JPH09274017A

JPH09274017A - 金属体の探傷方法および装置

Info

Publication number: JPH09274017A
Application number: JP8083508A
Authority: JP
Inventors: Hiroharu Katou; 宏晴加藤; Junichi Yotsutsuji; 淳一四辻; Akio Nagamune; 章生長棟
Original assignee: NKK Corp; Nippon Kokan Ltd
Current assignee: JFE Engineering Corp
Priority date: 1996-04-05
Filing date: 1996-04-05
Publication date: 1997-10-21
Anticipated expiration: 2016-04-05
Also published as: JP3309702B2

Abstract

(57)【要約】【課題】従来の渦流探傷法では十分に検出できなかっ
た微小な欠陥の検出を可能にする。【解決手段】鋼板１１を挟んで、２つの渦流センサ１
２ａ、１２ｂが設けられている。２つの渦流センサは、
励磁用交流電源２０ａ、２０ｂにより励磁されている。
それぞれの渦流センサからの検出信号は、位相検波器１
６ａ、１６ｂで位相検波され、バンドパスフィルタ１７
ａ、１７ｂを介して渦流探傷信号となる。２つの渦流探
傷信号は乗算器１８で乗算されることによりＳ／Ｎ比の
改善が図られる。判定回路１９は、Ｓ／Ｎ比の改善され
た信号に基づいて、欠陥の有無及び等級を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、金属体中、又は金
属体表面に存在する介在物等の微小な欠陥を、渦流探傷
法により検出する方法および装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】金属材料などでは、内部、表面に欠陥が
あると強度等その品質に問題が生じる可能性があるた
め、品質管理上あるいは品質保証上、Ｘ線透過法、超音
波探傷法など様々な非破壊的な検査が行われている。た
とえば、鋼管溶接部の割れなどの検出には、Ｘ線透過
法、超音波探傷法が用いられている。一方、表面近傍の
欠陥や薄い帯状材料に関しては、特にオンラインでは、
電磁気的な方法、すなわち漏洩磁束探傷法や渦流探傷法
がよく用いられる。

【０００３】このような電磁気的な探傷法の例として、
特開平５ー１６４７４５号公報には、鋼板などの表面に
存在する孔食などを差分型プローブを用いた渦流探傷法
により探傷する方法が提案されている。これは、図５に
示すようなＥ型のコアを用い、真中の磁極２３ｂに巻い
たコイル２４ｂを励磁用に、そして、両端の磁極２３
ａ，２３ｃに巻いたコイル２４ａ，２４ｃを差分での検
出用に使用したセンサを使っている。差分信号を取るこ
とができるため、欠陥が小さい場合などにおいても、欠
陥による渦流信号の微小な変化を、単純な渦流探傷法に
比べ精度良く検出することができる。

【０００４】また、特開平５ー２４９０８５号公報に
は、鋼管などの探傷において、欠陥信号を雑音信号に比
べ優先的に通すフィルタの出力から、雑音信号を欠陥信
号に比べ優先的に通すフィルタの出力を引くことで、寸
法変動による雑音信号を低減し、Ｓ／Ｎを向上させる方
法が示されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記２
つの方法を含め、従来の技術においては、検出すべき内
部や表面の欠陥がかなり小さい場合や、厚い金属体の内
部欠陥を検出する場合には、欠陥信号が弱くなり、相対
的にＳ／Ｎが劣化して欠陥が検出しにくくなる。また、
特開平５ー２４９０８５号公報に記載される方法では、
欠陥信号と雑音信号の周波数成分が似ている場合には、
充分なＳ／Ｎを確保することが難しい。

【０００６】ノイズとしては、特に被検査体に起因する
地合ノイズが問題になることが多い。地合ノイズは、渦
流法の測定条件を最適化することで、小さくすることは
できるが、欠陥信号が小さくなってくるにつれて地合ノ
イズと欠陥信号は区別しにくくなり、欠陥検出が困難に
なってくる。たとえば、製缶用極薄鋼板などで問題とな
る介在物などの異物の場合では、上記の従来技術によっ
ても充分な検出能が得られないことがある。

【０００７】本発明はこのような問題点を解決するため
になされたもので、従来の渦流探傷法では十分に検出で
きなかった微小な欠陥の検出ができるようにすることを
目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題は、一つまたは
複数の周波数の励磁信号により局部的に磁場を印加し金
属体に渦電流を発生させ、その渦電流が金属体中の欠陥
により乱れることにより生ずる磁場を磁気センサで検出
して渦流検出信号を得て、これを前記のそれぞれの周波
数で位相検波し、渦流探傷信号を得る渦流探傷法におい
て、複数のお互いに異なる測定条件により得られた複数
の渦流探傷信号の実質的に同一の検査部位から得られた
信号同士に対し、当該複数の信号の内少なくとも二つの
信号中に共通して存在する欠陥信号をノイズ信号に対し
て相対的に強調するような演算を含む信号処理を行って
得られる複合探傷信号を用いて、欠陥を検出することを
特徴とする金属体の探傷方法により解決される。

【０００９】また、この方法は、(a) Ｅ型形状の強磁性
体で作られＥ型を成す３個の磁極の列が金属体と磁極の
相対移動方向に沿うように配置されたＥ型コアおよびＥ
型コアの３個の磁極にそれぞれ巻いた３個のコイルとか
ら成るＥ型磁気センサと、(b) その３個のコイルの内の
両端のコイルに交流の励磁信号を印加するための一つま
たは複数の周波数の励磁信号発生装置と、(c) 中央のコ
イルから検出信号を取り出し、それぞれの周波数を用い
て一つまたは複数の位相に対して位相検波して渦流探傷
信号を得るための複数の位相検波器と、(d) 前記複数の
渦流探傷信号同士に対し、当該複数の信号の内少なくと
も二つの信号中に共通して存在する欠陥信号をノイズ信
号に対して相対的に強調するような演算を含む信号処理
を行って総合探傷信号を出力する演算器と、(e) 一つま
たは複数の総合探傷信号から磁性金属体の欠陥の有無ま
たは欠陥の等級を判断するための判定回路と、を有して
なる金属体探傷装置により、実施することができる。

【００１０】複数の信号波形の内少なくとも二つの信号
波形中に共通して存在する欠陥信号をノイズ信号に対し
て相対的に強調するような演算を含む信号処理を行って
いるので、Ｓ／Ｎ比が向上し、微小欠陥を精度良く検出
することができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】測定条件とは、渦流探傷法におい
て一般的に考えられる条件を指しており、項目として
は、たとえば、励磁周波数、位相検波時の位相、フィル
ター、金属帯の場合の測定面、センサと対象との距離、
飽和磁化の仕方（磁化力、磁化方向など）、センサの種
類などが考えられる。測定条件を変更するということ
は、その項目のうち、少なくとも１つ以上を変更するこ
とを意味する。複数の渦流探傷信号を得るために、たと
えば測定する面という測定条件を変える場合には、複数
のセンサシステムが必要になるが、位相やフィルターな
どだけを変更するときには、必ずしも複数のセンサシス
テムが必要ではない。センサ以降の信号処理回路を複数
用意することで、複数の渦流探傷信号を得ることができ
る。

【００１２】演算の対象となる信号として、位相の異な
る複数の位相検波により得られた信号を使用することが
できる。欠陥信号とノイズの関係は検波される位相によ
って異なってくるので、異なった位相を基準として検波
された信号同士を演算することにより、欠陥信号成分を
ノイズ成分に対して相対的に高めることができる。

【００１３】演算の対象となる信号として、被検査金属
体の同一場所の表裏面から得られた信号を使用すること
ができる。欠陥信号成分は表裏面で同じように得られる
のに対し、ノイズ成分は被検査金属体の表面性状等の影
響を受けるので表裏面で異なった信号となる。よって、
表裏面の信号同士を演算することにより、欠陥信号成分
をノイズ成分に対して相対的に高めることができる。

【００１４】演算の対象となる信号として、フィルタ定
数が互いに異なる複数のフィルタをそれぞれ通して得ら
れたものを使用することができる。即ち、図３に示すよ
うに、第１のバンドパスフィルターを欠陥周波数を含む
低めの周波数帯域とし、第２のバンドパスフィルターを
欠陥周波数を含む高めの周波数帯域とすると、欠陥信号
は両者で共通であるが、ノイズ成分は、両者の周波数帯
域が異なることから、必ずしも同じ位置に現れるとは限
らない。よって、これらのバンドパスフィルタをそれぞ
れ通過した信号同士を演算することにより、欠陥信号成
分をノイズ成分に対して相対的に高めることができる。

【００１５】なお、この場合は複数のセンサを用いて、
それぞれの出力を周波数帯域の異なるフィルタに通して
も良いし、一つのセンサのみを用い、センサからの出力
を分岐して、周波数帯域の異なるフィルタを通してもよ
い。

【００１６】演算の対象となる信号として、センサと金
属体探傷面との距離（リフトオフ）が相互に異なる複数
のセンサから得られたものを用いることができる。リフ
トオフが変わると、図４に示すように、センサが検出す
る金属体上のカバー範囲が変化することから、検出対象
となるノイズ源が変化して、その結果センサが検出する
ノイズが異なったものとなる。そのため、リフトオフが
変わった場合、欠陥信号は同じように検出されるのに対
し、ノイズの方は異なったものとなる。よって、リフト
オフの異なるセンサから得られた信号同士の演算によ
り、欠陥信号成分をノイズ成分に対して相対的に高める
ことができる。

【００１７】演算の対象となる信号として、種類が相互
に異なる複数のセンサから得られたものを使用すること
ができる。センサの種類によって、カバー範囲が異なっ
たり、あるいは、Ｅ型コアを用いたセンサの様に差分機
能があるものと一般のセンサのように差分機能の無いも
のという点で異なったりする。いずれのセンサも欠陥信
号を検出するように設計されているが、ノイズ信号はこ
れらの種類の違いに起因して異なっている。よって、種
類が相互に異なる複数のセンサから得られた信号同士を
演算することにより、欠陥信号成分をノイズ成分に対し
て相対的に高めることができる。

【００１８】演算の対象となる信号として、互いに異な
る励磁周波数による励磁により発生した渦流信号から得
れたものを使用することができる。励磁周波数が異なれ
ば、表皮効果が異なるのでノイズ成分が異なってくる。
よってこれらの信号同士を演算することにより、欠陥信
号成分をノイズ成分に対して相対的に高めることができ
る。

【００１９】また、ここで示した項目以外でも、欠陥か
らの信号が得られ、ノイズに関しては、それぞれの測定
条件で出方が相互に異なるものであれば、演算の対象と
なる信号として使用することができる。

【００２０】このように、複数のお互いに異なる測定条
件により得られた複数の渦流探傷信号の実質的に同一の
検査部位から得られた信号同士に対し、当該複数の信号
の内少なくとも二つの信号中に共通して存在する欠陥信
号をノイズ信号に対して相対的に強調するような演算を
含む信号処理を行って得られる複合探傷信号を用いて、
欠陥を検出する。

【００２１】渦流探傷信号を２種類用いる場合の演算を
式で一般的に表すと（１）式のようになる。

【００２２】Ａ(x) ＝Ｅ１(x) ＊Ｅ２(x) …… （１）ここで、ｘは検査体上の位置、Ｅ１(x) は、ある測定条
件（測定条件１）で得られた位置ｘにおける渦流探傷信
号値、Ｅ２(x) は、別の測定条件（測定条件２）で得ら
れた位置ｘにおける渦流探傷信号値を示し、＊は演算子
（たとえば、乗算、自乗和、Ｅ１(x) 、Ｅ２(x) 両者の
絶対値をとった後の足し算、Ｅ１(x) 、Ｅ２(x) 両者の
絶対値をとった後の小さい方をとる演算子など）を示
す。Ａ(x)は位置ｘにおける演算の結果である。

【００２３】その際、欠陥による信号の変化は、たと
えその大きさが違ったとしても、複数の異なる測定条件
全てにおいて検出でき、同じ位置にその変化が現れるよ
うに、そしてノイズが位置的にそれぞれ異なった出方
をするように、測定条件を選択すれば、その欠陥信号と
ノイズの性質の差を利用したＳ／Ｎ比の向上が可能であ
る。一方の渦流探傷信号で地合ノイズが大きい位置で
は、もう一方の渦流探傷信号では地合ノイズが小さいた
め、たとえば両者の同一の検査部位からの信号値同士の
乗算によって、両信号で共通に現れる欠陥信号に比べ、
ノイズ部が相対的に弱められるのである。自乗和、Ｅ１
(x) 、Ｅ２(x) 両者の絶対値をとった後の足し算に関し
ても、同様の効果が期待できる。両者の絶対値のうち小
さい方を取る演算では、欠陥部では両渦流探傷信号とも
大きな値をとるため、小さい方を取るという演算の結果
もさほど小さくならないのに対し、ノイズ部はどちらか
一方が小さくなること場合があり、小さい方を取ること
で、演算結果はかなり小さくなる可能性がある。そのた
め、相対的には欠陥部がノイズ部に比べ、強調される。

【００２４】演算の種類は、両渦流探傷信号で似通った
欠陥信号が強められ、一方両者で必ずしも同じ位置に、
あるいは同じ波形として現れないノイズが相対的に弱め
られる演算であればよい。これは、ノイズや欠陥信号の
性質に応じて、また、装置化する上での制約などに応じ
て、選択することが可能である。

【００２５】前記の例では、２種類の渦流探傷信号間の
演算を例に取り説明したが、２種類に限る必要はない。
多くの測定条件の異なる信号を使用することで、欠陥信
号は強調され、ノイズは相対的に強調の程度が少なくな
るという効果が増すことが期待できる。たとえば、Ｅ１
(x) 、Ｅ２(x) 、Ｅ３(x) 、Ｅ４(x) を、それぞれ異な
る条件でとった渦流探傷信号データとすると、以下の
（２）式に示すＢ(x)を、欠陥の有無の判定に使用でき
る。Ｂ(x) ＝abs ［Ｅ１(x) ×Ｅ２(x) ×Ｅ３(x)]＋abs[Ｅ４(x)] …… （２）ここで、abs[Ｙ] はＹの絶対値をとる関数である。

【００２６】また、ここではある一種類の演算結果を欠
陥の有無の判定に使用する場合について述べているが、
これは一つに限らず、２つ以上を使うことも可能であ
る。たとえば、上記Ａ(x) とＢ(x) それぞれの判定結果
を組み合わせて最終的な判定をくだすことも可能であ
る。また、従来の渦流探傷信号単体での判定をも加える
ことができる。このような場合、判定回路は、単にある
一つの信号に対してだけではなく、複数の信号につい
て、それぞれの閾値を越えているかどうかを調べ、さら
に、その結果を組み合わせて、欠陥の有無、等級に関す
る最終的な判定を行うことになる。

【００２７】これらにより、単純な従来の渦流法のみで
は、Ｓ／Ｎが悪く検出できないような微小な欠陥の検出
が可能になる。

【００２８】

【実施例】以下、本発明の１実施例を図を用いて説明す
る。図１は、本発明にかかる装置の例を示す図である。
図１において、１１は鋼板、１２ａ、１２ｂはＥ型セン
サ、１３ａ，１３ｂ，１３ｃはＥ型センサの足（磁
極）、１４ａ，１４ｂ，１４ｃはＥ型センサの足に巻か
れたコイル、１５は直流磁化装置、１６ａ、１６ｂは位
相検波器、１７ａ、１７ｂはバンドパスフィルタ、１８
は演算器である乗算器、１９は判定回路、２０ａ、２０
ｂは励磁用電源である。鋼板１１を挟んで、一方の側に
Ｅ型センサ１２ａを、もう一方の側に直流磁化装置１５
ともう一つのＥ型センサ１２ｂを配置する。この直流磁
化装置１５により、鋼板１１の被検査部位は飽和域まで
磁化される。

【００２９】以下、センサの動作をＥ型センサ１２ａを
例に取り説明する。鋼板１１は、Ｅ型センサ１２ｂ，磁
化器１５とＥ型センサ１２ａの間を移動するが、その移
動方向に沿ってセンサコアの３本の足１３ａ，１３ｂ，
１３ｃが並んでいる。その３本のうち、Ｅ型センサの中
心の足１３ｂに巻いてあるコイル１４ｂは、磁気検出部
として使用されており、そのコイルに鎖交する磁束の時
間微分値が計測される。コアがＥ型であるという構造上
の特徴から、そのコイルに鎖交する磁束は、一方の端部
の足１３ａと真中の足１３ｂを含む磁気的なループを通
る磁束と、もう一方の端部の足１３ｃと真中の足１３ｂ
を含む磁気的なループを通る磁束との差分となる。その
ため、両ループに共通のノイズ成分などはキャンセルさ
れ、両ループで共通でない欠陥信号成分が選択的に検出
されることになる。コアの両端の足１３ａと１３ｃそれ
ぞれに巻かれたコイル１４ａと１４ｃは励磁用コイルと
して使用される。励磁用電源２０ａは、１００ＫＨｚの
交流電流を１４ａと１４ｃに流している。励磁用コイル
１４ｃにより発生する磁束が励磁用コイル１４ａに戻っ
てくる向きに両コイルは巻かれて、電源と接続されてい
る。なお、励磁用コイル１４ａと１４ｃの励磁用電源２
０ａに接続されていないもう一方の端子は、簡単のため
図示しないが、接地されている。励磁用コイルによる交
流磁束により渦電流が鋼板中に発生する。欠陥などが鋼
板に存在し、渦電流が、欠陥がない場合と異なる流れ方
をするようになると、渦電流によって発生する磁場も変
化する。その磁場の変化を、コイル１４ｂで検出する。
Ｅ型センサ１２ｂの作用もＥ型センサ１２ａと同様であ
る。検出された信号は、励磁信号を参照信号として使用
して、位相検波を行う。その後、適当なバンドパスフィ
ルタ１７ａ、１７ｂを通すことで、渦流探傷信号を得る
ことができる。

【００３０】ここでは演算として、鋼板の場所を挟むよ
うに両側に配置した２つのセンサにより得られた２つの
渦流探傷信号の同じ検査位置からの信号同士の乗算を使
用した例について述べる。鋼板中深さ方向の感度は、表
皮効果によりセンサのある面の側近くでは相対的に高
く、反対側の面に近づくに連れて相対的に低くなる。そ
のため、センサ１２ａとセンサ１２ｂでは、欠陥信号や
ノイズ源の深さ方向の位置によって、信号の出方が異な
ることになる。たとえば、表面近傍にあるノイズ源は、
一方のセンサでは強く検出されるが、もう一つのセンサ
では、それに比べて小さく検出されることになる。

【００３１】図２は、検査体上の位置ｘを横軸とし、縦
軸にバンドパスフィルタ等の処理後のＥ型センサ１２ａ
による渦流探傷信号Ｅａ(x) 、Ｅ型センサ１２ｂによる
渦流探傷信号Ｅｂ(x) 、及びこれらの積の信号を示した
ものである。渦流探傷信号Ｅａ(x) においては、欠陥部
で信号が大きくなっているだけでなく、検査体に起因す
る地合ノイズが大きく出ているため、Ｓ／Ｎ比は1.4 程
度である。渦流探傷信号Ｅｂ(x) においても、Ｅａ(x)
と同じ位置に欠陥信号が出ているが、検査体に起因する
地合ノイズがあるため、Ｓ／Ｎ比はやはり1.6 程度であ
る。ここで同じ位置からの信号値毎に乗算を行う。演算
結果Ａ(x) を式で表すと、Ａ(x) ＝Ｅａ(x) ×Ｅｂ(x) …… （３）という演算を行うことになる。

【００３２】この場合欠陥の大きさがある程度あるた
め、欠陥信号は、両信号で現れ、その位置がほぼ同じで
あるため、乗算をすることで、演算後の信号Ａ(x) の欠
陥対応部は大きくなる。一方、地合ノイズは、両センサ
での深さ方向の感度分布の違い等に起因して、必ずしも
同じ位置で大きくなるとは限らない。たとえば、表面近
傍のノイズ源によるノイズは、一方のセンサでは検出さ
れるが、もう一方のセンサではあまり検出されない。ま
た、両者で同じような位置にノイズが出現する場合で
も、信号の変化の仕方が異なり、ピークの位置同士がず
れてしまっている。その場合、両者の乗算をしても、演
算後の信号Ａ(x) のノイズ対応部は、欠陥信号部同士の
場合に比べると、一般に大きくならない。つまり、欠陥
信号部は、地合ノイズ部に比べ強調されるので、演算結
果Ａ(x) を使うことで欠陥の有無を判定することが容易
になり、欠陥検出能が上がる。この例では、Ｓ／Ｎ比は
4.4 に向上している。

【００３３】判定回路１９は、このようにして得られた
Ｓ／Ｎ比の良い信号を用いて、信号値とあらかじめ決め
られた閾値を比べることで、欠陥の有無の判定、欠陥等
級の判定を行う。

【００３４】

【発明の効果】本発明においては、測定条件の相互に異
なる複数の渦流探傷信号の実質的に同一の検査部位から
得られた信号波形同士を演算して得られる複合探傷信号
を用いて、欠陥の有無や有害度を判定することで、従来
の方法ではＳ／Ｎ比が十分取れず、検出しにくかった欠
陥を検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる装置の１実施例を示す図であ
る。

【図２】渦流探傷信号と、その演算結果の信号を示す
図である。

【図３】欠陥とノイズの周波数と、バンドパスフィル
タの帯域の関係を示す図である。

【図４】センサのリフトオフと検出範囲、ノイズ源の
範囲を示す図である。

【図５】従来技術の例を示す図である。

【符号の説明】

１１鋼板１２ａ、１２ｂＥ型センサ１３ａ，１３ｂ，１３ｃＥ型センサの足１４ａ，１４ｂ，１４ｃコイル１５直流磁化装置１６ａ、１６ｂ位相検波器１７ａ、１７ｂバンドパスフィルタ１８乗算器１９判定回路２０ａ、２０ｂ励磁用電源

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一つまたは複数の周波数の励磁信号によ
り局部的に磁場を印加して金属体に渦電流を発生させ、
その渦電流が金属体中の欠陥により乱れることにより生
ずる磁場を磁気センサで検出して渦流検出信号を得て、
これを前記のそれぞれの周波数で位相検波して渦流探傷
信号を得る渦流探傷法において、複数のお互いに異なる
測定条件により得られた複数の渦流探傷信号の実質的に
同一の検査部位から得られた信号同士に対し、当該複数
の信号の内少なくとも二つの信号中に共通して存在する
欠陥信号をノイズ信号に対して相対的に強調するような
演算を含む信号処理を行って得られる複合探傷信号を用
いて、欠陥を検出することを特徴とする金属体の探傷方
法。
【請求項２】前記少なくとも二つの信号が、位相の異
なる複数の位相検波により得られた信号であることを特
徴とする請求項１に記載の金属体の探傷方法。
【請求項３】前記少なくとも二つの信号が、被検査金
属体の同一場所の表裏面から得られた信号であることを
特徴とする請求項１又は請求項２に記載の金属体の探傷
方法。
【請求項４】前記少なくとも二つの信号が、フィルタ
定数が互いに異なる複数のフィルタをそれぞれ通して得
られたものであることを特徴とする請求項１ないし請求
項３のいずれか１項に記載の金属体の探傷方法。
【請求項５】前記少なくとも二つの信号が、センサと
金属体探傷面との距離が相互に異なる複数のセンサから
得られたものであることを特徴とする請求項１ないし請
求項４のいずれか１項に記載の金属体の探傷方法。
【請求項６】前記少なくとも二つの信号が、種類が相
互に異なる複数のセンサから得られたものであることを
特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記
載の金属体の探傷方法。
【請求項７】前記少なくとも二つの信号が、互いに異
なる励磁周波数による励磁により発生した渦流検出信号
から得られたものであることを特徴とする請求項１ない
し請求項６のいずれか１項に記載の金属体の探傷方法。
【請求項８】信号波形中に共通して存在する欠陥信号
をノイズ信号に対して相対的に強調するような演算が、
乗算であることを特徴とする請求項１ないし請求項７の
いずれか１項に記載の金属体の探傷方法。
【請求項９】 (a) Ｅ型形状の強磁性体で作られＥ型を
成す３個の磁極の列が金属体と磁極の相対移動方向に沿
うように配置されたＥ型コア、およびＥ型コアの３個の
磁極にそれぞれ巻いた３個のコイルとから成るＥ型磁気
センサと、(b) その３個のコイルの内の両端のコイルに
交流の励磁信号を印加するための一つまたは複数の周波
数の励磁信号発生装置と、(c) 中央のコイルから検出信
号を取り出し、それぞれの周波数を用いて一つまたは複
数の位相に対して位相検波して渦流探傷信号を得るため
の複数の位相検波器と、(d) 前記複数の渦流探傷信号同
士に対し、当該複数の信号の内少なくとも二つの信号中
に共通して存在する欠陥信号をノイズ信号に対して相対
的に強調するような演算を含む信号処理を行って総合探
傷信号を出力する演算器と、(e) 一つまたは複数の総合
探傷信号から金属体の欠陥の有無または欠陥の等級を判
断するための判定回路と、を有してなる金属体探傷装
置。
【請求項１０】Ｅ型磁気センサが、被検査金属体の同
一箇所を挟むように両側に配置されてなり、演算器が、
一方の側の渦流探傷信号とそれに対応する他方の側の渦
流探傷信号とに共通して存在する欠陥信号をノイズ信号
に対して相対的に強調するような演算を含む信号処理を
行って総合探傷信号を出力するものである請求項９に記
載の金属体探傷装置。
【請求項１１】演算器が、入力信号同士の乗算を行う
ものである請求項９又は請求項１０に記載の金属体探傷
装置。