JPH09283586A - 受光装置及び受光方法 - Google Patents
受光装置及び受光方法Info
- Publication number
- JPH09283586A JPH09283586A JP8098130A JP9813096A JPH09283586A JP H09283586 A JPH09283586 A JP H09283586A JP 8098130 A JP8098130 A JP 8098130A JP 9813096 A JP9813096 A JP 9813096A JP H09283586 A JPH09283586 A JP H09283586A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- metal probe
- receiving
- optical fiber
- self
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】電光変換材料に金属プローブにより通電し、発
光スペクトルを評価する際、金属プローブと発光する光
を受光する受光部との位置合わせが不要な、受光装置と
受光方法を提供することにある。 【解決手段】金属プローブ５と、ウエハ状の電光変換材
料２から発光する光を受光するための、自己収束型レン
ズ付光ファイバ３を接続治具７を介して一体化したこと
にある。
光スペクトルを評価する際、金属プローブと発光する光
を受光する受光部との位置合わせが不要な、受光装置と
受光方法を提供することにある。 【解決手段】金属プローブ５と、ウエハ状の電光変換材
料２から発光する光を受光するための、自己収束型レン
ズ付光ファイバ３を接続治具７を介して一体化したこと
にある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は受光装置、特に電光
変換材料に通電して、該電光変換材料から発光する光を
受光する受光装置及び受光方法に関するものである。
変換材料に通電して、該電光変換材料から発光する光を
受光する受光装置及び受光方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電光変換素子である発光ダイオード（Li
ght Emitting Diode）、略してＬＥＤは各種の計測シス
テムや通信システムに広く使用されている。このＬＥＤ
は半導体材料からチップ化されて作製される。チップ化
される前は、板状のウエハであり、このウエハの状態で
発光特性が評価される。低価格で、高信頼性のＬＥＤを
得るためには、この段階での発光特性の評価が重要であ
る。
ght Emitting Diode）、略してＬＥＤは各種の計測シス
テムや通信システムに広く使用されている。このＬＥＤ
は半導体材料からチップ化されて作製される。チップ化
される前は、板状のウエハであり、このウエハの状態で
発光特性が評価される。低価格で、高信頼性のＬＥＤを
得るためには、この段階での発光特性の評価が重要であ
る。
【０００３】図２は、従来技術の発光特性の評価方法、
特に電光変換材料に通電して特定の部分を発光させ、そ
の発光した光を受光する装置と方法を示す。電光変換材
料はウエハの状態になっている。このウエハ２をステー
ジ１に載せる。そして金属プローブ５で通電して特定の
部分を発光させる。つまり、金属プローブ５とステージ
１との間に電圧が印加され、金属プローブ５の先端がウ
エハ２と接触する部分が発光する。自己収束型レンズ付
光ファイバ３は、発光する光の一部を受光し、発光スペ
クトルを評価する計測装置６へ導くものである。発光す
る光の全電力は光電セル４で測定される。
特に電光変換材料に通電して特定の部分を発光させ、そ
の発光した光を受光する装置と方法を示す。電光変換材
料はウエハの状態になっている。このウエハ２をステー
ジ１に載せる。そして金属プローブ５で通電して特定の
部分を発光させる。つまり、金属プローブ５とステージ
１との間に電圧が印加され、金属プローブ５の先端がウ
エハ２と接触する部分が発光する。自己収束型レンズ付
光ファイバ３は、発光する光の一部を受光し、発光スペ
クトルを評価する計測装置６へ導くものである。発光す
る光の全電力は光電セル４で測定される。
【０００４】発光特性を良好に評価する上で、ウエハ２
に対して金属プローブ５、光電セル４、自己収束型レン
ズ付光ファイバ３の位置関係は重要である。金属プロー
ブ５により通電して特定の部分を発光させるが、発光さ
れる全ての光を受けるように光電セル４が近接される。
つまり、光電セル４の中心と発光部分をほぼ一致させ
て、間隔が約５mmとなるように近接する。このようにし
て、発光電力を測定する。
に対して金属プローブ５、光電セル４、自己収束型レン
ズ付光ファイバ３の位置関係は重要である。金属プロー
ブ５により通電して特定の部分を発光させるが、発光さ
れる全ての光を受けるように光電セル４が近接される。
つまり、光電セル４の中心と発光部分をほぼ一致させ
て、間隔が約５mmとなるように近接する。このようにし
て、発光電力を測定する。
【０００５】発光部分と自己収束型レンズ付光ファイバ
３の位置関係は、使用する自己収束型レンズの焦点距離
の位置に発光部分が来るように調整する。そのようにし
て、発光する光の一部を受光し、その光を光ファイバに
て計測装置６へ導き、発光スペクトルを計測する。な
お、光ファイバは効率良く光を伝送するものであれば、
種類は問わない。通常、太径の多モード光ファイバや多
モード光ファイバを束にしたバンドル光ファイバが用い
られる。
３の位置関係は、使用する自己収束型レンズの焦点距離
の位置に発光部分が来るように調整する。そのようにし
て、発光する光の一部を受光し、その光を光ファイバに
て計測装置６へ導き、発光スペクトルを計測する。な
お、光ファイバは効率良く光を伝送するものであれば、
種類は問わない。通常、太径の多モード光ファイバや多
モード光ファイバを束にしたバンドル光ファイバが用い
られる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ウエハ２の発光部分と
光電セル４の位置合わせは、光電セル４の受光面積が比
較的大きいため特に問題とはならない。しかし、発光部
分と自己収束型レンズ付光ファイバ３の位置合わせは、
自己収束型レンズの径が約１mmと小さいこと、そして焦
点距離は数mmと短いことから、非常に時間がかり、熟練
を要する作業となっている。
光電セル４の位置合わせは、光電セル４の受光面積が比
較的大きいため特に問題とはならない。しかし、発光部
分と自己収束型レンズ付光ファイバ３の位置合わせは、
自己収束型レンズの径が約１mmと小さいこと、そして焦
点距離は数mmと短いことから、非常に時間がかり、熟練
を要する作業となっている。
【０００７】更に、自己収束型レンズの焦点距離とこの
レンズから発光部分までの距離が合わないと、発光する
光の一部分を効率良く光ファイバに取り入れることがで
きない。焦点距離の位置に発光部分を合わせるのに許容
されるずれ幅は、通常数百μｍであり、そのため位置合
わせが非常に難しくなっている。
レンズから発光部分までの距離が合わないと、発光する
光の一部分を効率良く光ファイバに取り入れることがで
きない。焦点距離の位置に発光部分を合わせるのに許容
されるずれ幅は、通常数百μｍであり、そのため位置合
わせが非常に難しくなっている。
【０００８】以上に説明したように、発光部分と自己収
束型レンズ付光ファイバ３との位置合わせに時間がかか
るため、結果として製品化されたＬＥＤのコストが高い
という問題もあった。なお、発光部分は金属プローブ５
によって決まるため、発光部分と自己収束型レンズ付光
ファイバ３の位置合わせという表現は、金属プローブ５
と自己収束型レンズ付光ファイバ３の位置合わせと言い
換えることができる。従って、本発明の目的は、前記し
た従来技術の問題点を解決し、金属プローブ５と自己収
束型レンズ付光ファイバ３の位置合わせを無くした、発
光部分からの光を受光する装置及び受光方法を提供する
ことにある。
束型レンズ付光ファイバ３との位置合わせに時間がかか
るため、結果として製品化されたＬＥＤのコストが高い
という問題もあった。なお、発光部分は金属プローブ５
によって決まるため、発光部分と自己収束型レンズ付光
ファイバ３の位置合わせという表現は、金属プローブ５
と自己収束型レンズ付光ファイバ３の位置合わせと言い
換えることができる。従って、本発明の目的は、前記し
た従来技術の問題点を解決し、金属プローブ５と自己収
束型レンズ付光ファイバ３の位置合わせを無くした、発
光部分からの光を受光する装置及び受光方法を提供する
ことにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を実
現するため、電光変換材料から発光する光を受光するた
めの受光部が、前記電光変換材料に通電するための金属
プローブと一体であることを特徴とする受光装置を用い
て、電光変換材料から発光する光を受光する方法を採用
した。
現するため、電光変換材料から発光する光を受光するた
めの受光部が、前記電光変換材料に通電するための金属
プローブと一体であることを特徴とする受光装置を用い
て、電光変換材料から発光する光を受光する方法を採用
した。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１に本発明の実施例を示す。評
価すべき電光変換材料はウエハ状であり、このウエハ２
はステージ１に載せられている。通電は金属プローブ５
を通して行われる。つまり、ウエハは金属プローブ５と
ステージ１により電圧が印加される。この金属プローブ
５には、自己収束型レンズ付光ファイバ３が接続治具７
を介して取り付けられており、金属プローブ５と自己収
束型レンズ付光ファイバ３は一体化されている。
価すべき電光変換材料はウエハ状であり、このウエハ２
はステージ１に載せられている。通電は金属プローブ５
を通して行われる。つまり、ウエハは金属プローブ５と
ステージ１により電圧が印加される。この金属プローブ
５には、自己収束型レンズ付光ファイバ３が接続治具７
を介して取り付けられており、金属プローブ５と自己収
束型レンズ付光ファイバ３は一体化されている。
【００１１】金属プローブ５の先端がウエハ２に接触し
た部分が発光する。自己収束型レンズの焦点は、ちょう
どこの金属プローブ５の先端に合っている。従って、金
属プローブ５がウエハ２上のどこへ移動しても、自己収
束型レンズの焦点は発光する部分に一致しており、これ
までの金属プローブ５と自己収束型レンズ付光ファイバ
３との位置合わせは不要である。
た部分が発光する。自己収束型レンズの焦点は、ちょう
どこの金属プローブ５の先端に合っている。従って、金
属プローブ５がウエハ２上のどこへ移動しても、自己収
束型レンズの焦点は発光する部分に一致しており、これ
までの金属プローブ５と自己収束型レンズ付光ファイバ
３との位置合わせは不要である。
【００１２】このようにして、発光する光の一部分は常
に効率良く光ファイバに取り込まれて計測装置６に導か
れ、発光スペクトルが計測される。また、発光する光電
力は従来技術と同様に、光電セル４により計測される。
に効率良く光ファイバに取り込まれて計測装置６に導か
れ、発光スペクトルが計測される。また、発光する光電
力は従来技術と同様に、光電セル４により計測される。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、電光変換材料から発光
する光を受光するための自己収束型レンズ付光ファイバ
が、電光変換材料に通電するための金属プローブと一体
である受光装置が提供され、電光変換材料に通電するた
めの金属プローブと一体である自己収束型レンズ付光フ
ァイバを用いて、電光変換材料から発光する光を受光す
る方法を用いるため、金属プローブと自己収束型レンズ
付光ファイバとの位置は不要となり、計測時間が大幅に
短縮され、そして簡略化される。
する光を受光するための自己収束型レンズ付光ファイバ
が、電光変換材料に通電するための金属プローブと一体
である受光装置が提供され、電光変換材料に通電するた
めの金属プローブと一体である自己収束型レンズ付光フ
ァイバを用いて、電光変換材料から発光する光を受光す
る方法を用いるため、金属プローブと自己収束型レンズ
付光ファイバとの位置は不要となり、計測時間が大幅に
短縮され、そして簡略化される。
【００１４】従って、製品化されるＬＥＤの低コスト化
も促進し、工業上有用である。
も促進し、工業上有用である。
【図１】本発明に係わる一実施例を示す説明図である。
【図２】従来技術に係わり、電光変換材料の発光特性評
価装置の構成図である。
価装置の構成図である。
１ ステージ ２ 電光変換材料 ３ 自己収束型レンズ付光ファイバ ４ 光電セル ５ 金属プローブ ６ 計測装置 ７ 接続治具
Claims (2)
- 【請求項１】電光変換材料から発光する光を受光するた
めの受光部が、前記電光変換材料に通電するための金属
プローブと一体であることを特徴とする受光装置。 - 【請求項２】電光変換材料に通電するための金属プロー
ブと一体である受光部を用いて、前記電光変換材料から
発光する光を受光する受光方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8098130A JPH09283586A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | 受光装置及び受光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8098130A JPH09283586A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | 受光装置及び受光方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09283586A true JPH09283586A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=14211684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8098130A Pending JPH09283586A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | 受光装置及び受光方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09283586A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258774A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Fujitsu Ltd | ４探針プローブヘッドおよび半導体特性の評価方法 |
| JP2008283089A (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Denso Corp | 検査装置 |
| CN102686990A (zh) * | 2010-11-30 | 2012-09-19 | 日本先锋公司 | 发光元件用光接收模块及发光元件用检查装置 |
-
1996
- 1996-04-19 JP JP8098130A patent/JPH09283586A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258774A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Fujitsu Ltd | ４探針プローブヘッドおよび半導体特性の評価方法 |
| JP2008283089A (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Denso Corp | 検査装置 |
| CN102686990A (zh) * | 2010-11-30 | 2012-09-19 | 日本先锋公司 | 发光元件用光接收模块及发光元件用检查装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4647331A (en) | Method for assembling an electro-optical device | |
| US4677290A (en) | Method of aligning an optical fiber with a light emitter via directing light toward light emitter acting as a detector | |
| JP2004020851A (ja) | 光モジュール | |
| US6084667A (en) | System and method for molecular sample measurement | |
| US6307197B1 (en) | Optoelectronic component and method for calibrating an optoelectronic component | |
| JPS60235480A (ja) | オプトエレクトロニツクパツケージ用ホツトアラインメント組立法 | |
| JPS6122282B2 (ja) | ||
| KR102821505B1 (ko) | 온도 측정 센서, 온도 측정 시스템, 및 온도 측정 방법 | |
| JP4920473B2 (ja) | 光部品実装方法及び装置 | |
| JPH0685322A (ja) | 光電子デバイスの作製方法 | |
| JPH09283586A (ja) | 受光装置及び受光方法 | |
| JP4064358B2 (ja) | 光学素子の能動的整合用装置及び方法 | |
| US4728187A (en) | Method for the reciprocal positioning of an optical fiber and a semiconductor laser and a positioning apparatus using this method | |
| GB2229856A (en) | Electro-optic transducer and sheet-metal microlens holder | |
| US6857554B2 (en) | Method and device for determining the vectorial distance between the capillary and the image recognition system of a wire bonder | |
| US20040258110A1 (en) | Packaging and passive alignment of microlens and molded receptacle | |
| JP2000156510A (ja) | 光半導体素子および光半導体素子の製造方法ならびに光電子装置 | |
| JP2003156655A (ja) | 平面光デバイスの導波路を通る光を結合させるシステムおよび方法 | |
| JPH09113411A (ja) | 受光装置 | |
| JPS6326545A (ja) | 光半導体素子の特性検査光学装置 | |
| EP0782024A2 (en) | Method for positioning optical subassembly for testing | |
| JPS62165991A (ja) | 半導体レ−ザ素子検査装置 | |
| JPS5885579A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
| JPH07270649A (ja) | 光半導体モジュールの光軸調整方法 | |
| JPH04350604A (ja) | 光通信用ファイバモジュ−ルの光軸合せ方法 |