JPH09280747A - 熱処理用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 簡単なメンテナンスで繰り返し使用すること
ができるとともに、耐久性が高く長寿命である熱処理用
治具。 【解決手段】 一方の主面１０ａと他方の主面１０ｂと
を貫通する第１の貫通孔が形成され、一方の主面１０ａ
には、その表面積を広くするための表面加工１３が施さ
れた第１の基板１０と、一方の主面１０ａと他方の主面
１０ｂとを貫通する第２の貫通孔が形成され、一方の主
面１１ａには、その表面積を広くするための表面加工１
５が施された第２の基板１１とが、一方の主面１０ａ、
１１ａ同士で互に接合されてなる熱処理用治具。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被熱処理物を熱処
理する際に、被熱処理物が載置される熱処理用治具に関
し、より詳しくは２枚の基板が主面同士で互に接合され
てなる熱処理用治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、セラミック電子部品などの被
熱処理物を、熱処理炉を用いて熱処理する際には、熱処
理用治具である匣に被熱処理物を載置して熱処理するこ
とが行なわれていた。そして、セラミック電子部品を低
温焼成する際や、セラミック電子部品の外部電極を焼き
付ける際には、図８に示す矩形平板状の金属プレート１
が匣として用いられていた。この場合、熱処理により隣
接する被熱処理物同士が接着もしくは反応しないよう
に、複数個の被熱処理物を金属プレート１上に所定間隔
を設けて載置し熱処理していた。

【０００３】しかし、このような金属プレート１は繰り
返し使用していると、熱処理時の熱により反ってしま
い、被熱処理物を金属プレート１上に載置できない、あ
るいは各被熱処理物の間に所定間隔を設けることができ
ず、被熱処理物同士が接着してしまう、などの理由で使
用できなくなることがあった。この場合、金属プレート
１の使用を継続するには、金属プレート１の反りを修正
する煩雑な作業が必要であった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来の熱処理用
治具の問題点を解決するため、本願発明の発明者らは、
まず、図９に示すように、両主面を貫通する貫通孔が形
成された第１の金属プレート２と、貫通孔が形成されて
いない第２の金属プレート３とを、主面同士で互に接合
したものを作製し、これを熱処理用治具である匣として
使用することを検討した。

【０００５】このような熱処理用治具によれば、第１の
金属プレート２に形成された貫通孔は、接合された第２
の金属プレート３の主面により閉塞されるので、貫通孔
が形成された第１の金属プレート２側に被熱処理物を収
納することができる収納部４が形成される。したがっ
て、この熱処理用治具であれば、熱処理時の熱により多
少反ることがあっても、収納部４に被熱処理物を載置す
ることができるので、被熱処理物を載置できない、ある
いは被熱処理物同士が接着してしまうという問題は発生
しない。

【０００６】しかし、この熱処理用治具は、収納部４が
形成された第１の金属プレート２側を常に上面として使
用されるので、第１の金属プレート２側が、第２の金属
プレート３側と比較して極端に早く劣化し、耐久性が低
く寿命が短いという問題が発生した。

【０００７】よって、本発明の目的は、簡単なメンテナ
ンスで繰り返し使用することができるとともに、耐久性
が高く長寿命である熱処理用治具を提供することにあ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の熱処理用治具
は、第１の発明、第２の発明、および第３の発明からな
る。

【０００９】第１の発明は、２枚の基板が主面同士で互
に接合されてなり、互に接合される前記各主面には、そ
の表面積を広くするための表面加工が施されていること
を特徴とするものである。

【００１０】第１の発明によれば、２枚の基板が、表面
積を広くするための表面加工が施された主面同士で互に
接合されているので、各基板は、主面の中央部が接合さ
れる基板の主面へ向けて突出するように作用する。すな
わち、２枚の基板は、互に相反する方向に向けて反るよ
うに作用するので、結果として繰り返し使用しても大き
く反ってしまうことがない。

【００１１】第２の発明は、一方の主面と他方の主面と
を貫通する第１の貫通孔が形成された第１の基板と、一
方の主面と他方の主面とを貫通する第２の貫通孔が形成
された第２の基板とが、一方の主面同士で互に接合され
てなり、前記第１の基板の一方の主面側にある第１の貫
通孔の一方の開口部は、第２の基板の一方の主面によっ
て閉塞され、前記第２の基板の一方の主面側にある第２
の貫通孔の一方の開口部は、第１の基板の一方の主面に
よって閉塞されていることを特徴とするものである。

【００１２】この場合、第１の貫通孔の一方の開口部お
よび第２の貫通孔の一方の開口部は、それぞれ第２の基
板の一方の主面および第１の基板の一方の主面によって
完全に閉塞されていることが望ましいが、必ずしも完全
に閉塞されている必要はなく、被熱処理物を収納できる
程度に閉塞されていれば良い。

【００１３】第２の発明によれば、第１の基板の一方の
主面側にある第１の貫通孔の一方の開口部は、第２の基
板の一方の主面によって閉塞され、第２の基板の一方の
主面側にある第２の貫通孔の一方の開口部は、第１の基
板の一方の主面によって閉塞されているので、第１の基
板の他方の主面側に第１の収納部が形成され、第２の基
板の他方の主面側に第２の収納部が形成される。これに
より、第１の基板を上面として使用する際には、被熱処
理物を第１の収納部に載置でき、第２の基板を上面とし
て使用する際には、被熱処理物を第２の収納部に載置で
きる。

【００１４】第３の発明は、一方の主面と他方の主面と
を貫通する第１の貫通孔が形成され、一方の主面には、
その表面積を広くするための表面加工が施された第１の
基板と、一方の主面と他方の主面とを貫通する第２の貫
通孔が形成され、一方の主面には、その表面積を広くす
るための表面加工が施された第２の基板とが、一方の主
面同士で互に接合されてなり、前記第１の基板の一方の
主面側にある第１の貫通孔の一方の開口部は、第２の基
板の一方の主面によって閉塞され、前記第２の基板の一
方の主面側にある第２の貫通孔の一方の開口部は、第１
の基板の一方の主面によって閉塞されていることを特徴
とするものである。

【００１５】この場合、第１の貫通孔の一方の開口部お
よび第２の貫通孔の一方の開口部は、それぞれ第２の基
板の一方の主面および第１の基板の一方の主面によって
完全に閉塞されていることが望ましいが、必ずしも完全
に閉塞されている必要はなく、被熱処理物を収納できる
程度に閉塞されていれば良い。

【００１６】第３の発明によれば、第１の基板と第２の
基板とが、表面積を広くするための表面加工が施された
一方の主面同士で互に接合されているので、第１の基板
は、その一方の主面の中央部が接合される第２の基板の
一方の主面へ向けて突出するように作用し、第２の基板
は、その一方の主面の中央部が接合される第１の基板の
一方の主面へ向けて突出するように作用する。すなわ
ち、第１の基板と第２の基板とは、相反する方向に向け
て反るように作用するので、結果として繰り返し使用し
ても大きく反ってしまうことがない。

【００１７】また、第３の発明によれば、第１の基板の
一方の主面側にある第１の貫通孔の一方の開口部は、第
２の基板の一方の主面によって閉塞され、第２の基板の
一方の主面側にある第２の貫通孔の一方の開口部は、第
１の基板の一方の主面によって閉塞されているので、第
１の基板の他方の主面側に第１の収納部が形成され、第
２の基板の他方の主面側に第２の収納部が形成される。

【００１８】これにより、第１の基板を上面として使用
する際には、被熱処理物を第１の収納部に載置でき、第
２の基板を上面として使用する際には、被熱処理物を第
２の収納部に載置できる。

【００１９】また、第３の発明においては、前記表面加
工を、前記第１の基板および前記第２の基板に、それぞ
れ第１の貫通孔および第２の貫通孔を形成するパンチ加
工により施すことができる。

【００２０】また、第３の発明においては、前記表面加
工を、ブラスト加工またはスリット加工により施すこと
ができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る熱処理用治具
について、第１の発明、第２の発明、第３の発明に共通
の実施例に基づき、添付図面を参照して説明する。

【００２２】図１は、本発明に係る熱処理用治具の一実
施例を示す図面であり、図１（ａ）は平面図であり、図
１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線における断面図であ
る。

【００２３】図１に示すように、この熱処理用治具は、
第１の基板１０と第２の基板１１とが主面同士で互いに
接合されたものである。

【００２４】図２は、第１の基板１０を示す図面であ
り、図２（ａ）は平面図であり、図２（ｂ）は図２
（ａ）のＢ−Ｂ線における断面図である。

【００２５】図２に示すように、第１の基板１０は厚さ
２ｍｍの矩形状のニッケル製の金属プレートであり、第
１の基板１０には、一方の主面１０ａと他方の主面１０
ｂとを貫通する複数の第１の貫通孔１２が形成されてい
る。

【００２６】第１の貫通孔１２は、径寸法が２ｍｍで、
５ｍｍのピッチ幅でマトリクス状に形成されている。ま
た、第１の貫通孔１２は、一方の主面１０ａから他方の
主面１０ｂに向けてのパンチ加工により施されたもので
あり、また、一方の主面１０ａの表面積を広くするため
の表面加工１３は、このパンチ加工により施されたもの
である。したがって、表面加工１３は一方の主面１０ａ
側にある第１の貫通孔１２の一方の開口部１２ａの周囲
に位置している。

【００２７】図３は、第２の基板１１を示す図面であ
り、図３（ａ）は平面図であり、図３（ｂ）は図３
（ａ）のＣ−Ｃ線における断面図である。

【００２８】図３に示すように、第２の基板１１は、厚
さ２ｍｍの矩形状のニッケル製の金属プレートであり、
第２の基板１１には、一方の主面１１ａと他方の主面１
１ｂとを貫通する複数の第２の貫通孔１４が形成されて
いる。

【００２９】第２の貫通孔１４は、径寸法が２ｍｍで、
５ｍｍのピッチ幅でマトリクス状に形成されている。ま
た、第２の貫通孔１４は、一方の主面１１ａから他方の
主面１１ｂに向けてのパンチ加工により施されたもので
あり、また、一方の主面１１ａの表面積を広くするため
の表面加工１５は、このパンチ加工により施されたもの
である。したがって、表面加工１５は一方の主面１１ａ
側にある第２の貫通孔１４の一方の開口部１４ａの周囲
に位置している。

【００３０】図１に示すように、この熱処理用治具は、
第１の基板１０と第２の基板１１とを、表面積を広くす
るための表面加工１３、１５が施された一方の主面１０
ａ、１１ａ同士で貼り合わせ、４隅をスポット溶接した
ものである。

【００３１】なお、第１の基板１０と第２の基板１１と
は、長辺、短辺、および厚さの寸法がそれぞれ互に同一
であるが、第１の貫通孔１２と第２の貫通孔１４とでは
水平方向における位置が異なっている。したがって、第
１の基板１０の一方の主面１０ａ側にある第１の貫通孔
１２の一方の開口部１２ａは、第２の基板１１の一方の
主面１１ａによって閉塞され、第２の基板１１の一方の
主面１１ａ側にある第２の貫通孔１４の一方の開口部１
４ａは、第１の基板１０の一方の主面１０ａによって閉
塞されている。また、図１（ａ）に示すように、第１の
貫通孔１２と第２の貫通孔１４とは、平面的に見て、千
鳥状に形成されている。

【００３２】これにより、第１の基板１０の他方の主面
１０ｂ側には、セラミック電子部品などの被熱処理物を
収納することができる第１の収納部１６が形成され、第
２の基板１１の他方の主面１１ｂ側には、セラミック電
子部品などの被熱処理物を収納することができる第２の
収納部１７が形成されている。

【００３３】次に、この熱処理用治具の反りの発生状態
について確認するため、以下のような実験を行なった。

【００３４】まず、本発明に係る熱処理用治具の上記実
施例を５枚用意し、第１の基板１０の他方の主面１０ｂ
を上面とし、複数の第１の収納部１６にセラミック電子
部品を一つずつ載置した。

【００３５】次に、セラミック電子部品を載置した５枚
の熱処理用治具を焼成炉の内部に搬入し、以下に示すプ
ロファイルで熱処理を行なった。すなわち、０度Ｃから
８００度Ｃまで４時間で徐々に昇温し、８００度Ｃのま
ま４０分間保温し、その後８００度Ｃから０度Ｃまで４
時間で徐々に冷却した。

【００３６】次に、５枚の熱処理用治具を焼成炉の内部
から搬出し、５枚の熱処理用治具から熱処理の終了した
セラミック電子部品を取り出し、第２の基板１１の他方
の主面１１ｂが上面となるように反転させた。

【００３７】次に、５枚の熱処理用治具の複数の第２の
収納部１７に、セラミック電子部品を一つずつ載置し、
これを焼成炉の内部に搬入し、熱処理を行なった。この
ときの熱処理のプロファイルは、上記の熱処理のプロフ
ァイルと同一である。

【００３８】以上の工程を２０回繰り返した。

【００３９】本発明に係る熱処理用治具の実施例と比較
するため、以下に説明する４種類のサンプルを用意し、
上記実施例と同様に、上記の工程を２０回繰り返した。

【００４０】図８に示すように、サンプル１は、厚さ２
ｍｍの矩形平板状のニッケル製の金属プレート１であ
る。

【００４１】図４に示すように、サンプル２は、サンプ
ル１を２枚用意し、主面同士で貼り合わせ、４隅でスポ
ット溶接したものである。

【００４２】図９に示すように、サンプル３は、第１の
金属プレート２と、第２の金属プレート３とを主面同士
で貼り合わせ、４隅でスポット溶接したものである。第
１の金属プレート２は、厚さ２ｍｍの矩形平板状のニッ
ケルプレートであり、一方の主面と他方の主面とを貫通
する複数の貫通孔４が形成されている。第２の金属プレ
ート３は、厚さ２ｍｍの矩形平板状のニッケルプレート
であり、貫通孔は形成されていない。

【００４３】図５に示すように、サンプル４は、第１の
金属プレート５と、第２の金属プレート６とを主面同士
で貼り合わせ、４隅でスポット溶接したものである。

【００４４】第１の金属プレート５は、厚さ２ｍｍの矩
形平板状のニッケルプレートであり、一方の主面５ａと
他方の主面５ｂとを貫通する複数の貫通孔が形成されて
いる。この貫通孔は、パンチ加工により形成されたもの
であり、このときのパンチは一方の主面５ａから他方の
主面５ｂへ向けて行なっている。

【００４５】第２の金属プレート６は、厚さ２ｍｍの矩
形平板状のニッケルプレートであり、一方の主面６ａと
他方の主面６ｂとを貫通する複数の貫通孔が形成されて
いる。この貫通孔は、パンチ加工により形成されたもの
であり、このときのパンチは一方の主面６ａから他方の
主面６ｂへ向けて行なっている。

【００４６】サンプル４は、第１の金属プレート５の一
方の主面５ａと、第２の金属プレート６の他方の主面６
ｂとを貼り合わせたものである。

【００４７】表１は、上記の工程を２０回繰り返した後
の、本発明に係る上記実施例、サンプル１、サンプル
２、サンプル３、およびサンプル４の反りの発生状態を
示す表である。

【００４８】

【表１】

【００４９】ここで、反り値とは、熱処理用治具の主面
（下面）の水平方向における両端部が定盤の水平面上に
接し、熱処理用治具の主面（下面）の中央部が定盤の水
平面上から浮くように、熱処理用治具を定盤の水平面上
に載置した際の、定盤の水平面から熱処理用治具の主面
（下面）までの最大値のことである。また、平均反り値
とは、５枚の熱処理用治具の反り値の平均値のことであ
る。反りバラツキ値とは５枚の熱処理用治具の反り値の
中で、最大値と最小値との差のことである。

【００５０】表１から分かるように、本発明に係る上記
実施例の場合には、平均反り値、反りバラツキ値ともに
極めて小さいことが確認できる。

【００５１】これに対し、サンプル１、およびサンプル
２は、平均反り値、反りバラツキ値ともに大きく、反り
の方向も様々であった。

【００５２】また、サンプル３、およびサンプル４は、
平均反り値がサンプル１、サンプル２よりも、さらに大
きい。但し、反りバラツキ値は、実施例よりは大きい
が、サンプル１、サンプル２よりも小さい。また、サン
プル３、およびサンプル４は、反りの方向が一定であ
り、それぞれ５枚とも、第１の金属プレート２、５を上
面とした場合に、水平方向における両端部が反り上がっ
た状態となった。

【００５３】以上の通り、本発明の熱処理用治具につい
て、第１の発明、第２の発明、および第３の発明に共通
する上記実施例に基づき説明したが、本発明は上記実施
例に限定されるものではなく、この発明の要旨の範囲内
で種々の変更が可能である。たとえば、上記実施例にお
いては、第１の基板１０には第１の貫通孔１２が形成さ
れ、第２の基板１１には第２の貫通孔１４が形成されて
いるものとしたが、第１の発明はこれに限定されるもの
ではなく、図６に示すように、貫通孔が形成されていな
くても良い。この場合、第１の基板１８の一方の主面１
８ａおよび第２の基板１９の一方の主面１９ａには、そ
の表面積を広くするためのブラスト加工が施されてい
る。またブラスト加工に換えスリット加工としても良
い。

【００５４】また、上記実施例においては、第１の基板
１０の一方の主面１０ａおよび第２の基板１１の一方の
主面１１ａには、その表面積を広くするための表面加工
１３、１５が、パンチ加工により施されているものとし
たが、第２の発明はこれに限定されるものではなく、表
面加工が施されていなくても良い。すなわち、図７に示
すように、第１の基板２０と第２の基板２１とが主面同
士で貼り合わされており、第１の基板２０には第１の収
納部２２が形成され、第２の基板２１には第２の収納部
２３が形成されているが、表面積を広くするための表面
加工は施されていない。

【００５５】また、上記実施例においては、第１の基板
１０と第２の基板１１とを、一方の主面１０ａ、１１ａ
同士で貼り合わせ、４隅でスポット溶接したが、本発明
はこれに限定されるものではなく、例えば全面溶接でも
良いし、リベット接合でも良い。

【００５６】その他、第１の貫通孔および第２の貫通孔
の形状、配置や、第１の基板および第２の基板の形状や
材質が変更可能であることは勿論である。

【００５７】

【発明の効果】以上のように、本発明の熱処理用治具に
よれば、簡単なメンテナンスで繰り返し使用することが
できるとともに、耐久性が高く長寿命となる。

【００５８】すなわち、第１の発明によれば、２枚の基
板が、表面積を広くするための表面加工が施された主面
同士で互に接合されているので、各基板は、主面の中央
部が接合される基板の主面へ向けて突出するように作用
する。すなわち、２枚の基板は、互に相反する方向に向
けて反るように作用するので、結果として繰り返し使用
しても大きく反ってしまうことがない。

【００５９】したがって、反りを修正する煩雑な作業が
不要となり、メンテナンスが容易である。また、繰り返
し使用しても自動機によるハンドリングが可能であり、
自動化への対応に優れている。さらに、両面を使用する
ことができるので耐久性が高く長寿命である。すなわ
ち、片面のみを使用するものと比較した場合、使用でき
る回数は約２倍となる。これにより、コストダウンが可
能となる。

【００６０】第２の発明によれば、第１の基板の一方の
主面側にある第１の貫通孔の一方の開口部は、第２の基
板の一方の主面によって閉塞され、第２の基板の一方の
主面側にある第２の貫通孔の一方の開口部は、第１の基
板の一方の主面によって閉塞されているので、第１の基
板の他方の主面側に第１の収納部が形成され、第２の基
板の他方の主面側に第２の収納部が形成される。これに
より、第１の基板を上面として使用する際には、被熱処
理物を第１の収納部に載置でき、第２の基板を上面とし
て使用する際には、被熱処理物を第２の収納部に載置で
きる。

【００６１】したがって、両面を使用することができ、
耐久性が高く長寿命となる。すなわち、片面のみを使用
するものと比較した場合、使用できる回数は約２倍とな
る。また、第１の基板の他方の主面側には第１の収納部
が形成され、第２の基板の他方の主面側には第２の収納
部が形成されるので、熱処理時の熱により反ることがあ
っても、被熱処理物を第１の収納部または第２の収納部
に載置することができ、隣接する被熱処理物同士の接着
を防止することができる。

【００６２】これにより、反りを修正する煩雑な作業が
不要となり、メンテナンスが容易となる。また、コスト
ダウンが可能となる。

【００６３】第３の発明によれば、第１の基板と第２の
基板とが、表面積を広くするための表面加工が施された
一方の主面同士で互に接合されているので、第１の基板
は、その一方の主面の中央部が接合される第２の基板の
一方の主面へ向けて突出するように作用し、第２の基板
は、その一方の主面の中央部が接合される第１の基板の
一方の主面へ向けて突出するように作用する。すなわ
ち、第１の基板と第２の基板とは、相反する方向に向け
て反るように作用するので、結果として繰り返し使用し
ても大きく反ってしまうことがない。

【００６４】したがって、反りを修正する煩雑な作業が
不要となり、メンテナンスが容易である。また、繰り返
し使用しても自動機によるハンドリングが可能であり、
自動化への対応に優れている。これにより、コストダウ
ンが可能となる。

【００６５】また、第３の発明によれば、第１の基板の
一方の主面側にある第１の貫通孔の一方の開口部は、第
２の基板の一方の主面によって閉塞され、第２の基板の
一方の主面側にある第２の貫通孔の一方の開口部は、第
１の基板の一方の主面によって閉塞されているので、第
１の基板の他方の主面側に第１の収納部が形成され、第
２の基板の他方の主面側に第２の収納部が形成される。

【００６６】これにより、第１の基板を上面として使用
する際には、被熱処理物を第１の収納部に載置でき、第
２の基板を上面として使用する際には、被熱処理物を第
２の収納部に載置できる。

【００６７】したがって、両面を使用することができ、
耐久性が高く長寿命となる。すなわち、片面のみを使用
するものと比較した場合、使用できる回数は約２倍とな
る。これにより、コストダウンが可能となる。また、被
熱処理物は収納部に載置されるので、隣接する被熱処理
物同士の接着を防止することができる。

【００６８】また、第３の発明においては、前記表面加
工を、前記第１の基板および前記第２の基板に、それぞ
れ第１の貫通孔および第２の貫通孔を形成するパンチ加
工により施すことができる。

【００６９】この場合には、第１の基板および前記第２
の基板に、それぞれ第１の貫通孔および第２の貫通孔を
形成する際に、表面加工を施すことができるので、貫通
孔の形成工程とは別に、表面加工を行なう工程を設ける
必要がなく、生産性が向上する。

【００７０】また、第３の発明においては、前記表面加
工を、ブラスト加工またはスリット加工により施すこと
ができる。

【００７１】この場合には、第１の基板と第２の基板と
は、より確実に、互に相反する方向に向けて反るように
作用するので、結果として繰り返し使用しても大きく反
ってしまうことがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である熱処理用治具を示す図
面であって、図１（ａ）は平面図であり、図１（ｂ）は
図１（ａ）のＡ−Ａ線における断面図である。

【図２】本発明の一実施例である熱処理用治具を構成す
る第１の基板を示す図面であって、図２（ａ）は平面図
であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ線における断
面図である。

【図３】本発明の一実施例である熱処理用治具を構成す
る第２の基板を示す図面であって、図３（ａ）は平面図
であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のＣ−Ｃ線における断
面図である。

【図４】本発明の一実施例である熱処理用治具と比較す
るためのサンプル２を示す側面図である。

【図５】本発明の一実施例である熱処理用治具と比較す
るためのサンプル４を示す断面図である。

【図６】本発明の他の実施例である熱処理用治具を示す
断面図である。

【図７】本発明の他の実施例である熱処理用治具を示す
断面図である。

【図８】従来の熱処理用治具であって、本発明の一実施
例である熱処理用治具と比較するためのサンプル１を示
す側面図である。

【図９】従来の熱処理用治具であって、本発明の一実施
例である熱処理用治具と比較するためのサンプル３を示
す断面図である。

【符号の説明】

１０、１８、２０ 第１の基板 １０ａ、１８ａ 第１の基板の一方の主面 １０ｂ 第１の基板の他方の主面 １１、１９、２０ 第２の基板 １１ａ、１９ａ 第２の基板の一方の主面 １１ｂ 第２の基板の他方の主面 １２ 第１の貫通孔 １２ａ 第１の貫通孔の一方の開口部 １４ 第２の貫通孔 １４ａ 第２の貫通孔の一方の開口部 １３、１５ 表面加工

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２枚の基板が主面同士で互に接合されて
   なり、互に接合される前記各主面には、その表面積を広
   くするための表面加工が施されていることを特徴とする
   熱処理用治具。
2. 【請求項２】 一方の主面と他方の主面とを貫通する第
   １の貫通孔が形成された第１の基板と、 一方の主面と他方の主面とを貫通する第２の貫通孔が形
   成された第２の基板とが、一方の主面同士で互に接合さ
   れてなり、 前記第１の基板の一方の主面側にある第１の貫通孔の一
   方の開口部は、第２の基板の一方の主面によって閉塞さ
   れ、 前記第２の基板の一方の主面側にある第２の貫通孔の一
   方の開口部は、第１の基板の一方の主面によって閉塞さ
   れていることを特徴とする熱処理用治具。
3. 【請求項３】 一方の主面と他方の主面とを貫通する第
   １の貫通孔が形成され、一方の主面には、その表面積を
   広くするための表面加工が施された第１の基板と、 一方の主面と他方の主面とを貫通する第２の貫通孔が形
   成され、一方の主面には、その表面積を広くするための
   表面加工が施された第２の基板とが、一方の主面同士で
   互に接合されてなり、 前記第１の基板の一方の主面側にある第１の貫通孔の一
   方の開口部は、第２の基板の一方の主面によって閉塞さ
   れ、 前記第２の基板の一方の主面側にある第２の貫通孔の一
   方の開口部は、第１の基板の一方の主面によって閉塞さ
   れていることを特徴とする熱処理用治具。
4. 【請求項４】 前記表面加工は、前記第１の基板および
   前記第２の基板に、それぞれ第１の貫通孔および第２の
   貫通孔を形成するパンチ加工により施されたものである
   ことを特徴とする請求項３に記載の熱処理用治具。
5. 【請求項５】 前記表面加工は、ブラスト加工またはス
   リット加工により施されたものであることを特徴とする
   請求項３または請求項４のいずれかに記載の熱処理用治
   具。