JPH09280868A - 音叉型角速度検出センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 充分な大きさの検出信号を得ることができる
ようにする。センサとしての立ち上がりを速くする。小
型化を容易とする。 【解決手段】 励振電極５（５−１〜５−３）と検出電
極（７−１〜７−４）とを脚部４−１の滑動端Ｓ１付近
を出発点として同一距離内（Ｌ１＝０．４Ｌ〜０．６
Ｌ）に並置して形成する。励振電極６（６−１〜６−
３）と検出電極（８−１〜８−４）とを脚部４−２の滑
動端Ｓ２付近を出発点として同一距離内（Ｌ２＝０．４
Ｌ〜０．６Ｌ）に並置して形成する。励振電極５と検出
電極７との間にグランド電極９を、励振電極６と検出電
極８との間にグランド電極１０を形成する。脚部４−
１，４−２の先端部にバランス電極１１，１２を形成
し、グランド電極９，１０をバランス電極１１，１２に
接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、励振電極に交流
電圧を印加することによって音叉型振動子が振動してい
る時、音叉型振動子の脚部の伸縮方向の回りに作用する
回転角速度の大きさとその回転方向を、検出電極に生ず
る電圧信号の大きさと、励振振動信号との位相比較によ
り検出する音叉型角速度検出センサに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】所定方向に沿って振動している振動子、
例えば直交座標軸平面（Ｘ−Ｚ平面）におけるＸ軸に沿
って振動している振動子がこのＸ−Ｚ平面と直交するＹ
軸の回りに回転すると、その回転角速度により振動子に
Ｚ軸方向にコリオリの力が生じる。このコリオリの力は
角速度の大きさに比例して定まることから、コリオリの
力を振動子の撓み変位量として間接的に、或いは歪量と
して圧電素子の圧電効果、歪ゲージの抵抗変化などで直
接的に測定すれば、振動子のＹ軸方向の回りに作用した
回転角速度の大きさを求めることができる。このため、
振動する振動子を角速度検出素子として車両や航空機等
に搭載し、その走行或いは飛行軌跡を記録したり旋回時
に発生するヨーレイトを検出することが行われている。
また、この角速度検出素子をロボットに搭載して、その
姿勢制御等にも応用されている。

【０００３】図５は音叉型水晶振動子を用いた従来の音
叉型角速度検出センサの要部を示す図である。同図にお
いて、（ａ）は平面図、（ｂ）は同図（ａ）をＡ方向か
ら見た図である。図５において、１は音叉型水晶振動
子、２−１〜２−４は励振電極、３−１〜３−４は検出
電極であり、励振電極２−１〜２−４は水晶振動子１の
一方の脚部１−１の先端の上下および左右の面に、検出
電極３−１〜３−４は水晶振動子１の他方の脚部１−２
の先端の左右の面に形成されている。

【０００４】この音叉型角速度検出センサにおいては、
励振電極２−１と２−３とが端子Ｐ１に共通に接続さ
れ、励振電極２−２と２−４とが端子Ｐ２に共通に接続
され、この端子Ｐ１とＰ２との間に交流電圧が印加され
る。このため、ある時は図５（ｂ）中に矢印で示す如く
電界が発生し、次には逆方向の電界が発生することによ
り、水晶振動子１の一方の脚部１−１が、更に他方の脚
部１−２も連動して、左右に振動する。

【０００５】ここで、脚部１−１，１−２の振動方向を
Ｘ軸方向、このＸ軸方向と直交する紙面内の方向、すな
わち脚部１−１，１−２の伸縮方向をＹ軸方向、このＸ
−Ｙ平面と直交する方向（水晶振動子１の板面に垂直な
方向）をＺ軸方向とした場合、Ｙ軸方向の回りに回転角
速度が作用すると、コリオリの力によりＺ軸方向の振動
成分が生じる。この振動成分の大きさはコリオリの力に
比例しているので、水晶振動子１の他方の脚部１−２に
は回転角速度に比例した大きさで振動の方向に応じた極
の電荷が発生する。

【０００６】これにより、検出電極３−１と３−４とを
共通に接続した端子Ｐ３と、検出電極３−２と３−３と
を共通に接続した端子Ｐ４との間に、ある時には矢印の
方向、次には逆方向の電荷が発生し、コリオリの力に応
じた電圧信号ｅが得られる。この電圧信号ｅの大きさに
よって、Ｙ軸方向の回りに作用する回転角速度の大きさ
を知ることができる。また、この電圧信号ｅは基本的に
サインカーブとして得られ、この電圧信号ｅの波形と励
振波形とを位相比較することにより、その位相の進み遅
れで回転角速度の方向を知ることができる。

【０００７】なお、端子Ｐ１とＰ２との間に印加される
交流電圧の振幅は、図示せぬ温度補償回路によって、温
度変化により素子の諸定数、振動姿態が変化しても、一
定の振幅に保たれる。また、端子Ｐ１とＰ２との間に印
加される交流電圧に対して、端子Ｐ３とＰ４との間に得
られる電圧信号ｅは桁違いに小さい。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の音叉型角速度検出センサによると、水晶振動
子１の一方の脚部１−１の振動（励振）が他方の脚部１
−２に伝わりにくい。このため、端子Ｐ３とＰ４との間
に得られる電圧信号ｅが小さくなり、充分な大きさの検
出信号が得にくいという問題があった。また、一方の脚
部１−１の振動が他方の脚部１−２に伝わるまでに時間
がかかり、センサとしての立ち上がりが遅いという問題
もあった。

【０００９】なお、別のタイプの音叉型角速度検出セン
サとして、図６に示すように、水晶振動子１の一方の脚
部１−１の先端部に励振電極２−１〜２−４を形成し、
脚部１−１の根元部に検出電極３−１〜３−４を形成し
たセンサがある。しかし、この音叉型角速度検出センサ
では、小型化した場合に、脚部１−１に励振電極２−１
〜２−４と検出電極３−１〜３−４を構成するのが難し
い。また、励振電極２−１〜２−４が脚部１−１の先端
部に配置されるので、脚部１−１を振動させにくく、充
分な大きさの検出信号が得にくい。

【００１０】また、図６に示した音叉型角速度検出セン
サに対し、水晶振動子１の一方の脚部１−１の先端部に
検出電極３−１〜３−４を形成し、脚部１−１の根元部
に励振電極２−１〜２−４を形成することが考えられ
る。この場合、励振電極２−１〜２−４が脚部１−１の
滑動端Ｓの付近に形成されるため、脚部１−１を振動さ
せ易くなる。しかし、この場合、滑動端Ｓの付近が最も
歪が大きいのに対し、脚部１−１の先端部の歪は小さ
く、充分な大きさの検出信号を得ることができない。

【００１１】本発明はこのような課題を解決するために
なされたもので、その目的とするところは、充分な大き
さの検出信号を得ることのできる、またセンサとしての
立ち上がりが速く、小型化も容易に可能な、音叉型角速
度検出センサを提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、第１発明（請求項１に係る発明）は、音叉型
振動子の少なくとも一方の脚部に、その脚部の滑動端付
近を出発点として励振電極と検出電極とを同一距離内に
並置して形成したものである。この発明によれば、最も
歪が大きい脚部の滑動端付近を出発点として、励振電極
と検出電極とが同一距離内に並置され、効率よく大きな
検出信号が得られる。

【００１３】第２発明（請求項２に係る発明）は、第１
発明において、励振電極と検出電極との間にグランド電
極を形成したものである。この発明によれば、励振電極
と検出電極との間がグランド電極によってインシュレー
トされ、両者間の電気的な漏れ（クロストーク）とノイ
ズが抑制される。

【００１４】第３発明（請求項３に係る発明）は、音叉
型振動子の一方の脚部に、その脚部の滑動端付近を出発
点として第１の励振電極と第１の検出電極とを同一距離
内に並置して形成し、他方の脚部に、その脚部の滑動端
付近を出発点として第２の励振電極と第２の検出電極と
を同一距離内に並置して形成したものである。この発明
によれば、一方の脚部の最も歪が大きい滑動端付近を出
発点として、第１の励振電極と第１の検出電極とが同一
距離内に並置され、また、他方の脚部の最も歪が大きい
滑動端付近を出発点として、第２の励振電極と第２の検
出電極とが同一距離内に並置され、効率よく大きな検出
信号が得られる。

【００１５】第４発明（請求項４に係る発明）は、第３
発明において、第１の励振電極と第１の検出電極との間
に第１のグランド電極を形成し、第２の励振電極と第２
の検出電極との間に第２のグランド電極を形成し、第１
のグランド電極を一方の脚部の先端部に形成した第１の
バランス電極に接続し、第２のグランド電極を他方の脚
部の先端部に形成した第２のバランス電極に接続したも
のである。

【００１６】この発明によれば、第１の励振電極と第１
の検出電極との間が第１のグランド電極によってインシ
ュレートされ、また第２の励振電極と第２の検出電極と
の間が第２のグランド電極によってインシュレートさ
れ、両者間の電気的な漏れ（クロストーク）とノイズが
抑制される。また、第１および第２のバランス電極の面
積や厚さ等を調整することにより、一方の脚部と他方の
脚部との質量バランスの調整を行うことが可能となる。

【００１７】第５発明（請求項５に係る発明）は、第１
発明、第３発明において、励振電極と検出電極とを、脚
部の全長をＬとしたとき、脚部の滑動端付近を出発点と
して０．４Ｌ〜０．６Ｌの間に並置して形成したもので
ある。この発明によれば、最も歪が大きい脚部の滑動端
付近を出発点として、励振電極と検出電極とが０．４Ｌ
〜０．６Ｌの間に並置され、２次モード振動を抑圧した
充分な大きさの検出信号が得られる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明を実施の形態に基づ
き詳細に説明する。図１はこの発明の一実施の形態を示
す音叉型角速度検出センサの要部を示す図であり、同図
（ａ）は平面図、同図（ｂ）は左側面図、同図（ｃ）は
右側面図、同図（ｄ）は同図（ａ）を裏面側から見た図
である。図２は図１（ａ）におけるII−II線断面図であ
る。

【００１９】これらの図において、４は音叉型水晶振動
子、５（５−１〜５−３）は第１の励振電極、６（６−
１〜６−３）は第２の励振電極、７（７−１〜７−４）
は第１の検出電極、８（８−１〜８−４）は第２の検出
電極、９（９−１，９−２）は第１のグランド電極、１
０（１０−１，１０−２）は第２のグランド電極、１１
（１１−１，１１−２）は第１のバランス電極、１２
（１２−１，１２−２）は第２のバランス電極である。

【００２０】第１の励振電極５と第１の検出電極７と
は、水晶振動子４の一方の脚部４−１の滑動端Ｓ１付近
を出発点として、同一距離Ｌ１内に並置して形成されて
いる。また、第２の励振電極６と第２の検出電極８と
は、水晶振動子４の他方の脚部４−２の滑動端Ｓ２付近
を出発点として、同一距離Ｌ２内に並置して形成されて
いる。この実施の形態では、脚部４−１，４−２の全長
をＬとしたとき、Ｌ１，Ｌ２（Ｌ１＝Ｌ２）が０．４Ｌ
〜０．６Ｌの間とされている。

【００２１】第１の励振電極５において、励振電極５−
１，５−２は脚部４−１の上下の面に、励振電極５−３
は脚部４−１の右側面（内面）に形成されている。第２
の励振電極６において、励振電極６−１，６−２は脚部
４−２の上下の面に、励振電極６−３は脚部４−３の左
側面（内面）に形成されている。

【００２２】第１の検出電極７において、検出電極７−
１，７−４は脚部４−１の上下の面に、検出電極７−
２，７−３は左側面（外面）に形成されている。第２の
検出電極８において、検出電極８−１，８−４は脚部４
−２の上下の面に、検出電極８−２，８−３は右側面
（外面）に形成されている。

【００２３】第１のグランド電極９において、グランド
電極９−１は脚部４−１の上面かつ励振電極５−１と検
出電極７−１との間に、グランド電極９−２は脚部４−
１の下面かつ励振電極５−２と検出電極７−４との間に
形成されている。第２のグランド電極１０において、グ
ランド電極１０−１は脚部４−２の上面かつ励振電極６
−１と検出電極８−１との間に、グランド電極１０−２
は脚部４−２の下面かつ励振電極６−２と検出電極８−
４との間に形成されている。

【００２４】第１のバランス電極１１において、バラン
ス電極１１−１は脚部４−１の先端部上面に、バランス
電極１１−２は脚部４−１の先端部下面に形成されてい
る。第２のバランス電極１２において、バランス電極１
２−１は脚部４−２の先端部上面に、バランス電極１２
−２は脚部４−２の先端部下面に形成されている。

【００２５】図２では各電極の接続関係を分かり易いよ
うに結線図として示している。すなわち、この音叉型角
速度検出センサにおいて、励振用電極５−１と５−２と
６−３とが端子Ｔ１（Ｔ１_U ，Ｔ１_D ）に共通に接続さ
れ、励振用電極６−１と６−２と５−３とが端子Ｔ２
（Ｔ２_U ，Ｔ２_D ）に共通に接続されている。また、検
出用電極７−１と７−３とが端子Ｔ３（Ｔ３_U ，Ｔ
３_D ）に共通に接続され、検出用電極７−２と７−４と
が端子Ｔ４（Ｔ４_U ，Ｔ４_D ）に共通に接続され、検出
用電極８−１と８−３とが端子Ｔ５（Ｔ５_U ，Ｔ５_D ）
に共通に接続され、検出用電極８−２と８−４とが端子
Ｔ６（Ｔ６_U ，Ｔ６_D ）に共通に接続されている。

【００２６】また、グランド電極９−１およびバランス
電極１１−１とグランド電極９−２およびバランス電極
１１−２とが端子Ｔ７（Ｔ７_U ，Ｔ７_D ）に共通に接続
され、グランド電極１０−１およびバランス電極１２−
１とグランド電極１０−２およびバランス電極１２−２
とが端子Ｔ８（Ｔ８_U ，Ｔ８_D ）に共通に接続されてい
る。

【００２７】なお、この実施の形態では、励振電極５，
６や検出電極７，８はその厚さを１０００〜１５００オ
ングストローム、グランド電極９，１０やバランス電極
１１，１２はその厚さを５０００オングストローム以上
としている。また、グランド電極９，１０はバランス電
極１１，１２と端子Ｔ７，Ｔ８とをつなぐリード配線を
兼ねており、バランス電極１１，１２は大面積とされて
いる。図２では分かり易いように各電極の厚さは同じと
して示している。

【００２８】この角速度検出センサにおいては、端子Ｔ
１とＴ２との間に交流電圧を印加する。これにより、あ
る時は図２中に矢印で示す如く電界が発生し、次には逆
方向に電界が発生することにより、水晶振動子４の脚部
４−１，４−２が左右に振動する。

【００２９】ここで、脚部４−１，４−２の振動方向を
Ｘ１，Ｘ２軸方向、このＸ１，Ｘ２軸方向と直交する紙
面内の方向、すなわち脚部４−１，４−２の伸縮方向を
Ｙ１，Ｙ２軸方向、このＸ−Ｙ平面と直交する方向（水
晶振動子４の板面に垂直な方向）をＺ１，Ｚ２軸方向と
した場合、Ｙ１，Ｙ２軸方向の回りに回転角速度が作用
すると、コリオリの力によりＺ１，Ｚ２軸方向の振動成
分が生じる。

【００３０】この振動成分の大きさはコリオリの力に比
例しているので、水晶振動子４の脚部４−１，４−２に
は回転角速度に比例した大きさで振動の方向に応じた極
の電荷が発生する。これにより、検出電極７−１と７−
３とを共通に接続した端子Ｔ３と、検出電極７−２と７
−４とを共通に接続した端子Ｔ４との間に、また検出電
極８−１と８−３とを共通に接続した端子Ｔ５と、検出
電極８−２と８−４とを共通に接続した端子Ｔ６との間
に、ある時には矢印の方向、次には逆方向の電荷が発生
し、コリオリの力に応じた電圧信号ｅ１，ｅ２が得られ
る。

【００３１】この電圧信号ｅ１，ｅ２の大きさによっ
て、Ｙ１，Ｙ２軸方向すなわちＹ軸方向の回りに作用す
る回転角速度の大きさを知ることができる。また、この
電圧信号ｅ１，ｅ２は基本的にサインカーブとして得ら
れ、この電圧信号ｅ１，ｅ２の波形と励振波形とを位相
比較することにより、その位相の進み遅れで回転角速度
の方向を知ることができる。

【００３２】この実施の形態では、両方の脚部４−１，
４−２によってＹ軸方向の回りに作用する回転角速度が
検出されるので、片方の脚部によって検出するようにし
た場合に比べ、その検出感度がアップする。

【００３３】また、この実施の形態では、励振電極５と
検出電極７とが脚部４−１の滑動端Ｓ１付近を出発点と
して、また励振電極６と検出電極８とが脚部４−２の滑
動端Ｓ２付近を出発点として、０．４Ｌ〜０．６Ｌ内に
並置して形成されているので、２次モード振動を抑圧し
た充分な大きさの検出信号を得ることができる。

【００３４】すなわち、この実施の形態では、励振電極
５，６が脚部４−１，４−２の滑動端Ｓ１，Ｓ２の付近
に形成されているため、脚部４−１，４−２を振動させ
易い。また、滑動端Ｓ１，Ｓ２付近は最も歪が大きく、
この歪の大きい滑動端Ｓ１，Ｓ２付近でＺ１，Ｚ２軸方
向の振動成分を検出するようにしているので、充分な大
きさの検出信号を得ることができる。また、滑動端Ｓ
１，Ｓ２付近を出発点として励振電極５，６が０．４Ｌ
〜０．６Ｌ内に形成されているので、２次モード振動の
ＣＩ値が基本波振動のＣＩ値よりも大きくなり、２次モ
ード振動を抑圧することができる。なお、この２次モー
ド振動の抑圧については、本出願人による実公昭５６−
４１３８７号公報に示されているので、ここでの詳しい
説明は省略する。

【００３５】また、この実施の形態では、励振電極５と
検出電極７とが脚部４−１に、また励振電極６と検出電
極８とが脚部４−２に並置して形成されているので、す
なわち励振電極と検出電極とが同一箇所に配置されてい
るので、小型化し易く、センサとしての立ち上がりも速
くなる。

【００３６】また、この実施の形態では、励振電極５と
検出電極７との間にグランド電極９が、また励振電極６
と検出電極８との間にグランド電極１０が形成されてい
るので、励振電極５と検出電極７との間がグランド電極
９によってインシュレートされ、また励振電極６と検出
電極８との間がグランド電極１０によってインシュレー
トされ、両者間の電気的な漏れ（クロストーク）とノイ
ズが抑制される。

【００３７】また、この実施の形態では、脚部４−１，
４−２の先端部に設けたバランス電極１１，１２の面積
や厚さ等を調整することにより、脚部４−１と脚部４−
２との質量バランスの調整を行うことができ、動作をよ
り安定化することが可能となる。この場合、脚部４−
１，４−２を振動させ、質量バランスの調整を行いなが
ら、バランス電極１１，１２を形成する方法が考えられ
る。また、バランス電極１１，１２を形成した後で、脚
部４−１，４−２を振動させながら、電極を部分的に除
去し、質量バランスの調整を行う方法が考えられる。

【００３８】なお、この実施の形態においては、励振電
極５，６を脚部４−１，４−２の内側に検出電極７，８
を外側に形成したが（図３参照）、励振電極５，６を脚
部４−１，４−２の外側に検出電極７，８を内側に形成
するようにしてもよい（図４参照）。この場合、検出電
極７，８を外側に形成するようにした方が、水晶振動子
４が大きく伸縮するので、大きな検出信号が得られる。
また、励振電極５，６を内側に形成するようにした方
が、検出電極７，８を内側に形成するよりも製作が簡単
となる。

【００３９】すなわち、励振電極５，６を内側に形成す
るようにした場合、励振電極５−３，６−３が脚部４−
１，４−２の内面に位置し、これらの電極は１つの電極
であるので形成し易い。これに対して、検出電極７，８
を内側に形成するようにした場合、検出電極７−２，７
−３，８−２，８−３が脚部４−１，４−２の内面に位
置し、これらの電極は２つの電極であるので形成しにく
い。

【００４０】また、この実施の形態においては、音叉型
振動子として水晶を用いたが、水晶に限られるものでは
ない。例えば、チタン酸バリウムを用いてもよく、種々
の圧電材料の使用が可能である。また、この実施の形態
においては、音叉型振動子を用いたが、Ｈ型振動子に応
用することも可能である。また、この実施の形態におい
ては、脚部４−１，４−２のそれぞれに励振電極と検出
電極を形成したが、脚部４−１，４−２の何れか一方に
形成するようにしてもよい。すなわち、必ずしも両方の
脚部を使用しなくてもよく、片方の脚部を使用して回転
角速度の検出を行うようにしてもよい。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように本
発明によれば、第１発明では、音叉型振動子の少なくと
も一方の脚部に、その脚部の滑動端付近を出発点として
励振電極と検出電極とを同一距離内に並置して形成した
ので、歪の最も大きい滑動端付近で励振と検出が行われ
るようになり、効率よく大きな検出信号が得られるよう
になる。また、センサとしての立ち上がりが速くなり、
小型化も容易に可能となる。

【００４２】第２発明では、第１発明において、励振電
極と検出電極との間にグランド電極を形成したので、励
振電極と検出電極との間がグランド電極によってインシ
ュレートされ、両者間の電気的な漏れ（クロストーク）
とノイズが抑制されるものとなる。

【００４３】第３発明では、音叉型振動子の一方の脚部
に、その脚部の滑動端付近を出発点として第１の励振電
極と第１の検出電極とを同一距離内に並置して形成し、
他方の脚部に、その脚部の滑動端付近を出発点として第
２の励振電極と第２の検出電極とを同一距離内に並置し
て形成したので、歪の最も大きい両方の脚部の滑動端付
近で励振と検出が行われるようになり、効率よく大きな
検出信号が得られるようになる。また、センサとしての
立ち上がりが速くなり、小型化も容易に可能となる。ま
た、この発明では、片方の脚部によって回転角速度を検
出する場合に比べ、その検出感度がアップする。

【００４４】第４発明では、第３発明において、第１の
励振電極と第１の検出電極との間に第１のグランド電極
を形成し、第２の励振電極と第２の検出電極との間に第
２のグランド電極を形成し、第１のグランド電極を一方
の脚部の先端部に形成した第１のバランス電極に接続
し、第２のグランド電極を他方の脚部の先端部に形成し
た第２のバランス電極に接続したので、第１の励振電極
と第１の検出電極との間が第１のグランド電極によって
インシュレートされ、第２の励振電極と第２の検出電極
との間が第２のグランド電極によってインシュレートさ
れ、両者間の電気的な漏れ（クロストーク）とノイズが
抑制されるものとなる。また、第１および第２のバラン
ス電極の面積や厚さ等を調整することにより、一方の脚
部と他方の脚部との質量バランスの調整を行うことが可
能となり、動作をより安定化させることができるように
なる。

【００４５】第５発明では、第１発明、第３発明におい
て、励振電極と検出電極とを、脚部の全長をＬとしたと
き、脚部の滑動端付近を出発点として０．４Ｌ〜０．６
Ｌの間に並置して形成したので、２次モード振動を抑圧
した充分な大きさの検出信号を得ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施の形態を示す音叉型角速度検
出センサの要部を示す図である。

【図２】 図１（ａ）におけるII−II線断面図である。

【図３】 この音叉型角速度検出センサの各電極の配置
状況を示す斜視図である。

【図４】 励振電極を脚部の外側に検出電極を脚部の内
側に形成した例を示す斜視図である。

【図５】 音叉型水晶振動子を用いた従来の音叉型角速
度センサの要部を示す図である。

【図６】 音叉型水晶振動子を用いた従来の音叉型角速
度センサの別の例を示す図である。

【符号の説明】

４…音叉型水晶振動子、４−１，４−２…脚部、５（５
−１〜５−３）…第１の励振電極、６（６−１〜６−
３）…第２の励振電極、７（７−１〜７−４）…第１の
検出電極、８（８−１〜８−４）…第２の検出電極、９
（９−１，９−２）…第１のグランド電極、１０（１０
−１，１０−２）…第２のグランド電極、１１（１１−
１，１１−２）…第１のバランス電極、１２（１２−
１，１２−２）…第２のバランス電極。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 音叉型振動子と、この音叉型振動子の脚
   部の少なくとも一方に形成された励振電極および検出電
   極とを備え、前記励振電極に交流電圧を印加することに
   よって前記音叉型振動子を振動させながら、前記検出電
   極に生ずる電圧信号に基づいて前記脚部の伸縮方向の回
   りに作用する回転角速度を検出する音叉型角速度検出セ
   ンサにおいて、 前記励振電極と前記検出電極とが前記脚部の滑動端付近
   を出発点として同一距離内に並置して形成されているこ
   とを特徴とする音叉型角速度検出センサ。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記励振電極と前記
   検出電極との間にグランド電極が形成されていることを
   特徴とする音叉型角速度検出センサ。
3. 【請求項３】 音叉型振動子と、この音叉型振動子の一
   方の脚部に形成された第１の励振電極および第１の検出
   電極と、前記音叉型振動子の他方の脚部に形成された第
   ２の励振電極および第２の検出電極とを備え、前記第１
   および第２の励振電極に交流電圧を印加することによっ
   て前記音叉型振動子を振動させながら、前記第１および
   第２の検出電極に生ずる電圧信号に基づいて前記脚部の
   伸縮方向の回りに作用する回転角速度を検出する音叉型
   角速度検出センサにおいて、 前記第１の励振電極と前記第１の検出電極とが前記一方
   の脚部の滑動端付近を出発点として同一距離内に並置し
   て形成され、 前記第２の励振電極と前記第２の検出電極とが前記他方
   の脚部の滑動端付近を出発点として同一距離内に並置し
   て形成されていることを特徴とする音叉型角速度検出セ
   ンサ。
4. 【請求項４】 請求項３において、前記第１の励振電極
   と前記第１の検出電極との間に第１のグランド電極が形
   成され、前記第２の励振電極と前記第２の検出電極との
   間に第２のグランド電極が形成され、前記第１のグラン
   ド電極が前記一方の脚部の先端部に形成した第１のバラ
   ンス電極に接続され、前記第２のグランド電極が前記他
   方の脚部の先端部に形成した第２のバランス電極に接続
   されていることを特徴とする音叉型角速度検出センサ。
5. 【請求項５】 請求項１又は３において、前記励振電極
   と前記検出電極とが、前記脚部の全長をＬとしたとき、
   前記脚部の滑動端付近を出発点として０．４Ｌ〜０．６
   Ｌの間に並置して形成されていることを特徴とする音叉
   型角速度検出センサ。