JPH09268014A

JPH09268014A - 微粉末の表面処理方法およびその表面処理微粉末

Info

Publication number: JPH09268014A
Application number: JP8220896A
Authority: JP
Inventors: Makoto Tsunashima; 真綱島; Hitoshi Hanezawa; 均羽沢
Original assignee: TOHKEM PROD KK
Current assignee: TOHKEM PROD KK
Priority date: 1996-04-04
Filing date: 1996-04-04
Publication date: 1997-10-14

Abstract

(57)【要約】【課題】均一性および緻密性ならびに粒子表面との結
合性に優れた無機被膜を微粒子表面に形成する方法の提
供および分散性等の特性が改善された機能微粉末の提
供。【解決手段】微粉末表面を金属化合物によって表面処
理するに際し、被覆原料の金属化合物を含む表面処理液
を微粉末と共に高温ガス中に導入し、微粉末表面におい
て該金属化合物を脱水、熱分解または反応させることに
より、該金属化合物の分解生成物もしくは反応生成物か
らなる被膜を微粉末表面に形成することを特徴とする微
粉末の表面処理方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、微粉末の表面処理
方法、特に微粉末表面に均一で緻密な金属酸化物被膜を
形成する方法、およびこの方法によって表面処理された
微粉末に関する。本発明の方法は、顔料、導電粉、磁性
粉、充填剤等の工業的に用いられる機能微粉末の特性改
善に特に有用である。

【０００２】

【従来技術とその問題点】機能微粉末の特性、特に分散
性、耐候性、耐光性あるいは耐酸性等の化学的安定性
は、この微粉末が用いられる製品、例えば、インクや塗
料、プラスチック成形品等の品質に大きく影響する。こ
のため、より優れた特性を有する微粉末が求められてお
り、特性改善のために微粉末調製の最終段階で種々の加
工や仕上げ処理が行なわれている。特に、微粉末を構成
する粒子の表面に無機および／または有機物質からなる
被膜を形成する表面処理法は粉末の特性を改善する上で
有用な方法である。

【０００３】粒子表面に無機被膜を形成する方法として
は、処理しようとする微粉末と水および金属の可溶性塩
とを混合し、ｐＨ調整により金属酸化物や金属水酸化物
を粒子表面に析出させる湿式処理方法が一般的である。
しかし、このような湿式沈殿法による表面処理法では、
形成される被膜の均一性や緻密性に問題があり、分散性
等の改善効果が期待通りには発揮されない。また被膜と
基体粒子との結合が弱いために被膜の耐久性が悪く経時
的な劣化が起こりやすい。

【０００４】

【解決課題】本発明は、従来技術の上記問題点を解決
し、均一性および緻密性ならびに粒子表面との結合性に
優れた無機被膜を微粒子表面に形成する方法を提供する
ことを目的とする。また、本発明はかかる方法により分
散性等の特性が改善された機能微粉末を提供することを
目的とする。

【０００５】

【課題の解決方法】すなわち本発明によれば、以下の構
成からなる表面処理方法が提供される。（１）微粉末表面を金属化合物によって表面処理するに
際し、被覆原料の金属化合物を含む表面処理液を微粉末
と共に高温ガス中に導入し、微粉末表面において該金属
化合物を脱水、熱分解または反応させることにより、該
金属化合物の分解生成物もしくは反応生成物からなる被
膜を微粉末表面に形成することを特徴とする微粉末の表
面処理方法。

【０００６】上記表面処理方法は、以下の具体的な態様
を含む。（２）微粉末表面に金属酸化物被膜を形成する上記(1)
に記載の処理方法。（３）高温ガスの温度が１００〜４００℃である上記
(1)または(2)に記載の処理方法。（４）金属酸化物、金属アルコキシドまたは熱分解性
の金属塩を高温ガス中に導入する上記(1)〜(3)のいずれ
かに記載の処理方法。（５）原料の金属化合物を微粉末に対して、酸化物換算
で０．０２〜５重量％用いる上記(1)〜(4)のいずれかに
記載の処理方法。（６）高温ガスが酸素、窒素、水蒸気またはこれらの混
合気体である上記(1)〜(5)のいずれかに記載の処理方
法。（７）上記表面処理を繰り返して多層の表面被膜を形成
する上記(1)〜(6)のいずれかに記載の処理方法。

【０００７】さらに上記表面処理方法は、２種以上の金
属酸化物からなる被膜を形成する以下の処理方法を含
む。（８）２種以上の金属化合物原料を用い、これらを含む
表面処理液を高温ガス中に導入して熱分解または反応さ
せることにより、上記金属が共存した酸化物被膜を形成
する上記(1)〜(6)のいずれかに記載の処理方法。（９）２種以上の金属化合物原料を用い、これらを含む
表面処理液を順次高温ガス中に導入して熱分解または反
応させることにより、上記金属酸化物が積層した被膜を
形成する上記(1)〜(6)のいずれかに記載の処理方法。

【０００８】また、本発明によれば、上記表面処理され
た以下の微粉末が提供される。（１０）上記(1)〜(9)のいずれかの方法によって表面処
理した微粉末。（１１）表面処理を施す微粉末が、平均粒径０．０１〜
１μｍの有機または無機の顔料、導電粉、充填用粉末、
磁性粉である上記(10)の微粉末。

【０００９】

【具体的な説明】本発明の表面処理方法は、微粉末表面
を金属化合物によって表面処理するに際し、被覆原料の
金属化合物を含む表面処理液を上記微粉末と共に高温ガ
ス中に導入し、微粉末表面において該金属化合物を脱
水、熱分解または反応させることにより、その分解生成
物もしくは反応生成物からなる被膜を微粉末表面に形成
する方法である。以下、本発明の処理方法を具体的に分
説する。

【００１０】(I) 表面処理液表面処理剤である金属化合物は均質な被膜が形成される
ように粉末全体に均一に接触するように供給することが
必要であり、このためには液状で供給することが好まし
い。従って、固体の金属化合物は表面処理液に溶解し、
あるいは不溶性のものは溶液に懸濁したスラリーの状態
で用いられ、液状のものは適当な濃度に希釈するなどし
て用いられる。液状で用いることにより、処理しようと
する微粉末と均一に混合あるいは接触させることが可能
となり、均一な被覆形成が可能となる。

【００１１】処理液中の金属化合物の濃度は化合物の種
類にもよるが、通常は、処理液の０．０２〜５重量％、
好ましくは０．０５〜２重量％程度である。金属化合物
濃度がこれより低いと被膜の形成が不十分になる虞があ
り、また濃度がこれより高いと、特に懸濁液やスラリー
では処理液の円滑な導入が困難となる場合がある。

【００１２】表面処理液に含まれる金属化合物は、高温
ガス中で微粉末表面に吸着し、該表面上で熱分解ないし
反応する化合物である。一般的には金属酸化物を生成す
る化合物、通常は、金属酸化物または金属アルコキシド
もしくは熱分解性の金属塩が用いられる。すなわち、金
属酸化物は高温ガス中での脱水により、金属アルコキシ
ドは高温ガス中で分解して、また、酸素酸との金属塩は
高温ガス中で分解し、それぞれ金属酸化物被覆を形成す
る。また、金属ハロゲン化物は水蒸気中あるいは酸素存
在下に加熱されてやはり金属酸化物被膜を与える。

【００１３】原料として用いる金属水酸化物の例として
は、水酸化亜鉛、水酸化アルミニウム、水酸化ケイ素、
水酸化ジルコニウム、水酸化チタンなどが挙げられる。
金属アルコキシドの例としては、エチルシリケート、ア
ルミニウム-iso-プロポキシド、ジルコニウム-tert-ブ
トキシド、ジルコニウム-iso-プロポキシド、チタンテ
トラブトキシド、チタンテトラ-iso-プロポキシド等が
挙げられる。また、熱分解性金属塩の例としては、(イ)
塩化亜鉛、塩化アルミニウム、塩化ケイ素、塩化ジルコ
ニウム、塩化チタン等の塩化物、(ロ)硫酸亜鉛、硫酸ア
ルミニウム、硫酸ケイ素、硫酸ジルコニウム、硫酸チタ
ン等の硫酸化物、(ハ)オキシ塩化亜鉛、オキシ塩化アル
ミニウム、オキシ塩化ケイ素、オキシ塩化ジルコニウ
ム、オキシ塩化チタン等のオキシ塩化物、(ニ)オキシ硫
酸亜鉛、オキシ硫酸アルミニウム、オキシ硫酸ケイ素、
オキシ硫酸ジルコニウム、オキシ硫酸チタン等のオキシ
硫酸化物および(ホ)ケイ酸ソーダ、アルミン酸ソーダ類
が挙げられる。上記表面処理液の液相成分としては水等
が用いられる。これら金属化合物を原料として、粒子表
面にチタニア、アルミナ、シリカ、ジルコニア、酸化亜
鉛などの無機酸化物被膜が形成される。

【００１４】(II)微粉末微粉末は、平均粒径が０.０１〜１μm程度の無機ないし
有機の粒子であり、処理条件下において分解あるいは変
質しない化合物からなるものであれば処理可能である。
具体的には、例えば、銅アゾメチンイエロー、ベンズイ
ミダゾロンイエロー、グリンーンゴールド、ベンズイミ
ダゾロンオレンジ、フタロシアニンブルー、フタロシア
ニングリーン、キナクリドンレッド、キナクリドンマゼ
ンダ、ジオキサジンバイオレッド、イソインドリノンイ
エロー、チオインジゴボルドー、ペリレンスカーレット
等の有機顔料、チタニア、シリカ、アルミナ、亜鉛華、
ジルコニア、黄鉛等の無機顔料、マンガン、クロム、セ
リウム、パラジウム、チタン、オスミウム、白金等の磁
性粉、金、銀、銅等の導電粉、炭酸カルシウム、タル
ク、カオリン等の充填剤粉が挙げられる。

【００１５】(III) 表面処理表面処理は、高温ガス中に微粉末と原料の金属化合物を
含む表面処理液を導入し、これらがガス中に分散した状
態で短時間に加熱することにより行なわれる。例えば、
エアーミルやスチームミル等のように内部に強い気流が
存在する状態で該気流中に表面処理液と微粉末との混合
スラリーを供給するか、あるいは微粉末と共に処理液を
供給する。これらは高温ガスによって容器内に噴霧して
も良く、あるいは、これらの混合スラリーを、例えば、
スプレードライヤー等を用いノズルから高温ガス中に噴
射してもよい。

【００１６】以上のように高温ガス中に、金属化合物を
含む表面処理液を微粉末と共に導入することにより、、
微粉末の粒子表面が処理液によって均一に覆われ、この
状態で処理液から揮発成分（水分などの液成分および金
属化合物の分解・反応により生じた揮発成分）が速やか
に除かれる。このため、粒子が凝集して固結することが
なく、従って、被覆ムラが生ぜず、均質で緻密な被膜が
形成される。

【００１７】表面処理液は、好ましくは、微粉末の重量
に対して、処理液中の金属化合物が酸化物換算で０．０
２〜５重量％になるように供給される。表面処理剤であ
る金属化合物の供給量が０．０２重量％未満では被膜の
形成が不十分になる虞がある。十分な被膜を得るために
は０．０５重量％以上が望ましい。一方、供給量が５重
量％を上回ると表面被覆が必要以上に厚くなり、被覆効
果が飽和する上に被膜が離脱し易くなり、機能微粉末の
特性低下の原因となる。工程管理の安定性の点からは２
重量％以下が適当である。

【００１８】ガスの温度は１００〜４００℃が好まし
い。１００℃未満では溶媒等の液成分の蒸発除去や金属
化合物の分解等が十分に進行せず、被膜の緻密性等に問
題が残る上、残存する液成分、特に水分が粉末の特性劣
化の原因となるので好ましくない。表面処理液と微粉末
とを混合してから導入する場合には、１００℃以上の高
温で、かつ微粉末の変質を招かない限り４００℃以上の
高温でも良いが、設備の安全性やエネルギーコストの点
からは４００℃以下が好ましい。また、表面処理液と微
粉末とを別々に高温ガス中に導入する場合には、ガスの
温度が高すぎると両者が十分に接触する前に処理液中の
金属化合物が析出し、あるいは分解してしまう。この点
からも、基体粒子表面への結合性を十分な程度とするた
めにはガス温度を４００℃以下に抑えることが望まし
い。製品品質の安定、設備および工程管理の便宜からは
１５０〜３００℃がより好ましい。

【００１９】高温ガスは、生成しようとする金属被覆の
種類にもよるが、通常は、酸素、窒素、水蒸気等または
これらの２種類以上の混合物（例えば、空気）などが用
いられる。

【００２０】上記表面処理を繰り返すことにより、多層
構造の表面被膜が形成される。また、２種以上の金属化
合物原料を用い、これらの混合原料を含む表面処理液を
高温ガス中に導入して熱分解または反応させることによ
り、これらの金属が共存した状態の酸化物被膜を形成す
ることができる。さらに、２種以上の金属化合物原料を
含む表面処理液を順次高温ガス中に導入して熱分解また
は反応させることにより、これらの金属酸化物が積層し
た状態の被膜を形成することができる。このように、２
種以上の金属酸化物からなる被膜を設けることにより、
機能性を高めた表面処理粉末を得ることができる。

【００２１】

【発明の実施形態】以下、本発明の実施例を比較例と共
に示す。なお、以下の各例において、分散性および化学
的安定性は下記の試験法に従い測定、評価した。また、
成分組成を表わす％および部はそれぞれ重量％および重
量部である。(1) 耐候性試験試料４０gをメラニン−アルキド樹脂６０gに混練し、カ
ーボンウェザーメータ(スカ゛試験機社製)を用いて光沢度
が半減するまでの期間を測定した。(2) 耐酸性試験（酸化チタン溶出試験）試料の酸化チタン顔料１．０ｇを98％濃度の硫酸１００
mlに加え、180℃に１時間維持し、溶出した酸化チタン
の量を測定した。

【００２２】実施例１酸化チタン微粉末（平均粒経0.27μ）３００ｇを水７０
０ｇと混合し、ガラスビーズミル（ヒ゛ース゛径：3φ）で１
０分間解砕した後、硫酸アルミニウム４７．５ｇ（酸化
チタン粉末に対しAl₂O₃換算で0.5％）を加え十分に混合
した。得られた混合スラリーをスプレードライヤー（入
口温度：200℃）中に噴霧して表面処理と乾燥を行い、
表面がアルミナで被覆された酸化チタン粉末顔料を得
た。この表面処理された酸化チタン粉末は水や溶媒での
分散性および隠蔽力に優れるものであった。また、この
粉末について表面被覆の耐候性を調べところ、表面光沢
の半減する期間は１５ケ月であり、従来の湿式処理した
粉末に比べて大幅に半減期間が長く、耐候性に優れるこ
とが確認された。

【００２３】比較例１（湿式沈澱法）実施例１と同じ酸化チタン微粉末を用い、該粉末３００
ｇ、硫酸アルミニウム４７．５ｇおよび水７００ｇから
なるスラリーを調整し、撹拌しながら、ｐＨ７を終点と
して１０％濃度の水酸化ナトリウムを添加し、含水水酸
化アルミニウムを粒子表面に析出させた。次いで、７０
℃に加熱して、表面がアルミナで被覆された酸化チタン
粉末を得た。このアルミナ被覆酸化チタン粉末につい
て、実施例１と同様の耐候性試験を行ったところ、表面
光沢の半減する期間は１０ケ月であった。

【００２４】実施例２スチームミルの入口蒸気温度を２３０℃、圧力を１０kg
/cm²に設定し、これに酸化チタン微粉末を１０kg/分の
割合で投入した。同時に、蒸気の吹き出し口に取り付け
た別のノズルから、２０％濃度のケイ酸ナトリウム水溶
液を酸化チタン重量に対してシリカ換算で３％となるよ
うに定量供給した。これにより表面がシリカで被覆され
た酸化チタン粉末顔料を得た。この粉末について表面被
覆の耐候性と化学的安定性を調べところ、表面光沢の半
減する期間は１４ケ月、酸化チタンの溶出量は１３％で
あり、従来の湿式沈澱法よりも表面光沢の半減期間がか
なり長く、しかも酸化チタンの溶出量は大幅に少なく、
被膜が非常に緻密かつ強固であることが確認された。

【００２５】比較例２実施例２と同じ酸化チタン粉末を用い、該粉末３００ｇ
と２０％濃度のケイ酸ナトリウム水溶液９１．５ｇとを
混合してスラリーを調整し、撹拌しながら、ｐＨ７を終
点として１０％濃度の硫酸を徐々に加え、粉末表面に含
水シリカを析出させた。次いで、これを８０℃に加熱し
て、表面にシリカ被膜を有する酸化チタン粉末を得た。
この粉末について実施例２と同様に、表面被覆の耐候性
および化学的安定性を調べところ、表面光沢の半減する
期間は８ケ月であり、酸化チタンの溶出量は３５％であ
った。

【００２６】実施例３１５０℃、１５kg/cm²の気流を維持した高温エアミル
(衝撃粉砕機)に酸化チタン微粉末を１５kg/分の割合で
投入した。これと並行して、５０％濃度のエチルシリケ
ート水溶液を酸化チタンに対してシリカ換算で０．４％
に相当する割合でノズルから噴霧し、酸化チタンの表面
処理と粉砕を行なった。これにより表面がシリカで被覆
された酸化チタン粉末顔料を得た。この粉末について表
面被覆の化学的安定性を調べところ、酸化チタンの溶出
量は１５％であり、従来の湿式沈澱法よりも大幅に少な
かった。

【００２７】比較例３実施例３と同じ酸化チタン粉末を用い、該粉末３００ｇ
と酸化チタンに対してシリカ換算で０．４％に相当する
５０％濃度エチルシリケート水溶液８．４８ｇを混合し
てスラリーを調整し、撹拌しながらｐＨ７を終点として
１０％の塩酸を加え、含水シリカをゲル化して酸化チタ
ン表面に被膜を形成した。次いで、これを８０℃に加熱
し、表面がシリカで被覆された酸化チタン粉末を得た。
この粉末について表面被覆の化学的安定性を調べとこ
ろ、酸化チタンの溶出量は３３％であった。

【００２８】実施例４スチームミルの入口蒸気温度を２６０℃、圧力を１２kg
/cm²に設定し、これに酸化チタン微粉末を１０kg/分の
割合で投入した。同時に、蒸気の吹き出し口に取り付け
た別のノズルから、２０％濃度の硫酸アルミニウム水溶
液を酸化チタン重量に対してアルミナ換算で１％となる
量、およびエチルシリケートを酸化チタン重量に対して
シリカ換算で２％となる量をおのおの定量供給した。こ
れによりシリカとアルミナの均一組成からなる被膜が表
面に形成された酸化チタン粉末顔料を得た。この粉末に
ついて表面被覆の耐候性と化学的安定性を調べところ、
表面光沢の半減する期間は２４ケ月、酸化チタンの溶出
量は２０％であり、従来の湿式沈澱法よる類似品よりも
表面光沢の半減期間が格段に長く、しかも酸化チタンの
溶出量が大幅に少なく、被膜が非常に緻密かつ強固であ
ることが確認された。

【００２９】比較例４実施例４と同じ酸化チタン粉末３００ｇについて、比較
例１と同様にして表面にアルミナ被覆を形成した後に、
さらにこの粉末について、比較例３と同様にしてシリカ
被覆をアルミナ被覆の表面に形成した。この粉末につい
て表面被覆の耐候性と化学的安定性を調べところ、表面
光沢の半減する期間は１５ケ月、酸化チタンの溶出量は
４１％であった。なお、比較例１または３において、硫
酸アルミニウムとエチルシリケートとを同時に用いてシ
リカとアルミナの均一組成からなる被膜の形成を試みた
が、従来の沈殿法では、酸性域で析出するアルミナとア
ルカリ性域で析出するシリカを同時に沈澱させた酸化被
膜を得ることは困難であり、目的の表面処理酸化チタン
粉末を得ることは出来なかった。

【００３０】実施例５酸化チタン粉体３００ gを水７００ gと混合し、これを
ガラスビーズミルを用いて１０分間解砕しスラリーとし
た。一方、錫アルコキドとアンチモンアルコキシドの混
合溶液を準備した。次に、酸化チタン粉末に対して、酸
化錫換算で１０重量％の錫アルコキシドと、酸化アンチ
モン換算で１重量％のアンチモンアルコキシドとが供給
されるように、上記スラリーと混合溶液とを、２００℃
の入口条件で直接スプレードライヤーに導入して表面処
理と乾燥を行ない、アンチモンドープ酸化錫からなる表
面被膜を有する導電性酸化チタン粉末を得た。この粉末
を軟質塩化ビニル樹脂に５０％重量となるように混練
し、厚さ１mmのシートとした。このシートの表面抵抗を
測定した結果、１×１０⁸Ωであり、従来の湿式処理の
導電粉体と同等の導電性が確認できた。すなわち、本発
明の処理方法によって得た導電粉を用いれば、従来より
も低コストで同程度の導電性を有する導電シートを製造
することができる。

【００３１】ちなみに、従来の沈殿法による表面処理で
は、アンチモンをドープした酸化錫被膜を形成するに
は、錫とアンチモンそれぞれのアルコキシド混合溶液か
らこれらを同時に沈殿させているが、被膜が不均一であ
り、しかもコスト高である。

【００３２】実施例６酸化チタン粉体３００ gを水７００g と混合し、これを
ガラスビーズミルを用いて１０分問解砕しスラリーとし
た。これに、酸化チタン粉末に対してシリカ換算で０．
５重量％となる量の水ガラスを加えた。この調合スラリ
ーを２００℃の入口条件でスプレードライヤーに導入
し、表面処理と乾燥を行ない、表面がシリカで被覆され
た酸化チタン粉末を得た。この表面処理酸化チタン粉末
をパルプおよび各種填料に混合し、この混合物を抄紙試
験の重要項目である８０メッシュ篩の歩留り試験器を用いた
歩留り量を測定した。この結果、歩留り量は７６％であ
った。一方、比較例２で得たシリカ被膜を有する酸化チ
タン粉末について同様の歩留り量を測定したところ５１
％であり、本実施例より大幅に少なく、本発明の表面処
理を施したものは、従来の処理方法に係るものより分散
性に優れることが確認された。

【００３３】実施例７硫酸カドミウム溶液（Cd:150g/l）と硫化ソーダ水溶液
（Na₂S:22g/l）を当量混合反応させ、これを洗浄、濾
過、乾燥した後、５６０℃、５時間焼成した。これを粉
砕して、硫化カドミウム黄色顔料とした。次に、スチー
ムミルの入口蒸気を２２０℃、圧力１０kg/cm²の条件に
設定し、上記硫化カドミウム顔料を１０kg/分の割合で
投入した。これと並行して蒸気の吹き出し口に取り付け
た別のノズルから、エチルシリケー卜を硫化カドミウム
に対してシリカ換算で０.１重量％となる量の混合溶液
を定量供給し、表面処理した後に乾燥させた。この結
果、粉末表面にシリカが均一かつ緻密に被覆し、分散性
の非常に優れた硫化カドミウム粉末を得た。

【００３４】上記表面処理を施した硫化カドミウム黄色
顔料（本発明品）と、表面処理を施していない顔料（対
照例）をそれぞれ０．１部と酸化チタン１．０部とをポ
リエチレン樹脂に混練し、同一条件で分散性を比較し
た。この結果、本発明品は無処理品に対して、着色力は
１２０％であつた。

【００３５】

【発明の効果】本発明の表面処理法によれば、微粒子表
面に均一かつ緻密な無機化合物被膜を形成することがで
きるので、微粉末の分散性や化学的安定性を効果的に改
善することができる。また、本発明の処理方法は、基体
粒子の種類に制限されず低コストで実施することができ
るので、各種機能微粉末の特性改善に特に有効である。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】微粉末表面を金属化合物によって表面処
理するに際し、被覆原料の金属化合物を含む表面処理液
を微粉末と共に高温ガス中に導入し、微粉末表面におい
て該金属化合物を脱水、熱分解または反応させることに
より、該金属化合物の分解生成物もしくは反応生成物か
らなる被膜を微粉末表面に形成することを特徴とする微
粉末の表面処理方法。
【請求項２】微粉末表面に金属酸化物被膜を形成する
請求項１に記載の処理方法。
【請求項３】高温ガスの温度が１００〜４００℃であ
る請求項１または２に記載の処理方法。
【請求項４】金属酸化物、金属アルコキシドまたは熱
分解性の金属塩を高温ガス中に導入する請求項１〜３の
いずれかに記載の処理方法。
【請求項５】原料の金属化合物を微粉末に対して、酸
化物換算で０．０２〜５重量％用いる請求項１〜４のい
ずれかに記載の処理方法。
【請求項６】高温ガスが酸素、窒素、水蒸気またはこ
れらの混合気体である請求項１〜５のいずれかに記載の
処理方法。
【請求項７】上記表面処理を繰り返して多層の表面被
膜を形成する請求項１〜６のいずれかに記載の処理方
法。
【請求項８】２種以上の金属化合物原料を用い、これ
らを含む表面処理液を高温ガス中に導入して熱分解また
は反応させることにより、上記金属が共存した酸化物被
膜を形成する請求項１〜６のいずれかに記載の処理方
法。
【請求項９】２種以上の金属化合物原料を用い、これ
らを含む表面処理液を順次高温ガス中に導入して熱分解
または反応させることにより、上記金属酸化物が積層し
た被膜を形成する請求項１〜６のいずれかに記載の処理
方法。
【請求項１０】請求項１〜９のいずれかの方法によっ
て表面処理した微粉末。
【請求項１１】表面処理を施す微粉末が、平均粒径
０．０１〜１μｍの有機または無機の顔料、導電粉、充
填用粉末、磁性粉である請求項１０の微粉末。