JPH09270449A - ウエハカセット運搬治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 使用者の手指の力の強弱に左右されずウエハ
カセットを確実に保持することができ、運搬中にはロッ
ク状態となって、ウエハカセットが脱落することを防止
したウエハカセット運搬治具を提供する。 【解決手段】 ウエハカセット運搬治具１００は、外観
部分の平面視形状がほぼ矩形のメインフレーム１、当該
メインフレーム１の一方端上部に、９０度の角度で交差
するように配設された外観部分の平面視形状がほぼ矩形
の支持フレーム２、当該支持フレーム２の両端部に配設
された２本のアーム３、２本のアーム３の下部にそれぞ
れ配設された可動ブロック４、当該可動ブロック４に取
付けられたクランプブロック５、メインフレーム１の他
方端下部に配設されたハンドル６、支持フレーム２の前
面に配設した防塵板１０といった構成に大別される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウエハカセット運搬
治具に関し、特に運搬中にウエハカセットが脱落するこ
とを防止したウエハカセット運搬治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１２および図１３に従来のウエハカセ
ット運搬治具の一例として、特開平６−１２４９９３号
公報に記載のキャリアハンドルを示す。図１２は半導体
ウエハ（以後ウエハと呼称）を収容するキャリア（ウエ
ハカセット）にキャリアハンドルを装着する前の状態を
示す斜視図であり、図１３はキャリアにキャリアハンド
ルを装着した状態を示す斜視図である。

【０００３】図１２において、キャリアハンドル６０１
は、握り柄６３１に固定された支持棒６０３の両端部か
ら垂直に延在する２本のアーム６０２と、前面凸片６１
０ｂに係合する２本の係止棒６０４と、レバー６４１に
連動し係止棒６０４を回動させる回動軸６４２とを有し
ている。

【０００４】次に動作について説明する。図１３に示す
ように、ウエハ６１１が収納されたキャリア６１０の上
部凸片６１０ａの下面に接するように、キャリアハンド
ル６０１のアーム６０２を挿入する。そして、図Ｂに示
すように、アーム６０２を最後まで挿入した後、レバー
６４１を手指で引いて、回同軸６４２を回転させること
で係止棒６０４を前面凸片６１０ｂに係合させて、係止
棒６０４を固定する。

【０００５】その状態でキャリア６１０を持ち上げ、目
的の場所まで運搬する。目的の場所に到着すると、キャ
リア６１０を水平に、あるいは垂直に載置した後、レバ
ー６４１を緩めて、係止棒６０４を前面凸片６１０ｂか
ら取り外し、キャリアハンドル６０１をキャリア６１０
から取り外す。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来のウエハカセット運搬治具は、レバー６４１を手指
で引いて、係止棒６０４を前面凸片６１０ｂに係合させ
ることで、キャリアハンドル６０１をキャリア６１０に
固定する。従って、係止棒６０４と前面凸片６１０ｂと
の係合状態によってキャリアハンドル６０１とキャリア
６１０との固定状態が決まることになる。しかし、係止
棒６０４と前面凸片６１０ｂとの係合状態はレバー６４
１に加えられる手指の力の強弱によって左右されるの
で、キャリアハンドル６０１を使用する者の手指の力の
個人差の影響が大きい。

【０００７】例えば、手指の力の強い者が使用すると、
係止棒６０４が前面凸片６１０ｂに強く係合するので、
その際に前面凸片６１０ｂが変形したり、あるいは破損
することで前面凸片６１０ｂの破片が飛び散って、ウエ
ハ６１１に異物として付着するという可能性がある。

【０００８】一方、手指の力の弱い者が使用すると、係
止棒６０４と前面凸片６１０ｂとの係合が弱い場合に
は、運搬途中に係止棒６０４が外れてキャリア６１０が
脱落するという可能性がある。

【０００９】また、運搬中はレバー６４１を手指で引き
続ける必要があるので、使用者に負担をかけることにな
り、誤ってレバー６４１を離すと係止棒６０４が外れて
キャリア６１０が脱落するという可能性がある。

【００１０】さらに、キャリアハンドル６０１を使用す
るには、キャリア６１０の前面凸片６１０ｂのように、
係止棒６０４を係合させるための特殊な形状の突起構造
が必要であり、汎用性が無いという問題を有していた。
すなわち、一般的に使用されているウエハキャリア（ウ
エハカセット）は、前面凸片６１０ｂに相当する突起構
造は有しているが、その形状は単純な平板形状であり、
係止棒６０４が係合できるような形状ではない。

【００１１】本発明は上記のような問題点を解消するた
めになされたもので、使用者の手指の力の強弱に左右さ
れずウエハカセットを確実に保持することができ、運搬
中にはロック状態となって、ウエハカセットが脱落する
ことを防止したウエハカセット運搬治具を提供する。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明に係る請求項１記
載のウエハカセット運搬治具は、ウエハを収容するウエ
ハカセットを運搬するウエハカセット運搬治具であっ
て、前記ウエハカセットは、有底無蓋の箱型のカセット
本体と、当該カセット本体の上部開口部の前記ウエハの
配列方向の端縁に設けられ、前記カセット本体から遠ざ
かるように突出した一対の上部突出板と、前記カセット
本体の両側面の端縁に設けられ、前記カセット本体から
遠ざかるように突出した一対の側面突出板とを有し、前
記ウエハカセット運搬治具は、前記ウエハカセットへの
装着時に、前記一対の上部突出板の下面にそれぞれ接触
するように配設される一対のアームと、前記一対の側面
突出板への着脱が自在で、前記一対の側面突出板を両側
から挟むように装着することで、前記一対の側面突出板
を保持する一対のクランプブロックと、前記一対のアー
ムおよび前記一対のクランプブロックを所定の間隔で略
平行に取り付ける支持フレームと、前記一対のクランプ
ブロックに接続され、前記一対のクランプブロックの前
記一対の側面突出板への着脱を自在に行う可動手段と、
前記一対の側面突出板が保持された場合には、前記一対
のクランプブロックの位置を固定してロック状態とする
ロック手段と、前記支持フレームに支持される全ての構
成を持ち上げるための少なくとも１のハンドルとを備え
ている。

【００１３】本発明に係る請求項２記載のウエハカセッ
ト運搬治具は、前記可動手段が、前記一対のクランプブ
ロックを互いに向かい合う方向に付勢する第１の付勢手
段を少なくとも有し、前記一対のクランプブロックが、
互いに向かい合う面から延在し、前記一対のクランプブ
ロックの移動に伴って移動するロックシャフトをそれぞ
れ有し、前記ロック手段は、前記一対のクランプブロッ
クが互いに向かい合う方向に付勢され、前記ロックシャ
フトが移動した場合に、前記ロックシャフトの所定位置
に係合し、前記ロックシャフトの移動を規制するロック
具と、前記ロック具が前記ロックのシャフトの所定位置
と係合した場合には、係合を強める方向に前記ロック具
を付勢するロック具付勢手段とを有している。

【００１４】本発明に係る請求項３記載のウエハカセッ
ト運搬治具は、前記ロック具を、前記ロック具付勢手段
による付勢方向とは逆の方向に付勢し、前記ロック具と
前記ロックシャフトの所定位置との係合を解除して、前
記一対のクランプブロックのロック状態を解除するロッ
ク解除手段をさらに備えている。

【００１５】本発明に係る請求項４記載のウエハカセッ
ト運搬治具は、前記第１の付勢手段が、前記クランプブ
ロックに一方端が接触する帯状の一対のクランプアーム
と、前記一対のクランプアームの主面を貫通して前記支
持フレームに取り付けられ、前記一対のクランプアーム
のそれぞれの回動中心となる一対の回動軸とを含み、前
記一対のクランプアームの回動により、前記一方端が前
記一対のクランプブロックを互いに向かい合う方向に付
勢するように、前記一対のクランプアームの他方端を所
定方向に移動させる少なくとも１のトリガーレバーをさ
らに備え、前記ロック解除手段が、前記ロック具付勢手
段による付勢方向とは逆の方向に前記ロック具を付勢す
ることができるように、一方端が前記ロック具に取り付
けられたロック解除シャフトを有している。

【００１６】本発明に係る請求項５記載のウエハカセッ
ト運搬治具は、前記少なくとも１のトリガーレバーおよ
び前記ロック解除シャフトの他方端が、前記少なくとも
１のハンドルの近傍に位置するように配設されている。

【００１７】本発明に係る請求項６記載のウエハカセッ
ト運搬治具は、前記可動手段が、前記一対のクランプブ
ロックを互いに遠ざかる方向に付勢する第２の付勢手段
をさらに有し、前記ロック具と前記ロックシャフトの所
定位置との係合が解除された場合には、前記第２の付勢
手段によって、前記一対のクランプブロックが互いに遠
ざかる方向に付勢され、前記一対のクランプブロックに
よる前記一対の側面突出板の保持を自動的に解除する。

【００１８】本発明に係る請求項７記載のウエハカセッ
ト運搬治具は、前記少なくとも１のハンドルが、所定の
間隔で配設された第１および第２のハンドルであって、
前記少なくとも１のトリガーレバーが、前記第１および
第２のハンドルの近傍に配設された第１および第２のト
リガーレバーであって、前記第１および第２のトリガー
レバーは前記第１および第２のハンドルの近傍に位置す
るように配設され、前記ロック解除シャフトの他方端
は、前記第１および第２のハンドルの略中間に位置する
ように配設されている。

【００１９】本発明に係る請求項８記載のウエハカセッ
ト運搬治具は、前記一対のクランプブロックが、互いに
向かい合う面の所定位置に前記一対の側面突出板の形状
に対応した溝部をそれぞれ有し、前記溝部に前記一対の
側面突出板が挿入されたときのみ前記一対の側面突出板
が保持される。

【００２０】本発明に係る請求項９記載のウエハカセッ
ト運搬治具は、前記ウエハカセットへの装着時に前記支
持フレームの前記ウエハカセットに対向する面に、前記
ウエハカセットに収納された状態の前記ウエハの露出面
への塵落下を遮るように配設された防塵板をさらに備え
ている。

【００２１】

【発明の実施の形態】

＜Ａ．実施の形態１＞ ＜Ａ−１．ウエハカセットの構成＞図１に、ウエハの保
管や、ウエハの運搬に際してウエハを収容するための容
器として一般的に使用されているウエハカセットの斜視
図を示す。図１において、ウエハカセットは複数のウエ
ハ９９を互いに接触しないように個々に保持する有底無
蓋の箱型のカセット本体５１と、当該カセット本体５１
の両端部に設けられた端面板５３および５４とを有して
いる。

【００２２】カセット本体５１はウエハ９９を出し入れ
できるように上部が開口部となっており、ウエハ９９
は、その主面が端面板５３および５４に対向するように
収容される。そして、上部の開口部には、カセット本体
５１から遠ざかるように水平方向に突出した上部突出板
５２が、ウエハ９９の配列方向の端縁に沿って設けられ
ている。

【００２３】端面板５３および５４は、カセット本体５
１のウエハ９９の主面が対向する側の両端部に設けられ
ているが、カセット本体５１の両端部を完全に覆うよう
に設けられているのではなく、上部突出板５２から下の
所定の領域は端面板５３および５４に覆われておらず、
上部突出板５２の端面およびカセット本体５１の端面が
露呈している。これを端面板５３に対向して正面から見
ると、ウエハカセットの両側における上部突出板５２と
端面板５３に挟まれた領域が間隙のように見える。この
部分を間隙領域と呼称する。

【００２４】また、端面板５３はカセット本体５１の横
幅（水平方向）を完全に覆うだけでなく、さらに水平に
突出しており、この部分を側面突出板５３１と呼称す
る。なお、端面板５４の平面視形状は端面板５３とは異
なっているが、側面突出板５３１と同様の側面突出板５
４１を有している。

【００２５】ここで、端面板５３および５４の有無は本
発明の実施にあたっては無関係であり、側面突出板５３
１および５４１に相当する構成を有していれば良い。す
なわち、端面板を有さず、カセット本体５１の両側面の
端縁に側面突出板が設けられる構成であっても良い。ま
た、端面板５３の平面上に設けられた突起部は、半導体
製造装置において機械搬送をするために設けられたもの
であるが、本発明とは関係が薄いので詳細説明は省略す
る。

【００２６】次に、本発明に係るウエハカセット運搬治
具の実施の形態１として、図２〜図９を用いて、ウエハ
カセット運搬治具１００の構成および動作について説明
する。

【００２７】＜Ａ−２．ウエハカセット運搬治具１００
の構成＞図２にウエハカセット運搬治具１００の構成お
よび動作を説明するための斜視図を示す。図２におい
て、ウエハカセット運搬治具１００は、外観部分の平面
視形状がほぼ矩形のメインフレーム１、当該メインフレ
ーム１の一方端上部に、９０度の角度で交差するように
配設された外観部分の平面視形状がほぼ矩形の支持フレ
ーム２、当該支持フレーム２の両端部に配設された２本
のアーム３、２本のアーム３の下部にそれぞれ配設され
た可動ブロック４、当該可動ブロック４に取付けられた
クランプブロック５、メインフレーム１の他方端下部に
配設されたハンドル６、支持フレーム２の前面に配設し
た防塵板１０といった構成に大別される。なお、これら
の材質はウエハカセットの材質と同様の樹脂、例えばポ
リプロピレンなどを使用すれば良いが、フッ素樹脂など
を使用しても良い。以下に各構成について説明する。

【００２８】＜Ａ−２−１．メインフレーム１＞ウエハ
カセット運搬治具１００の主構造体の１つであり、支持
フレーム２やハンドル６が取付けられる。外観部分の平
面視形状はほぼ矩形であり、一方端上部には支持フレー
ム２が配設され、他方端（終端）には、ロック解除ボタ
ン９に接続されたロック解除シャフト９１が挿入され、
メインフレーム１内を貫通して支持フレーム２の下部に
まで達している。なお、ロック解除シャフト９１の機能
については後に説明する。

【００２９】＜Ａ−２−２．支持フレーム２＞ウエハカ
セット運搬治具１００の主構造体の１つであり、外観部
分の平面視形状はほぼ矩形であり、両端部にはアーム３
がそれぞれ配設されている。なお、アーム３の取付面
は、アーム３と同一方向に突出するストッパ２３の端面
となっている。

【００３０】そして、アーム３が突出する方向とは反対
側の端縁部には２つの突出部２１を有している。この突
出部２１には、可動ブロック４を可動させるためのクラ
ンプアーム７と、その回動中心となる金属製の回動軸２
２がそれぞれ配設されている。

【００３１】クランプアーム７は回動軸２２の一端に回
動自在に取付けられた帯状の金属板であり、その一方端
には、可動ブロック４に接触し可動ブロック４を押圧し
てその動きを規制する押圧部材２２が設けられており、
他方端はメインフレーム１の下面ほぼ中央に位置する金
属製のレバー８に接続されている。なお、レバー８とク
ランプアーム７の動作については後に説明する。また、
支持フレーム２の下面には可動ブロック４を可動させる
機構とともに、可動ブロック４をロックするためのロッ
ク機構が配設されているが、詳細な説明は後に行う。

【００３２】＜Ａ−２−３．アーム３＞図１を用いて説
明したウエハカセットの上部突出板５２の下面に接触
し、ウエハカセットを持ち上げる際の支持体となるもの
で、支持フレーム２の両端部（ここではストッパ２３の
端面）に取付けられている。

【００３３】＜Ａ−２−４．可動ブロック４＞アーム３
の下部に設けられ、クランプアーム７による押圧で、内
側（支持フレーム２の端部側）あるいは外側（支持フレ
ーム２の端部とは反対側）に平行移動する機能を有して
いる。

【００３４】その形状は、外側面に切欠き部を有したブ
ロック形状で、当該切欠き部にはクランプアーム７の一
方端に設けられた押圧部材２２が接触する構成となって
いる。

【００３５】＜Ａ−２−５．クランプブロック５＞可動
ブロック４の前面（ウエハカセットに向かう面）に取付
けられ、内側面（支持フレーム２の端部に向かう面）に
は、ウエハカセットの側面突出板５３１に対応した溝部
を有している。そして、可動ブロック４の平行移動に伴
って内側および外側に平行移動するので、ウエハカセッ
ト運搬治具１００をウエハカセットに装着する際には、
溝部がウエハカセットの側面突出板５３１に対向するよ
う配置し、クランプブロック５を内側に移動させること
で、ウエハカセットの側面突出板５３１が溝部に挿入さ
れ、ウエハカセットの側面突出板５３１が保持されるこ
とになる。なお、可動ブロック４とクランプブロック５
は一体で形成し、両者を併せたものをクランプブロック
としても良い。

【００３６】＜Ａ−３．ウエハカセットへの装着＞ ＜Ａ−３−１．装着準備＞図２はウエハカセット運搬治
具１００をウエハカセットに装着する前の状態を示す図
であり、クランプアーム７は外側に開いた状態にあり、
可動ブロック４の切欠き部にはクランプアーム７の押圧
部材２２が接触しているだけであり、可動ブロック４も
外側に開いた状態にある。

【００３７】次に、ウエハカセット運搬治具１００の２
つのアーム３を、ウエハカセットの上部両側の間隙領域
に挿入するとともに、クランプブロック５の溝部がウエ
ハカセットの側面突出板５３１に対向するまでウエハカ
セットの端面板５３に近づける。そして、支持フレーム
２の両端部に設けられたストッパ２３を端面板５３に接
触させることで、上記の配置が完了する。なお、図２で
はウエハカセット運搬治具１００を端面板５３の方に配
置しているが、端面板５４の方に配置しても良いことは
言うまでもない。

【００３８】図３は、上記の過程を経てウエハカセット
運搬治具１００をウエハカセットに装着する準備が完了
した状態を上部方向から見た平面図であり、理解を容易
にするために構成を部分的に省略した図となっている。

【００３９】この状態では、可動ブロック４は外側に開
いており、クランプブロック５の溝部５０１はウエハカ
セットの側面突出板５３１に対向して配置されているだ
けである。この場合、支持フレーム２の下部に設けられ
た、可動ブロック４を固定するためのロック機構は機能
しておらず、可動ブロック４は平行移動が自由な状態に
ある。

【００４０】上記ロック機構を図３を用いて説明する
と、支持フレーム２の下面中央にはロック具２４２と呼
称する金具が配設されている。ロック具２４２の平面視
形状は略矩形であり、ロック具ブロック２４４と呼称す
る有底無蓋の箱体の中に配置されている。そして、ロッ
ク具ブロック２４４の底面に対向するロック具２４２の
端面には非貫通孔が設けられ、当該非貫通孔にはコイル
バネ２４３が収容されている。また、非貫通孔が設けら
れた面とは反対の面には、その両端部に突起部２４Ｐが
設けられている。なお、ロック具２４２はメインフレー
ム１内を貫通して配設されたロック解除シャフト９１に
接続されている。

【００４１】支持フレーム２の下面には、２つの可動ブ
ロック４の内側面（互いに向かい合う面）からそれぞれ
ロック具２４２に向けて延在するようにロックシャフト
２４１と呼称する金属柱が配設されている。ロックシャ
フト２４１のロック具２４２側の先端部には、その円筒
面に沿って形成された切り欠部２４Ｈを有している。な
お、ロックシャフト２４１は可動ブロック４の内側面に
取り付けられているので、可動ブロック４の移動に伴っ
て移動する。

【００４２】図３においては、可動ブロック４はクラン
プアーム７の押圧部材２２によって押圧されていないの
で、ロックシャフト２４１の切り欠部２４Ｈにロック具
２４２の突起部２４Ｐが係合しておらず、可動ブロック
４はロックされていない。

【００４３】＜Ａ−３−２．装着＞図３を用いて説明し
たようにウエハカセット運搬治具１００をウエハカセッ
トに装着する準備が完了すると、次に、図４に示すよう
に、レバー８を手指で引くことにより、クランプアーム
７を内側に閉じ、クランプアーム７の押圧部材７１を可
動ブロック４の切欠き部に押付け、可動ブロック４を内
側に押付ける。可動ブロック４が内側に押付けられるこ
とで、クランプブロック５も内側に押付けられ、すなわ
ち２つのクランプブロック５が互いに向かい合う方向に
付勢され、溝部５０１にウエハカセットの側面突出板５
３１が挿入されることになる。ここで、レバー８を手指
で引くことでクランプアーム７が内側に閉じる動作が誘
起されるので、レバー８をトリガーレバーと呼称しても
良い。

【００４４】図５は支持フレーム２を下面方向から見た
部分平面図であるが、構成を理解しやすくするためにカ
バーなどは省略している。図５に示すように、クランプ
アーム７の支持フレーム２側の端部には、円筒部材７２
が主面に対して垂直に取り付けられている。また、レバ
ー８には、レバー８に交差するように横シャフト８１が
取付けられており、支持フレーム２の円筒部材７の円筒
面に横シャフト８１が接触するように配置されている。
そして、レバー８を引くことで横シャフト８１が円筒部
材７をハンドル６の方向に移動させ、それに伴ってクラ
ンプアーム７が回動して内側に閉じることになる。な
お、レバー８はハンドル６内に摺動可能に埋め込まれた
レバースライドシャフト８２に取付けられている。

【００４５】そして、クランプアーム７が内側に閉じる
と可動ブロック４がクランプアーム７の押圧部材２２に
よって内側に押付けられる。可動ブロック４の内側への
移動に伴ってロックシャフト２４１がロック具２４２に
向けてスライドし、ロックシャフト２４１の切り欠部２
４Ｈにロック具２４２の突起部２４Ｐが係合し、可動ブ
ロック４がロックされ、ウエハカセット運搬治具１００
のウエハカセットへの装着が完了する。

【００４６】ここで、クランプアーム７、回動軸２２、
押圧部材７１は、２つのクランプブロック５を互いに向
かい合う方向に付勢する手段（第１の付勢手段）と言う
ことができる。また、レバー８もクランプアーム７と密
接に関係するので、上記手段の一部と言うことができ
る。

【００４７】なお、ロック具２４２はコイルバネ２４３
によってロックシャフト２４１の方向に付勢されている
ので、一旦、切り欠部２４Ｈに突起部２４Ｐが係合する
と、突起部２４Ｐが自然に外れることはない。

【００４８】また、クランプアーム７はレバー８の動作
を、回動軸２２を支点とする梃子の原理を利用して可動
ブロック４に増倍して伝えるので、可動ブロック４をロ
ックさせるにはレバー８を軽く引くだけで良く、ウエハ
カセット運搬治具１００の使用者の手指の力の個人差に
よる影響が少ない。さらに、レバー８はハンドル６の近
傍に設けられているので、ハンドル６を握った手の指で
レバー８を引くことが可能であり、片手のみによる操作
が可能となる。また、可動ブロック４がロックされた後
はレバー８は、可動ブロック４に何等の作用も及ぼさな
いので、手指を離してもロックが解除されることはな
い。

【００４９】そして、可動ブロック４がロックされる
と、ウエハカセットの側面突出板５３１がクランプブロ
ック５の溝部５０１によって保持されるので、ウエハカ
セット運搬治具１００を傾けた場合でも、ウエハカセッ
トがアーム３上を滑って、ウエハカセットが脱落するよ
うなことが防止される。

【００５０】また、ウエハカセットは運搬時と同様に所
定の台上に水平（端面板５３、５４が台面に垂直になる
ように）載置される場合もあるが、種々の半導体製造装
置においては、ウエハ９９を取り出すために、ウエハカ
セットを台上に垂直（端面板５４が台面に対向するよう
に）に載置する場合も多い。このような場合、ウエハカ
セット運搬治具１００を最大で９０度傾けることになる
が、ウエハカセットの側面突出板５３１がクランプブロ
ック５の溝部５０１によって保持されているので、ウエ
ハカセット運搬治具１００からウエハカセットが脱落す
ることが確実に防止される。

【００５１】＜Ａ−４．ウエハカセット運搬治具１００
の取り外し＞ ＜Ａ−４−１．可動ブロック４のロック解除＞所定の運
搬作業が終了すると、可動ブロック４のロックを解除し
て、ウエハカセット運搬治具１００をウエハカセットか
ら取り外すことになる。以下に、図６および図７を用い
て可動ブロック４のロックの解除動作について説明す
る。

【００５２】図６は、ウエハカセットを台上に垂直に載
置した状態を示す平面図である。図６に示すように、ロ
ック解除ボタン９を手指で押し込むことにより、可動ブ
ロック４のロックが解除され、可動ブロック４およびク
ランプアーム７が外側に開くとともに、クランプブロッ
ク５の溝部５０１はウエハカセットの側面突出板５３１
から離れ、対向する位置に移動している。この状態でア
ーム３をウエハカセットから引き抜くことで、ウエハカ
セット運搬治具１００をウエハカセットから取り外すこ
とができる。

【００５３】なお、支持フレーム２の前面には防塵板１
０が配設されているので、図６のようにウエハカセット
を台上に垂直に載置した場合に、ウエハカセット運搬治
具１００に付着した異物が、ウエハ９９上に落下するこ
とを防止できる。

【００５４】＜Ａ−４−２．可動ブロック４のロック解
除機構＞以下に、可動ブロック４のロックの解除機構に
ついて説明する。図７はウエハカセット運搬治具１００
を支持フレーム２の下面方向から見た平面図であるが、
理解を容易にするため不要な構成などは省略している。
図７に示すように、支持フレーム２の下面には、その両
端部近傍にそれぞれシャフト保持ブロック２４５が固定
して配設されている。

【００５５】シャフト保持ブロック２４５は、可動ブロ
ック４の移動に伴うロックシャフト２４１のスライドを
円滑に行うための構成（ベアリングなど）を有している
とともに、可動ブロック４を外側に付勢するためのコイ
ルバネ２４６を取り付ける台座としての機能を有してい
る。

【００５６】また、ロックシャフト２４１に相対する位
置には、一端が可動ブロック４の内面に取付けられた補
助シャフト２４７が配設されている。補助シャフト２４
７はコイルバネ２４６が可動ブロック４を外側に付勢す
ることで、ロックシャフト２４１とともに可動ブロック
４が抜け外れることを防止するために設けられている。

【００５７】図５を用いて説明したように、可動ブロッ
ク４のロックはロックシャフト２４１の切り欠部２４Ｈ
にロック具２４２の突起部２４Ｐが係合することによっ
て達成され、ロック具２４２はコイルバネ２４３によっ
てロックシャフト２４１の方向に付勢されているので、
一旦、切り欠部２４Ｈに突起部２４Ｐが係合すると、突
起部２４Ｐが自然に外れることはない。しかし、ロック
解除ボタン９を押し込むことで、ロック具２４２に接続
されたロック解除シャフト９１が、コイルバネ２４３を
縮める方向にロック具２４２を移動させ、突起部２４Ｐ
が切り欠部２４Ｈから外れることになる。

【００５８】突起部２４Ｐが切り欠部２４Ｈから外れる
と、可動ブロック４がコイルバネ２４６により外側に付
勢され、それに伴ってロックシャフト２４１がスライド
し、可動ブロック４のロックが解除されることになる。

【００５９】同時に、可動ブロック４に押されてクラン
プアーム７が自動的に外側に開き、クランプアーム７の
円筒部材７２が横シャフト８１をハンドル６とは反対側
に押し戻し、レバー８が初期位置に戻ることになる。ま
た、ロック解除シャフト９１はメインフレーム１内を自
由に摺動するので、手指を離すとコイルバネ２４３によ
って付勢されたロック具２４２がロック解除シャフト９
１を押し戻し、ロック解除ボタン９は初期位置に戻っ
て、図７に示すような状態になる。

【００６０】なお、コイルバネ２４６は可動ブロック４
を互いに遠ざかる方向に付勢する手段（第２の付勢手
段）と言うことができる。

【００６１】このように、可動ブロック４のロック機構
およびロック解除機構は簡単な構成により組み立てられ
ているが、十分にその機能を果たすものであり、構成が
簡単なだけに故障等の発生する可能性も少ない。

【００６２】＜Ａ−５．不完全ロックの防止構造＞クラ
ンプブロック５には、可動ブロック４が不完全にロック
されることを防止するための工夫がなされている。図８
および図９を用いて不完全ロックの防止構造について説
明する。図８および図９に、ウエハカセット運搬治具１
００をウエハカセットに装着する準備が完了するまでの
過程を示す。なお、図８および図９においてはクランプ
ブロック５の溝部５０１の近傍の構成のみを示してお
り、他の構成は省略している。

【００６３】図８に示すように、溝部５０１はクランプ
ブロック５の先端部から距離Ｌだけ離れた位置に形成さ
れており、ウエハカセットの端面板５３の最表面を基準
とすれば、クランプブロック５の先端部がウエハカセッ
トの端面板５３の最表面から距離Ｌだけ先に進まないと
クランプブロック５の溝部５０１がウエハカセットの側
面突出板５３１に対向しない。従って、図８に示す状態
でレバー８を引いてクランプブロック５を内側に移動さ
せても、ウエハカセットの側面突出板５３１は溝部５０
１に挿入されず、可動ブロック４がロックされることは
ない。

【００６４】しかし、図９に示すように、クランプブロ
ック５の先端部がウエハカセットの端面板５３の最表面
から距離Ｌだけ先に進むと、クランプブロック５の溝部
５０１がウエハカセットの側面突出板５３１に対向し、
可動ブロック４のロックが可能となる。

【００６５】以上説明したように、溝部５０１をクラン
プブロック５の先端部から距離Ｌだけ離れた位置に形成
することにより、ウエハカセットに沿ってクランプブロ
ック５を距離Ｌだけ確実に挿入しなければ、ウエハカセ
ットの側面突出板５３１は溝部５０１に保持されないこ
とになり、可動ブロック４はロックされない。

【００６６】可動ブロック４がロックされていないこと
は、ウエハカセット運搬治具１００の使用者に明瞭に判
るので、ロック状態が確認されるまで、ウエハカセット
運搬治具１００をさらにウエハカセット方向に移動させ
れば良い。

【００６７】従って、使用者が不慣れでも可動ブロック
４を確実にロックさせることが可能となり、可動ブロッ
ク４のロックが不完全で、搬送中にウエハカセットが脱
落するような事態を回避できる。なお、距離Ｌを設ける
ことで、不完全ロックの防止が可能となるので、距離Ｌ
を「不完全ロックの防止寸法」と呼称する。

【００６８】また、クランプブロック５の溝部５０１に
側面突出板５３１に挿入された場合に、若干の隙間がで
きるように溝部５０１を大きく形成することで、側面突
出板５３１と溝部５０１とが擦れて、異物が発生するこ
とを防止できる。

【００６９】＜Ａ−６．特徴的作用効果＞以上説明した
本発明に係るウエハカセット運搬治具の実施の形態１に
よれば、可動ブロック４をロックすることで、ウエハカ
セットの側面突出板５３１がクランプブロック５の溝部
５０１によって保持されるので、ウエハカセット運搬治
具１００を９０度傾けたような場合でも、ウエハカセッ
トがアーム３上を滑って、ウエハカセットが脱落するよ
うなことが防止される。

【００７０】また、可動ブロック４をロックさせるには
レバー８を軽く引くだけで良く、ウエハカセット運搬治
具１００の使用者の手指の力の個人差による影響が少な
い。さらに、レバー８はハンドル６の近傍に設けられて
いるので、片手のみによる操作が可能となり、もう片方
の手を自由に使うことができる。

【００７１】また、可動ブロック４のロックを解除する
ためのロック解除ボタン９をハンドル６の近傍に設けて
いるので、ハンドル６を支えた状態で、片手でロックを
解除することができ、作業性が良好である。

【００７２】また、可動ブロック４がロックされた後は
レバー８は、可動ブロック４に何等の作用も及ぼさない
ので、手指を離してもロックが解除されることはなく、
使用者に負担をかけることがない。

【００７３】＜Ａ−７．実施の形態１の変形例＞以上説
明した実施の形態１では、支持フレーム２の下面に可動
ブロック４を外側に付勢するためのコイルバネ２４６を
備えており、可動ブロック４のロックが解除されると、
可動ブロック４がコイルバネ２４６に押されて自動的に
外側に開く構成となっていたが、可動ブロック４のロッ
クを解除した後、可動ブロック４を手動で外側に開くよ
うにするならば、コイルバネ２４６は必ずしも必要では
ない。ただし、この場合は、一旦押し込んだロック解除
シャフト９１がすぐには戻らないようにするか、ロック
解除ボタン９を固定するような工夫が必要となる。

【００７４】＜Ｂ．実施の形態２＞ウエハの大口径化が
進むと、そのウエハを収容したウエハカセットの重量も
重くなる。例えば１０インチウエハの重量は８インチウ
エハの５割増し程度になり、それを複数枚収容したウエ
ハカセットの総重量は８インチ用のそれと比べて格段に
重い。さらに１２インチウエハの導入も間近い。

【００７５】本発明に係る実施の形態１では、ウエハカ
セットを片手で運搬するためのウエハカセット運搬治具
１００について説明したが、これで運搬できるウエハは
８インチが限界であり、１０インチ以上のウエハを収容
したウエハカセットを運搬するには両手で持つ必要があ
る。以下、両手用のウエハカセット運搬治具２００につ
いて説明する。

【００７６】＜Ｂ−１．ウエハカセット運搬治具２００
の構成＞図１０はウエハカセット運搬治具２００をウエ
ハカセットに装着した状態を示す斜視図である。ウエハ
カセット運搬治具２００の構成は基本的にはウエハカセ
ット運搬治具１００と同様であるが、ハンドルおよびレ
バーが２つになった点と、メインフレーム、支持フレー
ム、アームが一体化された点が異なっている。

【００７７】図１０において、ウエハカセット運搬治具
２００は、ウエハカセット運搬治具１００のメインフレ
ーム、支持フレーム、アームが一体化された支持フレー
ム２Ａ、当該支持フレーム２Ａの両端部に一体で配設さ
れた２本のアーム３Ａ、２本のアーム３Ａの下部にそれ
ぞれ配設された可動ブロック４Ａ、当該可動ブロック４
に取付けられたクランプブロック５Ａ、支持フレーム２
Ａの２つの突出部２１Ａの下部にそれぞれ配設されたハ
ンドル６Ａ、支持フレーム２Ａの前面に配設した防塵板
１０Ａといった構成に大別される。

【００７８】それぞれの構成の基本的構造、および機能
はウエハカセット運搬治具１００において説明済みであ
るので重複する説明は省略する。なお、メインフレー
ム、支持フレーム、アームを一体化したのは強度を高め
るためであり、ウエハの大口径化に伴って重量が増した
ウエハカセットの運搬に対応するためである。

【００７９】また、ロック解除ボタン９Ａは、支持フレ
ーム２Ａに直接取り付けられ、２つのハンドル６Ａの略
中間に位置するように設けられているが、このように配
設することで、ハンドル６Ａを把持したままでどちらか
の親指で操作することができる。

【００８０】＜Ｂ−２．ウエハカセット運搬治具２００
の装着＞ウエハカセットへの装着は、図１０に示すよう
に、２つのレバー８Ａを、左右の手指で引くことによ
り、２つのクランプアーム７Ａを内側に閉じ、可動ブロ
ック４Ａを内側に押付けることによって完了する。

【００８１】運搬は、２つのクランプアーム７Ａを左右
の手でそれぞれ把持した状態で行う。

【００８２】＜Ｂ−３．ウエハカセット運搬治具２００
の取り外し＞所定の運搬作業が終了すると、可動ブロッ
ク４Ａのロックを解除して、ウエハカセット運搬治具２
００をウエハカセットから取り外すことになる。図１１
は、ウエハカセットを台上に垂直に載置した状態を示す
平面図である。図１１に示すように、ロック解除ボタン
９Ａを手指で押し込むことにより、可動ブロック４Ａの
ロックが解除され、可動ブロック４Ａおよびクランプア
ーム７Ａが外側に開くとともに、クランプブロック５Ａ
の溝部（図示せず）はウエハカセットの側面突出板（図
示せず）から離れる。この状態でアーム３Ａをウエハカ
セットから引き抜くことで、ウエハカセット運搬治具２
００をウエハカセットから取り外すことができる。

【００８３】＜Ｂ−４．特徴的作用効果＞以上説明した
本発明に係るウエハカセット運搬治具の実施の形態２に
よれば、２つのハンドルを設け、両手でウエハカセット
を運搬するようにしたので、ウエハカセットを安定に保
つことができ、重量が重くても楽に運ぶことができる。
従って、ウエハの大口径化に伴って重量が増したウエハ
カセットの運搬に適しており、使用者の腕力の個人差を
補うことができる。

【００８４】なお、実施の形態２は１０インチ以上のウ
エハを収納するウエハカセットの運搬に適用できるだけ
でなく、８インチウエハを収納したウエハカセットの運
搬に適用しても良く、両手で運搬することにより安全性
を高めることができる。

【００８５】

【発明の効果】本発明に係る請求項１記載のウエハカセ
ット運搬治具によれば、少なくとも１のハンドルを把持
して持ち上げ、一対のアームをウエハカセットの一対の
上部突出板の下面にそれぞれ接触させて運搬する場合
に、一対のクランプブロックを一対の側面突出板を両側
から挟むように装着し、当該クランプブロックの位置を
固定してロック状態とすることにより、使用者の指の力
の強弱に左右されることなく、ウエハカセット運搬治具
を９０度傾けても、ウエハカセットが、一対のアームを
上を滑って脱落するようなことが防止され、ウエハカセ
ットの運搬を安全に確実に行うことができる。

【００８６】本発明に係る請求項２記載のウエハカセッ
ト運搬治具によれば、第１の付勢手段により一対のクラ
ンプブロックが互いに向かい合う方向に付勢されると、
一対のクランプブロックの移動に伴ってロックシャフト
が移動し、ロック具がロックのシャフトの所定位置と係
合してロックシャフトの移動が規制されて、一対のクラ
ンプブロックの位置が固定されてロック状態となる。そ
して、一旦係合すると、ロック具付勢手段により係合を
強める方向にロック具が付勢されるので、自然にロック
が解除されることはなく、運搬時におけるウエハカセッ
トの落下を確実に防止することができる。

【００８７】本発明に係る請求項３記載のウエハカセッ
ト運搬治具によれば、ロック具を、ロック具付勢手段に
よる付勢方向とは逆の方向に付勢することで、一対のク
ランプブロックのロック状態を解除するロック解除手段
を備えるので、運搬終了後におけるウエハカセット運搬
治具の取り外しが容易にでき、しかも、ロック解除手段
は極めて簡単な構成であるので故障する可能性が少な
く、ロック解除不能になることによる不具合を防止する
ことができる。

【００８８】本発明に係る請求項４記載のウエハカセッ
ト運搬治具によれば、一対のクランプアームはトリガー
レバーの動作を、回動軸を支点とする梃子の原理を利用
して一対のクランプブロックに増倍して伝えるので、一
対のクランプブロックを互いに向かい合う方向に付勢す
るにはトリガーレバーを軽く引くだけで良く、ウエハカ
セット運搬治具の使用者の手指の力の個人差による影響
を軽減することができるとともに、一対のクランプブロ
ックのロック状態を解除するための具体的な構成を得る
ことができる。

【００８９】本発明に係る請求項５記載のウエハカセッ
ト運搬治具によれば、少なくとも１のトリガーレバーお
よびロック解除シャフトの他方端が、少なくとも１のハ
ンドルの近傍に位置するように配設されているので、ハ
ンドルが１つだけの場合はハンドルを把持した方の手指
だけでトリガーレバーおよびロック解除シャフトの操作
ができ、作業性に優れたウエハカセット運搬治具を得る
ことができる。

【００９０】本発明に係る請求項６記載のウエハカセッ
ト運搬治具によれば、ロック具とロックシャフトの所定
位置との係合が解除された場合には、第２の付勢手段に
よって、一対のクランプブロックが互いに遠ざかる方向
に付勢され、一対のクランプブロックによる一対の側面
突出板の保持が自動的に解除されるので、ウエハカセッ
トからの取り外し時の作業性に優れたウエハカセット運
搬治具を得ることができる。

【００９１】本発明に係る請求項７記載のウエハカセッ
ト運搬治具によれば、２つのハンドルを備え、両手でウ
エハカセットを運搬するので、ウエハカセットをより安
定に保つことができ、重量が重くても楽に運ぶことがで
きる。従って、ウエハの大口径化に伴って重量が増した
ウエハカセットの運搬においても使用者の腕力の個人差
を補うことができる。また、第１および第２のトリガー
レバーが第１および第２のハンドルの近傍に位置するよ
うに配設され、ロック解除シャフトの他方端が、第１お
よび第２のハンドルの略中間に位置するように配設され
ているので、両手で第１および第２のハンドルを把持し
ていても、トリガーレバーおよびロック解除シャフトの
操作ができ、作業性に優れたウエハカセット運搬治具を
得ることができる。

【００９２】本発明に係る請求項８記載のウエハカセッ
ト運搬治具によれば、一対のクランプブロックの溝部
に、一対の側面突出板が挿入されたときのみ一対の側面
突出板が保持され、一対のクランプブロックがロック状
態となり、一対のクランプブロックがロック状態となっ
ていないことは、ウエハカセット運搬治具の使用者に明
瞭に判るので、ロック状態が確認されるまで、ウエハカ
セット運搬治具をさらにウエハカセット方向に移動させ
れば良く、使用者が不慣れでもロック状態が不完全で、
搬送中にウエハカセットが脱落するような事態を回避で
きる。

【００９３】本発明に係る請求項９記載のウエハカセッ
ト運搬治具によれば、防塵板を備えているので、ウエハ
カセットを台上に垂直に載置した場合に、ウエハカセッ
ト運搬治具に付着した異物が、ウエハ上に落下すること
を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 一般的なウエハカセットの構成を説明する斜
視図である。

【図２】 本発明に係るウエハカセット運搬治具の実施
の形態１の構成を説明する斜視図である。

【図３】 本発明に係るウエハカセット運搬治具の実施
の形態１のウエハカセットへの装着準備が完了した状態
を示す図である。

【図４】 本発明に係るウエハカセット運搬治具の実施
の形態１のウエハカセットへの装着状態を説明する斜視
図である。

【図５】 本発明に係るウエハカセット運搬治具の実施
の形態１のロック機構を説明する図である。

【図６】 本発明に係るウエハカセット運搬治具の実施
の形態１のウエハカセットからの取り外しを説明する図
である。

【図７】 本発明に係るウエハカセット運搬治具の実施
の形態１のロック機構およびロック解除機構を説明する
図である。

【図８】 本発明に係るウエハカセット運搬治具のクラ
ンプブロックの構成を説明する図である。

【図９】 本発明に係るウエハカセット運搬治具のクラ
ンプブロックの構成を説明する図である。

【図１０】 本発明に係るウエハカセット運搬治具のの
実施の形態２のウエハカセットへの装着状態を説明する
斜視図である。

【図１１】 本発明に係るウエハカセット運搬治具の実
施の形態２のウエハカセットからの取り外しを説明する
図である。

【図１２】 従来のウエハカセット運搬治具の構成を示
す斜視図である。

【図１３】 従来のウエハカセット運搬治具のウエハカ
セットへの装着状態を説明する斜視図である。

【符号の説明】

１ メインフレーム、２，２Ａ 支持フレーム、３，３
Ａ アーム、４，４Ａ可動ブロック、５，５Ａ クラン
プブロック、６，６Ａ ハンドル、７，７Ａクランプア
ーム、８，８Ａ レバー、９，９Ａ ロック解除ボタ
ン、１０，１０Ａ 防塵板、２１，２１Ａ 突出部、２
２，２２Ａ 回動軸、２３ ストッパ、２４Ｐ 突出
部、２４Ｈ 切り欠部、５１ カセット本体、５２ 上
部突出板、５３，５４ 端面板、７１ 押圧部材、９１
ロック解除シャフト、９９ ウエハ、２４１ ロック
シャフト、２４２ ロック具、２４３ コイルバネ、２
４４ ロック具ブロック、２４５ シャフト保持ブロッ
ク、２４６ コイルバネ、２４７ 補助シャフト、５０
１ 溝部、５３１，５４１ 側面突出板。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハを収容するウエハカセットを運搬
   するウエハカセット運搬治具であって、 前記ウエハカセットは、有底無蓋の箱型のカセット本体
   と、当該カセット本体の上部開口部の前記ウエハの配列
   方向の端縁に設けられ、前記カセット本体から遠ざかる
   ように突出した一対の上部突出板と、前記カセット本体
   の両側面の端縁に設けられ、前記カセット本体から遠ざ
   かるように突出した一対の側面突出板とを有し、 前記ウエハカセット運搬治具は、 前記ウエハカセットへの装着時に、前記一対の上部突出
   板の下面にそれぞれ接触するように配設される一対のア
   ームと、 前記一対の側面突出板への着脱が自在で、前記一対の側
   面突出板を両側から挟むように装着することで、前記一
   対の側面突出板を保持する一対のクランプブロックと、 前記一対のアームおよび前記一対のクランプブロックを
   所定の間隔で略平行に取り付ける支持フレームと、 前記一対のクランプブロックに接続され、前記一対のク
   ランプブロックの前記一対の側面突出板への着脱を自在
   に行う可動手段と、 前記一対の側面突出板が保持された場合には、前記一対
   のクランプブロックの位置を固定してロック状態とする
   ロック手段と、 前記支持フレームに支持される全ての構成を持ち上げる
   ための少なくとも１のハンドルとを備えたウエハカセッ
   ト運搬治具。
2. 【請求項２】 前記可動手段は、 前記一対のクランプブロックを互いに向かい合う方向に
   付勢する第１の付勢手段を少なくとも有し、 前記一対のクランプブロックは、 互いに向かい合う面から延在し、前記一対のクランプブ
   ロックの移動に伴って移動するロックシャフトをそれぞ
   れ有し、 前記ロック手段は、 前記一対のクランプブロックが互いに向かい合う方向に
   付勢され、前記ロックシャフトが移動した場合に、前記
   ロックシャフトの所定位置に係合し、前記ロックシャフ
   トの移動を規制するロック具と、 前記ロック具が前記ロックのシャフトの所定位置と係合
   した場合には、係合を強める方向に前記ロック具を付勢
   するロック具付勢手段とを有する請求項１記載のウエハ
   カセット運搬治具。
3. 【請求項３】 前記ロック具を、前記ロック具付勢手段
   による付勢方向とは逆の方向に付勢し、前記ロック具と
   前記ロックシャフトの所定位置との係合を解除して、前
   記一対のクランプブロックのロック状態を解除するロッ
   ク解除手段をさらに備える請求項２記載のウエハカセッ
   ト運搬治具。
4. 【請求項４】 前記第１の付勢手段は、 前記クランプブロックに一方端が接触する帯状の一対の
   クランプアームと、 前記一対のクランプアームの主面を貫通して前記支持フ
   レームに取り付けられ、前記一対のクランプアームのそ
   れぞれの回動中心となる一対の回動軸とを含み、 前記一対のクランプアームの回動により、前記一方端が
   前記一対のクランプブロックを互いに向かい合う方向に
   付勢するように、前記一対のクランプアームの他方端を
   所定方向に移動させる少なくとも１のトリガーレバーを
   さらに備え、 前記ロック解除手段は、前記ロック具付勢手段による付
   勢方向とは逆の方向に前記ロック具を付勢することがで
   きるように、一方端が前記ロック具に取り付けられたロ
   ック解除シャフトを有する請求項３記載のウエハカセッ
   ト運搬治具。
5. 【請求項５】 前記少なくとも１のトリガーレバーおよ
   び前記ロック解除シャフトの他方端は、前記少なくとも
   １のハンドルの近傍に位置するように配設される請求項
   ４記載のウエハカセット運搬治具。
6. 【請求項６】 前記可動手段は、 前記一対のクランプブロックを互いに遠ざかる方向に付
   勢する第２の付勢手段をさらに有し、 前記ロック具と前記ロックシャフトの所定位置との係合
   が解除された場合には、前記第２の付勢手段によって、
   前記一対のクランプブロックが互いに遠ざかる方向に付
   勢され、前記一対のクランプブロックによる前記一対の
   側面突出板の保持を自動的に解除することを特徴とする
   請求項２〜請求項５のいずれかに記載のウエハカセット
   運搬治具。
7. 【請求項７】 前記少なくとも１のハンドルは、所定の
   間隔で配設された第１および第２のハンドルであって、 前記少なくとも１のトリガーレバーは、前記第１および
   第２のハンドルの近傍に配設された第１および第２のト
   リガーレバーであって、 前記第１および第２のトリガーレバーは前記第１および
   第２のハンドルの近傍に位置するように配設され、 前記ロック解除シャフトの他方端は、前記第１および第
   ２のハンドルの略中間に位置するように配設される請求
   項４記載のウエハカセット運搬治具。
8. 【請求項８】 前記一対のクランプブロックは、 互いに向かい合う面の所定位置に前記一対の側面突出板
   の形状に対応した溝部をそれぞれ有し、 前記溝部に前記一対の側面突出板が挿入されたときのみ
   前記一対の側面突出板が保持されることを特徴とする請
   求項１記載のウエハカセット運搬治具。
9. 【請求項９】 前記ウエハカセットへの装着時に前記支
   持フレームの前記ウエハカセットに対向する面に、前記
   ウエハカセットに収納された状態の前記ウエハの露出面
   への塵落下を遮るように配設された防塵板をさらに備え
   る請求項１記載のウエハカセット運搬治具。