤を用
いて互いに固定してなる樹脂封止型半導体装置の実装構
造。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8070829A JPH09260538A (ja) | 1996-03-27 | 1996-03-27 | 樹脂封止型半導体装置及び製造方法とその実装構造 |
| US08/806,614 US6208021B1 (en) | 1996-03-27 | 1997-02-26 | Semiconductor device, manufacturing method thereof and aggregate type semiconductor device |
| EP97103710A EP0798780A3 (en) | 1996-03-27 | 1997-03-06 | Semiconductor device, manufacturing method thereof and aggregate type semiconductor device |
| KR1019970008969A KR970067781A (ko) | 1996-03-27 | 1997-03-17 | 반도체 장치와 그의 제조방법 및 집합형 반도체 장치 |
| CNB971102023A CN1151554C (zh) | 1996-03-27 | 1997-03-27 | 半导体器件、其制造方法以及组合型半导体器件 |
| US09/733,969 US6403398B2 (en) | 1996-03-27 | 2000-12-12 | Semiconductor device, manufacturing method thereof and aggregate type semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8070829A JPH09260538A (ja) | 1996-03-27 | 1996-03-27 | 樹脂封止型半導体装置及び製造方法とその実装構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09260538A true JPH09260538A (ja) | 1997-10-03 |
Family
ID=13442867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8070829A Withdrawn JPH09260538A (ja) | 1996-03-27 | 1996-03-27 | 樹脂封止型半導体装置及び製造方法とその実装構造 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
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| EP (1) | EP0798780A3 (ja) |
| JP (1) | JPH09260538A (ja) |
| KR (1) | KR970067781A (ja) |
| CN (1) | CN1151554C (ja) |
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| JP3881751B2 (ja) * | 1997-08-20 | 2007-02-14 | 沖電気工業株式会社 | 半導体チップの実装構造および実装方法 |
| US7071541B1 (en) | 1998-06-24 | 2006-07-04 | Amkor Technology, Inc. | Plastic integrated circuit package and method and leadframe for making the package |
| US7005326B1 (en) | 1998-06-24 | 2006-02-28 | Amkor Technology, Inc. | Method of making an integrated circuit package |
| US7112474B1 (en) | 1998-06-24 | 2006-09-26 | Amkor Technology, Inc. | Method of making an integrated circuit package |
| US7332375B1 (en) | 1998-06-24 | 2008-02-19 | Amkor Technology, Inc. | Method of making an integrated circuit package |
| US6143981A (en) | 1998-06-24 | 2000-11-07 | Amkor Technology, Inc. | Plastic integrated circuit package and method and leadframe for making the package |
| US6893900B1 (en) | 1998-06-24 | 2005-05-17 | Amkor Technology, Inc. | Method of making an integrated circuit package |
| US7030474B1 (en) | 1998-06-24 | 2006-04-18 | Amkor Technology, Inc. | Plastic integrated circuit package and method and leadframe for making the package |
| KR100304959B1 (ko) * | 1998-10-21 | 2001-09-24 | 김영환 | 칩 적층형 반도체 패키지 및 그 제조방법 |
| JP3904058B2 (ja) * | 1998-10-30 | 2007-04-11 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器 |
| US6448633B1 (en) | 1998-11-20 | 2002-09-10 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package and method of making using leadframe having lead locks to secure leads to encapsulant |
| KR20010037247A (ko) * | 1999-10-15 | 2001-05-07 | 마이클 디. 오브라이언 | 반도체패키지 |
| KR100403142B1 (ko) | 1999-10-15 | 2003-10-30 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체패키지 |
| US6580159B1 (en) | 1999-11-05 | 2003-06-17 | Amkor Technology, Inc. | Integrated circuit device packages and substrates for making the packages |
| US6847103B1 (en) | 1999-11-09 | 2005-01-25 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package with exposed die pad and body-locking leadframe |
| KR100421774B1 (ko) * | 1999-12-16 | 2004-03-10 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체패키지 및 그 제조 방법 |
| US6404046B1 (en) * | 2000-02-03 | 2002-06-11 | Amkor Technology, Inc. | Module of stacked integrated circuit packages including an interposer |
| KR100583494B1 (ko) | 2000-03-25 | 2006-05-24 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체패키지 |
| US7042068B2 (en) | 2000-04-27 | 2006-05-09 | Amkor Technology, Inc. | Leadframe and semiconductor package made using the leadframe |
| US6576494B1 (en) | 2000-06-28 | 2003-06-10 | Micron Technology, Inc. | Recessed encapsulated microelectronic devices and methods for formation |
| KR20020058209A (ko) | 2000-12-29 | 2002-07-12 | 마이클 디. 오브라이언 | 반도체패키지 |
| US6967395B1 (en) | 2001-03-20 | 2005-11-22 | Amkor Technology, Inc. | Mounting for a package containing a chip |
| US6545345B1 (en) | 2001-03-20 | 2003-04-08 | Amkor Technology, Inc. | Mounting for a package containing a chip |
| KR100393448B1 (ko) * | 2001-03-27 | 2003-08-02 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체 패키지 및 그 제조 방법 |
| KR100369393B1 (ko) | 2001-03-27 | 2003-02-05 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 리드프레임 및 이를 이용한 반도체패키지와 그 제조 방법 |
| US7064009B1 (en) | 2001-04-04 | 2006-06-20 | Amkor Technology, Inc. | Thermally enhanced chip scale lead on chip semiconductor package and method of making same |
| US7045883B1 (en) | 2001-04-04 | 2006-05-16 | Amkor Technology, Inc. | Thermally enhanced chip scale lead on chip semiconductor package and method of making same |
| US6597059B1 (en) | 2001-04-04 | 2003-07-22 | Amkor Technology, Inc. | Thermally enhanced chip scale lead on chip semiconductor package |
| SG111919A1 (en) * | 2001-08-29 | 2005-06-29 | Micron Technology Inc | Packaged microelectronic devices and methods of forming same |
| US6900527B1 (en) | 2001-09-19 | 2005-05-31 | Amkor Technology, Inc. | Lead-frame method and assembly for interconnecting circuits within a circuit module |
| US7485952B1 (en) | 2001-09-19 | 2009-02-03 | Amkor Technology, Inc. | Drop resistant bumpers for fully molded memory cards |
| US6630726B1 (en) | 2001-11-07 | 2003-10-07 | Amkor Technology, Inc. | Power semiconductor package with strap |
| US6608366B1 (en) | 2002-04-15 | 2003-08-19 | Harry J. Fogelson | Lead frame with plated end leads |
| SG120879A1 (en) | 2002-08-08 | 2006-04-26 | Micron Technology Inc | Packaged microelectronic components |
| US6818973B1 (en) | 2002-09-09 | 2004-11-16 | Amkor Technology, Inc. | Exposed lead QFP package fabricated through the use of a partial saw process |
| US7361533B1 (en) | 2002-11-08 | 2008-04-22 | Amkor Technology, Inc. | Stacked embedded leadframe |
| US7190062B1 (en) | 2004-06-15 | 2007-03-13 | Amkor Technology, Inc. | Embedded leadframe semiconductor package |
| US7723210B2 (en) | 2002-11-08 | 2010-05-25 | Amkor Technology, Inc. | Direct-write wafer level chip scale package |
| US6905914B1 (en) | 2002-11-08 | 2005-06-14 | Amkor Technology, Inc. | Wafer level package and fabrication method |
| SG114585A1 (en) * | 2002-11-22 | 2005-09-28 | Micron Technology Inc | Packaged microelectronic component assemblies |
| JP2006509371A (ja) * | 2002-12-09 | 2006-03-16 | アドバンスド インターコネクト テクノロジーズ リミテッド | 露出された集積回路装置を有するパッケージ |
| US6798047B1 (en) | 2002-12-26 | 2004-09-28 | Amkor Technology, Inc. | Pre-molded leadframe |
| US6847099B1 (en) | 2003-02-05 | 2005-01-25 | Amkor Technology Inc. | Offset etched corner leads for semiconductor package |
| US6750545B1 (en) | 2003-02-28 | 2004-06-15 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package capable of die stacking |
| US6794740B1 (en) | 2003-03-13 | 2004-09-21 | Amkor Technology, Inc. | Leadframe package for semiconductor devices |
| US7001799B1 (en) | 2003-03-13 | 2006-02-21 | Amkor Technology, Inc. | Method of making a leadframe for semiconductor devices |
| US7095103B1 (en) | 2003-05-01 | 2006-08-22 | Amkor Technology, Inc. | Leadframe based memory card |
| US6879034B1 (en) | 2003-05-01 | 2005-04-12 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package including low temperature co-fired ceramic substrate |
| US7008825B1 (en) | 2003-05-27 | 2006-03-07 | Amkor Technology, Inc. | Leadframe strip having enhanced testability |
| US6897550B1 (en) | 2003-06-11 | 2005-05-24 | Amkor Technology, Inc. | Fully-molded leadframe stand-off feature |
| US7368810B2 (en) * | 2003-08-29 | 2008-05-06 | Micron Technology, Inc. | Invertible microfeature device packages |
| US7245007B1 (en) | 2003-09-18 | 2007-07-17 | Amkor Technology, Inc. | Exposed lead interposer leadframe package |
| US6921967B2 (en) | 2003-09-24 | 2005-07-26 | Amkor Technology, Inc. | Reinforced die pad support structure |
| US7138707B1 (en) | 2003-10-21 | 2006-11-21 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package including leads and conductive posts for providing increased functionality |
| US7144517B1 (en) | 2003-11-07 | 2006-12-05 | Amkor Technology, Inc. | Manufacturing method for leadframe and for semiconductor package using the leadframe |
| US7211879B1 (en) | 2003-11-12 | 2007-05-01 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package with chamfered corners and method of manufacturing the same |
| US7057268B1 (en) | 2004-01-27 | 2006-06-06 | Amkor Technology, Inc. | Cavity case with clip/plug for use on multi-media card |
| US7091594B1 (en) | 2004-01-28 | 2006-08-15 | Amkor Technology, Inc. | Leadframe type semiconductor package having reduced inductance and its manufacturing method |
| DE102004012979B4 (de) * | 2004-03-16 | 2009-05-20 | Infineon Technologies Ag | Kopplungssubstrat für Halbleiterbauteile, Anordnungen mit dem Kopplungssubstrat, Kopplungssubstratstreifen, Verfahren zur Herstellung dieser Gegenstände und Verfahren zur Herstellung eines Halbleitermoduls |
| US7202554B1 (en) | 2004-08-19 | 2007-04-10 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package and its manufacturing method |
| KR100688501B1 (ko) * | 2004-09-10 | 2007-03-02 | 삼성전자주식회사 | 미러링 구조를 갖는 스택 boc 패키지 및 이를 장착한양면 실장형 메모리 모듈 |
| US7217991B1 (en) | 2004-10-22 | 2007-05-15 | Amkor Technology, Inc. | Fan-in leadframe semiconductor package |
| US7645640B2 (en) * | 2004-11-15 | 2010-01-12 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit package system with leadframe substrate |
| US7943431B2 (en) * | 2005-12-02 | 2011-05-17 | Unisem (Mauritius) Holdings Limited | Leadless semiconductor package and method of manufacture |
| US7507603B1 (en) | 2005-12-02 | 2009-03-24 | Amkor Technology, Inc. | Etch singulated semiconductor package |
| US7572681B1 (en) | 2005-12-08 | 2009-08-11 | Amkor Technology, Inc. | Embedded electronic component package |
| SG135074A1 (en) | 2006-02-28 | 2007-09-28 | Micron Technology Inc | Microelectronic devices, stacked microelectronic devices, and methods for manufacturing such devices |
| US7902660B1 (en) | 2006-05-24 | 2011-03-08 | Amkor Technology, Inc. | Substrate for semiconductor device and manufacturing method thereof |
| US7968998B1 (en) | 2006-06-21 | 2011-06-28 | Amkor Technology, Inc. | Side leaded, bottom exposed pad and bottom exposed lead fusion quad flat semiconductor package |
| US7687893B2 (en) | 2006-12-27 | 2010-03-30 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package having leadframe with exposed anchor pads |
| US7829990B1 (en) | 2007-01-18 | 2010-11-09 | Amkor Technology, Inc. | Stackable semiconductor package including laminate interposer |
| US7982297B1 (en) | 2007-03-06 | 2011-07-19 | Amkor Technology, Inc. | Stackable semiconductor package having partially exposed semiconductor die and method of fabricating the same |
| US7977774B2 (en) | 2007-07-10 | 2011-07-12 | Amkor Technology, Inc. | Fusion quad flat semiconductor package |
| US7687899B1 (en) | 2007-08-07 | 2010-03-30 | Amkor Technology, Inc. | Dual laminate package structure with embedded elements |
| US7777351B1 (en) | 2007-10-01 | 2010-08-17 | Amkor Technology, Inc. | Thin stacked interposer package |
| US8089159B1 (en) | 2007-10-03 | 2012-01-03 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package with increased I/O density and method of making the same |
| US7847386B1 (en) | 2007-11-05 | 2010-12-07 | Amkor Technology, Inc. | Reduced size stacked semiconductor package and method of making the same |
| US7956453B1 (en) | 2008-01-16 | 2011-06-07 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package with patterning layer and method of making same |
| US7723852B1 (en) | 2008-01-21 | 2010-05-25 | Amkor Technology, Inc. | Stacked semiconductor package and method of making same |
| US8063474B2 (en) | 2008-02-06 | 2011-11-22 | Fairchild Semiconductor Corporation | Embedded die package on package (POP) with pre-molded leadframe |
| US8067821B1 (en) | 2008-04-10 | 2011-11-29 | Amkor Technology, Inc. | Flat semiconductor package with half package molding |
| US7768135B1 (en) | 2008-04-17 | 2010-08-03 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package with fast power-up cycle and method of making same |
| US7808084B1 (en) | 2008-05-06 | 2010-10-05 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package with half-etched locking features |
| US8125064B1 (en) | 2008-07-28 | 2012-02-28 | Amkor Technology, Inc. | Increased I/O semiconductor package and method of making same |
| US8184453B1 (en) | 2008-07-31 | 2012-05-22 | Amkor Technology, Inc. | Increased capacity semiconductor package |
| US7847392B1 (en) | 2008-09-30 | 2010-12-07 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device including leadframe with increased I/O |
| US7989933B1 (en) | 2008-10-06 | 2011-08-02 | Amkor Technology, Inc. | Increased I/O leadframe and semiconductor device including same |
| US8008758B1 (en) | 2008-10-27 | 2011-08-30 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device with increased I/O leadframe |
| US8089145B1 (en) | 2008-11-17 | 2012-01-03 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device including increased capacity leadframe |
| US8072050B1 (en) | 2008-11-18 | 2011-12-06 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device with increased I/O leadframe including passive device |
| US7875963B1 (en) | 2008-11-21 | 2011-01-25 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device including leadframe having power bars and increased I/O |
| US7982298B1 (en) | 2008-12-03 | 2011-07-19 | Amkor Technology, Inc. | Package in package semiconductor device |
| US8487420B1 (en) | 2008-12-08 | 2013-07-16 | Amkor Technology, Inc. | Package in package semiconductor device with film over wire |
| US8680656B1 (en) | 2009-01-05 | 2014-03-25 | Amkor Technology, Inc. | Leadframe structure for concentrated photovoltaic receiver package |
| US20170117214A1 (en) | 2009-01-05 | 2017-04-27 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device with through-mold via |
| US8058715B1 (en) | 2009-01-09 | 2011-11-15 | Amkor Technology, Inc. | Package in package device for RF transceiver module |
| US8026589B1 (en) | 2009-02-23 | 2011-09-27 | Amkor Technology, Inc. | Reduced profile stackable semiconductor package |
| US7960818B1 (en) | 2009-03-04 | 2011-06-14 | Amkor Technology, Inc. | Conformal shield on punch QFN semiconductor package |
| US8575742B1 (en) | 2009-04-06 | 2013-11-05 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device with increased I/O leadframe including power bars |
| US8796561B1 (en) | 2009-10-05 | 2014-08-05 | Amkor Technology, Inc. | Fan out build up substrate stackable package and method |
| US8937381B1 (en) | 2009-12-03 | 2015-01-20 | Amkor Technology, Inc. | Thin stackable package and method |
| US9691734B1 (en) | 2009-12-07 | 2017-06-27 | Amkor Technology, Inc. | Method of forming a plurality of electronic component packages |
| US8324511B1 (en) | 2010-04-06 | 2012-12-04 | Amkor Technology, Inc. | Through via nub reveal method and structure |
| US8294276B1 (en) | 2010-05-27 | 2012-10-23 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device and fabricating method thereof |
| US8440554B1 (en) | 2010-08-02 | 2013-05-14 | Amkor Technology, Inc. | Through via connected backside embedded circuit features structure and method |
| US8487445B1 (en) | 2010-10-05 | 2013-07-16 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device having through electrodes protruding from dielectric layer |
| US8791501B1 (en) | 2010-12-03 | 2014-07-29 | Amkor Technology, Inc. | Integrated passive device structure and method |
| US8674485B1 (en) | 2010-12-08 | 2014-03-18 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device including leadframe with downsets |
| US8390130B1 (en) | 2011-01-06 | 2013-03-05 | Amkor Technology, Inc. | Through via recessed reveal structure and method |
| TWI557183B (zh) | 2015-12-16 | 2016-11-11 | 財團法人工業技術研究院 | 矽氧烷組成物、以及包含其之光電裝置 |
| US8648450B1 (en) | 2011-01-27 | 2014-02-11 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device including leadframe with a combination of leads and lands |
| US8552548B1 (en) | 2011-11-29 | 2013-10-08 | Amkor Technology, Inc. | Conductive pad on protruding through electrode semiconductor device |
| US9704725B1 (en) | 2012-03-06 | 2017-07-11 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device with leadframe configured to facilitate reduced burr formation |
| US9048298B1 (en) | 2012-03-29 | 2015-06-02 | Amkor Technology, Inc. | Backside warpage control structure and fabrication method |
| US9129943B1 (en) | 2012-03-29 | 2015-09-08 | Amkor Technology, Inc. | Embedded component package and fabrication method |
| KR101486790B1 (ko) | 2013-05-02 | 2015-01-28 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 강성보강부를 갖는 마이크로 리드프레임 |
| KR101563911B1 (ko) | 2013-10-24 | 2015-10-28 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체 패키지 |
| US9673122B2 (en) | 2014-05-02 | 2017-06-06 | Amkor Technology, Inc. | Micro lead frame structure having reinforcing portions and method |
| EP3499552A1 (en) * | 2017-12-14 | 2019-06-19 | Nexperia B.V. | Semiconductor device and method of manufacture |
| CN115274461B (zh) * | 2022-05-31 | 2024-10-11 | 浙江禾芯集成电路有限公司 | 一种应用于平面型功率器件的封装结构的封装方法 |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59222947A (ja) | 1983-06-02 | 1984-12-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
| US4849857A (en) * | 1987-10-05 | 1989-07-18 | Olin Corporation | Heat dissipating interconnect tape for use in tape automated bonding |
| US4908736A (en) | 1987-12-04 | 1990-03-13 | General Electric Company | Self packaging chip mount |
| JPH0719859B2 (ja) * | 1988-12-12 | 1995-03-06 | 松下電器産業株式会社 | Icカード用モジュールの製造方法 |
| JPH02177553A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 集積回路装置およびその製造方法 |
| JPH02296345A (ja) | 1989-05-10 | 1990-12-06 | Seiko Epson Corp | 半導体装置 |
| US5583375A (en) | 1990-06-11 | 1996-12-10 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device with lead structure within the planar area of the device |
| JP2839941B2 (ja) | 1990-07-26 | 1998-12-24 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置 |
| JP3170519B2 (ja) | 1992-05-12 | 2001-05-28 | 沖電気工業株式会社 | メモリカード |
| JPH0661404A (ja) | 1992-08-10 | 1994-03-04 | Nec Corp | 半導体装置 |
| US5302849A (en) * | 1993-03-01 | 1994-04-12 | Motorola, Inc. | Plastic and grid array semiconductor device and method for making the same |
| KR0152901B1 (ko) | 1993-06-23 | 1998-10-01 | 문정환 | 플라스틱 반도체 패키지 및 그 제조방법 |
| KR970002140B1 (ko) * | 1993-12-27 | 1997-02-24 | 엘지반도체 주식회사 | 반도체 소자, 패키지 방법, 및 리드테이프 |
| JPH088389A (ja) * | 1994-04-20 | 1996-01-12 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及び半導体装置ユニット |
| JPH0817864A (ja) | 1994-06-24 | 1996-01-19 | New Japan Radio Co Ltd | 半導体パッケ−ジ |
| KR0145768B1 (ko) * | 1994-08-16 | 1998-08-01 | 김광호 | 리드 프레임과 그를 이용한 반도체 패키지 제조방법 |
| JPH08213513A (ja) | 1994-11-08 | 1996-08-20 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置の構造 |
| KR100214463B1 (ko) * | 1995-12-06 | 1999-08-02 | 구본준 | 클립형 리드프레임과 이를 사용한 패키지의 제조방법 |
| JP3501316B2 (ja) * | 1995-06-16 | 2004-03-02 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置及びその製造方法 |
| KR0179803B1 (ko) * | 1995-12-29 | 1999-03-20 | 문정환 | 리드노출형 반도체 패키지 |
| JPH09321212A (ja) * | 1996-05-30 | 1997-12-12 | Nec Kyushu Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
-
1996
- 1996-03-27 JP JP8070829A patent/JPH09260538A/ja not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-02-26 US US08/806,614 patent/US6208021B1/en not_active Expired - Fee Related
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