JPH0929608A - ワイヤソーのワイヤリール駆動構造 - Google Patents
ワイヤソーのワイヤリール駆動構造Info
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- JPH0929608A JPH0929608A JP18922095A JP18922095A JPH0929608A JP H0929608 A JPH0929608 A JP H0929608A JP 18922095 A JP18922095 A JP 18922095A JP 18922095 A JP18922095 A JP 18922095A JP H0929608 A JPH0929608 A JP H0929608A
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- motor
- wire reel
- reel
- outer rotor
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H54/00—Winding, coiling, or depositing filamentary material
- B65H54/70—Other constructional features of yarn-winding machines
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2701/00—Handled material; Storage means
- B65H2701/30—Handled filamentary material
- B65H2701/35—Ropes, lines
- B65H2701/354—Cutting lines, e.g. for grass cutting
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ワイヤソーの駆動部のコンパクト化及びスルー
プットの向上。 【解決手段】ワイヤリール１２を中空状に形成し、アウ
ターロータ型のモータ２８に嵌入して、そのモータ２８
のアウターロータ部であるハウジング７４に固定する。
これにより、ワイヤリール１２はモータ２８に直結さ
れ、ダイレクトに駆動される。従って、加減速時間を短
縮することができ、スループットの向上が図れる。ま
た、モータ２８は、ワイヤリール１２内に嵌入されるた
め、駆動部をコンパクト化することができる。
プットの向上。 【解決手段】ワイヤリール１２を中空状に形成し、アウ
ターロータ型のモータ２８に嵌入して、そのモータ２８
のアウターロータ部であるハウジング７４に固定する。
これにより、ワイヤリール１２はモータ２８に直結さ
れ、ダイレクトに駆動される。従って、加減速時間を短
縮することができ、スループットの向上が図れる。ま
た、モータ２８は、ワイヤリール１２内に嵌入されるた
め、駆動部をコンパクト化することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのワイヤ
リール駆動構造に係り、特に円柱状の半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤ
で多数のウェーハに切断するワイヤソーのワイヤリール
駆動構造に関する。
リール駆動構造に係り、特に円柱状の半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤ
で多数のウェーハに切断するワイヤソーのワイヤリール
駆動構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーは、一対のワイヤリール間を
走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きかけて形成し
たワイヤ列に、砥粒を含む加工液を供給しながら被加工
物を押し当てることにより、被加工物を多数のウェーハ
に切断する。このワイヤソーのワイヤリールは、モータ
の回転力をベルトを介して伝達することにより駆動して
いる。
走行するワイヤを複数の溝付ローラに巻きかけて形成し
たワイヤ列に、砥粒を含む加工液を供給しながら被加工
物を押し当てることにより、被加工物を多数のウェーハ
に切断する。このワイヤソーのワイヤリールは、モータ
の回転力をベルトを介して伝達することにより駆動して
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記ワイヤ
ソーで被加工物を切断する場合、その切断方法にはワイ
ヤを一方向のみに走行させて被加工物を切断する一方向
送りと、ワイヤを往復走行させて被加工物を切断する双
方向送りがある。このうち、双方向送りの場合、ワイヤ
リールは短時間（１秒〜６秒）で加速と減速とを繰り返
さなければならないため、ワイヤリールのイナーシャに
より大きな加速トルクを必要とする。
ソーで被加工物を切断する場合、その切断方法にはワイ
ヤを一方向のみに走行させて被加工物を切断する一方向
送りと、ワイヤを往復走行させて被加工物を切断する双
方向送りがある。このうち、双方向送りの場合、ワイヤ
リールは短時間（１秒〜６秒）で加速と減速とを繰り返
さなければならないため、ワイヤリールのイナーシャに
より大きな加速トルクを必要とする。
【０００４】また、近年、ウェーハは８インチ、１２イ
ンチと大口径化しているため、ワイヤソーのワイヤも長
くならざるを得なく、１００ｋｇを越える大重量のワイ
ヤリールも使用されている。しかしながら、従来のベル
トドライブ方式による駆動で大重量のワイヤリールを駆
動しようとすれば、ワイヤリールの駆動にはイナーシャ
の大きなモータを必要とするため、必然的に寸法の大き
いモータを使用しなければならず、駆動部が大型化する
という問題がある。また、加減速トルクが大きいとベル
トの破損等が考えられるため、加減速時間を短縮できな
い等の問題もある。
ンチと大口径化しているため、ワイヤソーのワイヤも長
くならざるを得なく、１００ｋｇを越える大重量のワイ
ヤリールも使用されている。しかしながら、従来のベル
トドライブ方式による駆動で大重量のワイヤリールを駆
動しようとすれば、ワイヤリールの駆動にはイナーシャ
の大きなモータを必要とするため、必然的に寸法の大き
いモータを使用しなければならず、駆動部が大型化する
という問題がある。また、加減速トルクが大きいとベル
トの破損等が考えられるため、加減速時間を短縮できな
い等の問題もある。
【０００５】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、駆動部をコンパクト化することができるとと
もに、スループットを向上することができるワイヤソー
のワイヤリール駆動構造を提供することを目的とする。
たもので、駆動部をコンパクト化することができるとと
もに、スループットを向上することができるワイヤソー
のワイヤリール駆動構造を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、一対のワイヤリール間を走行するワイヤを
複数個の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該
ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給しながら被加工物を
押し当ることにより該被加工物を多数のウェーハに切断
するワイヤソーにおいて、前記ワイヤリールを中空状に
形成し、回転駆動されるアウターロータ部をその外周部
に備えたアウターロータ型モータを前記ワイヤリール内
に嵌入するとともに、前記アウターロータ型モータのア
ウターロータ部を前記ワイヤリールに固定したことを特
徴とする。
成する為に、一対のワイヤリール間を走行するワイヤを
複数個の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該
ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給しながら被加工物を
押し当ることにより該被加工物を多数のウェーハに切断
するワイヤソーにおいて、前記ワイヤリールを中空状に
形成し、回転駆動されるアウターロータ部をその外周部
に備えたアウターロータ型モータを前記ワイヤリール内
に嵌入するとともに、前記アウターロータ型モータのア
ウターロータ部を前記ワイヤリールに固定したことを特
徴とする。
【０００７】本発明によれば、ワイヤリールはアウター
ロータ型モータのアウターロータ部に直結され、ダイレ
クトに駆動される。これにより、加減速時間を短縮する
ことができ、スループットの向上が図れる。また、モー
タは、ワイヤリール内に嵌入されるため、駆動部をコン
パクト化することができる。
ロータ型モータのアウターロータ部に直結され、ダイレ
クトに駆動される。これにより、加減速時間を短縮する
ことができ、スループットの向上が図れる。また、モー
タは、ワイヤリール内に嵌入されるため、駆動部をコン
パクト化することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのワイヤリール駆動構造の好ましい実施の
形態について詳説する。図１には、ワイヤソー１０の全
体構成図が示されている。一方のワイヤリール１２に巻
回されたワイヤ1 ４は、ワイヤ案内装置１６、複数の固
定ガイドローラ１８、１８、ダンサローラ２０を経由し
て３本の溝付きローラ２２、２２、２２に順次巻き掛け
られてワイヤ列２４を形成した後、複数の固定ガイドロ
ーラ１８、１８、ダンサローラ２０、ワイヤ案内装置１
６を経て他方のワイヤリール２６に巻き取られる。
るワイヤソーのワイヤリール駆動構造の好ましい実施の
形態について詳説する。図１には、ワイヤソー１０の全
体構成図が示されている。一方のワイヤリール１２に巻
回されたワイヤ1 ４は、ワイヤ案内装置１６、複数の固
定ガイドローラ１８、１８、ダンサローラ２０を経由し
て３本の溝付きローラ２２、２２、２２に順次巻き掛け
られてワイヤ列２４を形成した後、複数の固定ガイドロ
ーラ１８、１８、ダンサローラ２０、ワイヤ案内装置１
６を経て他方のワイヤリール２６に巻き取られる。
【０００９】前記ダンサローラ２０には所定重量の錘４
４が吊設され、走行するワイヤ１４に常に所要の張力が
付与される。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗浄装
置４６が設けられ、このワイヤ洗浄装置４６によってワ
イヤ１４に付着した加工液４０が除去される。前記ワイ
ヤリール１２、２６には、それぞれ後述する正逆回転可
能なモータ２８、３０が連結され、このモータ２８、３
０を駆動するとによりワイヤ１４は一方のワイヤリール
１２と他方のワイヤリール２６の間を往復走行する。ま
た、前記溝付ローラ２２Ａにも同様に、正逆回転可能な
モータ３２が連結され、前記モータ２８、３０に同期駆
動されている。
４が吊設され、走行するワイヤ１４に常に所要の張力が
付与される。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗浄装
置４６が設けられ、このワイヤ洗浄装置４６によってワ
イヤ１４に付着した加工液４０が除去される。前記ワイ
ヤリール１２、２６には、それぞれ後述する正逆回転可
能なモータ２８、３０が連結され、このモータ２８、３
０を駆動するとによりワイヤ１４は一方のワイヤリール
１２と他方のワイヤリール２６の間を往復走行する。ま
た、前記溝付ローラ２２Ａにも同様に、正逆回転可能な
モータ３２が連結され、前記モータ２８、３０に同期駆
動されている。
【００１０】前記ワイヤ列２４には、砥液貯留タンク３
８に貯留された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００
程度のものが使用される）を含む加工液４０が砥液供給
ノズル４２から供給される。前記ワイヤ列２４の下方に
は、被加工物である半導体インゴット５４がワークブロ
ック５６とスライスベース５８を介してワーク送りテー
ブル４８に支持される。このワーク送りテーブル４８は
モータ５０で回動するネジ桿５２により上下方向に移動
自在に設けられる。前記半導体インゴットは、前記ワー
ク送りテーブル４８を上方に移動させることにより高速
走行するワイヤ列２４に押し当てられ、その高速走行す
るワイヤ列２４に供給される加工液４０によるラッピン
グ作用により多数の薄板状のウェーハに切断される。
８に貯留された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００
程度のものが使用される）を含む加工液４０が砥液供給
ノズル４２から供給される。前記ワイヤ列２４の下方に
は、被加工物である半導体インゴット５４がワークブロ
ック５６とスライスベース５８を介してワーク送りテー
ブル４８に支持される。このワーク送りテーブル４８は
モータ５０で回動するネジ桿５２により上下方向に移動
自在に設けられる。前記半導体インゴットは、前記ワー
ク送りテーブル４８を上方に移動させることにより高速
走行するワイヤ列２４に押し当てられ、その高速走行す
るワイヤ列２４に供給される加工液４０によるラッピン
グ作用により多数の薄板状のウェーハに切断される。
【００１１】図２は、前記ワイヤリール１２の駆動部の
断面図である。前記ワイヤリール１２を駆動するモータ
２８は、アウターロータ型モータであり次のように構成
されている。ワイヤソー１０の本体フレーム６０には、
逆Ｌ字状に形成されたリールブラケット６２が、その垂
直部６２Ａを本体フレーム６０にボルト６４、６４でボ
ルト止めされて固定されている。このリールブラケット
６２の水平部６２Ｂ上には、モータ２８のステータであ
る固定軸６６がボルト６８、６８でボルト止めされて立
設されている。
断面図である。前記ワイヤリール１２を駆動するモータ
２８は、アウターロータ型モータであり次のように構成
されている。ワイヤソー１０の本体フレーム６０には、
逆Ｌ字状に形成されたリールブラケット６２が、その垂
直部６２Ａを本体フレーム６０にボルト６４、６４でボ
ルト止めされて固定されている。このリールブラケット
６２の水平部６２Ｂ上には、モータ２８のステータであ
る固定軸６６がボルト６８、６８でボルト止めされて立
設されている。
【００１２】前記固定軸６６の上端部近傍と下端部近傍
には、それぞれ軸受７０、７２が配設されており、この
軸受７０、７２にモータ２８のアウターロータ部である
ハウジング７４が回動自在に支持されている。ハウジン
グ７４は、円筒状に形成されており、下端部に後述する
ワイヤリール１２の下フランジ１２Ａと同径のフランジ
７４Ａが形成されている。
には、それぞれ軸受７０、７２が配設されており、この
軸受７０、７２にモータ２８のアウターロータ部である
ハウジング７４が回動自在に支持されている。ハウジン
グ７４は、円筒状に形成されており、下端部に後述する
ワイヤリール１２の下フランジ１２Ａと同径のフランジ
７４Ａが形成されている。
【００１３】前記ハウジング７４の内周面には、永久磁
石７６、７６、…が固着されており、一方、前記固定軸
６６には、その永久磁石７６、７６、…と対向するよう
に電機子コイル７８が形成されている。そして、前記ハ
ウジング７４は、前記電機子コイル７８に電流を流すこ
とにより、前記固定軸６６を中心として回転する。前記
モータ２８が連結されるワイヤリール１２は、中空状に
形成され、その内径は前記ハウジング７４の外径と略同
径に形成されている。
石７６、７６、…が固着されており、一方、前記固定軸
６６には、その永久磁石７６、７６、…と対向するよう
に電機子コイル７８が形成されている。そして、前記ハ
ウジング７４は、前記電機子コイル７８に電流を流すこ
とにより、前記固定軸６６を中心として回転する。前記
モータ２８が連結されるワイヤリール１２は、中空状に
形成され、その内径は前記ハウジング７４の外径と略同
径に形成されている。
【００１４】前記ワイヤリール１２の下フランジ１２Ａ
の周端部近傍には、周面に沿って所定の間隔でボルト穴
８０、８０、…が形成されている。一方、前記ハウジン
グ７４のフランジ７４Ａには、前記ボルト穴８０、８
０、…に対応する位置に前記ボルト穴８０、８０、…と
同径の穴８２、８２、…が穿設されている。前記ワイヤ
リール１２と前記モータ２８は、ワイヤリール１２をモ
ータ２８のハウジング７４に嵌入し、ワイヤリール１２
のフランジ１２Ａとハウジング７４のフランジ７４Ａと
をボルト８４、８４、…でボルト止めすることにより連
結される。
の周端部近傍には、周面に沿って所定の間隔でボルト穴
８０、８０、…が形成されている。一方、前記ハウジン
グ７４のフランジ７４Ａには、前記ボルト穴８０、８
０、…に対応する位置に前記ボルト穴８０、８０、…と
同径の穴８２、８２、…が穿設されている。前記ワイヤ
リール１２と前記モータ２８は、ワイヤリール１２をモ
ータ２８のハウジング７４に嵌入し、ワイヤリール１２
のフランジ１２Ａとハウジング７４のフランジ７４Ａと
をボルト８４、８４、…でボルト止めすることにより連
結される。
【００１５】他方のワイヤリール２６も同一の構造でモ
ータ３０に連結されて、駆動される。前記の如く構成さ
れた本発明に係るワイヤソーのワイヤリール駆動構造の
実施の形態の作用は次の通りである。モータ２８の電気
子コイル７８に電流を流すと、アウターロータ部である
ハウジング７４が回転する。ワイヤリール１２は、この
ハウジング７４に固定されているため、ハウジング７４
と一体的に回転する。
ータ３０に連結されて、駆動される。前記の如く構成さ
れた本発明に係るワイヤソーのワイヤリール駆動構造の
実施の形態の作用は次の通りである。モータ２８の電気
子コイル７８に電流を流すと、アウターロータ部である
ハウジング７４が回転する。ワイヤリール１２は、この
ハウジング７４に固定されているため、ハウジング７４
と一体的に回転する。
【００１６】このように、ワイヤリール１２は、モータ
２８でダイレクトに駆動されるため、加減速時間を短縮
することができる。したがって、スループットの向上が
図れる。また、モータ２８は、ワイヤリール１２をダイ
レクトに駆動するため、イナーシャの低いモータ、即ち
寸法の小さなモータを使用することができる。
２８でダイレクトに駆動されるため、加減速時間を短縮
することができる。したがって、スループットの向上が
図れる。また、モータ２８は、ワイヤリール１２をダイ
レクトに駆動するため、イナーシャの低いモータ、即ち
寸法の小さなモータを使用することができる。
【００１７】更に、モータ２８がワイヤリール１２内に
嵌入されるとともに、従来必要であったベルト伝動機構
のためのスペースを省くことができるので、駆動部をコ
ンパクト化することができる。また、ベルト伝動機構の
ように運転中のベルト破損等の心配がないので、安定し
た運転を行うことができる。
嵌入されるとともに、従来必要であったベルト伝動機構
のためのスペースを省くことができるので、駆動部をコ
ンパクト化することができる。また、ベルト伝動機構の
ように運転中のベルト破損等の心配がないので、安定し
た運転を行うことができる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のワイヤソ
ーのワイヤリール駆動構造によれば、ワイヤリールはモ
ータからダイレクトに駆動されため、加減速時間を短縮
することができる。したがって、スループットの向上が
図れる。また、モータは、ワイヤリールをダイレクトに
駆動するため、イナーシャの低いモータ、即ち寸法の小
さなモータを使用することができる。更に、モータがワ
イヤリール内に嵌入されるとともに、従来必要であった
ベルト伝動機構のためのスペースを省くことができるの
で、駆動部をコンパクト化することができる。
ーのワイヤリール駆動構造によれば、ワイヤリールはモ
ータからダイレクトに駆動されため、加減速時間を短縮
することができる。したがって、スループットの向上が
図れる。また、モータは、ワイヤリールをダイレクトに
駆動するため、イナーシャの低いモータ、即ち寸法の小
さなモータを使用することができる。更に、モータがワ
イヤリール内に嵌入されるとともに、従来必要であった
ベルト伝動機構のためのスペースを省くことができるの
で、駆動部をコンパクト化することができる。
【図１】ワイヤソーの全体構成図
【図２】ワイヤリールの駆動部の断面図
１０…ワイヤソー １２、２６…ワイヤリール １４…ワイヤ ２２…溝付ローラ ２４…ワイヤ列 ２８、３０…モータ ６６…固定軸 ７４…ハウジング
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 康弘 東京都三鷹市下連雀９丁目７番１号 株式 会社東京精密内 (72)発明者 関山 篤蔵 神奈川県伊勢原市石田318番地３ 株式会 社エヌエスエンジニアリング内
Claims (1)
- 【請求項１】 一対のワイヤリール間を走行するワイヤ
を複数個の溝付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、
該ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給しながら被加工物
を押し当ることにより該被加工物を多数のウェーハに切
断するワイヤソーにおいて、 前記ワイヤリールを中空状に形成し、回転駆動されるア
ウターロータ部をその外周部に備えたアウターロータ型
モータを前記ワイヤリール内に嵌入するとともに、前記
アウターロータ型モータのアウターロータ部を前記ワイ
ヤリールに固定したことを特徴とするワイヤソーのワイ
ヤリール駆動構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18922095A JPH0929608A (ja) | 1995-07-25 | 1995-07-25 | ワイヤソーのワイヤリール駆動構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18922095A JPH0929608A (ja) | 1995-07-25 | 1995-07-25 | ワイヤソーのワイヤリール駆動構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0929608A true JPH0929608A (ja) | 1997-02-04 |
Family
ID=16237584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18922095A Pending JPH0929608A (ja) | 1995-07-25 | 1995-07-25 | ワイヤソーのワイヤリール駆動構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0929608A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1120182A3 (en) * | 2000-01-27 | 2004-02-04 | Mitsubishi Materials Corporation | The drive pulley and the wire saw equipment using it and the cutting method |
| JP2010089197A (ja) * | 2008-10-06 | 2010-04-22 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワイヤ巻取り装置およびワイヤソー |
| CN109650163A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-04-19 | 卓郎（江苏）纺织机械有限公司 | 卷绕辊驱动结构及采用该卷绕辊的纺织机械 |
| CN109693968A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-04-30 | 卓郎（江苏）纺织机械有限公司 | 卷绕辊测速单元及采用该卷绕辊的纺织机械 |
| CN109911697A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-06-21 | 卓郎（江苏）纺织机械有限公司 | 便于走线的卷绕辊电机及采用该电机的纺织机械 |
-
1995
- 1995-07-25 JP JP18922095A patent/JPH0929608A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1120182A3 (en) * | 2000-01-27 | 2004-02-04 | Mitsubishi Materials Corporation | The drive pulley and the wire saw equipment using it and the cutting method |
| JP2010089197A (ja) * | 2008-10-06 | 2010-04-22 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワイヤ巻取り装置およびワイヤソー |
| CN109650163A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-04-19 | 卓郎（江苏）纺织机械有限公司 | 卷绕辊驱动结构及采用该卷绕辊的纺织机械 |
| CN109693968A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-04-30 | 卓郎（江苏）纺织机械有限公司 | 卷绕辊测速单元及采用该卷绕辊的纺织机械 |
| CN109911697A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-06-21 | 卓郎（江苏）纺织机械有限公司 | 便于走线的卷绕辊电机及采用该电机的纺织机械 |
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