JPH09282647A - 磁気ディスク及び磁気ディスク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気ディスクの表面上におけるヘッドスライ
ダの浮上量の変動を抑制することができる磁気ディスク
及びその磁気ディスクを備えた磁気ディスク装置を提供
すること。 【解決手段】 浮上型のヘッドスライダに搭載されてい
る磁気ヘッドによりデータ等が再生される磁気ディスク
３であって、表面に形成された凹凸部によりデータ記録
領域と制御信号記録領域に放射状に区分されている磁気
ディスク３にて、前記データ記録領域の凹凸部の比率
を、全凹凸部の比率のうち最も小さい凹凸部の比率で規
格化した値を、１．０〜４．０とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、浮上型のヘッド
スライダに搭載されている磁気ヘッドにより、データや
プログラムが再生される読み出し専用の磁気ディスク及
びその磁気ディスクを備えた磁気ディスク装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】読み出し専用の磁気ディスク装置とし
て、いわゆるプリエンボス型の磁気ディスクが内蔵され
たハードディスク装置がある。この磁気ディスクには、
凹凸部で成るデータ記録領域（以下、データゾーンとい
う）と制御信号記録領域（以下、サーボゾーンという）
とがそれぞれ放射状に形成されている。即ち、データゾ
ーンには、同心円状であって、データ等を記録するため
のデータトラックが凹凸部となるように形成され、隣接
するデータトラックを区分するためのガードバンドが凹
部となるように形成されている。また、サーボゾーンに
は、データトラックを特定するためのグレイコード、サ
ーボクロックを生成する際の基準となるクロックマーク
及び磁気ヘッドをトラッキング制御するためのウォブル
ドマーク等（以下、サーボパターンという）が形成され
ており、このサーボパターンは凸部で形成しても良い
し、凹部で形成しても良い。

【０００３】そして、これらのグレイコード、クロック
マーク及びウォブルドマークのうちの少なくとも１つ
は、磁気ヘッドの回動軌跡に沿って形成され、グレイコ
ード、クロックマーク又はウォブルドマークを再生して
得られる信号に対応して、磁気ヘッドによるデータ等の
再生の動作が制御される。また、磁気ヘッドは、グレイ
コード、クロックマーク又はウォブルドマークを再生し
て得られる信号から、磁気ディスクの偏心に対応する変
化量を計測し、その計測結果に対応して、磁気ヘッドに
よるデータ等の再生の動作が制御される。

【０００４】このような構成の磁気ディスクを内蔵した
ハードディスク装置によれば、データトラックに対して
ガードバンドが物理的な凹部として形成されているの
で、ガードバンドからデータ等が再生されるおそれが少
なくなる。従って、クロストークを軽減するために、ガ
ードバンドの幅を広くする必要が無くなるので、トラッ
クピッチを狭くして記録容量を大きくすることが可能と
なる。さらに、グレイコード、クロックマーク又はウォ
ブルドマークを磁気ヘッドの回動軌跡に沿って凸部によ
り形成するようにしているため、例えば光技術等を利用
するなどして極めて正確な位置にこれらのコード等を配
置することが可能となり、トラックピッチを狭くしても
データ等を正確に再生することが可能となる。また、磁
気ディスクの偏心を計測し、これに対応してデータ等の
再生の動作を制御しているので、筐体内に磁気ディスク
を組み込んだときに取り付け誤差に起因した偏心が発生
したとしても、磁気ヘッドをデータトラックに対して正
確にアクセスさせることが可能となる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述した磁気ディスク
に用いられる浮上型のヘッドスライダは、スペイシング
損失を抑圧するために、極限までに小さくした浮上量、
例えば５０ｎｍで浮上させる必要がある。また、そのと
きの浮上変動量も、出力変動の原因となるため小さくす
る必要がある。

【０００６】ところが、サーボゾーンとデータゾーンと
では、凸部と凹部の比率が異なっている。さらに、デー
タゾーン内でも、読み出し専用であるがために、場所に
よって凸部と凹部の比率が異なっている。ピットの高さ
はテクスチャの高さと同等かそれ以上、また、ピットの
大きさも数μｍ程度であり、テクスチャと同等程度であ
るといえる。このように、サーボゾーンのパターン形状
とデータゾーンのパターン形状とが異なるため、ヘッド
スライダの浮上量がサーボゾーンとデータゾーンとで異
なることになる。さらに、データゾーン内でのパターン
形状も一定でないため、ヘッドスライダの浮上量がデー
タゾーン内で異なることになる。従って、この浮上量の
差異が浮上量の変動を引き起こし、磁気ヘッドによるデ
ータ等の再生を安定に行うことができなくなるという問
題があった。

【０００７】この発明は、以上の点に鑑み、磁気ディス
クの表面上におけるヘッドスライダの浮上量の変動を抑
制することができる磁気ディスク及びその磁気ディスク
を備えた磁気ディスク装置を提供することを目的として
いる。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的は、この発明に
よれば、浮上型のヘッドスライダに搭載されている磁気
ヘッドによりデータ等が再生される磁気ディスクであっ
て、表面に形成された凹凸部によりデータ記録領域と制
御信号記録領域に放射状に区分されている磁気ディスク
において、前記データ記録領域の凹凸部の比率を、全凹
凸部の比率のうち最も小さい凹凸部の比率で規格化した
値を、１．０〜４．０とすることにより達成される。

【０００９】上記構成によれば、ヘッドスライダの浮上
量に直接関係する凹凸部の比率をデータ記録領域におい
て所定の比率にしているので、ヘッドスライダがデータ
記録領域内を移動する際の浮上量の変動を抑制すること
ができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を添付図を参照しながら詳細に説明する。尚、以下に述
べる実施の形態は、この発明の好適な具体例であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、こ
の発明の範囲は、以下の説明において特にこの発明を限
定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるも
のではない。

【００１１】図１は、この発明の磁気ディスク装置の実
施形態であるハードディスク装置の構成例を示す斜視図
である。このハードディスク装置１は、アルミニウム合
金等により形成された筐体２の平面部の裏側にスピンド
ルモータ９が配設されていると共に、このスピンドルモ
ータ９によって角速度一定で回転駆動される磁気ディス
ク３が備えられている。さらに、この筐体２には、アー
ム４が垂直軸４ａの周りに揺動可能に取り付けられてい
る。このアーム４の一端には、ボイスコイル５が取り付
けられ、またこのアーム４の他端には、ヘッドスライダ
６が取り付けられている。筐体２上には、ボイスコイル
５を挟持するように、マグネット７ａ、７ｂが取り付け
られている。ボイスコイル５及びマグネット７ａ、７ｂ
により、ボイスコイルモータ７が形成されている。

【００１２】このような構成において、ボイスコイル５
に外部から電流が供給されると、アーム４は、マグネッ
ト７ａ、７ｂの磁界と、このボイスコイル５に流れる電
流とによって生ずる力に基づいて、垂直軸４ａの周りを
回動する。これにより、アーム４の他端に取り付けられ
たヘッドスライダ６は、図２にて矢印Ｘで示すように、
磁気ディスク３の実質的に半径方向に移動する。従っ
て、このヘッドスライダ６に搭載された磁気ヘッド８
（図３参照）は、磁気ディスク３に対してシーク動作
し、磁気ディスク３の所定のデータトラック等に対して
データ等の再生を行なう。

【００１３】ここで、ヘッドスライダ６は、図３に示す
ように、その下面の両側にエアベアリングサーフェイス
として作用するレール６ａ、６ｂが形成されていると共
に、このレール６ａ、６ｂの空気流入端側にはテーパ部
６ｃ、６ｄが形成されている。これにより、ヘッドスラ
イダ６が、回転する磁気ディスク３の表面に接近したと
き、磁気ディスク３の回転に伴ってレール６ａ、６ｂと
磁気ディスク３の表面との間に流入する空気流により浮
揚力を受ける。この浮揚力によって、ヘッドスライダ６
及び磁気ヘッド８は、図４に示すように、磁気ディスク
３の表面から微小間隔（浮上量）ｄをもって浮上走行す
るようになっている。

【００１４】図５は、図１に示すハードディスク装置の
制御部の構成例を示すブロック図である。この制御部１
０のクロック信号生成部１１は、磁気ヘッド８の再生ヘ
ッド８ａにより再生された信号からクロック信号を生成
し、トラッキングサーボ部１２と再生部１３に出力す
る。トラッキングサーボ部１２は、クロック信号生成部
１１からのクロック信号を参照して、再生ヘッド８ａか
らの信号によりトラッキングエラー信号を生成し、これ
に対応してアーム４を駆動する。これにより、再生ヘッ
ド８ａが、磁気ディスク３の所定の半径位置にトラッキ
ング制御される。再生部１３は、再生ヘッド８ａからの
記録信号を復調し、図示しない回路に出力する。トラッ
キングサーボ部１２は、トラッキングエラー信号をモニ
タし、ハードディスク装置１に大きなショック等が加わ
り、再生ヘッド８ａがデータトラックから離脱したよう
な場合において、再生部１３を制御して再生動作を停止
させる。

【００１５】図６は、この発明の磁気ディスクの実施形
態を示す平面図、図７（Ａ）は半径方向の断面構造図、
同図（Ｂ）は円周方向の断面構造図である。この磁気デ
ィスク３の合成樹脂、ガラス、アルミニウム等より成る
基板３１には、凹凸部で成るデータ記録領域（データゾ
ーン）と制御信号記録領域（サーボゾーン）とがそれぞ
れ放射状に形成され、その表面に磁性膜３２が形成され
ている。即ち、データゾーンには、同心円状であって、
データ等を記録するためのデータトラックＤＴが凹凸部
となるように形成され、隣接するデータトラックＤＴを
区分するためのガードバンドＧＢが凹部となるように形
成されている。また、サーボゾーンには、データトラッ
クＤＴを特定するためのグレイコード、サーボクロック
を生成する際の基準となるクロックマーク及び磁気ヘッ
ド８をトラッキング制御するためのウォブルドマーク等
のサーボパターンＳＰが形成されており、このサーボパ
ターンＳＰは凸部で形成しても良いし、凹部で形成して
も良い。

【００１６】このような磁気ディスク３によれば、磁気
ヘッド８が内周側方向又は外周側方向に移動する場合の
移動軌跡に沿ってサーボゾーンとデータゾーンを形成す
るようにしているので、シーク動作時における等時間間
隔性を保持することができ、クロック生成のためのＰＬ
Ｌ回路のロック外れを抑制することができる。また、ア
ジマス損失を抑制することができる。

【００１７】図８は、図６に示す磁気ディスクのさらに
詳細を示す断面構造図である。基板３１の両面には、例
えば２００ｎｍの段差が形成されており、この基板３１
がガラスで構成されるとき、その厚さは０．６５ｍｍと
され、合成樹脂で構成されるとき、その厚さは１．２ｍ
ｍとされる。さらに、基板３１の両面には、磁性膜３２
が成膜されており、基板３１を合成樹脂で構成したとき
は、最初に基板３１上に例えばＳｉＯ２より成る粒子
（球状シリカ）を１μｍ当たり０．５個以上１００個以
下、好ましくは１０個程度の粒子密度とした粒子層３２
１が形成される。これは、基板３１をガラス、アルミニ
ウムで構成したときは剛性や耐久性をある程度確保する
ことが可能であるが、基板３１を合成樹脂で構成したと
きは必ずしも十分な剛性や耐久性を確保することができ
ないからである。また、基板３１を合成樹脂で構成した
ときは基板３１表面の凹凸が粗いため、磁気ヘッド８を
磁性膜３２に接触しない範囲で近接配置することが困難
となるからである。

【００１８】球状シリカの粒子層３２１の形成方法とし
ては、ディッピング法が用いられる。このときの粒子の
平均径は５０ｎｍ以下、好ましくは８ｎｍ〜１０ｎｍと
する。平均径を８ｎｍとすると、粒子径分布は標準偏差
で４．３ｎｍとなる。粒子密度は濃度と引き上げ速度で
決定されるため、これを管理することにより凹凸の制御
が可能となる。例えば、球状シリカをイソプロピルアル
コールに濃度０．０１重量％となるように分散し、これ
を引き上げ速度１２５ｍｍ／分で基板の表面に塗布す
る。この粒子層３２１の上には、約８０ｎｍの厚さのク
ロム層３２２が形成される。このクロム層３２２は、交
換結合膜として機能し、磁気特性を改善する効果があ
り、特に保磁力を高めることができる。さらに、このク
ロム層３２２の上には、約４０ｎｍの厚さのコバルトク
ロム白金層３２３が形成される。このコバルトクロム白
金層３２３の上には、約１０ｎｍの厚さのＳｉＯ２から
成る保護膜３２４がスピンコートあるいは塗布により形
成される。そして、この保護膜３２４の上には、潤滑剤
３２５が塗布される。このような磁気ディスク３は、そ
の１周が６０セクタに区分され、各セクタは１４セグメ
ントにより構成されている。従って、１周は８４０セグ
メントとなる。各セグメントはサーボゾーンとデータゾ
ーンとに区分される。

【００１９】上述した磁気ディスク３は、光技術を利用
して製造することができ、その製造方法を図９及び図１
０で説明する。先ず、ガラス原盤４１の表面に例えばフ
ォトレジスト４２をコーティングする。このフォトレジ
スト４２がコーティングされたガラス原盤４１をターン
テーブル４３上に載置して回転させ、例えば凹部を形成
するフォトレジスト４２の部分にのみレーザ光４４を照
射してパターンカッティングする。レーザ光４４を照射
した後、フォトレジスト４２を現像してフォトレジスト
４２の露光部分を除去する。フォトレジスト４２の露光
部分が除去されたガラス原盤４１の表面にニッケル４５
をメッキする。そして、このニッケル４５をガラス原盤
４１から剥がしてスタンパ４６とする。

【００２０】次に、スタンパ４６を用いて基板３１を成
形する。そして、基板３１の表面に磁性膜３２をスパッ
タリング等により成膜して磁気ディスク３とする。そし
て、この磁気ディスク３を以下の方法により着磁する。
磁気ディスク３を着磁装置４８にセットし、図１１の矢
印ａで示す方向に回転走行させる。そして、図１１
（Ａ）に示すように、着磁用磁気ヘッド４９に第１の直
流電流を印加しながら、着磁用磁気ヘッド４９を磁気デ
ィスク３上の半径方向にトラックピッチで移動させ、磁
気ディスク３の凸部と凹部の磁性膜３２を全て同一方向
に一旦磁化する。その後、図１１（Ｂ）に示すように、
第１の直流電流とは逆極性で、電流値が第１の直流電流
に比べ小さい第２の直流電流を着磁用磁気ヘッド４９に
印加しながら、着磁用磁気ヘッド４９を磁気ディスク３
上の半径方向にトラックピッチで移動させ、磁気ディス
ク３の凸部の磁性膜３２のみを逆向きに磁化し、データ
等や位置決め信号（ウォブルドマーク、クロックマーク
等）の書き込みを行う。このように、１つの着磁用磁気
ヘッド４９によってデータ等や位置決め信号を書き込む
ことができることから、着磁用磁気ヘッド４９の交換作
業を省略することができ、磁気ディスク３の生産性の向
上を図ることができる。

【００２１】以上説明したような構成の磁気ディスク３
を備えた磁気ディスク装置１において、ヘッドスライダ
６の浮上量を設計する場合には、ヘッドスライダ６を磁
気ディスク装置１に組み込む際の種々の機械精度による
ヘッドスライダ６の浮上量のばらつきを考慮する必要が
ある。例えば、ヘッドスライダ６の浮上量を５０ｎｍと
する場合、以下に示すような、各項目に対するヘッドス
ライダ６の浮上変動量の許容値が一般的に規定されてい
る。即ち、ヘッドスライダ６の加工精度のばらつきに対
しては±１０％、ヘッドスライダ６の荷重のばらつきに
対しては±２０％、Ｚ−ｈｅｉｇｈｔのばらつきに対し
ては±１０％、基板３１のうねりに対しては±１０％、
基板３１のそりに対しては±１０％、シーク時は±１０
％、気圧変動に対しては±１０％、サーボゾーンに対し
ては±１０％、マージンに対しては−５％、グライドハ
イトに対しては３５ｎｍである。

【００２２】ところで、上記各項目のうちヘッドスライ
ダ６の荷重は浮上変動量に対して敏感であるため、その
許容値は他のものに比べて大きく規定されている。とこ
ろが、近年、ヘッドスライダ６に荷重を与えるサスペン
ションの加工技術が向上したため、ヘッドスライダ６の
荷重のばらつきに対するヘッドスライダ６の浮上変動量
の許容値が±１０％に修正されてきている。そして、こ
の修正により、ヘッドスライダ６の浮上変動量の許容値
も±２０％に修正可能である。従って、ヘッドスライダ
６の浮上量を５０ｎｍとする場合には、ヘッドスライダ
６の浮上変動量を２０ｎｍ ｐ−ｐ、望ましくは１０ｎ
ｍ ｐ−ｐとすれば良いことになる。

【００２３】ここで、ヘッドスライダ６の進行方向に対
して平行な凸部と凹部の比率及び凹部の深さと、ヘッド
スライダ６の進行方向に対して垂直な凸部と凹部の比率
及び凹部の深さが等しい場合は、平行な凹凸部を設けた
面上でのヘッドスライダ６の浮上量は、垂直な凹凸部を
設けた面上でのヘッドスライダ６の浮上量と比べて大き
くなる。さらに、ヘッドスライダ６の進行方向に対して
平行な凹凸部と垂直な凹凸部を混合して設けた面上での
ヘッドスライダ６の浮上量は、平行な凹凸部を設けた面
上でのヘッドスライダ６の浮上量と垂直な凹凸部を設け
た面上でのヘッドスライダ６の浮上量の間の値となる。
（”Ａｖｅｒａｇｅｄ Ｒｅｙｎｏｌｄｅ Ｅｑｕａｔ
ｉｏｎ Ｅｘｔｅｎｄｅｄ ｔｏ Ｇａｓ Ｌｕｂｒｉ
ｃａｔｉｏｎ Ｐｏｓｓｅｓｓｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅ
Ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ｉｎ ｔｈｅ Ｓｌｉｐ Ｆｌ
ｏｗ Ｒｅｇｉｍｅ：Ａｐｐｒｏｘｉｍａｔｅ Ｍｅｔ
ｈｏｄ ａｎｄ Ｃｏｎｆｉｒｍａｔｉｏｎ Ｅｘｐｅ
ｒｉｍｅｎｔｓ”ＡＳＭＥＪｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｔｒ
ｉｂｏｌｏｇｙ，ｖｏｌ．１１１，１９８９，ｐｐ．４
９５−５０３，Ｍｉｔｓｕｙａ ｅｔｃ．参照）。

【００２４】上述した磁気ディスク３のデータゾーンの
データトラックＤＴとガードバンドＧＢは、ヘッドスラ
イダ６の進行方向に対して平行な凹凸部と同様のもので
あるが、サーボゾーンのサーボパターンＳＰは、ヘッド
スライダ６の進行方向に対して平行な凹凸部と垂直な凹
凸部が混合されたものである。従って、データゾーンの
データトラックＤＴとガードバンドＧＢの比率、即ち凸
部と凹部の比率及びガードバンドＧＢの深さ、即ち凹部
の深さと、サーボゾーンのサーボパターンＳＰの比率及
び深さ、即ち凸部と凹部の比率及び凹部の深さが等しい
場合は、データゾーン上でのヘッドスライダ６の浮上量
は、サーボゾーン上でのヘッドスライダ６の浮上量と比
べて大きくなる。また、磁気ディスク３のデータゾーン
のデータトラックＤＴは、ヘッドスライダ６の進行方向
に対して平行な凹凸部と垂直な凹凸部が混合されたもの
である。従って、データゾーンのデータトラックＤＴの
異なる場所における比率、即ち凸部と凹部の比率が異な
る場合は、各場所上でのヘッドスライダ６の浮上量は変
動する。

【００２５】そこで、サーボゾーンの凸部と凹部の比率
をデータゾーンの凸部と凹部の比率に近づける。即ち、
サーボゾーン内にヘッドスライダ６の進行方向に対して
平行な凹部をできるだけ多く設けることにより、サーボ
ゾーン上でのヘッドスライダ６の浮上量を、データゾー
ン上でのヘッドスライダ６の浮上量に近づけて、ヘッド
スライダ６がサーボゾーンを通過する際の浮上量の変動
を抑制することが可能である。但し、サーボゾーン内に
ヘッドスライダ６の進行方向に対して平行な凹部を設け
るにあたり、凹部からはサーボ信号が再生されないこと
を考慮すると、サーボ信号処理回路に依存するものの、
一般的にはトラック幅との比率からサーボ能力は著しく
低下する。従って、サーボゾーン内に設けるヘッドスラ
イダ６の進行方向に対して平行な凹部の幅とトラック幅
との比率に注意する必要がある。

【００２６】さらに、データゾーンの凹部の深さが同一
であるときは、データトラックＤＴの異なる場所におけ
る凸部と凹部の比率を等しくすることにより、各場所上
でのヘッドスライダ６の浮上量を等しくすることが可能
である。尚、上述した凸部と凹部の比率は、ヘッドスラ
イダ６のレール幅における凸部の面積とヘッドスライダ
６のレール幅における凹部の面積との比率に等しい。

【００２７】そこで、ヘッドスライダ６の浮上変動量
と、データゾーンの凸部と凹部の比率との関係について
調べた。ここで、測定用のディスクは、ガラス製であっ
て、実際の磁気ディスク３と同様にデータゾーンとサー
ボゾーンが設けられている。このガラスディスクに対す
るデータゾーンとサーボゾーンのパターンは、実際の磁
気ディスク３と同様の方法で磁気ディスク３の半径１
５．５ｍｍ〜３５．０ｍｍの間で形成した。先ず、ガラ
スディスク表面にレジストを塗布し、このレジスト上に
カッティングデータを基にデータゾーンとサーボゾーン
のパターンを露光する。そして、この露光後、例えばＲ
ＩＥ（反応性イオンエッチング）により現像をしてデー
タゾーンとサーボゾーンのパターンを形成する。

【００２８】データゾーンはガラスディスクの円周方向
に８つの領域にサーボゾーンを挟んで分割されており、
各領域ではヘッドスライダ６のレール幅における凸部の
面積とヘッドスライダ６のレール幅における凹部の面積
との比率が以下のように異なっている。データゾーンの
凹部の深さは２００ｎｍである。 領域Ｎｏ． 凸部の面積と凹部の面積との比率 １ ０．５ ２ ２．０ ３ ３．０ ４ ４．０ ５ ５．０ ６ ８．０ ７ １０．０ ８ ２０．０

【００２９】サーボゾーンは、実際のサーボゾーンのよ
うに内周から外周に向かって直線状に形成されているの
ではなく、ヘッドスライダ６のシーク軌跡に沿った曲線
状に形成されている。そして、サーボゾーンの凹部の深
さは２００ｎｍである。また、ヘッドスライダは一般的
な２本レールのテーパフラットの５０％ナノスライダで
あり、スライダ長は２．０ｍｍ、スライダ幅は１．６ｍ
ｍ、レール幅は２００μｍ、荷重は３．５ｇｆである。
このようなヘッドスライダを磁気ディスクの半径３０．
２ｍｍに位置させ、磁気ディスクを４０００ｒｐｍで回
転させたときのヘッドスライダと磁気ディスクの相対速
度は７．０ｍ／ｓとなり、ヘッドスライダの浮上量は約
５０ｎｍ程度となる。

【００３０】図１２は、ヘッドスライダ６の浮上量と、
データゾーンでのヘッドスライダ６のレール幅における
凸部の面積とヘッドスライダ６のレール幅における凹部
の面積との比率との関係を示す図である。レーザバイブ
ロメータを用いて測定しており、同図からも明らかなよ
うに、上記凹凸部の比率が大きくなるとヘッドスライダ
６の浮上量も大きくなり、実験範囲内ではヘッドスライ
ダ６の浮上量と凹凸部の比率は略比例している。

【００３１】また、磁気ディスク３の信号処理におい
て、信号の直流成分を略０としてその変動を抑えるため
に、データトラックＤＴは０又は１があまり長く続かな
いように形成されている。これにより、データトラック
ＤＴにおける凸部と凹部の比率は略１．０となる。従っ
て、データゾーンにおける凸部と凹部の比率は、データ
トラックＤＴにおける凸部と凹部の比率１．０に、デー
タトラックＤＴである凸部とガードバンドＧＢである凹
部の比率を乗じたものになる。このことを考慮すると、
上記ガラスディスクのデータゾーンにおける凸部と凹部
の比率は、実際の磁気ディスク３のデータゾーンにおけ
る凸部と凹部の比率を含んでいると考えられる。

【００３２】上述したように、ヘッドスライダ６の浮上
変動量は、ヘッドスライダ６の浮上量が５０ｎｍの場
合、２０ｎｍ ｐ−ｐ、望ましくは１０ｎｍ ｐ−ｐで
あれば良いので、上記凹凸部の比率を磁気ディスク３上
で最も小さい凸部と凹部の比率で規格化したとき、その
値を１．００〜４．００とすれば良い。尚、上記実験で
は、データゾーンの凸部と凹部の比率を変化させたが、
データゾーンやサーボゾーンといったゾーンの種類には
影響されずに同様の結果となる。

【００３３】

【発明の効果】以上述べたように、この発明によれば、
磁気ディスク上における磁気ヘッドの浮上量の変動を抑
制することができるので、磁気ヘッドによるデータ等の
再生を安定に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の磁気ディスク装置の実施形態である
ハードディスク装置の構成例を示す斜視図。

【図２】図１に示すハードディスク装置のヘッドスライ
ダの動作例を示す斜視図。

【図３】図１に示すハードディスク装置のヘッドスライ
ダの詳細例を示す斜視図。

【図４】図１に示すハードディスク装置のヘッドスライ
ダの動作例を示す側面図。

【図５】図１に示すハードディスク装置の制御部の構成
例を示すブロック図。

【図６】この発明の磁気ディスクの実施形態を示す平面
図。

【図７】図６に示す磁気ディスクの半径方向の断面構造
図及び円周方向の断面構造図。

【図８】図６に示す磁気ディスクのさらに詳細を示す断
面構造図。

【図９】図６に示す磁気ディスクの製造方法を説明する
ための第１の図。

【図１０】図６に示す磁気ディスクの製造方法を説明す
るための第２の図。

【図１１】図６に示す磁気ディスクの製造方法を説明す
るための第３の図。

【図１２】図１のハードディスク装置のヘッドスライダ
の浮上量と、データゾーンの凹凸部の比率との関係を示
す図。

【符号の説明】

１・・・ハードディスク装置、２・・・筐体、３・・・
磁気ディスク、４・・・アーム、４ａ・・・垂直軸、５
・・・ボイスコイル、６・・・ヘッドスライダ、６ａ・
・・レール、６ｂ・・・レール、６ｃ・・・テーパ部、
６ｄ・・・テーパ部、７・・・ボイスコイルモータ、７
ａ・・・マグネット、７ｂ・・・マグネット、８・・・
磁気ヘッド、９・・・モータ、１０・・・制御部、１１
・・・クロック信号生成部、１２・・・トラッキングサ
ーボ部、１３・・・再生部、３１・・・基板、３２・・
・磁性膜、４１・・・ガラス原盤、４２・・・フォトレ
ジスト、４３・・・ターンテーブル、４４・・・レーザ
光、４５・・・ニッケル、４６・・・スタンパ、４７・
・・着磁装置、４８・・・着磁用磁気ヘッド

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 浮上型のヘッドスライダに搭載されてい
   る磁気ヘッドによりデータ等が再生される磁気ディスク
   であって、表面に形成された凹凸部によりデータ記録領
   域と制御信号記録領域に放射状に区分されている磁気デ
   ィスクにおいて、 前記データ記録領域の凹凸部の比率を、全凹凸部の比率
   のうち最も小さい凹凸部の比率で規格化した値が、１．
   ０〜４．０であることを特徴とする磁気ディスク。
2. 【請求項２】 前記データ記録領域の凹凸部の比率が、
   前記ヘッドスライダの前記磁気ディスク表面への投影面
   積内における凸部の面積／前記ヘッドスライダの前記磁
   気ディスク表面への投影面積内における凹部の面積であ
   る請求項１に記載の磁気ディスク。
3. 【請求項３】 表面に形成された凹凸部によりデータ記
   録領域と制御信号記録領域に放射状に区分されている磁
   気ディスクと、 前記磁気ディスクの表面上で浮上して前記磁気ディスク
   の半径方向へ移動するヘッドスライダと、 前記ヘッドスライダに搭載され、前記磁気ディスクに対
   してデータ等を再生する磁気ヘッドとを備えた磁気ディ
   スク装置において、 前記データ記録領域の凹凸部の比率を、全凹凸部の比率
   のうち最も小さい凹凸部の比率で規格化した値が、１．
   ０〜４．０であることを特徴とする磁気ディスク装置。
4. 【請求項４】 前記データ記録領域の凹凸部の比率が、
   前記ヘッドスライダの前記磁気ディスク表面への投影面
   積内における凸部の面積／前記ヘッドスライダの前記磁
   気ディスク表面への投影面積内における凹部の面積であ
   る請求項３に記載の磁気ディスク装置。