JPH09270657A - ノイズ吸収素子 - Google Patents
ノイズ吸収素子Info
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- JPH09270657A JPH09270657A JP7770296A JP7770296A JPH09270657A JP H09270657 A JPH09270657 A JP H09270657A JP 7770296 A JP7770296 A JP 7770296A JP 7770296 A JP7770296 A JP 7770296A JP H09270657 A JPH09270657 A JP H09270657A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】内部構造の欠陥の低減化が図られ、高周波ノイ
ズのみならずサージ等の異常電圧を吸収することができ
るノイズ吸収素子を提供する。 【解決手段】セラミックバリスタ基板11の表面に、櫛
形電極13とその櫛形電極13に沿って延びるつづら折
り状電極12とを形成した。
ズのみならずサージ等の異常電圧を吸収することができ
るノイズ吸収素子を提供する。 【解決手段】セラミックバリスタ基板11の表面に、櫛
形電極13とその櫛形電極13に沿って延びるつづら折
り状電極12とを形成した。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子機器のノイズ
対策に用いられるノイズ吸収素子に関する。
対策に用いられるノイズ吸収素子に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、セラミックスを用いたノイズ
対策部品として、高周波ノイズを吸収するLC一体型チ
ップタイプノイズフィルタ、3端子型チップコンデン
サ、またサージ等の異常電圧を吸収するチップバリスタ
等のノイズ吸収素子が知られている。このようなノイズ
吸収素子は、主にグリーンシート積層法により製造され
ている。またチップバリスタのなかには、信号側の内部
電極とグラウンド側の内部電極の間でコンデンサ部が形
成されるとともに、そのコンデンサ部でバリスタ機能を
発揮する3端子コンデンサ形状のチップバリスタも知ら
れている。この3端子コンデンサ形状のチップバリスタ
の等価回路は、コンデンサ素子とバリスタ素子が互いに
並列接続され、かつグラウンドに接続された構成で表わ
すことができる。
対策部品として、高周波ノイズを吸収するLC一体型チ
ップタイプノイズフィルタ、3端子型チップコンデン
サ、またサージ等の異常電圧を吸収するチップバリスタ
等のノイズ吸収素子が知られている。このようなノイズ
吸収素子は、主にグリーンシート積層法により製造され
ている。またチップバリスタのなかには、信号側の内部
電極とグラウンド側の内部電極の間でコンデンサ部が形
成されるとともに、そのコンデンサ部でバリスタ機能を
発揮する3端子コンデンサ形状のチップバリスタも知ら
れている。この3端子コンデンサ形状のチップバリスタ
の等価回路は、コンデンサ素子とバリスタ素子が互いに
並列接続され、かつグラウンドに接続された構成で表わ
すことができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述したノイズ吸収素
子は、主にグリーンシート積層法を用いて製造されてい
る。ここで、ノイズ吸収素子として、内部電極を有する
チップ部品をグリーンシート積層法を用いて製造する場
合は、内部電極とセラミックスグリーンシートとの一体
焼成によるデラミなどの内部構造の欠陥を生じやすいと
いう問題がある。
子は、主にグリーンシート積層法を用いて製造されてい
る。ここで、ノイズ吸収素子として、内部電極を有する
チップ部品をグリーンシート積層法を用いて製造する場
合は、内部電極とセラミックスグリーンシートとの一体
焼成によるデラミなどの内部構造の欠陥を生じやすいと
いう問題がある。
【0004】また、上述した、3端子コンデンサ形状の
チップバリスタでは、高周波ノイズを吸収するためのイ
ンダクタ成分についてはほとんど考慮されていなかっ
た。本発明は、上記事情に鑑み、内部構造の欠陥の低減
化が図られ、高周波ノイズのみならずサージ等の異常電
圧を吸収することができるノイズ吸収素子を提供するこ
とを目的とする。
チップバリスタでは、高周波ノイズを吸収するためのイ
ンダクタ成分についてはほとんど考慮されていなかっ
た。本発明は、上記事情に鑑み、内部構造の欠陥の低減
化が図られ、高周波ノイズのみならずサージ等の異常電
圧を吸収することができるノイズ吸収素子を提供するこ
とを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明のノイズ吸収素子は、少なくとも表面がセラミックで
形成された基板上の同一平面状に、互いの間に所定の間
隔を置いて延在する、インダクタを構成する第1の電
極、およびその第1の電極との間でコンデンサ及びバリ
スタを構成する第2の電極がスクリーン印刷法により形
成されてなることを特徴とする。
明のノイズ吸収素子は、少なくとも表面がセラミックで
形成された基板上の同一平面状に、互いの間に所定の間
隔を置いて延在する、インダクタを構成する第1の電
極、およびその第1の電極との間でコンデンサ及びバリ
スタを構成する第2の電極がスクリーン印刷法により形
成されてなることを特徴とする。
【0006】ここで、上記第2の電極が複数の歯形を有
する櫛形形状の電極であり、上記第1の電極が、その第
2の電極の複数の歯形に沿って延びるつづら折り形の電
極であることが効果的である。また、上記第1の電極お
よび上記第2の電極が形成された基板の上にさらに誘電
体層が厚膜法で形成されてなることが好ましい。
する櫛形形状の電極であり、上記第1の電極が、その第
2の電極の複数の歯形に沿って延びるつづら折り形の電
極であることが効果的である。また、上記第1の電極お
よび上記第2の電極が形成された基板の上にさらに誘電
体層が厚膜法で形成されてなることが好ましい。
【0007】さらに、上記第1の電極および上記第2の
電極が形成された基板の上にさらに磁性体層が厚膜法で
形成されてなることも好ましい。
電極が形成された基板の上にさらに磁性体層が厚膜法で
形成されてなることも好ましい。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。図1は、本発明の第1実施形態のノイズ吸収
素子の平面図(a)と、そのノイズ吸収素子のA−A’
断面図(b)と、そのノイズ吸収素子の等価回路図
(c)である。
説明する。図1は、本発明の第1実施形態のノイズ吸収
素子の平面図(a)と、そのノイズ吸収素子のA−A’
断面図(b)と、そのノイズ吸収素子の等価回路図
(c)である。
【0009】図1(a)に示すノイズ吸収素子10は、
セラミックバリスタ基板11と、つづら折り状電極12
と、3本の歯を有する櫛形電極13と、誘電体層14と
を備えている。このノイズ吸収素子10のセラミックバ
リスタ基板11の表面には、櫛形電極13とその櫛形電
極13の有する3本の歯に対向するようにつづら折り状
電極12とが厚膜印刷法により形成されている。また、
図1(a),(b)に示すように、つづら折り状電極1
2,櫛形電極13に挟まれた空間部分と、つづら折り状
電極12の両端部以外の部分と、櫛形電極13の歯の部
分とを覆うように誘電体層14が厚膜印刷法により形成
されている。また、つづら折り状電極12の、誘電体層
14に覆われていない部分が、第1の端子電極12a,
第2の端子電極12bとなっており、櫛形電極13の、
誘電体層14に覆われていない部分が、第3の端子電極
13aとなっている。
セラミックバリスタ基板11と、つづら折り状電極12
と、3本の歯を有する櫛形電極13と、誘電体層14と
を備えている。このノイズ吸収素子10のセラミックバ
リスタ基板11の表面には、櫛形電極13とその櫛形電
極13の有する3本の歯に対向するようにつづら折り状
電極12とが厚膜印刷法により形成されている。また、
図1(a),(b)に示すように、つづら折り状電極1
2,櫛形電極13に挟まれた空間部分と、つづら折り状
電極12の両端部以外の部分と、櫛形電極13の歯の部
分とを覆うように誘電体層14が厚膜印刷法により形成
されている。また、つづら折り状電極12の、誘電体層
14に覆われていない部分が、第1の端子電極12a,
第2の端子電極12bとなっており、櫛形電極13の、
誘電体層14に覆われていない部分が、第3の端子電極
13aとなっている。
【0010】ノイズ吸収素子10は、例えば接地して使
用され、つづら折り状電極12と櫛形電極13の間で、
コンデンサ及びバリスタ特性を発揮し、つづら折り状電
極12でインダクタンスを発揮する。また、セラミック
バリスタ基板11に用いられた材料を変えることによっ
て、バリスタ電圧や非直線係数α等の、バリスタ特性を
制御することができる。さらに、セラミックバリスタ基
板11の表面に形成されたつづら折り状電極12の、長
さ,幅,厚さなどを調整することによって、インダクタ
ンスの値を調整することができ、つづら折り状電極12
の、櫛形電極13と対向している部分の長さ,つづら折
り状電極12と櫛形電極13の歯との距離,セラミック
バリスタ基板11の誘電率,誘電体層14の誘電率など
を調整することによって、静電容量の値を調整すること
ができる。
用され、つづら折り状電極12と櫛形電極13の間で、
コンデンサ及びバリスタ特性を発揮し、つづら折り状電
極12でインダクタンスを発揮する。また、セラミック
バリスタ基板11に用いられた材料を変えることによっ
て、バリスタ電圧や非直線係数α等の、バリスタ特性を
制御することができる。さらに、セラミックバリスタ基
板11の表面に形成されたつづら折り状電極12の、長
さ,幅,厚さなどを調整することによって、インダクタ
ンスの値を調整することができ、つづら折り状電極12
の、櫛形電極13と対向している部分の長さ,つづら折
り状電極12と櫛形電極13の歯との距離,セラミック
バリスタ基板11の誘電率,誘電体層14の誘電率など
を調整することによって、静電容量の値を調整すること
ができる。
【0011】尚、誘電体層14の上に、その誘電体層1
4よりも小さな面積の導体を印刷し焼成してフロート電
極を形成すると、より大きな静電容量を得ることができ
る。さらに、そのノイズ吸収素子10の最上部印刷層の
上に、ガラスや樹脂などを用いてオーバーコート層を形
成することによって、ノイズ吸収素子10に各種信頼性
試験を行う際に生じるノイズ吸収素子の特性の変化を抑
えることができる。
4よりも小さな面積の導体を印刷し焼成してフロート電
極を形成すると、より大きな静電容量を得ることができ
る。さらに、そのノイズ吸収素子10の最上部印刷層の
上に、ガラスや樹脂などを用いてオーバーコート層を形
成することによって、ノイズ吸収素子10に各種信頼性
試験を行う際に生じるノイズ吸収素子の特性の変化を抑
えることができる。
【0012】また、ノイズ吸収素子10は、セラミック
バリスタ基板を用いて製造されるが、セラミックバリス
タ基板以外の基板上に厚膜印刷法を用いてバリスタ層を
形成し、そのバリスタ層上に電極を形成してノイズ吸収
素子を製造してもよい。図1(c)に示す等価回路は、
インダクタンス素子15の一端がコンデンサ素子16と
バリスタ素子17とからなる並列回路の一端に接続さ
れ、この並列回路の他端は接地されており、インダクタ
ンス素子15の他端は端子18となり、インダクタンス
素子15と上記並列回路との接続点が端子19となって
いる回路である。
バリスタ基板を用いて製造されるが、セラミックバリス
タ基板以外の基板上に厚膜印刷法を用いてバリスタ層を
形成し、そのバリスタ層上に電極を形成してノイズ吸収
素子を製造してもよい。図1(c)に示す等価回路は、
インダクタンス素子15の一端がコンデンサ素子16と
バリスタ素子17とからなる並列回路の一端に接続さ
れ、この並列回路の他端は接地されており、インダクタ
ンス素子15の他端は端子18となり、インダクタンス
素子15と上記並列回路との接続点が端子19となって
いる回路である。
【0013】インダクタンス素子15は、つづら折り状
電極12から形成されたものであり、コンデンサ素子1
6及びバリスタ素子17は、つづら折り状電極12と櫛
形電極13とから形成されたものである。この等価回路
は、インダクタンス素子15とコンデンサ素子16とが
T型に接続されており、バリスタ素子17が接続されて
いるので、一般にバリスタ機能付きT型LC回路と呼称
されている。
電極12から形成されたものであり、コンデンサ素子1
6及びバリスタ素子17は、つづら折り状電極12と櫛
形電極13とから形成されたものである。この等価回路
は、インダクタンス素子15とコンデンサ素子16とが
T型に接続されており、バリスタ素子17が接続されて
いるので、一般にバリスタ機能付きT型LC回路と呼称
されている。
【0014】本実施形態のノイズ吸収素子10では、セ
ラミックバリスタ基板11の表面に厚膜印刷法を用い
て、つづら折り状電極12と櫛形電極13とが形成され
ている。この厚膜印刷法では、厚膜層を印刷する毎に焼
成を行っているため、従来の、グリーンシート積層法を
用いて製造されたノイズ吸収素子にみられるデラミ等の
構造欠陥が生じることもない。さらに、セラミックバリ
スタ基板11の表面に形成されたつづら折り状電極12
からインダクタンスが得られるので、高周波ノイズを十
分に吸収することができる。
ラミックバリスタ基板11の表面に厚膜印刷法を用い
て、つづら折り状電極12と櫛形電極13とが形成され
ている。この厚膜印刷法では、厚膜層を印刷する毎に焼
成を行っているため、従来の、グリーンシート積層法を
用いて製造されたノイズ吸収素子にみられるデラミ等の
構造欠陥が生じることもない。さらに、セラミックバリ
スタ基板11の表面に形成されたつづら折り状電極12
からインダクタンスが得られるので、高周波ノイズを十
分に吸収することができる。
【0015】図2は、本発明の第2実施形態のノイズ吸
収素子の平面図(a)と、そのノイズ吸収素子のA−
A’断面図(b)と、そのノイズ吸収素子の等価回路図
(c)である。図2(a)に示すノイズ吸収素子20
は、セラミックバリスタ基板21と、つづら折り状電極
22と、2本の歯を有する櫛形電極23と、誘電体層2
4とを備えている。このノイズ吸収素子20のセラミッ
クバリスタ基板21の表面には、櫛形電極23と、その
櫛形電極23の有する2本の歯に対向するようにつづら
折り状電極22とが厚膜印刷法により形成されている。
また、図2(a),(b)に示すように、つづら折り状
電極22,櫛形電極23に挟まれた空間部分と、つづら
折り状電極22の両端部以外の部分と、櫛形電極23の
歯の部分とを覆うように誘電体層24が厚膜印刷法によ
り形成されている。また、つづら折り状電極22の、誘
電体層24に覆われていない部分が、第1の端子電極2
2a,第2の端子電極22bとなっており、櫛形電極2
3の、誘電体層24に覆われていない部分が、第3の端
子電極23aとなっている。また、図2(c)に示す等
価回路は、図1(c)に示す等価回路と同様の等価回路
で示すことができる。このような形状の、つづら折り状
電極22,櫛形電極23を用いてノイズ吸収素子を形成
してもよい。
収素子の平面図(a)と、そのノイズ吸収素子のA−
A’断面図(b)と、そのノイズ吸収素子の等価回路図
(c)である。図2(a)に示すノイズ吸収素子20
は、セラミックバリスタ基板21と、つづら折り状電極
22と、2本の歯を有する櫛形電極23と、誘電体層2
4とを備えている。このノイズ吸収素子20のセラミッ
クバリスタ基板21の表面には、櫛形電極23と、その
櫛形電極23の有する2本の歯に対向するようにつづら
折り状電極22とが厚膜印刷法により形成されている。
また、図2(a),(b)に示すように、つづら折り状
電極22,櫛形電極23に挟まれた空間部分と、つづら
折り状電極22の両端部以外の部分と、櫛形電極23の
歯の部分とを覆うように誘電体層24が厚膜印刷法によ
り形成されている。また、つづら折り状電極22の、誘
電体層24に覆われていない部分が、第1の端子電極2
2a,第2の端子電極22bとなっており、櫛形電極2
3の、誘電体層24に覆われていない部分が、第3の端
子電極23aとなっている。また、図2(c)に示す等
価回路は、図1(c)に示す等価回路と同様の等価回路
で示すことができる。このような形状の、つづら折り状
電極22,櫛形電極23を用いてノイズ吸収素子を形成
してもよい。
【0016】図3は、本発明の第3実施形態のノイズ吸
収素子の平面図(a)と、そのノイズ吸収素子のA−
A’断面図(b)と、そのノイズ吸収素子の等価回路図
(c)である。図3(a)に示すノイズ吸収素子30
は、セラミックバリスタ基板31と、つづら折り状電極
32と、2本の歯を有する櫛形電極33と、磁性体層3
4とを備えている。このノイズ吸収素子30のセラミッ
クバリスタ基板31の表面には、櫛形電極33と、その
櫛形電極33の有する2本の歯に対向するようにつづら
折り状電極32とが厚膜印刷法により形成されている。
また、図3(a),(b)に示すように、つづら折り状
電極32,櫛形電極33に挟まれた空間部分と、つづら
折り状電極32の両端部以外の部分と、櫛形電極33の
歯の部分とを覆うように磁性体層34が厚膜印刷法によ
り形成されている。また、つづら折り状電極32の、磁
性体層34に覆われていない部分が、第1の端子電極3
2a,第2の端子電極32bとなっており、櫛形電極3
3の、誘電体層34に覆われていない部分が、第3の端
子電極33aとなっている。また、図3(c)に示す等
価回路は、図1(c),図2(c)に示す等価回路と同
様の等価回路で示すことができる。このような形状の、
つづら折り状電極32,櫛形電極33,磁性体層34を
用いてノイズ吸収素子を形成してもよい。
収素子の平面図(a)と、そのノイズ吸収素子のA−
A’断面図(b)と、そのノイズ吸収素子の等価回路図
(c)である。図3(a)に示すノイズ吸収素子30
は、セラミックバリスタ基板31と、つづら折り状電極
32と、2本の歯を有する櫛形電極33と、磁性体層3
4とを備えている。このノイズ吸収素子30のセラミッ
クバリスタ基板31の表面には、櫛形電極33と、その
櫛形電極33の有する2本の歯に対向するようにつづら
折り状電極32とが厚膜印刷法により形成されている。
また、図3(a),(b)に示すように、つづら折り状
電極32,櫛形電極33に挟まれた空間部分と、つづら
折り状電極32の両端部以外の部分と、櫛形電極33の
歯の部分とを覆うように磁性体層34が厚膜印刷法によ
り形成されている。また、つづら折り状電極32の、磁
性体層34に覆われていない部分が、第1の端子電極3
2a,第2の端子電極32bとなっており、櫛形電極3
3の、誘電体層34に覆われていない部分が、第3の端
子電極33aとなっている。また、図3(c)に示す等
価回路は、図1(c),図2(c)に示す等価回路と同
様の等価回路で示すことができる。このような形状の、
つづら折り状電極32,櫛形電極33,磁性体層34を
用いてノイズ吸収素子を形成してもよい。
【0017】ノイズ吸収素子30は、磁性体層34を備
えているので、図1,図2に示すノイズ吸収素子10,
20よりも大きいインダクタンスを得ることができる。
また、磁性体層34の誘電率を調整することによって、
ノイズ吸収素子30の静電容量も調整することができ
る。尚、本実施形態のノイズ吸収素子10,20,30
には、誘電体層あるいは磁性体層が形成されているが、
誘電体層あるいは磁性体層を形成しなくても充分な静電
容量が得られる場合には、誘電体層あるいは磁性体層を
形成しなくてもよい。
えているので、図1,図2に示すノイズ吸収素子10,
20よりも大きいインダクタンスを得ることができる。
また、磁性体層34の誘電率を調整することによって、
ノイズ吸収素子30の静電容量も調整することができ
る。尚、本実施形態のノイズ吸収素子10,20,30
には、誘電体層あるいは磁性体層が形成されているが、
誘電体層あるいは磁性体層を形成しなくても充分な静電
容量が得られる場合には、誘電体層あるいは磁性体層を
形成しなくてもよい。
【0018】また、本実施形態のノイズ吸収素子10,
20,30は、セラミックバリスタ基板上に電極を形成
して製造されたものでもよいし、あるいはセラミックバ
リスタ基板以外の基板上に厚膜印刷法を用いて形成した
バリスタ層上に電極を形成して製造されたものでもよ
い。
20,30は、セラミックバリスタ基板上に電極を形成
して製造されたものでもよいし、あるいはセラミックバ
リスタ基板以外の基板上に厚膜印刷法を用いて形成した
バリスタ層上に電極を形成して製造されたものでもよ
い。
【0019】
【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。
図4〜6は、本発明の第1実施例のノイズ吸収素子の製
造工程1〜3を示す平面図(a)およびそのA−A’断
面図(b)である。先ず、グリーンシート積層法を用い
てシート圧着をした後、1300℃で焼成して、図4に
示す、表面粗さの小さい平滑なTiO2 バリスタ基板4
1を製造した。
図4〜6は、本発明の第1実施例のノイズ吸収素子の製
造工程1〜3を示す平面図(a)およびそのA−A’断
面図(b)である。先ず、グリーンシート積層法を用い
てシート圧着をした後、1300℃で焼成して、図4に
示す、表面粗さの小さい平滑なTiO2 バリスタ基板4
1を製造した。
【0020】次に、TiO2 バリスタ基板41の表面
に、図5に示す、つづら折り状パターンのAg/Pd電
極と櫛形パターンのAg/Pd電極とを、スクリーン印
刷法を用いて同時に印刷し乾燥して、850℃の温度に
設定されたベルト炉で焼成し、つづら折り電極42と櫛
形電極43とを得た。次に、大きな静電容量を得るため
に、つづら折り状電極42,櫛形電極43に挟まれた空
間部分と、つづら折り状電極42の両端部以外の部分
と、櫛形電極43の歯の部分とを覆うように、図6に示
すような長方形のパターンの、誘電率ε≒2000の誘
電体ペーストを印刷し乾燥しさらに焼成して誘電体層4
4を得た。このようにして、つづら折り状電極42の、
誘電体層44に覆われていない部分が、第1の端子電極
42a,第2の端子電極42bとなり、櫛形電極43
の、誘電体層44に覆われていない部分が、第3の端子
電極43aとなるノイズ吸収素子40を製造した。
に、図5に示す、つづら折り状パターンのAg/Pd電
極と櫛形パターンのAg/Pd電極とを、スクリーン印
刷法を用いて同時に印刷し乾燥して、850℃の温度に
設定されたベルト炉で焼成し、つづら折り電極42と櫛
形電極43とを得た。次に、大きな静電容量を得るため
に、つづら折り状電極42,櫛形電極43に挟まれた空
間部分と、つづら折り状電極42の両端部以外の部分
と、櫛形電極43の歯の部分とを覆うように、図6に示
すような長方形のパターンの、誘電率ε≒2000の誘
電体ペーストを印刷し乾燥しさらに焼成して誘電体層4
4を得た。このようにして、つづら折り状電極42の、
誘電体層44に覆われていない部分が、第1の端子電極
42a,第2の端子電極42bとなり、櫛形電極43
の、誘電体層44に覆われていない部分が、第3の端子
電極43aとなるノイズ吸収素子40を製造した。
【0021】上述のようにして製造されたノイズ吸収素
子40では、第3の端子電極43aと第1の端子電極4
2aとの間の静電容量,バリスタ電圧,非直線係数α
は、それぞれ、61pF,45V,5.1であり、第1
の端子電極42aと第2の端子電極42bとの間のイン
ダクタンスは、0.15μHであった。尚、上述したノ
イズ吸収素子40を製造する際に用いた厚膜印刷法で
は、電極のスクリーン印刷は、乳剤厚みが10μmで、
325メッシュのステンレスを使用する条件で行った。
電極以外の部分のスクリーン印刷は、乳剤厚みが25μ
mで、325メッシュのステンレスを使用する条件で行
った。印刷機は、スナップオフが1.0mm,印圧が2
kgで、剣スキージを使用する条件で行った。乾燥は、
ベルト炉式乾燥炉を用いて150℃の温度で15分間の
条件で行った。焼成は、ベルト式焼成炉を用いて、空気
中にて850℃の温度で1時間の条件で行った。
子40では、第3の端子電極43aと第1の端子電極4
2aとの間の静電容量,バリスタ電圧,非直線係数α
は、それぞれ、61pF,45V,5.1であり、第1
の端子電極42aと第2の端子電極42bとの間のイン
ダクタンスは、0.15μHであった。尚、上述したノ
イズ吸収素子40を製造する際に用いた厚膜印刷法で
は、電極のスクリーン印刷は、乳剤厚みが10μmで、
325メッシュのステンレスを使用する条件で行った。
電極以外の部分のスクリーン印刷は、乳剤厚みが25μ
mで、325メッシュのステンレスを使用する条件で行
った。印刷機は、スナップオフが1.0mm,印圧が2
kgで、剣スキージを使用する条件で行った。乾燥は、
ベルト炉式乾燥炉を用いて150℃の温度で15分間の
条件で行った。焼成は、ベルト式焼成炉を用いて、空気
中にて850℃の温度で1時間の条件で行った。
【0022】ここでは、ノイズ吸収素子40を製造する
にあたり、TiO2 バリスタ基板41の表面に厚膜印刷
法を用いて、つづら折り状電極42と櫛形電極43とを
形成したので、グリーンシート積層法を用いてノイズ吸
収素子を製造するよりも製造工程が非常に簡略化され
た。また、厚膜層を印刷する毎に焼成を行っているの
で、グリーンシート積層法を用いて製造されたノイズ吸
収素子にみられるデラミ等の構造欠陥も生じなかった。
さらに、TiO2 バリスタ基板41の表面に形成された
つづら折り状電極42からインダクタンスが得られるの
で、高周波ノイズを十分に吸収することができた。
にあたり、TiO2 バリスタ基板41の表面に厚膜印刷
法を用いて、つづら折り状電極42と櫛形電極43とを
形成したので、グリーンシート積層法を用いてノイズ吸
収素子を製造するよりも製造工程が非常に簡略化され
た。また、厚膜層を印刷する毎に焼成を行っているの
で、グリーンシート積層法を用いて製造されたノイズ吸
収素子にみられるデラミ等の構造欠陥も生じなかった。
さらに、TiO2 バリスタ基板41の表面に形成された
つづら折り状電極42からインダクタンスが得られるの
で、高周波ノイズを十分に吸収することができた。
【0023】図7〜10は、本発明の第2実施例のノイ
ズ吸収素子の製造工程1〜5を示す図である。図7〜9
に示す(a)は平面図、(b)はそのA−A’断面図で
あり、図10に示す(a)は平面図、(b)はその側面
図である。先ず、TiO2 バリスタ基板71の表面に、
図7に示す、つづら折り状パターンのAg電極と櫛形パ
ターンのAg電極とを、スクリーン印刷法を用いて同時
に印刷し、つづら折り電極72と櫛形電極73とを得
た。
ズ吸収素子の製造工程1〜5を示す図である。図7〜9
に示す(a)は平面図、(b)はそのA−A’断面図で
あり、図10に示す(a)は平面図、(b)はその側面
図である。先ず、TiO2 バリスタ基板71の表面に、
図7に示す、つづら折り状パターンのAg電極と櫛形パ
ターンのAg電極とを、スクリーン印刷法を用いて同時
に印刷し、つづら折り電極72と櫛形電極73とを得
た。
【0024】次に、図8に示すように、Ni−Cu−Z
nフェライト厚膜ペーストを、つづら折り状電極72,
櫛形電極73に挟まれた空間部分と、つづら折り状電極
72の両端部以外の部分と、櫛形電極73の歯の部分と
を覆うように印刷し、その後900℃の温度で焼成して
誘電的特性と磁気的特性とを有する磁性体層74を得
た。
nフェライト厚膜ペーストを、つづら折り状電極72,
櫛形電極73に挟まれた空間部分と、つづら折り状電極
72の両端部以外の部分と、櫛形電極73の歯の部分と
を覆うように印刷し、その後900℃の温度で焼成して
誘電的特性と磁気的特性とを有する磁性体層74を得
た。
【0025】次に、図9に示すように、耐湿性試験等を
行う際に生じるノイズ吸収素子の特性変化を防ぐために
磁性体層74の表面に非晶質のガラスからなるオーバー
コート層75を形成し、600℃の温度で1時間焼成し
た。次に、ダイシングにてノイズ吸収素子70をチップ
状に切断して、チップ状の素子にした。次に、図10に
示すように、つづら折り状電極72の露出部分を覆うよ
うにAgの第1の端子電極76,第2の端子電極77を
形成し、櫛形電極73の露出部分を覆うようにグランド
電極78を形成し、580℃の温度で焼付けた後にめっ
きを行い、ノイズ吸収素子70(バリスタ機能付き3端
子型LCチップ)を得た。
行う際に生じるノイズ吸収素子の特性変化を防ぐために
磁性体層74の表面に非晶質のガラスからなるオーバー
コート層75を形成し、600℃の温度で1時間焼成し
た。次に、ダイシングにてノイズ吸収素子70をチップ
状に切断して、チップ状の素子にした。次に、図10に
示すように、つづら折り状電極72の露出部分を覆うよ
うにAgの第1の端子電極76,第2の端子電極77を
形成し、櫛形電極73の露出部分を覆うようにグランド
電極78を形成し、580℃の温度で焼付けた後にめっ
きを行い、ノイズ吸収素子70(バリスタ機能付き3端
子型LCチップ)を得た。
【0026】上述のようにして製造された、ノイズ吸収
素子70では、第1の端子電極76とグランド電極78
との間の静電容量,バリスタ電圧,非直線指数は、それ
ぞれ、120pF,48V,4.6であり、第1の端子
電極76と第2の端子電極77との間のインダクタンス
は、0.62μHであった。また、上述した厚膜印刷法
における電極および電極以外の部分のスクリーン印刷条
件,印刷機条件,乾燥条件,焼成条件は、前述したノイ
ズ吸収素子40の製造する際に用いられた条件と同じで
ある。
素子70では、第1の端子電極76とグランド電極78
との間の静電容量,バリスタ電圧,非直線指数は、それ
ぞれ、120pF,48V,4.6であり、第1の端子
電極76と第2の端子電極77との間のインダクタンス
は、0.62μHであった。また、上述した厚膜印刷法
における電極および電極以外の部分のスクリーン印刷条
件,印刷機条件,乾燥条件,焼成条件は、前述したノイ
ズ吸収素子40の製造する際に用いられた条件と同じで
ある。
【0027】ここでは、ノイズ吸収素子70を製造する
にあたり、TiO2 バリスタ基板71の表面に厚膜印刷
法を用いて、つづら折り状電極72と櫛形電極73とを
形成したので、グリーンシート積層法を用いてノイズ吸
収素子を製造するよりも製造工程が非常に簡略化され
た。また、厚膜層を印刷する毎に焼成を行っているの
で、グリーンシート積層法を用いて製造されたノイズ吸
収素子にみられるデラミ等の構造欠陥も生じなかった。
さらに、TiO2 バリスタ基板71の表面に形成された
つづら折り状電極72からインダクタンスが得られるの
で、高周波ノイズを十分に吸収することができた。
にあたり、TiO2 バリスタ基板71の表面に厚膜印刷
法を用いて、つづら折り状電極72と櫛形電極73とを
形成したので、グリーンシート積層法を用いてノイズ吸
収素子を製造するよりも製造工程が非常に簡略化され
た。また、厚膜層を印刷する毎に焼成を行っているの
で、グリーンシート積層法を用いて製造されたノイズ吸
収素子にみられるデラミ等の構造欠陥も生じなかった。
さらに、TiO2 バリスタ基板71の表面に形成された
つづら折り状電極72からインダクタンスが得られるの
で、高周波ノイズを十分に吸収することができた。
【0028】また、第1,第2実施例では、セラミック
バリスタ基板として、グリーン積層法により製造したT
iO2 バリスタ基板を使用したが、セラミックバリスタ
基板に、押し出し法や粉末プレス法などにより製造し
た、ZnOやSrTiO3 などを主成分としたセラミッ
クバリスタ基板を使用してもよい。
バリスタ基板として、グリーン積層法により製造したT
iO2 バリスタ基板を使用したが、セラミックバリスタ
基板に、押し出し法や粉末プレス法などにより製造し
た、ZnOやSrTiO3 などを主成分としたセラミッ
クバリスタ基板を使用してもよい。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
内部構造欠陥の低減化が図られ、高周波ノイズのみなら
ずサージ等の異常電圧を吸収できるノイズ吸収素子を得
ることができる。
内部構造欠陥の低減化が図られ、高周波ノイズのみなら
ずサージ等の異常電圧を吸収できるノイズ吸収素子を得
ることができる。
【図1】本発明の第1実施形態のノイズ吸収素子の平面
図(a)と、そのノイズ吸収素子のA−A’断面図
(b)と、そのノイズ吸収素子の等価回路図(c)であ
る。
図(a)と、そのノイズ吸収素子のA−A’断面図
(b)と、そのノイズ吸収素子の等価回路図(c)であ
る。
【図2】本発明の第2実施形態のノイズ吸収素子の平面
図(a)と、そのノイズ吸収素子のA−A’断面図
(b)と、そのノイズ吸収素子の等価回路図(c)であ
る。
図(a)と、そのノイズ吸収素子のA−A’断面図
(b)と、そのノイズ吸収素子の等価回路図(c)であ
る。
【図3】本発明の第3実施形態のノイズ吸収素子の平面
図(a)と、そのノイズ吸収素子のA−A’断面図
(b)と、そのノイズ吸収素子の等価回路図(c)であ
る。
図(a)と、そのノイズ吸収素子のA−A’断面図
(b)と、そのノイズ吸収素子の等価回路図(c)であ
る。
【図4】本発明の第1実施例のノイズ吸収素子の製造工
程1を示す平面図(a)およびそのA−A’断面図
(b)である。
程1を示す平面図(a)およびそのA−A’断面図
(b)である。
【図5】本発明の第1実施例のノイズ吸収素子の製造工
程2を示す平面図(a)およびそのA−A’断面図
(b)である。
程2を示す平面図(a)およびそのA−A’断面図
(b)である。
【図6】本発明の第1実施例のノイズ吸収素子の製造工
程3を示す平面図(a)およびそのA−A’断面図
(b)である。
程3を示す平面図(a)およびそのA−A’断面図
(b)である。
【図7】本発明の第2実施例のノイズ吸収素子の製造工
程1を示す平面図(a)およびそのA−A’断面図
(b)である。
程1を示す平面図(a)およびそのA−A’断面図
(b)である。
【図8】本発明の第2実施例のノイズ吸収素子の製造工
程2を示す平面図(a)およびそのA−A’断面図
(b)である。
程2を示す平面図(a)およびそのA−A’断面図
(b)である。
【図9】本発明の第2実施例のノイズ吸収素子の製造工
程3を示す平面図(a)およびそのA−A’断面図
(b)である。
程3を示す平面図(a)およびそのA−A’断面図
(b)である。
【図10】本発明の第2実施例のノイズ吸収素子の製造
工程4を示す平面図(a)およびその側面図(b)であ
る。
工程4を示す平面図(a)およびその側面図(b)であ
る。
10,20,30,40,70 ノイズ吸収素子 11,21,31,41,71 基板 12,22,32,42,72 つづら折り状電極 13,23,33,43,73 櫛形電極 12a,12b,13a,22a,22b,23a,3
2a,32b,33a,42a,42b,43a,7
6,77 端子電極 14,24,44 誘電体層 34,74 磁性体層 15 インダクタンス素子 16 コンデンサ素子 17 バリスタ素子 18,19 端子 75 オーバーコート層 78 グランド電極
2a,32b,33a,42a,42b,43a,7
6,77 端子電極 14,24,44 誘電体層 34,74 磁性体層 15 インダクタンス素子 16 コンデンサ素子 17 バリスタ素子 18,19 端子 75 オーバーコート層 78 グランド電極
Claims (4)
- 【請求項1】 少なくとも表面がセラミックで形成され
た基板上の同一平面状に、互いの間に所定の間隔を置い
て延在する、インダクタを構成する第1の電極、および
該第1の電極との間でコンデンサ及びバリスタを構成す
る第2の電極がスクリーン印刷法により形成されてなる
ことを特徴とするノイズ吸収素子。 - 【請求項2】 前記第2の電極が複数の歯形を有する櫛
形形状の電極であり、前記第1の電極が、該第2の電極
の複数の歯形に沿って延びるつづら折り形の電極である
ことを特徴とする請求項1記載のノイズ吸収素子。 - 【請求項3】 前記第1の電極および前記第2の電極が
形成された基板の上にさらに誘電体層が厚膜法で形成さ
れてなることを特徴とする請求項1又は2記載のノイズ
吸収素子。 - 【請求項4】 前記第1の電極および前記第2の電極が
形成された基板の上にさらに磁性体層が厚膜法で形成さ
れてなることを特徴とする請求項1又は2記載のノイズ
吸収素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7770296A JPH09270657A (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | ノイズ吸収素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7770296A JPH09270657A (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | ノイズ吸収素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09270657A true JPH09270657A (ja) | 1997-10-14 |
Family
ID=13641241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7770296A Withdrawn JPH09270657A (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | ノイズ吸収素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09270657A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007142991A (ja) * | 2005-11-22 | 2007-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ノイズ対策部品 |
| JP2008085390A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-10 | Mitsubishi Materials Corp | バリスタ機能付きノイズフィルタ及びバリスタ機能付きノイズフィルタアレイ |
| JP2008251611A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Mitsubishi Materials Corp | 薄型複合素子及びその製造方法 |
| JP2009135523A (ja) * | 2009-03-09 | 2009-06-18 | Panasonic Electric Works Co Ltd | コイルおよびそれを用いた電流センサ |
| JP5915778B2 (ja) * | 2013-01-22 | 2016-05-11 | 株式会社村田製作所 | Lc複合部品 |
-
1996
- 1996-03-29 JP JP7770296A patent/JPH09270657A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007142991A (ja) * | 2005-11-22 | 2007-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ノイズ対策部品 |
| JP2008085390A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-10 | Mitsubishi Materials Corp | バリスタ機能付きノイズフィルタ及びバリスタ機能付きノイズフィルタアレイ |
| JP2008251611A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Mitsubishi Materials Corp | 薄型複合素子及びその製造方法 |
| JP2009135523A (ja) * | 2009-03-09 | 2009-06-18 | Panasonic Electric Works Co Ltd | コイルおよびそれを用いた電流センサ |
| JP5915778B2 (ja) * | 2013-01-22 | 2016-05-11 | 株式会社村田製作所 | Lc複合部品 |
| US9577597B2 (en) | 2013-01-22 | 2017-02-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | LC composite component |
| US9960746B2 (en) | 2013-01-22 | 2018-05-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | LC composite component |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030603 |