JPH09260538A - 樹脂封止型半導体装置及び製造方法とその実装構造 - Google Patents

樹脂封止型半導体装置及び製造方法とその実装構造

Info

Publication number
JPH09260538A
JPH09260538A JP8070829A JP7082996A JPH09260538A JP H09260538 A JPH09260538 A JP H09260538A JP 8070829 A JP8070829 A JP 8070829A JP 7082996 A JP7082996 A JP 7082996A JP H09260538 A JPH09260538 A JP H09260538A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
semiconductor device
leads
encapsulated semiconductor
encapsulated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP8070829A
Other languages
English (en)
Inventor
Nobuhito Oouchi
伸仁 大内
Etsuo Yamada
悦夫 山田
Yasushi Shiraishi
靖 白石
Hiroshi Kono
博 河野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Miyazaki Oki Electric Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
Miyazaki Oki Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oki Electric Industry Co Ltd, Miyazaki Oki Electric Co Ltd filed Critical Oki Electric Industry Co Ltd
Priority to JP8070829A priority Critical patent/JPH09260538A/ja
Priority to US08/806,614 priority patent/US6208021B1/en
Priority to EP97103710A priority patent/EP0798780A3/en
Priority to KR1019970008969A priority patent/KR970067781A/ko
Priority to CNB971102023A priority patent/CN1151554C/zh
Publication of JPH09260538A publication Critical patent/JPH09260538A/ja
Priority to US09/733,969 priority patent/US6403398B2/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/90Bond pads, in general
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W70/00Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
    • H10W70/40Leadframes
    • H10W70/421Shapes or dispositions
    • H10W70/424Cross-sectional shapes
    • H10W70/427Bent parts
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W70/00Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
    • H10W70/01Manufacture or treatment
    • H10W70/04Manufacture or treatment of leadframes
    • H10W70/048Mechanical treatments, e.g. punching, cutting, deforming or cold welding
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/20Bump connectors, e.g. solder bumps or copper pillars; Dummy bumps; Thermal bumps
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W74/00Encapsulations, e.g. protective coatings
    • H10W74/01Manufacture or treatment
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W74/00Encapsulations, e.g. protective coatings
    • H10W74/10Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition
    • H10W74/111Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition the semiconductor body being completely enclosed
    • H10W74/129Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition the semiconductor body being completely enclosed forming a chip-scale package [CSP]
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W74/00Encapsulations, e.g. protective coatings
    • H10W74/10Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition
    • H10W74/131Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition the semiconductor body being only partially enclosed
    • H10W74/141Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition the semiconductor body being only partially enclosed the encapsulations being on at least the sidewalls of the semiconductor body
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/072Connecting or disconnecting of bump connectors
    • H10W72/07251Connecting or disconnecting of bump connectors characterised by changes in properties of the bump connectors during connecting
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/20Bump connectors, e.g. solder bumps or copper pillars; Dummy bumps; Thermal bumps
    • H10W72/251Materials
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/20Bump connectors, e.g. solder bumps or copper pillars; Dummy bumps; Thermal bumps
    • H10W72/29Bond pads specially adapted therefor
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/60Strap connectors, e.g. thick copper clips for grounding of power devices
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/60Strap connectors, e.g. thick copper clips for grounding of power devices
    • H10W72/641Dispositions of strap connectors
    • H10W72/646Dispositions of strap connectors the connected ends being on auxiliary connecting means on bond pads, e.g. on a bump connector
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/60Strap connectors, e.g. thick copper clips for grounding of power devices
    • H10W72/681Auxiliary members, e.g. flow barriers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/60Strap connectors, e.g. thick copper clips for grounding of power devices
    • H10W72/681Auxiliary members, e.g. flow barriers
    • H10W72/685Alignment aids, e.g. alignment marks
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W74/00Encapsulations, e.g. protective coatings
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W74/00Encapsulations, e.g. protective coatings
    • H10W74/10Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition
    • H10W74/131Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition the semiconductor body being only partially enclosed
    • H10W74/142Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition the semiconductor body being only partially enclosed the encapsulations exposing the passive side of the semiconductor body

Landscapes

  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 樹脂封止型半導体装置の軽薄短小化と、その
高密度実装化を図り得る樹脂封止型半導体装置及び製造
方法とその実装構造を提供する。 【解決手段】 リードが外表面上に露出している樹脂封
止型半導体装置において、半導体素子1の回路形成面に
絶縁性接着テープ2を挟んで接着され、かつ前記半導体
素子1を内側にしてそれぞれが独立して規則的に整列さ
れ外部に露出しているスポットリード7を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂封止型半導体
装置及び製造方法とその実装装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年では、ICカードやメモリーカード
が急速に発達し、これに伴って、カードの中に搭載され
る樹脂封止型半導体装置も薄型のものが要求されるよう
になってきており、その薄型化を実現させる方法も、数
多く提案されている。その一つとして、例えば、特願平
6−273262号に示すように、チップサポートの表
面及び半導体素子裏面を露出させた構造がある。この構
造では、パッケージの厚み全体を0.5mm程度にする
ことができる。
【0003】また、特開平5−309983号公報(特
願平4−119133号)に示すように、リードをL形
曲げにすることで、実装面積を小さくすることができ
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の樹脂封止型半導体装置では、パッケージが薄く
なっても、実装面積は変わっていない。つまり、リード
がモールド樹脂外に長く延びているため、プリント基板
への実装面積は、半導体素子に比べると、かなり広い面
積となり、高密度実装の実現には程遠いものである。
【0005】本発明は、上記問題点を除去し、樹脂封止
型半導体装置の軽薄短小化と、その高密度実装化を図り
得る樹脂封止型半導体装置及び製造方法とその実装構造
を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔1〕リードが外表面上に露出している樹脂封止型半導
体装置において、半導体素子の回路形成面に絶縁性接着
テープを挟んで接着され、かつ前記半導体素子を内側に
してそれぞれが独立して規則的に整列され外部に露出し
ているスポットリードを設けるようにしたものである。
【0007】したがって、樹脂封止型半導体装置の軽薄
短小化と、その高密度実装化を図ることができる。 〔2〕上記〔1〕記載の樹脂封止型半導体装置におい
て、前記スポットリードと半導体素子との接続を行う、
絶縁性接着テープと同じ厚さの金属バンプを設けるよう
にしたものである。
【0008】このように、半導体素子との接合が金属バ
ンプのみでなく絶縁性接着テープを用いることにより、
熱膨張の違いによる金属バンプへのストレスが緩和さ
れ、金属バンプの破壊等の電気的特性の低下や不良の発
生を防ぐことができる。 〔3〕上記〔1〕又は〔2〕記載の樹脂封止型半導体装
置において、前記スポットリードの側面を除いて金属メ
ッキを施すようにしたものである。
【0009】このように、外部端子用および内部接続用
の金属メッキをスポットリードの側面には施さないよう
にしたので、モールド樹脂と金属メッキとの接触がなく
なり、モールド成形後のモールド樹脂のクラック等を防
ぐことができる。 〔4〕上記〔1〕、〔2〕又は〔3〕記載の樹脂封止型
半導体装置において、前記スポットリードと半導体素子
サポートとを有するリードフレームを設けるようにした
ものである。
【0010】このように、スポットリードと半導体素子
サポートとを有するリードフレームを用いるようにした
ので、堅牢で信頼性の高い樹脂封止型半導体装置を得る
ことができる。 〔5〕上記〔2〕、〔3〕又は〔4〕記載の樹脂封止型
半導体装置において、前記スポットリードに延長リード
を設け、この延長リードの下に金属バンプを設け、この
金属バンプを介して前記半導体素子に接続するようにし
たものである。
【0011】このように、外部端子となっているスポッ
トリードを、配線のように半導体素子上の接合部まで延
長した延長リードを設けて、その延長リードに金属バン
プを接合するようにしたので、半導体素子上の回路形成
による接合部の位置にあまり依存しないで、整列された
外部端子を形成することができる。 〔6〕樹脂封止型半導体装置の製造方法において、リー
ドフレームにおける半導体素子サポートと金属メッキ後
の複数のリードを絶縁性接着テープで接着・固定する工
程と、前記複数のリードを前記リードフレームから切り
離してスポットリードを形成する工程とを施すようにし
たものである。
【0012】このように、金属メッキ後の複数リードを
絶縁性接着テープで接着固定した後、スポットリードに
打ち抜くため、スポットリードが目的位置に、かつ所定
の大きさに固定される。また、事前に金属メッキされる
ため、半導体装置組立工程でも、金属メッキは不要とな
る。 〔7〕樹脂封止型半導体装置の製造方法において、リー
ドフレームにおける半導体素子サポートと金属メッキ後
の複数のリードを絶縁性接着テープで接着・固定する工
程と、前記複数のリードを前記リードフレームから切り
離してスポットリードを形成する工程と、前記接着テー
プにより接着される半導体素子をモールド樹脂により樹
脂封止する工程とを施すようにしたものである。
【0013】したがって、半導体素子が安定的に支持さ
れ、堅牢な樹脂封止型半導体装置を得ることができる。 〔8〕リードが外表面上に露出している樹脂封止型半導
体装置において、複数のスポットリードが独立して半導
体素子の回路形成面に絶縁性接着テープを挟んで接着さ
れ、かつ、前記半導体素子を内側に配置してこの半導体
素子の側面にこの半導体素子の裏面に届くまで曲げら
れ、規則的に整列され外部に露出しているL形リードを
設けるようにしたものである。
【0014】このように、L形リードは、半導体素子の
側面まで露出しているため、外部端子とプリント基板の
フットパターンを接合する半田の接合強度が向上でき
る。
〔9〕樹脂封止型半導体装置の製造方法において、リー
ドフレームにおける半導体素子サポートと金属メッキ後
の複数のリードを絶縁性接着テープで接着・固定する工
程と、前記接着テープにより接着される半導体素子をモ
ールド樹脂により樹脂封止する工程と、前記複数のリー
ドを前記リードフレームから切り離して前記半導体素子
を内側に配置してこの半導体素子の側面に該半導体素子
の裏面に届くまで曲げられ、規則的に整列され外部に露
出しているL形リードを形成する工程とを施すようにし
たものである。
【0015】このように、スポットリードの形成は、リ
ードフレームの加工・形成後、モールド樹脂封止される
のではなく、半導体装置の組立のモールド樹脂封止工程
後に、リードフレームを加工・形成するようにしたの
で、高密度実装化を図り得る樹脂封止型半導体装置を製
造することができる。 〔10〕樹脂封止型半導体装置の実装構造において、隣
合う前記樹脂封止型半導体装置のL形リードを、互いに
接続し、かつ基板の同一フットパターンに接続するよう
にしたものである。
【0016】したがって、同一のプリント基板のフット
パターンに、前記2つのL形リードを一緒に接続するこ
とができる。したがって、基板上への高密度実装化を図
ることができる。 〔11〕上記〔10〕記載の樹脂封止型半導体装置の実
装構造において、基板上に実装される下段の前記樹脂封
止型半導体装置上に逆さまにして上段の前記樹脂封止型
半導体装置を積み重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装
置のL形リードの先端を接続するようにしたものであ
る。
【0017】このように、基板上に実装される下段の前
記樹脂封止型半導体装置上に逆さまにして上段の前記樹
脂封止型半導体装置を積み重ね、それぞれの樹脂封止型
半導体装置のL形リードの先端を接続するようにしたの
で、基板上への高密度実装化を図ることができる。 〔12〕上記〔11〕記載の樹脂封止型半導体装置の実
装構造において、前記下段と上段の前記樹脂封止型半導
体装置の裏面を接着剤を用いて互いに固定するようにし
たものである。
【0018】このように、前記下段と上段の前記樹脂封
止型半導体装置の裏面を接着剤を用いて互いに固定する
ようにしたので、堅牢で、かつコンパクトな樹脂封止型
半導体装置を得ることができる。 〔13〕上記〔11〕又は〔12〕記載の樹脂封止型半
導体装置の実装構造において、前記上段の樹脂封止型半
導体装置上に前記下段の樹脂封止型半導体装置と同じ向
きに更に積み重ねるようにしたものである。
【0019】このように、上記(11)の2段の樹脂封
止型半導体装置の積み重ねに、更にもう1段樹脂封止型
半導体装置を積み重ねて、3段重ねにしそれぞれのL形
リードを接合させるようにしたので、より一層の基板上
への高密度実装化を図ることができる。 〔14〕上記〔10〕記載の樹脂封止型半導体装置の実
装構造において、基板上に実装される下段の樹脂封止型
半導体装置上に同じ向きで上段の樹脂封止型半導体装置
を積み重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装置のL形リ
ードの先端と曲げ部を接続するようにしたものである。
【0020】このように、基板上に実装される下段の前
記樹脂封止型半導体装置上に同じ向きで上段の前記積み
重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装置のL形リードの
先端と曲げ部を接続するようにしたので、同じ向きに順
番に接続樹脂封止型半導体装置を積み重ねるだけで、よ
り一層の基板上への高密度実装化を図ることができる。
【0021】〔15〕上記〔14〕記載の樹脂封止型半
導体装置において、前記下段と上段の樹脂封止型半導体
装置間を接着剤を用いて互いに固定するようにしたもの
である。このように、前記下段と上段の前記樹脂封止型
半導体装置間を接着剤を用いて互いに固定するようにし
たので、堅牢で、かつコンパクトな樹脂封止型半導体装
置を得ることができる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。図1は本発明の
第1実施例を示す樹脂封止型半導体装置の断面図、図2
はその樹脂封止型半導体装置の部分斜視図である。これ
らの図に示すように、スポットリード7は、半導体素子
サポート4とともに絶縁性接着テープ(以下、単に接着
テープという)2によって、半導体素子1の回路形成面
に熱により接着されている。
【0023】上記スポットリード7と半導体素子1の電
気的接続は、整列された金属バンプ9で行われている。
スポットリード7には、外部端子用及び内部接続用にそ
れぞれ金属メッキ8が施されている。そして、スポット
リード7、半導体素子サポート4と半導体素子1を金型
で挟むようにして、モールド樹脂6で封止している。な
お、スポットリード7は、半導体素子1の面積の内側に
規則正しく整列されている。
【0024】また、上記金属バンプ9の高さと接着テー
プ2は、ほぼ同じ厚みである。従って、半導体装置の厚
みは、半導体素子1の厚みと金属バンプ9の高さとスポ
ットリード7の厚みとなり、外部端子は半導体装置内と
なる。このように第1実施例によれば、半導体装置の厚
みは、スポットリード7の厚さ約0.125mm、金属
バンプ9の高さ0.05mm、半導体素子1の厚さ0.
250mmで、0.4〜0.5mm程度と薄く、かつ、
面積は半導体素子1内に収めることが可能となる。ま
た、半導体素子1との接合が金属バンプ9のみでなく接
着テープ2を用いるため、熱膨張の違いによる金属バン
プ9へのストレスは緩和され、金属バンプ9の破壊等の
電気的特性の低下や不良の発生を防ぐことができる。
【0025】また、図3及び図4に示すように、上記し
た半導体素子サポート4を無くした樹脂封止型半導体装
置に適用できることは言うまでもない。更に、図5に示
すように、スポットリード7とモールド樹脂6は、熱膨
張係数が異なるため、モールド樹脂6により封止後、常
温に戻されたとき、それぞれの境界より隙間101が生
じ、さらには、クラック102まで発展する場合が考え
られる。
【0026】そこで、その境界で密着性を上げるため
に、図1及び図3に示すように、外部端子用および内部
接続用の金属メッキ8をスポットリード7の側面には施
さないようにする。金属メッキ8はモールド樹脂6との
密着を低下させてしまうからである。そして、モールド
樹脂6と金属メッキ8との接触面をなくすようにする。
このようにすれば、モールド樹脂6と金属メッキ8との
接触がなくなるので、モールド成形後のモールド樹脂の
クラック等は防ぐことができる。
【0027】図6は、本発明の第1実施例のリードフレ
ームの製造工程平面図であり、図6(a)はリードフレ
ームの切断前の平面図、図6(b)はそのリードフレー
ムの切断後の平面図である。まず、図6(a)に示すよ
うに、枠部10aと、仕切部10bと、枠部10aを連
結する半導体素子サポート4と、仕切部10bから内部
へ延びる複数リード7Aとを有するリードフレーム10
を用意する。その複数リード7Aの先端部に金属メッキ
8を行い、その後、その複数リード7Aの先端部と接着
テープ2とを熱圧着で接着させる。
【0028】その後、図6(b)に示すように、リード
7Aと接着テープ2が接触していない部分、つまり、リ
ード7Aの先端部と仕切部10bとの間を打ち抜き、最
終的にスポットリード7を形成する。すなわち、スポッ
トリード7を外部端子となる大きさに打ち抜く。打ち抜
かれたスポットリード7は、接着テープ2に固定され、
そのまま半導体装置組立に入る。
【0029】このように第1実施例によれば、金属メッ
キ8後の複数リード7Aを接着テープ2で固定した後、
スポットリード7に打ち抜くため、スポットリード7が
目的位置に、かつ所定の大きさに固定される。また、事
前に金属メッキされるため、半導体装置組立工程でも、
金属メッキは不要となる。次に、本発明の第1実施例の
第2の変形例について説明する。
【0030】図7は本発明の第1実施例の第2の変形例
を示す樹脂封止型半導体装置の要部斜視図である。図7
において、6はモールド樹脂、7はスポットリード、7
−1は延長リード、8はスポットリード及び延長リード
の表面に形成される金属メッキ、9は金属バンプであ
る。
【0031】上記第1実施例のスポットリード7の配置
は整列されており、これに対応して、プリント基板(図
示なし)のフットパターン(図示なし)と半田接合され
る。このスポットリード7の位置と同じ位置に、半導体
素子1の接合部があることになるということは、半導体
素子の回路形成に自由度がなく、制約される場合がでて
くる。そこで、半導体素子上の接合部が、ある程度バラ
バラに配置されても、この実施例では、延長リード7−
1によりスポットリードの外部端子は整列できるように
した。
【0032】すなわち、外部端子となっているスポット
リード7を、配線のように半導体素子上の接合部まで延
長した延長リード7−1を設けて、その延長リード7−
1の先端部に金属バンプ9を接合する。したがって、半
導体素子上の回路形成による接合部の位置にあまり依存
しないで、整列された外部端子を形成することができ
る。
【0033】次に、本発明の第2実施例について説明す
る。図8は本発明の第2実施例を示す樹脂封止型半導体
装置の断面図である。この図に示すように、第1実施例
と構造はほとんど同じであるが、上記したスポットリー
ドが半導体素子1側面まで露出し、L形に曲げられたL
形リード12となっている。
【0034】従って、スポットリードの形成は、第1実
施例とは異なり、リードフレームの加工・形成後、モー
ルド樹脂封止されるのではなく、半導体装置の組立のモ
ールド樹脂封止工程後に、リードが加工・形成される。
このように、L形リード12は、半導体素子1側面まで
露出しているため、外部端子とプリント基板(図示な
し)のフットパターン(図示なし)を接合する半田の接
合強度が向上できる。
【0035】なお、図9に示すように、図8に示す半導
体素子サポート4をなくした樹脂封止型半導体装置に適
用できることは言うまでもない。図10は図9に示す半
導体素子サポートをなくした樹脂封止型半導体装置の要
部斜視図であり、半導体素子が封止されたモールド樹脂
6の両側に、金属メッキ8が施されたL形リード12が
配列される。
【0036】図11は本発明の第2実施例の第1の応用
例を示す断面図である。本発明の第2実施例で示したモ
ールド樹脂6により封止された樹脂封止型半導体装置
は、側面にL形リード12が存在するため、樹脂封止型
半導体装置AのL形リード12aと隣合う、樹脂封止型
半導体装置BのL形リード12bを接合することができ
る。
【0037】また、同一のプリント基板13のフットパ
ターン15に上記L形リード12aとL形リード12b
を半田14等で一緒に接続することができる。つまり、
L形リード12aとL形リード12bを同じフットパタ
ーン15の上に共有できる。これらの接合の仕方は、メ
モリとしての半導体素子に多く、隣同士の半導体素子の
回路形成は逆になっており、端子の入出力も逆になって
いる。
【0038】このように、樹脂封止型半導体装置の側面
にL形リード12が存在するため、樹脂封止型半導体装
置を同一のプリント基板13上に直列にコンパクトに実
装することができる。また、プリント基板の配線の簡略
化を図ることができる。図12は本発明の第2実施例の
第2の応用例を示す断面図である。
【0039】本発明の第2実施例で示したモールド樹脂
6により封止された樹脂封止型半導体装置は、L形リー
ド12が側面を通って、反対の面まで達しているため、
図12に示すように、樹脂封止型半導体装置を逆にして
2段に積み重ねると、樹脂封止型半導体装置AのL形リ
ード12aの先端と、樹脂封止型半導体装置BのL形リ
ード12bの先端とを、また、樹脂封止型半導体装置A
のL形リード12bの先端と、樹脂封止型半導体装置B
のL形リード12aの先端とを半田14等により接続で
きる。更に、半導体素子1(図示なし)の裏面側同士を
接着剤16で固定する。
【0040】このように、L形リード12が側面を通っ
て、反対の面まで達しているため、樹脂封止型半導体装
置Aと逆さまにした樹脂封止型半導体装置Bのそれぞれ
のL形リード12の先端同士で、半田14等により接続
ができる。かつ、半導体素子1裏面側同士を接着剤16
で固定するようにしたので、プリント基板13への実装
密度の向上を図ることができる。
【0041】なお、使用される樹脂封止型半導体装置
は、それぞれの半導体素子1の回路形成が逆になってお
り、端子の入出力も逆になっている。図13は本発明の
第2実施例の第3の応用例を示す断面図である。この第
3の応用例によると、図13に示すように、図12に示
した2段の積み重ねに、更にもう1段積み重ねて、3段
重ねにしたものである。すなわち、2段目の樹脂封止型
半導体装置B上に、第1段目と同様の向きで3段目の樹
脂封止型半導体装置Cを積み重ねそれぞれのL形リード
12を接合させるようにしたものである。
【0042】このように、本発明の第2実施例の樹脂封
止型半導体を3段重ねにしたので、プリント基板13へ
の更なる実装密度の向上を図ることができる。更に、4
段、5段と段数を増加させることも可能である。図14
は本発明の第2実施例の第4の応用例を示す断面図であ
る。本発明の第2実施例で示したモールド樹脂6により
封止された樹脂封止型半導体装置は、L形リード12が
側面を通って、反対の面まで達しているため、図14に
示すように、同じ向きで上方へ積み重ねることができ
る。すなわち、樹脂封止型半導体装置Aをプリント基板
13上に実装し、その上に同じ向きに樹脂封止型半導体
装置Bを積み重ね、樹脂封止型半導体装置AのL形リー
ド12aと樹脂封止型半導体装置BのL形リード12a
とを、樹脂封止型半導体装置AのL形リード12bと樹
脂封止型半導体装置BのL形リード12bとを、L形リ
ード12の先端とL形の曲げ部にて半田14等で接続が
できる。また、樹脂封止型半導体装置の間は接着剤16
で固定する。
【0043】したがって、プリント基板13への実装密
度の向上を図ることができる。これらの接合の仕方は、
メモリ半導体素子に多く、まったく同一の回路形成素子
で、多段に積み重ねが可能となる。なお、本発明は上記
実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づ
いて種々の変形が可能であり、それらを本発明の範囲か
ら排除するものではない。
【0044】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。 (1)請求項1記載の発明によれば、樹脂封止型半導体
装置の軽薄短小化と、その高密度実装化を図ることがで
きる。
【0045】(2)請求項2記載の発明によれば、特
に、半導体素子との接合が金属バンプのみでなく、絶縁
性接着テープを用いることにより、熱膨張の違いによる
金属バンプへのストレスは緩和され、金属バンプの破壊
等の電気的特性の低下や不良の発生を防ぐことができ
る。 (3)請求項3記載の発明によれば、外部端子用および
内部接続用の金属メッキをスポットリードの側面には施
さないようにしたので、モールド樹脂と金属メッキとの
接触がなくなり、モールド成形後のモールド樹脂のクラ
ック等を防ぐことができる。
【0046】(4)請求項4記載の発明によれば、スポ
ットリードと半導体素子サポートとを有するリードフレ
ームを用いるようにしたので、堅牢で信頼性の高い樹脂
封止型半導体装置を得ることができる。 (5)請求項5記載の発明によれば、外部端子となって
いるスポットリードを、配線のように半導体素子上の接
合部まで延長した延長リードを設けて、その延長リード
に金属バンプを接合するようにしたので、半導体素子上
の回路形成による接合部の位置にあまり依存しないで、
整列された外部端子を形成することができる。
【0047】(6)請求項6記載の発明によれば、金属
メッキ後の複数リードを絶縁性接着テープで接着固定し
た後、スポットリードに打ち抜くため、スポットリード
を目的位置に、かつ所定の大きさに固定することができ
る。また、事前に金属メッキされるため、半導体装置組
立工程でも、金属メッキは不要となる。 (7)請求項7記載の発明によれば、半導体素子が安定
的に支持され、堅牢な樹脂封止型半導体装置を得ること
ができる。
【0048】(8)請求項8記載の発明によれば、L形
リードは、半導体素子の側面まで露出しているため、外
部端子とプリント基板のフットパターンを接合する半田
の接合強度を向上させることができる。 (9)請求項9記載の発明によれば、スポットリードの
形成は、リードフレームの加工・形成後、モールド樹脂
封止されるのではなく、半導体装置の組立のモールド樹
脂封止工程後に、リードフレームを加工・形成するよう
にしたので、高密度実装化を図え得る樹脂封止型半導体
装置を製造することができる。
【0049】(10)請求項10記載の発明によれば、
隣合う前記樹脂封止型半導体装置のL形リードを、互い
に接続し、かつ基板の同一フットパターンに接続するよ
うにしたものである。したがって、同一のプリント基板
のフットパターンに、前記2つのL形リードを一緒に接
続することができる。
【0050】(11)請求項11記載の発明によれば、
基板上に実装される下段の前記樹脂封止型半導体装置上
に逆さまにして上段の前記樹脂封止型半導体装置を積み
重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装置のL形リードの
先端を接続するようにしたので、基板上への高密度実装
化を図ることができる。 (12)請求項12記載の発明によれば、前記下段と上
段の前記樹脂封止型半導体装置の裏面を接着剤を用いて
互いに固定するようにしたので、堅牢で、かつコンパク
トな樹脂封止型半導体装置を得ることができる。
【0051】(13)請求項13記載の発明によれば、
上記(11)の2段の樹脂封止型半導体装置の積み重ね
に、更にもう1段樹脂封止型半導体装置を積み重ねて、
3段重ねにしそれぞれのL形リードを接合させるように
したので、より一層の基板上への高密度実装化を図るこ
とができる。 (14)請求項14記載の発明によれば、基板上に実装
される下段の前記樹脂封止型半導体装置上に同じ向きで
上段の前記積み重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装置
のL形リードの先端と曲げ部を接続するようにしたの
で、同じ向きに順番に接続樹脂封止型半導体装置を積み
重ねるだけで、より一層の基板上への高密度実装化を図
ることができる。
【0052】(15)請求項15記載の発明によれば、
前記下段と上段の前記樹脂封止型半導体装置間を接着剤
を用いて互いに固定するようにしたので、堅牢で、かつ
コンパクトな樹脂封止型半導体装置を得ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示す樹脂封止型半導体装
置の断面図である。
【図2】本発明の第1実施例を示す樹脂封止型半導体装
置の部分斜視図である。
【図3】本発明の第1実施例の変形例を示す樹脂封止型
半導体装置の断面図である。
【図4】本発明の第1実施例の変形例を示す樹脂封止型
半導体装置の部分斜視図である。
【図5】樹脂封止型半導体装置の問題点の説明図であ
る。
【図6】本発明の第1実施例のリードフレームの製造工
程平面図である。
【図7】本発明の第1実施例の第2の変形例を示す樹脂
封止型半導体装置の要部斜視図である。
【図8】本発明の第2実施例を示す樹脂封止型半導体装
置の断面図である。
【図9】本発明の第2実施例の変形例を示す樹脂封止型
半導体装置の断面図である。
【図10】本発明の第2実施例の変形例を示す樹脂封止
型半導体装置の部分斜視図である。
【図11】本発明の第2実施例の第1の応用例を示す断
面図である。
【図12】本発明の第2実施例の第2の応用例を示す断
面図である。
【図13】本発明の第2実施例の第3の応用例を示す断
面図である。
【図14】本発明の第2実施例の第4の応用例を示す断
面図である。
【符号の説明】
1 半導体素子 2 絶縁性接着テープ 4 半導体素子サポート 6 モールド樹脂 7 スポットリード 7A 複数リード 7−1 延長リード 8 金属メッキ 9 金属バンプ 10 リードフレーム 10a 枠部 10b 仕切部 12,12a,12b L形リード 13 プリント基板 14 半田 15 フットパターン 16 接着剤
フロントページの続き (72)発明者 白石 靖 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号 沖電気 工業株式会社内 (72)発明者 河野 博 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号 沖電気 工業株式会社内

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 リードが外表面上に露出している樹脂封
    止型半導体装置において、 半導体素子の回路形成面に絶縁性接着テープを挟んで接
    着され、かつ前記半導体素子を内側にしてそれぞれが独
    立して規則的に整列され外部に露出しているスポットリ
    ードを具備することを特徴とする樹脂封止型半導体装
    置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の樹脂封止型半導体装置に
    おいて、 前記スポットリードと半導体素子との接続を行う、前記
    絶縁性接着テープと同じ厚さの金属バンプを具備する樹
    脂封止型半導体装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2記載の樹脂封止型半導体
    装置において、 前記スポットリードの側面を除いて金属メッキを施して
    なる樹脂封止型半導体装置。
  4. 【請求項4】 請求項1、2又は3記載の樹脂封止型半
    導体装置において、 前記スポットリードと半導体素子サポートとを有するリ
    ードフレームを具備する樹脂封止型半導体装置。
  5. 【請求項5】 請求項2、3又は4記載の樹脂封止型半
    導体装置において、 前記スポットリードに延長リードを設け、該延長リード
    の下に金属バンプを設け、該金属バンプを介して前記半
    導体素子に接続してなる樹脂封止型半導体装置。
  6. 【請求項6】 樹脂封止型半導体装置の製造方法におい
    て、(a)リードフレームにおける半導体素子サポート
    と金属メッキ後の複数のリードを絶縁性接着テープで接
    着・固定する工程と、(b)前記複数のリードを前記リ
    ードフレームから切り離してスポットリードを形成する
    工程とを施すことを特徴とする樹脂封止型半導体装置の
    製造方法。
  7. 【請求項7】 樹脂封止型半導体装置の製造方法におい
    て、(a)リードフレームにおける半導体素子サポート
    と金属メッキ後の複数のリードを絶縁性接着テープで接
    着・固定する工程と、(b)前記複数のリードを前記リ
    ードフレームから切り離してスポットリードを形成する
    工程と、(c)前記接着テープにより接着される半導体
    素子をモールド樹脂により樹脂封止する工程とを施すこ
    とを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法。
  8. 【請求項8】 リードが外表面上に露出している樹脂封
    止型半導体装置において、 複数のスポットリードが独立して半導体素子の回路形成
    面に絶縁性接着テープを挟んで接着され、かつ、前記半
    導体素子を内側に配置して該半導体素子の側面に該半導
    体素子の裏面に届くまで曲げられ、規則的に整列され外
    部に露出しているL形リードを具備する樹脂封止型半導
    体装置。
  9. 【請求項9】 樹脂封止型半導体装置の製造方法におい
    て、(a)リードフレームにおける半導体素子サポート
    と金属メッキ後の複数のリードを絶縁性接着テープで接
    着・固定する工程と、(b)前記接着テープにより接着
    される半導体素子をモールド樹脂により樹脂封止する工
    程と、(c)前記複数のリードを前記リードフレームか
    ら切り離して前記半導体素子を内側に配置して該半導体
    素子の側面に該半導体素子の裏面に届くまで曲げられ、
    規則的に整列され外部に露出しているL形リードを形成
    する工程とを施すことを特徴とする樹脂封止型半導体装
    置の製造方法。
  10. 【請求項10】 樹脂封止型半導体装置の実装構造にお
    いて、 隣合う前記樹脂封止型半導体装置のL形リードを、互い
    に接続し、かつ基板の同一フットパターンに接続してな
    る樹脂封止型半導体装置の実装構造。
  11. 【請求項11】 請求項10記載の樹脂封止型半導体装
    置の実装構造において、 基板上に実装される下段の前記樹脂封止型半導体装置上
    に逆さまにして上段の前記樹脂封止型半導体装置を積み
    重ね、それぞれの樹脂封止型半導体装置のL形リードの
    先端を接続してなる樹脂封止型半導体装置の実装構造。
  12. 【請求項12】 請求項11記載の樹脂封止型半導体装
    置の実装構造において、 前記下段と上段の樹脂封止型半導体装置の裏面を接着剤
    を用いて互いに固定してなる樹脂封止型半導体装置の実
    装構造。
  13. 【請求項13】 請求項11又は12記載の樹脂封止型
    半導体装置の実装構造において、 前記上段の樹脂封止型半導体装置上に前記下段の樹脂封
    止型半導体装置と同じ向きに更に積み重ねてなる樹脂封
    止型半導体装置の実装構造。
  14. 【請求項14】 請求項10記載の樹脂封止型半導体装
    置の実装構造において、 基板上に実装される下段の樹脂封止型半導体装置上に同
    じ向きで上段の樹脂封止型半導体装置を積み重ね、それ
    ぞれの樹脂封止型半導体装置のL形リードの先端と曲げ
    部を接続してなる樹脂封止型半導体装置の実装構造。
  15. 【請求項15】 請求項14記載の樹脂封止型半導体装
    置の実装構造において、 前記下段と上段の樹脂封止型半導体装置間を接着剤を用
    いて互いに固定してなる樹脂封止型半導体装置の実装構
    造。
JP8070829A 1996-03-27 1996-03-27 樹脂封止型半導体装置及び製造方法とその実装構造 Withdrawn JPH09260538A (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8070829A JPH09260538A (ja) 1996-03-27 1996-03-27 樹脂封止型半導体装置及び製造方法とその実装構造
US08/806,614 US6208021B1 (en) 1996-03-27 1997-02-26 Semiconductor device, manufacturing method thereof and aggregate type semiconductor device
EP97103710A EP0798780A3 (en) 1996-03-27 1997-03-06 Semiconductor device, manufacturing method thereof and aggregate type semiconductor device
KR1019970008969A KR970067781A (ko) 1996-03-27 1997-03-17 반도체 장치와 그의 제조방법 및 집합형 반도체 장치
CNB971102023A CN1151554C (zh) 1996-03-27 1997-03-27 半导体器件、其制造方法以及组合型半导体器件
US09/733,969 US6403398B2 (en) 1996-03-27 2000-12-12 Semiconductor device, manufacturing method thereof and aggregate type semiconductor device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8070829A JPH09260538A (ja) 1996-03-27 1996-03-27 樹脂封止型半導体装置及び製造方法とその実装構造

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09260538A true JPH09260538A (ja) 1997-10-03

Family

ID=13442867

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8070829A Withdrawn JPH09260538A (ja) 1996-03-27 1996-03-27 樹脂封止型半導体装置及び製造方法とその実装構造

Country Status (5)

Country Link
US (2) US6208021B1 (ja)
EP (1) EP0798780A3 (ja)
JP (1) JPH09260538A (ja)
KR (1) KR970067781A (ja)
CN (1) CN1151554C (ja)

Families Citing this family (120)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3881751B2 (ja) * 1997-08-20 2007-02-14 沖電気工業株式会社 半導体チップの実装構造および実装方法
US7071541B1 (en) 1998-06-24 2006-07-04 Amkor Technology, Inc. Plastic integrated circuit package and method and leadframe for making the package
US7005326B1 (en) 1998-06-24 2006-02-28 Amkor Technology, Inc. Method of making an integrated circuit package
US7112474B1 (en) 1998-06-24 2006-09-26 Amkor Technology, Inc. Method of making an integrated circuit package
US7332375B1 (en) 1998-06-24 2008-02-19 Amkor Technology, Inc. Method of making an integrated circuit package
US6143981A (en) 1998-06-24 2000-11-07 Amkor Technology, Inc. Plastic integrated circuit package and method and leadframe for making the package
US6893900B1 (en) 1998-06-24 2005-05-17 Amkor Technology, Inc. Method of making an integrated circuit package
US7030474B1 (en) 1998-06-24 2006-04-18 Amkor Technology, Inc. Plastic integrated circuit package and method and leadframe for making the package
KR100304959B1 (ko) * 1998-10-21 2001-09-24 김영환 칩 적층형 반도체 패키지 및 그 제조방법
JP3904058B2 (ja) * 1998-10-30 2007-04-11 セイコーエプソン株式会社 半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器
US6448633B1 (en) 1998-11-20 2002-09-10 Amkor Technology, Inc. Semiconductor package and method of making using leadframe having lead locks to secure leads to encapsulant
KR20010037247A (ko) * 1999-10-15 2001-05-07 마이클 디. 오브라이언 반도체패키지
KR100403142B1 (ko) 1999-10-15 2003-10-30 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체패키지
US6580159B1 (en) 1999-11-05 2003-06-17 Amkor Technology, Inc. Integrated circuit device packages and substrates for making the packages
US6847103B1 (en) 1999-11-09 2005-01-25 Amkor Technology, Inc. Semiconductor package with exposed die pad and body-locking leadframe
KR100421774B1 (ko) * 1999-12-16 2004-03-10 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체패키지 및 그 제조 방법
US6404046B1 (en) * 2000-02-03 2002-06-11 Amkor Technology, Inc. Module of stacked integrated circuit packages including an interposer
KR100583494B1 (ko) 2000-03-25 2006-05-24 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체패키지
US7042068B2 (en) 2000-04-27 2006-05-09 Amkor Technology, Inc. Leadframe and semiconductor package made using the leadframe
US6576494B1 (en) 2000-06-28 2003-06-10 Micron Technology, Inc. Recessed encapsulated microelectronic devices and methods for formation
KR20020058209A (ko) 2000-12-29 2002-07-12 마이클 디. 오브라이언 반도체패키지
US6967395B1 (en) 2001-03-20 2005-11-22 Amkor Technology, Inc. Mounting for a package containing a chip
US6545345B1 (en) 2001-03-20 2003-04-08 Amkor Technology, Inc. Mounting for a package containing a chip
KR100393448B1 (ko) * 2001-03-27 2003-08-02 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체 패키지 및 그 제조 방법
KR100369393B1 (ko) 2001-03-27 2003-02-05 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 리드프레임 및 이를 이용한 반도체패키지와 그 제조 방법
US7064009B1 (en) 2001-04-04 2006-06-20 Amkor Technology, Inc. Thermally enhanced chip scale lead on chip semiconductor package and method of making same
US7045883B1 (en) 2001-04-04 2006-05-16 Amkor Technology, Inc. Thermally enhanced chip scale lead on chip semiconductor package and method of making same
US6597059B1 (en) 2001-04-04 2003-07-22 Amkor Technology, Inc. Thermally enhanced chip scale lead on chip semiconductor package
SG111919A1 (en) * 2001-08-29 2005-06-29 Micron Technology Inc Packaged microelectronic devices and methods of forming same
US6900527B1 (en) 2001-09-19 2005-05-31 Amkor Technology, Inc. Lead-frame method and assembly for interconnecting circuits within a circuit module
US7485952B1 (en) 2001-09-19 2009-02-03 Amkor Technology, Inc. Drop resistant bumpers for fully molded memory cards
US6630726B1 (en) 2001-11-07 2003-10-07 Amkor Technology, Inc. Power semiconductor package with strap
US6608366B1 (en) 2002-04-15 2003-08-19 Harry J. Fogelson Lead frame with plated end leads
SG120879A1 (en) 2002-08-08 2006-04-26 Micron Technology Inc Packaged microelectronic components
US6818973B1 (en) 2002-09-09 2004-11-16 Amkor Technology, Inc. Exposed lead QFP package fabricated through the use of a partial saw process
US7361533B1 (en) 2002-11-08 2008-04-22 Amkor Technology, Inc. Stacked embedded leadframe
US7190062B1 (en) 2004-06-15 2007-03-13 Amkor Technology, Inc. Embedded leadframe semiconductor package
US7723210B2 (en) 2002-11-08 2010-05-25 Amkor Technology, Inc. Direct-write wafer level chip scale package
US6905914B1 (en) 2002-11-08 2005-06-14 Amkor Technology, Inc. Wafer level package and fabrication method
SG114585A1 (en) * 2002-11-22 2005-09-28 Micron Technology Inc Packaged microelectronic component assemblies
JP2006509371A (ja) * 2002-12-09 2006-03-16 アドバンスド インターコネクト テクノロジーズ リミテッド 露出された集積回路装置を有するパッケージ
US6798047B1 (en) 2002-12-26 2004-09-28 Amkor Technology, Inc. Pre-molded leadframe
US6847099B1 (en) 2003-02-05 2005-01-25 Amkor Technology Inc. Offset etched corner leads for semiconductor package
US6750545B1 (en) 2003-02-28 2004-06-15 Amkor Technology, Inc. Semiconductor package capable of die stacking
US6794740B1 (en) 2003-03-13 2004-09-21 Amkor Technology, Inc. Leadframe package for semiconductor devices
US7001799B1 (en) 2003-03-13 2006-02-21 Amkor Technology, Inc. Method of making a leadframe for semiconductor devices
US7095103B1 (en) 2003-05-01 2006-08-22 Amkor Technology, Inc. Leadframe based memory card
US6879034B1 (en) 2003-05-01 2005-04-12 Amkor Technology, Inc. Semiconductor package including low temperature co-fired ceramic substrate
US7008825B1 (en) 2003-05-27 2006-03-07 Amkor Technology, Inc. Leadframe strip having enhanced testability
US6897550B1 (en) 2003-06-11 2005-05-24 Amkor Technology, Inc. Fully-molded leadframe stand-off feature
US7368810B2 (en) * 2003-08-29 2008-05-06 Micron Technology, Inc. Invertible microfeature device packages
US7245007B1 (en) 2003-09-18 2007-07-17 Amkor Technology, Inc. Exposed lead interposer leadframe package
US6921967B2 (en) 2003-09-24 2005-07-26 Amkor Technology, Inc. Reinforced die pad support structure
US7138707B1 (en) 2003-10-21 2006-11-21 Amkor Technology, Inc. Semiconductor package including leads and conductive posts for providing increased functionality
US7144517B1 (en) 2003-11-07 2006-12-05 Amkor Technology, Inc. Manufacturing method for leadframe and for semiconductor package using the leadframe
US7211879B1 (en) 2003-11-12 2007-05-01 Amkor Technology, Inc. Semiconductor package with chamfered corners and method of manufacturing the same
US7057268B1 (en) 2004-01-27 2006-06-06 Amkor Technology, Inc. Cavity case with clip/plug for use on multi-media card
US7091594B1 (en) 2004-01-28 2006-08-15 Amkor Technology, Inc. Leadframe type semiconductor package having reduced inductance and its manufacturing method
DE102004012979B4 (de) * 2004-03-16 2009-05-20 Infineon Technologies Ag Kopplungssubstrat für Halbleiterbauteile, Anordnungen mit dem Kopplungssubstrat, Kopplungssubstratstreifen, Verfahren zur Herstellung dieser Gegenstände und Verfahren zur Herstellung eines Halbleitermoduls
US7202554B1 (en) 2004-08-19 2007-04-10 Amkor Technology, Inc. Semiconductor package and its manufacturing method
KR100688501B1 (ko) * 2004-09-10 2007-03-02 삼성전자주식회사 미러링 구조를 갖는 스택 boc 패키지 및 이를 장착한양면 실장형 메모리 모듈
US7217991B1 (en) 2004-10-22 2007-05-15 Amkor Technology, Inc. Fan-in leadframe semiconductor package
US7645640B2 (en) * 2004-11-15 2010-01-12 Stats Chippac Ltd. Integrated circuit package system with leadframe substrate
US7943431B2 (en) * 2005-12-02 2011-05-17 Unisem (Mauritius) Holdings Limited Leadless semiconductor package and method of manufacture
US7507603B1 (en) 2005-12-02 2009-03-24 Amkor Technology, Inc. Etch singulated semiconductor package
US7572681B1 (en) 2005-12-08 2009-08-11 Amkor Technology, Inc. Embedded electronic component package
SG135074A1 (en) 2006-02-28 2007-09-28 Micron Technology Inc Microelectronic devices, stacked microelectronic devices, and methods for manufacturing such devices
US7902660B1 (en) 2006-05-24 2011-03-08 Amkor Technology, Inc. Substrate for semiconductor device and manufacturing method thereof
US7968998B1 (en) 2006-06-21 2011-06-28 Amkor Technology, Inc. Side leaded, bottom exposed pad and bottom exposed lead fusion quad flat semiconductor package
US7687893B2 (en) 2006-12-27 2010-03-30 Amkor Technology, Inc. Semiconductor package having leadframe with exposed anchor pads
US7829990B1 (en) 2007-01-18 2010-11-09 Amkor Technology, Inc. Stackable semiconductor package including laminate interposer
US7982297B1 (en) 2007-03-06 2011-07-19 Amkor Technology, Inc. Stackable semiconductor package having partially exposed semiconductor die and method of fabricating the same
US7977774B2 (en) 2007-07-10 2011-07-12 Amkor Technology, Inc. Fusion quad flat semiconductor package
US7687899B1 (en) 2007-08-07 2010-03-30 Amkor Technology, Inc. Dual laminate package structure with embedded elements
US7777351B1 (en) 2007-10-01 2010-08-17 Amkor Technology, Inc. Thin stacked interposer package
US8089159B1 (en) 2007-10-03 2012-01-03 Amkor Technology, Inc. Semiconductor package with increased I/O density and method of making the same
US7847386B1 (en) 2007-11-05 2010-12-07 Amkor Technology, Inc. Reduced size stacked semiconductor package and method of making the same
US7956453B1 (en) 2008-01-16 2011-06-07 Amkor Technology, Inc. Semiconductor package with patterning layer and method of making same
US7723852B1 (en) 2008-01-21 2010-05-25 Amkor Technology, Inc. Stacked semiconductor package and method of making same
US8063474B2 (en) 2008-02-06 2011-11-22 Fairchild Semiconductor Corporation Embedded die package on package (POP) with pre-molded leadframe
US8067821B1 (en) 2008-04-10 2011-11-29 Amkor Technology, Inc. Flat semiconductor package with half package molding
US7768135B1 (en) 2008-04-17 2010-08-03 Amkor Technology, Inc. Semiconductor package with fast power-up cycle and method of making same
US7808084B1 (en) 2008-05-06 2010-10-05 Amkor Technology, Inc. Semiconductor package with half-etched locking features
US8125064B1 (en) 2008-07-28 2012-02-28 Amkor Technology, Inc. Increased I/O semiconductor package and method of making same
US8184453B1 (en) 2008-07-31 2012-05-22 Amkor Technology, Inc. Increased capacity semiconductor package
US7847392B1 (en) 2008-09-30 2010-12-07 Amkor Technology, Inc. Semiconductor device including leadframe with increased I/O
US7989933B1 (en) 2008-10-06 2011-08-02 Amkor Technology, Inc. Increased I/O leadframe and semiconductor device including same
US8008758B1 (en) 2008-10-27 2011-08-30 Amkor Technology, Inc. Semiconductor device with increased I/O leadframe
US8089145B1 (en) 2008-11-17 2012-01-03 Amkor Technology, Inc. Semiconductor device including increased capacity leadframe
US8072050B1 (en) 2008-11-18 2011-12-06 Amkor Technology, Inc. Semiconductor device with increased I/O leadframe including passive device
US7875963B1 (en) 2008-11-21 2011-01-25 Amkor Technology, Inc. Semiconductor device including leadframe having power bars and increased I/O
US7982298B1 (en) 2008-12-03 2011-07-19 Amkor Technology, Inc. Package in package semiconductor device
US8487420B1 (en) 2008-12-08 2013-07-16 Amkor Technology, Inc. Package in package semiconductor device with film over wire
US8680656B1 (en) 2009-01-05 2014-03-25 Amkor Technology, Inc. Leadframe structure for concentrated photovoltaic receiver package
US20170117214A1 (en) 2009-01-05 2017-04-27 Amkor Technology, Inc. Semiconductor device with through-mold via
US8058715B1 (en) 2009-01-09 2011-11-15 Amkor Technology, Inc. Package in package device for RF transceiver module
US8026589B1 (en) 2009-02-23 2011-09-27 Amkor Technology, Inc. Reduced profile stackable semiconductor package
US7960818B1 (en) 2009-03-04 2011-06-14 Amkor Technology, Inc. Conformal shield on punch QFN semiconductor package
US8575742B1 (en) 2009-04-06 2013-11-05 Amkor Technology, Inc. Semiconductor device with increased I/O leadframe including power bars
US8796561B1 (en) 2009-10-05 2014-08-05 Amkor Technology, Inc. Fan out build up substrate stackable package and method
US8937381B1 (en) 2009-12-03 2015-01-20 Amkor Technology, Inc. Thin stackable package and method
US9691734B1 (en) 2009-12-07 2017-06-27 Amkor Technology, Inc. Method of forming a plurality of electronic component packages
US8324511B1 (en) 2010-04-06 2012-12-04 Amkor Technology, Inc. Through via nub reveal method and structure
US8294276B1 (en) 2010-05-27 2012-10-23 Amkor Technology, Inc. Semiconductor device and fabricating method thereof
US8440554B1 (en) 2010-08-02 2013-05-14 Amkor Technology, Inc. Through via connected backside embedded circuit features structure and method
US8487445B1 (en) 2010-10-05 2013-07-16 Amkor Technology, Inc. Semiconductor device having through electrodes protruding from dielectric layer
US8791501B1 (en) 2010-12-03 2014-07-29 Amkor Technology, Inc. Integrated passive device structure and method
US8674485B1 (en) 2010-12-08 2014-03-18 Amkor Technology, Inc. Semiconductor device including leadframe with downsets
US8390130B1 (en) 2011-01-06 2013-03-05 Amkor Technology, Inc. Through via recessed reveal structure and method
TWI557183B (zh) 2015-12-16 2016-11-11 財團法人工業技術研究院 矽氧烷組成物、以及包含其之光電裝置
US8648450B1 (en) 2011-01-27 2014-02-11 Amkor Technology, Inc. Semiconductor device including leadframe with a combination of leads and lands
US8552548B1 (en) 2011-11-29 2013-10-08 Amkor Technology, Inc. Conductive pad on protruding through electrode semiconductor device
US9704725B1 (en) 2012-03-06 2017-07-11 Amkor Technology, Inc. Semiconductor device with leadframe configured to facilitate reduced burr formation
US9048298B1 (en) 2012-03-29 2015-06-02 Amkor Technology, Inc. Backside warpage control structure and fabrication method
US9129943B1 (en) 2012-03-29 2015-09-08 Amkor Technology, Inc. Embedded component package and fabrication method
KR101486790B1 (ko) 2013-05-02 2015-01-28 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 강성보강부를 갖는 마이크로 리드프레임
KR101563911B1 (ko) 2013-10-24 2015-10-28 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체 패키지
US9673122B2 (en) 2014-05-02 2017-06-06 Amkor Technology, Inc. Micro lead frame structure having reinforcing portions and method
EP3499552A1 (en) * 2017-12-14 2019-06-19 Nexperia B.V. Semiconductor device and method of manufacture
CN115274461B (zh) * 2022-05-31 2024-10-11 浙江禾芯集成电路有限公司 一种应用于平面型功率器件的封装结构的封装方法

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59222947A (ja) 1983-06-02 1984-12-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置およびその製造方法
US4849857A (en) * 1987-10-05 1989-07-18 Olin Corporation Heat dissipating interconnect tape for use in tape automated bonding
US4908736A (en) 1987-12-04 1990-03-13 General Electric Company Self packaging chip mount
JPH0719859B2 (ja) * 1988-12-12 1995-03-06 松下電器産業株式会社 Icカード用モジュールの製造方法
JPH02177553A (ja) * 1988-12-28 1990-07-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 集積回路装置およびその製造方法
JPH02296345A (ja) 1989-05-10 1990-12-06 Seiko Epson Corp 半導体装置
US5583375A (en) 1990-06-11 1996-12-10 Hitachi, Ltd. Semiconductor device with lead structure within the planar area of the device
JP2839941B2 (ja) 1990-07-26 1998-12-24 株式会社日立製作所 半導体装置
JP3170519B2 (ja) 1992-05-12 2001-05-28 沖電気工業株式会社 メモリカード
JPH0661404A (ja) 1992-08-10 1994-03-04 Nec Corp 半導体装置
US5302849A (en) * 1993-03-01 1994-04-12 Motorola, Inc. Plastic and grid array semiconductor device and method for making the same
KR0152901B1 (ko) 1993-06-23 1998-10-01 문정환 플라스틱 반도체 패키지 및 그 제조방법
KR970002140B1 (ko) * 1993-12-27 1997-02-24 엘지반도체 주식회사 반도체 소자, 패키지 방법, 및 리드테이프
JPH088389A (ja) * 1994-04-20 1996-01-12 Fujitsu Ltd 半導体装置及び半導体装置ユニット
JPH0817864A (ja) 1994-06-24 1996-01-19 New Japan Radio Co Ltd 半導体パッケ−ジ
KR0145768B1 (ko) * 1994-08-16 1998-08-01 김광호 리드 프레임과 그를 이용한 반도체 패키지 제조방법
JPH08213513A (ja) 1994-11-08 1996-08-20 Miyazaki Oki Electric Co Ltd 樹脂封止型半導体装置の構造
KR100214463B1 (ko) * 1995-12-06 1999-08-02 구본준 클립형 리드프레임과 이를 사용한 패키지의 제조방법
JP3501316B2 (ja) * 1995-06-16 2004-03-02 株式会社ルネサステクノロジ 半導体装置及びその製造方法
KR0179803B1 (ko) * 1995-12-29 1999-03-20 문정환 리드노출형 반도체 패키지
JPH09321212A (ja) * 1996-05-30 1997-12-12 Nec Kyushu Ltd 半導体装置およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP0798780A2 (en) 1997-10-01
EP0798780A3 (en) 2000-09-13
CN1167339A (zh) 1997-12-10
US20010001217A1 (en) 2001-05-17
US6208021B1 (en) 2001-03-27
KR970067781A (ko) 1997-10-13
US6403398B2 (en) 2002-06-11
CN1151554C (zh) 2004-05-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH09260538A (ja) 樹脂封止型半導体装置及び製造方法とその実装構造
KR100299949B1 (ko) 박형반도체장치,그것을이용한모듈구조체및그반도체장치의기판실장방법
KR970010678B1 (ko) 리드 프레임 및 이를 이용한 반도체 패키지
JP2819285B2 (ja) 積層型ボトムリード半導体パッケージ
US7723839B2 (en) Semiconductor device, stacked semiconductor device, and manufacturing method for semiconductor device
JP2002222889A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP2002043357A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JPH0448767A (ja) 樹脂封止型半導体装置
JPH11312780A (ja) 半導体装置およびその製造方法
KR20030017676A (ko) 듀얼 다이 패키지
US5296737A (en) Semiconductor device with a plurality of face to face chips
JPH06244360A (ja) 半導体装置
US20050104166A1 (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP2002217514A (ja) マルチチップ半導体装置
JP2954110B2 (ja) Csp型半導体装置及びその製造方法
WO2007052476A1 (ja) 電子回路装置およびその製造方法
JP2001332580A (ja) 半導体装置及びその製造方法
US5728247A (en) Method for mounting a circuit
EP0474224B1 (en) Semiconductor device comprising a plurality of semiconductor chips
JPH0917910A (ja) 半導体装置及びその製造方法、検査方法、実装基板
JP2002289741A (ja) 半導体装置
JP2001203301A (ja) 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法
JP3398556B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JP3172393B2 (ja) 混成集積回路装置
JPH1012811A (ja) 半導体集積回路装置及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20030603