JPH10221084A - 振動式角速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 振動方向の微細な調整。振動子の歩留り向
上。振動子を作動しながらの調整を可とする。 【解決手段】 振動子１，これを励振する手段２ａ，２
ｂ、および、振動子１に角速度ω１／ω２が作用したと
きにコリオリ力ｆ１／ｆ２によって発生する振動を検出
する手段３ａ，３ｂを備える振動式角速度センサにおい
て、振動子に貼着した、補正電極４ａ，４ｂ付の圧電体
４ｃ、および、補正電極に誘起する電荷を放電する抵抗
器４ｆ，４ｇ、を更に備えることを特徴とする。又は、
振動子を圧電振動子５とし、これに補正電極４ａ，４ｂ
を付けて、抵抗器４ｆ，４ｇを接続した振動式角速度セ
ンサ（図６）。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は振動式角速度センサ
に関し、特に、振動子の振動方向の調整に関する

【０００２】。

【従来の技術】振動式角速度センサは、振動子の材質，
物性，形状誤差等により、振動方向が、ねらった方向か
らズレることに起因して、角速度検出信号にヌル電圧と
呼ばれる誤差信号が混入し、Ｓ／Ｎ比を悪化させる原因
となっていた。

【０００３】従来は、この振動方向のズレを補正する
為、振動子の一部を切削する（特開平６−２８９０４３
号公報）、または、振動子に接着剤やハンダ等を質量
（錘）として付加する（特開平４−３３２８１４号公
報）、といった方法で振動子の質量分布を調整してい
た。

【０００４】しかし、これらの方法では、振動子の切削
量や付加質量を非常に微少な範囲で調整しなければなら
ず、しかもやり直しが難しく、その結果歩留りが悪くな
る。また、作動しながらの調整が困難で自動化も困難で
あり、コストが高いといった問題点があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、振動方向の
微細な調整が容易な振動式角速度センサを提供すること
を第１の目的とし、振動子の歩留りの悪化がない調整手
段を提供することを第２の目的とし、振動子を作動しな
がらの調整が可能な調整手段を提供することを第３の目
的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、振動子(1)，
該振動子を励振する励振手段(2a,2b)、および、該振動
子(1)に角速度(ω1/ω2)が作用したときにコリオリ力(f
1/f2)によって発生する振動を検出する検出手段(3a,3b)
を備える振動式角速度センサにおいて、前記振動子に貼
着した補正電極(4a,4b)付の圧電体(4c)、および、該補
正電極(4a,4b)に接続されそれに誘起する電荷を放電す
る抵抗器(4f),(4g)、を更に備えることを特徴とする
（図1〜図5,図7〜図10）。

【０００７】なお、理解を容易にするためにカッコ内に
は、図面に示し後述する実施例の対応要素又は対応部位
の記号、もしくは対応実施例を示す図番を、参考までに
付記した。

【０００８】これによれば、振動子(1)の振動によって
圧電体(4c)に電荷が発生しこれが補正電極(4a,4b)を介
して抵抗器(4f),(4g)に放電する。圧電体(4c)は電圧発
生器であると共に容量素子であり、圧電体(4c)と補正電
極(4a,4b)を介してそれに接続された抵抗器(4f),(4g)と
の組合せはＣＲ時定数回路であり、抵抗器(4f),(4g)の
抵抗値が大きいと圧電体(4c)が放電しにくいので圧電体
(4c)は見掛け上硬く、抵抗値が小さいと放電し易いので
軟い。したがって、抵抗器(4f),(4g)の抵抗値によって
圧電体(4c)の補正電極(4a,4b)部の見掛け上の弾性定数
を調整することができる。この圧電体(4c)が振動子(1)
に貼着されているので、その部位の振動子(1)の見掛け
上の弾性定数が、圧電体(4c)の見掛け上の弾性定数によ
って補正されたものとなり、振動子(1)の弾性定数の分
布が変わり、この分布に応じて振動子(1)の振動方向が
変化する。すなわち、圧電体(4c)上の補正電極(4ａ,4b)
に接続した抵抗器(4f),(4g)の抵抗値によって振動子(1)
の振動方向を調整することができる。

【０００９】抵抗値を０〜∞Ωの間で調整しうるので、
微少な振動方向の補正が可能である。また、やり直しも
可能である。抵抗器として可変抵抗器（ポテンショメ−
タ）を用いる態様，最初は抵抗器としてポテンショメ−
タを接続してその抵抗値を最適に調整し、調整を終える
と、ポテンショメ−タの抵抗値と実質上同一の固定抵抗
器を接続するという態様，また、最適抵抗値（推定値）
よりも低い抵抗値の抵抗器(4f),(4g)を接続しておい
て、振動子を振動させて振動方向を測定しながら抵抗器
(4f),(4g)をトリミングして抵抗値を高くして行く調整
態様など、振動子(1)を振動させながらの調整が可能で
あり、調整の自動化も容易である。

【００１０】

【発明の実施の形態】

（２）圧電体の振動子(5)，該振動子(5)に励振電圧を与
える励振電極(6a,6b)、および、該振動子(5)に角速度が
作用したときにコリオリ力によって発生する振動電圧を
検出する検出電極(8a,9a)を備える振動式角速度センサ
において、前記振動子(5)に接合した振動方向調整用の
補正電極(4a,4b)、および、該補正電極(4a,4b)に接続さ
れそれに誘起する電荷を放電する抵抗器(4f,4g)、を更
に備えることを特徴とする(図6)。

【００１１】これによれば、振動子(5)が圧電体である
のでその振動によって補正電極(4a,4b)に電荷が誘起し
て抵抗器(4f),(4g)に放電する。振動子(5)，補正電極(4
a,4b)および抵抗器(4f),(4g)の組合せはＣＲ時定数回路
であり、抵抗器(4f),(4g)の抵抗値が大きいと放電しに
くいので振動子(5)は補正電極(4a,4b)部では見掛け上硬
く、抵抗値が小さいと放電し易いので軟い。したがっ
て、抵抗器(4f),(4g)の抵抗値によって振動子(5)の補正
電極(4a,4b)部の見掛け上の弾性定数を調整することが
できる。この調整に応じて振動子(5)の振動方向が変化
する。すなわち、振動子(5)上の補正電極(4ａ,4b)に接
続した抵抗器(4f),(4g)の抵抗値によって振動子(5)の振
動方向を調整することができる。

【００１２】抵抗値を０〜∞Ωの間で調整しうるので、
微少な振動方向の補正が可能である。また、やり直しも
可能である。抵抗器として可変抵抗器（ポテンショメ−
タ）を用いる態様，最初は抵抗器としてポテンショメ−
タを接続してその抵抗値を最適に調整し、調整を終える
と、ポテンショメ−タの抵抗値と実質上同一の固定抵抗
器を接続するという態様，また、最適抵抗値（推定値）
よりも低い抵抗値の抵抗器(4f),(4g)を接続しておい
て、振動子を振動させて振動方向を測定しながら抵抗器
(4f),(4g)をトリミングして抵抗値を高くして行く調整
態様など、振動子(1)を振動させながらの調整が可能で
あり、調整の自動化も容易である。

【００１３】（３）前記補正電極(4a),(4b)と抵抗器(4
f),(4g)の組合せは複数個であって、補正電極(4a),(4b)
が、前記励振手段(2b,2a)の励振方向ｘと角速度入力軸
ｚに実質上直交する方向ｙに分布する(図1〜図6,図8〜
図10)。これによれば、振動子の振動方向(図2の(b))
を、ｚ軸を中心とする回転方向に微細に調整することが
できる。

【００１４】（４）前記補正電極(4a),(4b),(4A),(4B)
と抵抗器(4f),(4g),(4F),(4G)の組合せは偶数個であっ
て、各２個の補正電極(4aと4A),(4bと4B)が励振方向ｘ
で振動子を間に置いて対向する(図4)。これによれば、
ｚ軸を対称線とする振れ幅の対称性を微細に調整しう
る。また調整範囲が拡大する。

【００１５】（５）前記補正電極(4a),(4b)と抵抗器(4
f),(4g)の組合せは複数個であって、補正電極(4a),(4b)
が前記励振手段の励振方向ｘに分布する(図7)。これに
よれば、振動子(1)の振動方向(図2の(b))を、ｚ軸を中
心とする回転方向に微細に調整することができる。

【００１６】（６）前記補正電極(4a),(4b),(4A),(4B)
と抵抗器(4f),(4g),(4F),(4G)の組合せは偶数個であっ
て、各２個の補正電極(4aと4A),(4bと4B)がｙ方向で振
動子を間に置いて対向する(図7)。これによれば、ｚ軸
を対称線とする振れ幅の対称性を微細に調整しうる。ま
た、ねじれ振動を抑制できる。

【００１７】（７）前記補正電極(4a),(4b),(4A),(4B)
は、振動子の支点(10)と励振中心との間にある(図1,図
3,図4,図7)。これによれば、補正電極(4a),(4b),(4A),
(4B)が支点に近いので、圧電体の弾性定数の変更量に対
する振動子(1)の振動方向の変化量が大きく、調整効果
が高い。

【００１８】本発明の他の目的および特徴は、図面を参
照した以下の実施例の説明より明らかになろう。

【００１９】

【実施例】

−第１実施例− 図１に本発明の第１実施例を示す。エリンバ材からなる
振動子１は、一端が基台１０に固着されている。すなわ
ちこの例では振動子１は片持ちはり式で基台１０で支持
されている。振動子１上に、駆動用銀電極２ａが印刷さ
れた圧電セラミックス２ｂが、エリンバ振動子１のＸ面
（表Ｘ面）に貼り付けられ、検出用の銀電極３ａが印刷
された圧電セラミックス３ｂが、エリンバ振動子１のＹ
面に貼り付けられている。また、フィ−ドバック用の銀
電極１２ａが印刷された圧電セラミックス１２ｂが、圧
電セラミックス２ｂに対向するＸ面（裏Ｘ面）に貼り付
けられている。

【００２０】加えて、振動方向の補正機能は、銀電極４
ａ，４ｂ，圧電セラミックス４ｃ，銅線４ｄ，４ｅ，金
属被膜抵抗器４ｆ，４ｇで構成され、圧電セラミックス
４ｃがエリンバ振動子１のＸ面に貼り付けられている。

【００２１】上記構成の場合、エリンバ振動子１は、基
準電位に接地されており、各圧電セラミックス２ｂ，３
ｂ，４ｃの接地電極及び配線の機能を兼ねている。

【００２２】駆動用の銀電極２ａに交流電圧（励振電
圧）が印加されると、振動子１は、およそｘ方向へ振動
する。この振動により銀電極１２ａに、励振電圧と所定
の位相差がある交流電圧（交流電荷）が誘起し、これが
チャ−ジアンプ１で濾波されてフィ−ドバック信号とな
り、駆動回路のＡＧＣ回路および発振回路に印加され
る。発振回路はフィ−ドバック信号に同期した発振信号
を発生するが、ＡＧＣ回路が、フィ−ドバック信号の振
幅に応じて発振回路のゲインを制御し、発振信号の振幅
を一定値に補正する。発振信号は、移相回路でフィ−ド
バックル−プとの間で発振を生ずるように位相を調整さ
れて励振電圧となり、銀電極２ａに印加される。これに
より、励振電圧の周波数は、振動子１の固有振動数に合
致する共振周波数となり、振動子１が実質上共振周波数
で実質上同一振幅で振動する。

【００２３】ｘ方向に振動している振動子１に、その角
速度入力軸ｚ廻りの角速度ω１（ω２）が加わるとｙ軸
に平行なコリオリ力ｆ１（ｆ２）が発生し、これにより
振動子１の振動周波数（発振周波数）と同一の交流電圧
が銀電極３ａに発生する。この検出電圧は、チャ−ジア
ンプ２で濾波され、そして増幅回路で増幅されて検波回
路に与えられる。検波回路は、検出電圧の発振周波数成
分を摘出して整流し、ロ−パスフィルタＬＰＦで平滑化
（直流変換）して、出力回路に与える。出力回路に与え
られる直流信号のレベルが角速度ω１（ω２）に対応す
る。

【００２４】なお、エリンバ材の振動子１の場合、弾性
率の温度変化が非常に小さく、温度変化による固有振動
数の変化が少いので、フィ−ドバック用の圧電セラミッ
クス１２ｂおよび銀電極１２ａを省略して、フィ−ドバ
ックル−プのない駆動回路を用いてもよいが、この場
合、振動子１の形状のばらつき（製品ごとの寸法誤差）
により固有振動数が駆動回路の励振周波数からずれると
振動効率が低下（振幅が低下）するので、上述のように
フィ−ドバックル−プを備えて、励振周波数を振動子１
の固有振動数に自動的に合せ、しかもＡＧＣ回路を用い
て振幅を一定に制御するのが良い。

【００２５】ところで、振動子１自体の形状がその中心
軸（角速度入力軸ｚ）に関して非対称な場合や、振動子
１の加工時の残留応力等によって振動子１の弾性定数の
分布が非対称な場合には、振動子１に角速度ωが加わっ
ていないときにも振動子１は、ｙ方向にも振動する。図
２の（ａ）には、振動子１が非対称なため、予定した励
振方向（ｘ方向）に対してやや励振方向Ｄoが傾斜した
状態を示す。この場合には、励振方向Ｄoの励振(ベクト
ル)の分力がｙ方向に生ずる。これは角速度が加わった
ときに振動が現われる方向と同じであるので、角速度検
出信号にヌル電圧と呼ばれる誤差信号が混入し、Ｓ／Ｎ
比を悪化させる原因となっていた。

【００２６】第１実施例では、これを補正する為に、圧
電セラミックス４ｃ上の銀電極４ａと４ｂ部のみかけ上
の弾性定数を抵抗器４ｆ，４ｇの値によって変えること
で、すなわち、一方を硬く、他方を軟くすることで、振
動方向を補正するようにした。抵抗器４ｆ，４ｇの抵抗
値を、０Ω（導電体）や∞Ω（開放）とすることによっ
てもある程度の補正は可能であるが、他の値への調整が
不可であるので、電気抵抗器４ｆ，４ｇはある程度の抵
抗値を有するものとするのが好ましい。図２の（ｂ）に
示すように励振方向Ｄoがｘ方向に対してずれていると
きには、銀電極４ｂを接地、または小さい抵抗を接続し
た後、銀電極４ａに接続した金属被膜抵抗器４ｆをトリ
ミングにより順次に高くして行くことにより、銀電極４
ａ直下の圧電セラミックス（４ｃ）の見掛け上の弾性定
数が次第に高くなり、振動方向は励振方向Ｄoから次第
にｘ軸に平行に近づいて行く。

【００２７】また、２つの抵抗器４ｆ，４ｇの抵抗値を
適当に選ぶことで、振動子１のｘ方向の振動の共振周波
数を調整することもできる。例えば、電気抵抗器４ｆ，
４ｇを５ｋΩ，２０ｋΩとした時、弾性定数差がαであ
ったとする。また、５００ｋΩ，２ＭΩとした時も弾性
定数差がαであったとすると、それぞれの場合の振動方
向の補正効果は、およそ同じであることが予測される
が、振動子１のｘ方向の共振周波数は、圧電セラミック
ス４ｃの平均硬さによるので５００ｋΩ，２ＭΩの組合
せの方が高くなる。したがって、抵抗値の組合せによっ
て共振周波数の調整が可能である。

【００２８】−実施例２− 図３は、励振用の圧電セラミックス２ｂを、振動方向調
整用の圧電セラミックス(４ｃ:図1)を一体化したものと
し、その上に励振用の電極２ａおよび弾性定数調整用の
電極４ａ，４ｂを形成したものである。これにより、実
施例１と機能が実質的に同一であるが、部品数が減り、
製造工程が簡略化した。電極２ａ，４ａおよび４ｂの３
者の相対位置は、圧電セラミックス２ｂ上にそれらを印
刷するプリントパタ−ンによって、比較的に高精度に定
まるので、電極２ａの中心点（励振中心点）に対する電
極４ａ，４ｂの中心点（弾性定数調整点）の位置精度も
向上できる。

【００２９】−実施例３− 図４は、振動子１のＸ面の表と裏に振動方向調整用の圧
電セラミックスを取り付けた例である。圧電セラミック
ス４ｃ，電極４ａ，４ｂおよび抵抗器４ｆ，４ｇは、第
１実施例と同様であり、圧電セラミックス４ｃが、振動
子励振用の圧電セラミックス２ｂの取付面（表Ｘ面）に
貼り付けられている。そして圧電セラミックス４ｃに対
向して圧電セラミックス４Ｃが裏Ｘ面に貼り付けられて
おり、この圧電セラミックス４Ｃに銀電極４Ａおよび４
Ｂ（それぞれ４ａ，４ｂに対向）が印刷されている。電
極４Ａは金属被膜抵抗器４Ｆを介して基準電位に接地さ
れており、電極４Ｂは金属被膜抵抗器４Ｇを介して基準
電位に接地されている。

【００３０】圧電セラミックス４ｃ上の銀電極４ａと４
ｂ部のみかけ上の弾性定数を抵抗器４ｆ，４ｇの値によ
って変えることで、振動子１の励振面（表Ｘ面）におい
て励振方向Ｄoを調整することができる。例えば、図２
の（ｂ）に示すように励振方向Ｄoがｘ方向に対してず
れているときには、銀電極４ｂを接地、または小さい抵
抗を接続した後、銀電極４ａに接続した金属被膜抵抗器
４ｆをトリミングにより順次に高くして行くことによ
り、銀電極４ａ直下の圧電セラミックス（４ｃ）の見掛
け上の弾性定数が次第に高くなり、振動方向は励振方向
Ｄoから次第にｘ軸に平行に近づいて行く。圧電セラミ
ックス４Ｃ上の銀電極４Ａと４Ｂ部のみかけ上の弾性定
数を抵抗器４Ｆ，４Ｇの値によって変えることで、振動
子１の励振裏面（裏Ｘ面）において振動方向（Ｄo）を
調整することができる。例えば、図２の（ｂ）に示すよ
うに励振方向Ｄoがｘ方向に対してずれているときに
は、銀電極４ｂを接地、または小さい抵抗を接続した
後、電極４ｂに対向する電極４Ｂに接続した金属被膜抵
抗器４Ｇをトリミングにより順次に高くして行くことに
より、電極４Ｂ直下の圧電セラミックス（４Ｃ）の見掛
け上の弾性定数が次第に高くなり、振動方向は次第にｘ
軸に平行に近づいて行く。片側面（表Ｘ面）のみに振動
方向調整用の圧電セラミックス４ｃを備える場合（第
１，第２実施例）よりも、振動方向の微細な調整が容易
であり、調整範囲も拡大できる。

【００３１】また、抵抗器４ｆ，４ｇのみならず、抵抗
器４Ｆ，４Ｇの抵抗値によって、共振周波数を調整する
ことができ、共振周波数の調整範囲を広げることができ
る。 −実施例４− 図５は、実施例１において、２分割されていた圧電セラ
ミックス４ｃ上の電極（４ｄ，４ｅ）を４分割４ａ１，
４ａ２，４ｂ１，４ｂ２にしたものである。この様に分
割数を４と増やすことにより振動子１の見掛け上のｙ方
向の弾性定数比をさらに微少に調整することができ、振
動方向もさらに微細な調整が可能となる。分割数を６，
８，・・・と更に増やすことも可能である。

【００３２】−実施例５− 図６は、振動子５自体が圧電セラミックスである場合で
あり、振動子５上に直接に振動方向補正用の銀電極４
ａ，４ｂを設けた。振動子５の表，裏Ｘ面には励振用の
銀電極６ａ，６ｂが、表裏Ｙ面にフィ−ドバック用の銀
電極１２ａ１，１２ａ２があり、チャ−ジアンプへ接続
され、基準電位に保持されながらチャ−ジアンプからフ
ィ−ドバック信号が出力される。更に表Ｘ面にはＹ方向
に並んで角速度検出用の銀電極８ａ，９ａがあり、これ
らと対向して裏Ｘ面に、電極８ａ，９ａと対をなす銀電
極８ｂ，９ｂがある。図１および図３に示す実施例と同
様に、表Ｘ面の、振動子５の下端と励振電極６ａとの間
に、ｙ方向にならんで、１対の補正電極４ａ，４ｂがあ
る。

【００３３】励振電極６ａ，６ｂに駆動回路の出力電圧
（励振電圧）を印加することにより、基準電位に保持さ
れた電極７ａ，７ｂとの間に、交番電界が発生しこれに
より振動子５がｘ方向に振動する。この振動によりフィ
−ドバック電極１２ａ１，１２ａ２から、図１に示す実
施例と同様に、チャ−ジアンプ１を介して駆動回路にフ
ィ−ドバックされる。振動子５に角速度ωが作用する
と、ｙ方向のコリオリ力が発生して、電極８ａ，８ｂ間
と９ａ，９ｂ間に電界を生ずる。この実施例では、電界
がそれぞれチャ−ジアンプを介して出力され検出回路に
与えられる。

【００３４】振動方向補正用の電極４ａ，４ｂは、図１
に示す第１実施例と同様に電気配線４ｄ，４ｅおよび電
気抵抗４ｆ，４ｇを通して接地されており、実施例１と
同様の原理により、振動方向の補正効果が得られる。

【００３５】−実施例６− 図７に示す実施例６は、第１実施例と同様に、エリンバ
振動子１の表Ｘ面に励振用の、銀電極２ａ付の圧電セラ
ミックス２ｂを、裏Ｘ面にフィ−ドバック用の、銀電極
１２ａ付の圧電セラミックス１２ｂを、表Ｙ面に検出用
の、銀電極３ａ付の圧電セラミックス３ｂを、それぞれ
貼り付けたものであるが、振動方向補正用の、銀電極４
ａ，４ｂ付の圧電セラミックス４ｃは裏Ｙ面に貼り付
け、更にこれに対向して、銀電極４Ａ，４Ｂ付の圧電セ
ラミックス４Ｃを表Ｙ面に貼り付けたものである。電極
４ａ，４ｂ，４Ａ，４Ｂはそれぞれ抵抗器４ｆ，４ｇ，
４Ｆ，４Ｇで接地されている。これらの抵抗器の抵抗値
の調整により、ｚ軸まわりのねじれ振動をおさえること
が可能となる。

【００３６】以上に説明した実施例１〜６はいずれも片
持ちはり型であるが、振動子１，５が、例えば音叉型，
Ｈ型等，他のどのような形状でも本発明は適応可能であ
る。図８および図９に音叉型およびＨ型の例を示す。

【００３７】図８は、音叉型振動子であり、図１の片持
ちはり型振動子を２つ並べた形であり、同様の動作原理
により、Ｙ方向の振動を補正することができる。図９
は、Ｈ型振動子であり、振動方向補正用の圧電セラミッ
クス４ｃを音叉内側に取り付けた例である。

【００３８】また、振動子１が、導体でない場合も各圧
電セラミックス２ｂ，３ｂ，４ｃと振動子１の間に、接
地電極２ｃ，３ｃ，４ｈを形成し、配線２ｄ，３ｄ，４
ｉにより接地することにより、適応可能である。図１０
に概要を示す。この様に振動子１と圧電セラミックスの
間に接地された電極（導電体）を入れることにより、導
体の振動子と同様の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例１の角速度センサの外観を示
す斜視図であり、振動駆動回路および測定電気回路の概
要構成をブロックで示す。

【図２】 （ａ）は図１の２Ａ−２Ａ線横断面図、
（ｂ）は２Ｂ−２Ｂ線横断面図である。

【図３】 本発明の実施例２の角速度センサの外観を示
す斜視図である。

【図４】 本発明の実施例３の角速度センサの外観を示
す斜視図である。

【図５】 本発明の実施例４の角速度センサの外観を示
す斜視図である。

【図６】 本発明の実施例５の角速度センサの外観を示
す斜視図である。

【図７】 本発明の実施例６の角速度センサの外観を示
す斜視図である。

【図８】 本発明のもう１つの実施例の角速度センサの
外観を示す斜視図である。

【図９】 本発明の更にもう１つの実施例の角速度セン
サの外観を示す斜視図である。

【図１０】 本発明の更にもう１つの実施例の角速度セ
ンサの外観を示す斜視図である。

【符号の説明】

１：振動子 ２a,６a,６b：
励振用の電極 ２b：励振用の圧電セラミックス ３a,８a,８b,
９a,９b：検出用の電極 ３b：検出用の圧電セラミックス ４a,４b,４A,
４B：補正用の電極 ４c,４C：補正用の圧電セラミックス ２d,３d,４d,
４e,４i：銅線 ４f,４f1,４f2,４g,４g1,４g2,４F,４G：抵抗器 ５：圧電体の振動子 １０：基台 １２a,１２a1,１２a2：フィ−ドバック用の電極 １２ｂ：フィ−ドバック用の圧電セラミックス

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】振動子，該振動子を励振する励振手段、お
   よび、該振動子に角速度が作用したときにコリオリ力に
   よって発生する振動を検出する検出手段を備える振動式
   角速度センサにおいて、 前記振動子に貼着した補正電極付の圧電体、および、該
   補正電極に接続されそれに誘起する電荷を放電する抵抗
   器、を更に備えることを特徴とする振動式角速度セン
   サ。
2. 【請求項２】圧電体の振動子，該振動子に励振電圧を与
   える励振電極、および、該振動子に角速度が作用したと
   きにコリオリ力によって発生する振動電圧を検出する検
   出電極を備える振動式角速度センサにおいて、 前記振動子に接合した振動方向調整用の補正電極、およ
   び、該補正電極に接続されそれに誘起する電荷を放電す
   る抵抗器、を更に備えることを特徴とする振動式角速度
   センサ。
3. 【請求項３】前記補正電極と抵抗器の組合せは複数個で
   あって、補正電極が励振方向ｘと角速度入力軸ｚに実質
   上直交する方向ｙに分布する、請求項１又は請求項２記
   載の振動式角速度センサ。
4. 【請求項４】前記補正電極と抵抗器の組合せは偶数個で
   あって、各２個の補正電極が励振方向ｘで振動子を間に
   置いて対向する、請求項１又は請求項２記載の振動式角
   速度センサ。
5. 【請求項５】前記補正電極と抵抗器の組合せは複数個で
   あって、補正電極が励振方向ｘに分布する、請求項１又
   は請求項２記載の振動式角速度センサ。
6. 【請求項６】前記補正電極と抵抗器の組合せは偶数個で
   あって、各２個の補正電極がｙ方向で振動子を間に置い
   て対向する、請求項１又は請求項２記載の振動式角速度
   センサ。
7. 【請求項７】前記補正電極は、振動子の支点と励振点と
   の間にある、請求項１，請求項２，請求項３，請求項
   ４，請求項５又は請求項６記載の振動式角速度センサ。