JPH09290890A - 基板キャリア - Google Patents
基板キャリアInfo
- Publication number
- JPH09290890A JPH09290890A JP10527896A JP10527896A JPH09290890A JP H09290890 A JPH09290890 A JP H09290890A JP 10527896 A JP10527896 A JP 10527896A JP 10527896 A JP10527896 A JP 10527896A JP H09290890 A JPH09290890 A JP H09290890A
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- JP
- Japan
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- substrate
- pressing means
- substrate carrier
- pressing
- carrier
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板キャリアに基板整列機構を付加すること
で、各製造装置での基板整列を省き、製造処理時間を短
縮することが可能な基板キャリアを提供する。 【解決手段】 基板１４が、ローラ取付軸１０に取り付
けられた押圧ローラ９により基準部材に対して押圧さ
れ、基板キャリア内のたな３に整列した状態で保持され
る。基板キャリアが所定の場所に移動すると、ローラ取
付軸は、自重により落下できるようになり、その落下に
よりローラ取付軸はボールナット部６により回動され、
押圧ローラが基板を押圧した状態から基板から離れる位
置に回動する。基板キャリア内の基板は、適正な力で押
圧ローラにより押し付けられて整列した状態で収納さ
れ、所定の場所で押圧が解除されるので、各製造装置に
おいて基板整列を行う必要がなく、製造処理時間を短縮
することが可能になる。
で、各製造装置での基板整列を省き、製造処理時間を短
縮することが可能な基板キャリアを提供する。 【解決手段】 基板１４が、ローラ取付軸１０に取り付
けられた押圧ローラ９により基準部材に対して押圧さ
れ、基板キャリア内のたな３に整列した状態で保持され
る。基板キャリアが所定の場所に移動すると、ローラ取
付軸は、自重により落下できるようになり、その落下に
よりローラ取付軸はボールナット部６により回動され、
押圧ローラが基板を押圧した状態から基板から離れる位
置に回動する。基板キャリア内の基板は、適正な力で押
圧ローラにより押し付けられて整列した状態で収納さ
れ、所定の場所で押圧が解除されるので、各製造装置に
おいて基板整列を行う必要がなく、製造処理時間を短縮
することが可能になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板キャリア、更
に詳細には、液晶表示器等を製造する製造ラインにおい
て基板を収納し基板を製造装置の配置された所定の場所
に搬送するときに用いられる基板キャリアに関するもの
である。
に詳細には、液晶表示器等を製造する製造ラインにおい
て基板を収納し基板を製造装置の配置された所定の場所
に搬送するときに用いられる基板キャリアに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、基板キャリアは、図６に示すよう
に構成されており、製造装置においてマスク上のパター
ンが露光される基板１４を複数個収納している。基板１
４は、上板１と下板２間に取り付けられた基板を保持す
るたな３の突出部３ａに載置され、基準固定部４に当た
るように整列して収納されている。上板１には取手５が
固定されており、これを把手することにより台車１３上
に置き、台車１３を移動させることにより基板キャリア
を製造装置に搬送することができる。基板キャリアが所
定の場所に搬送されてくると、下板２の下方にキャリア
エレベータ１５が位置し、このキャリアエレベータを作
動させることにより基板キャリアを上昇させ、基板キャ
リア内に収納されている基板１４を取り出して製造装置
に配置させることができる。
に構成されており、製造装置においてマスク上のパター
ンが露光される基板１４を複数個収納している。基板１
４は、上板１と下板２間に取り付けられた基板を保持す
るたな３の突出部３ａに載置され、基準固定部４に当た
るように整列して収納されている。上板１には取手５が
固定されており、これを把手することにより台車１３上
に置き、台車１３を移動させることにより基板キャリア
を製造装置に搬送することができる。基板キャリアが所
定の場所に搬送されてくると、下板２の下方にキャリア
エレベータ１５が位置し、このキャリアエレベータを作
動させることにより基板キャリアを上昇させ、基板キャ
リア内に収納されている基板１４を取り出して製造装置
に配置させることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような基
板キャリアの構成では、基板キャリア内に収納された各
基板１４は、基準固定部４により位置決めされて整列さ
れているだけであり、搬送途中でその位置がずれるなど
して基板位置があまり精度よく決まっていないため、各
製造装置は基板整列機構を有し、基板を１枚ずつ必要な
精度に整列させて処理しており、処理時間が長くなると
いう問題点があった。
板キャリアの構成では、基板キャリア内に収納された各
基板１４は、基準固定部４により位置決めされて整列さ
れているだけであり、搬送途中でその位置がずれるなど
して基板位置があまり精度よく決まっていないため、各
製造装置は基板整列機構を有し、基板を１枚ずつ必要な
精度に整列させて処理しており、処理時間が長くなると
いう問題点があった。
【０００４】従って、本発明の課題は、このような問題
点を解決するためになされたもので、基板キャリアに基
板整列機構を付加することで、各製造装置での基板整列
を省き、製造処理時間を短縮することが可能な基板キャ
リアを提供することである。
点を解決するためになされたもので、基板キャリアに基
板整列機構を付加することで、各製造装置での基板整列
を省き、製造処理時間を短縮することが可能な基板キャ
リアを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために、基板を収納して所定の場所に搬送
する基板キャリアにおいて、基板を保持する保持部と、
前記保持部に対して第１と第２の位置に相対移動可能
で、第１の位置では前記保持部に保持された基板を押圧
して整列させ、第２の位置では基板から離れて押圧を解
除する押圧手段と、前記相対移動に応じて押圧手段を所
定軸を中心に回動させる手段とを設け、基板が前記所定
の場所に搬送されたとき、前記押圧手段を第１から第２
の位置に相対移動させ、その相対移動に応じて前記押圧
手段を所定軸を中心に回動させることにより押圧手段を
基板から離すようにしたことを特徴としている。
題を解決するために、基板を収納して所定の場所に搬送
する基板キャリアにおいて、基板を保持する保持部と、
前記保持部に対して第１と第２の位置に相対移動可能
で、第１の位置では前記保持部に保持された基板を押圧
して整列させ、第２の位置では基板から離れて押圧を解
除する押圧手段と、前記相対移動に応じて押圧手段を所
定軸を中心に回動させる手段とを設け、基板が前記所定
の場所に搬送されたとき、前記押圧手段を第１から第２
の位置に相対移動させ、その相対移動に応じて前記押圧
手段を所定軸を中心に回動させることにより押圧手段を
基板から離すようにしたことを特徴としている。
【０００６】このような構成では、基板キャリア内の各
基板は、押圧手段により押し付けられて整列した状態で
収納され、また製造装置の所定の場所に搬送されたとき
に基板を整列した状態で基板への押圧を解除できるの
で、各製造装置において基板整列を行う必要がなく、製
造処理時間を短縮することが可能になる。
基板は、押圧手段により押し付けられて整列した状態で
収納され、また製造装置の所定の場所に搬送されたとき
に基板を整列した状態で基板への押圧を解除できるの
で、各製造装置において基板整列を行う必要がなく、製
造処理時間を短縮することが可能になる。
【０００７】また、押圧手段の基板保持部に対する相対
移動だけで、押圧手段を基板から離すことができるの
で、何等かの手段で、例えば押圧手段の自重により押圧
手段を落下させることにより基板の押圧を解くことがで
きる。
移動だけで、押圧手段を基板から離すことができるの
で、何等かの手段で、例えば押圧手段の自重により押圧
手段を落下させることにより基板の押圧を解くことがで
きる。
【０００８】更に、基板キャリア内で各基板を押圧手段
により押し付けて保持しているため、台車や人手あるい
は自動搬送等で基板キャリアを運んでいる時に、基板の
位置ずれあるいは飛び出しを防止できる。
により押し付けて保持しているため、台車や人手あるい
は自動搬送等で基板キャリアを運んでいる時に、基板の
位置ずれあるいは飛び出しを防止できる。
【０００９】前記押圧手段は、好ましくは少なくとも２
つ設けられ、それぞれの押圧手段は基板の角部を側方か
ら基準部材に対して押圧するように構成される。
つ設けられ、それぞれの押圧手段は基板の角部を側方か
ら基準部材に対して押圧するように構成される。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面に示す実施形態に基づ
いて本発明を詳細に説明する。
いて本発明を詳細に説明する。
【００１１】図１〜図３は、基板キャリアが製造装置
（不図示）の所定の場所に搬送されるまでの状態を、ま
た図４と図５は、基板キャリアが所定の場所に搬送され
てキャリアエレベータにより上昇される状態を示してい
る。各図において、図６と同一ないし同様な部材には、
同一の番号を付し、その詳しい説明は省略する。
（不図示）の所定の場所に搬送されるまでの状態を、ま
た図４と図５は、基板キャリアが所定の場所に搬送され
てキャリアエレベータにより上昇される状態を示してい
る。各図において、図６と同一ないし同様な部材には、
同一の番号を付し、その詳しい説明は省略する。
【００１２】各図に図示したように、基板キャリアに
は、たな３の突出部３ａに保持された各基板１４を基準
固定部４に対して押圧する押圧ローラ９が複数個設けら
れており、各押圧ローラ９は、軸受９’を介してローラ
取付軸１０の板ばねで形成されたアーム７に取り付けら
れている（図３に詳細に図示されている）。
は、たな３の突出部３ａに保持された各基板１４を基準
固定部４に対して押圧する押圧ローラ９が複数個設けら
れており、各押圧ローラ９は、軸受９’を介してローラ
取付軸１０の板ばねで形成されたアーム７に取り付けら
れている（図３に詳細に図示されている）。
【００１３】ローラ取付軸１０は、その上端が軸連結板
１１に軸受１２を介して固定され、この軸連結板１１に
取手５が固定されている。また、ローラ取付軸１０の下
端には、軸受１２を介してフランジ１６が取り付けられ
ている。ローラ取付軸１０は、基板キャリアの上板１と
下板２に形成されたボールナット部６を通過し、ボール
ナット部には、所定個数のボール６ａが埋め込まれてい
る。このボールをローラ取付軸１０に形成された螺旋状
のネジナット１０ｂに螺合させ、ローラ取付軸１０を上
板１、下板２並びにその間に取り付けられたたな３に対
して上下方向に相対移動させると、ローラ取付軸１０は
その軸を中心に回動することが可能になる。
１１に軸受１２を介して固定され、この軸連結板１１に
取手５が固定されている。また、ローラ取付軸１０の下
端には、軸受１２を介してフランジ１６が取り付けられ
ている。ローラ取付軸１０は、基板キャリアの上板１と
下板２に形成されたボールナット部６を通過し、ボール
ナット部には、所定個数のボール６ａが埋め込まれてい
る。このボールをローラ取付軸１０に形成された螺旋状
のネジナット１０ｂに螺合させ、ローラ取付軸１０を上
板１、下板２並びにその間に取り付けられたたな３に対
して上下方向に相対移動させると、ローラ取付軸１０は
その軸を中心に回動することが可能になる。
【００１４】押圧ローラ９は、ローラ取付軸１０が上方
位置にあるときは、図３で反時計方向に回動し、基板１
４の角部を基準固定部４に対して押圧し、またローラ取
付軸１０が相対移動して下方位置にあるときには、時計
方向に回動して押圧を解除できるように取り付けられて
いる。ローラ取付軸１０のたな３に対する相対移動とロ
ーラ取付軸１０の回動角度の関係は、例えば図２のよう
に、ａの距離だけ軸連結板が移動すると、ローラ取付軸
１０が約９０度回動するように設定される。
位置にあるときは、図３で反時計方向に回動し、基板１
４の角部を基準固定部４に対して押圧し、またローラ取
付軸１０が相対移動して下方位置にあるときには、時計
方向に回動して押圧を解除できるように取り付けられて
いる。ローラ取付軸１０のたな３に対する相対移動とロ
ーラ取付軸１０の回動角度の関係は、例えば図２のよう
に、ａの距離だけ軸連結板が移動すると、ローラ取付軸
１０が約９０度回動するように設定される。
【００１５】また、ローラ取付軸、押圧ローラ９、フラ
ンジ１６並びに軸連結板１１の押圧手段は、上板１と下
板２から自由落下できるようになっており、その自重に
より下方に移動できるように構成されている。
ンジ１６並びに軸連結板１１の押圧手段は、上板１と下
板２から自由落下できるようになっており、その自重に
より下方に移動できるように構成されている。
【００１６】このようなローラ取付軸１０は、基板キャ
リア内に４個設けられており、図１（Ａ）、図４（Ａ）
に示したように、２個は基準固定部４と反対側にある基
板１４の側辺の各角部近傍に、また１個は、基板の左側
辺の中央部近傍に、更に残る１個は、基板の右側辺の中
央部近傍に配置される。ローラ取付軸１０並びにこの軸
に取り付けられた各押圧ローラ９は、たな３に保持され
た基板１４を押圧して整列させる基板整列機構を構成す
る。なお、基板の左側辺の中央部近傍に取り付けられた
ローラ取付軸の押圧ローラは、反対側の押圧ローラに対
して基準ローラになるので、基準ローラ８として図示さ
れているが、実質的に押圧ローラ９と同様な構成であ
る。
リア内に４個設けられており、図１（Ａ）、図４（Ａ）
に示したように、２個は基準固定部４と反対側にある基
板１４の側辺の各角部近傍に、また１個は、基板の左側
辺の中央部近傍に、更に残る１個は、基板の右側辺の中
央部近傍に配置される。ローラ取付軸１０並びにこの軸
に取り付けられた各押圧ローラ９は、たな３に保持され
た基板１４を押圧して整列させる基板整列機構を構成す
る。なお、基板の左側辺の中央部近傍に取り付けられた
ローラ取付軸の押圧ローラは、反対側の押圧ローラに対
して基準ローラになるので、基準ローラ８として図示さ
れているが、実質的に押圧ローラ９と同様な構成であ
る。
【００１７】以下に、このように構成された基板キャリ
アの機能について説明する。
アの機能について説明する。
【００１８】基板キャリアは、製造装置へ台車１３に載
せられて移動するので、図１（Ｂ）、図２に示したよう
に、下板２並びにフランジ１６の下面が台車１３の表面
に一致し、ローラ取付軸１０は、下板２に固定されるた
な３に対して上方に相対的に移動し、その結果、図１
（Ａ）に図示したように、基板キャリアの手前側の各ロ
ーラ取付軸１０は、それぞれ押圧ローラ９が基板１４を
側方から基準固定部４に対して押圧する方向に回動す
る。また、左側と右側のローラ取付軸１０は、それぞれ
押圧ローラ９と基準ローラ８により基板１４を挟み込む
ように押圧する方向に回動する。その結果、各基板１４
は、それぞれ所定の位置に位置決めされ、整列した状態
で基板キャリアに収納される。
せられて移動するので、図１（Ｂ）、図２に示したよう
に、下板２並びにフランジ１６の下面が台車１３の表面
に一致し、ローラ取付軸１０は、下板２に固定されるた
な３に対して上方に相対的に移動し、その結果、図１
（Ａ）に図示したように、基板キャリアの手前側の各ロ
ーラ取付軸１０は、それぞれ押圧ローラ９が基板１４を
側方から基準固定部４に対して押圧する方向に回動す
る。また、左側と右側のローラ取付軸１０は、それぞれ
押圧ローラ９と基準ローラ８により基板１４を挟み込む
ように押圧する方向に回動する。その結果、各基板１４
は、それぞれ所定の位置に位置決めされ、整列した状態
で基板キャリアに収納される。
【００１９】なお、この場合、各ローラ８、９は、軸受
９’で回転可能に軸承されているので、基板と各ローラ
の接触面が搬送途中でずれてもローラが回転することに
より位置ずれを吸収することができる。また、アーム７
が板ばねにより形成されていることにより、押圧ローラ
による基板の押圧を弾力的なものにし適正な押圧力にす
ることができる。
９’で回転可能に軸承されているので、基板と各ローラ
の接触面が搬送途中でずれてもローラが回転することに
より位置ずれを吸収することができる。また、アーム７
が板ばねにより形成されていることにより、押圧ローラ
による基板の押圧を弾力的なものにし適正な押圧力にす
ることができる。
【００２０】続いて、基板キャリアが製造装置の所定の
場所に移送されると、キャリアエレベータ１５が、図
１、図２に示された位置から図４、図５に図示した位置
に上昇する。その結果、上板１、下板２並びにたな３と
それに収納された各基板１４は、キャリアエレベータ１
５により台車１３から持ち上げられ、一方、軸連結板１
１並びにローラ取付軸１０等は、その自重により下方に
落下する。このローラ取付軸１０の落下にともなう相対
移動によりローラ取付軸１０は、ボールナット部６によ
り各押圧ローラ９、基準ローラ８が図４（Ａ）に図示し
たように、基板１４から離れる方向に回動する。
場所に移送されると、キャリアエレベータ１５が、図
１、図２に示された位置から図４、図５に図示した位置
に上昇する。その結果、上板１、下板２並びにたな３と
それに収納された各基板１４は、キャリアエレベータ１
５により台車１３から持ち上げられ、一方、軸連結板１
１並びにローラ取付軸１０等は、その自重により下方に
落下する。このローラ取付軸１０の落下にともなう相対
移動によりローラ取付軸１０は、ボールナット部６によ
り各押圧ローラ９、基準ローラ８が図４（Ａ）に図示し
たように、基板１４から離れる方向に回動する。
【００２１】この状態では、各基板１４は基板キャリア
のたな３に整列した状態で収納されているので、ここで
改めて基板を整列させる必要はなく、製造装置に移動さ
せる処理時間を短縮することができる。
のたな３に整列した状態で収納されているので、ここで
改めて基板を整列させる必要はなく、製造装置に移動さ
せる処理時間を短縮することができる。
【００２２】なお、上述した例では、自重によりローラ
取付軸を落下させているが、基板キャリアが製造装置の
所定の場所に到達したとき、基板キャリアを台車から外
し、軸連結板１１の上方から適当な手段でローラ取付軸
を下方に移動させるようにしてもよい。
取付軸を落下させているが、基板キャリアが製造装置の
所定の場所に到達したとき、基板キャリアを台車から外
し、軸連結板１１の上方から適当な手段でローラ取付軸
を下方に移動させるようにしてもよい。
【００２３】更に、上述した例では、基板キャリアを台
車に載せて移動させたが、取手５をもって人手で搬送す
るようにしてもよい。この場合には、取手５で持ち上げ
ることにより、図１〜図３のような状態にすることがで
き、一方所定の場所に移動させてから基板キャリアをキ
ャリアエレベータに載せることによって図４、図５の状
態にすることができる。
車に載せて移動させたが、取手５をもって人手で搬送す
るようにしてもよい。この場合には、取手５で持ち上げ
ることにより、図１〜図３のような状態にすることがで
き、一方所定の場所に移動させてから基板キャリアをキ
ャリアエレベータに載せることによって図４、図５の状
態にすることができる。
【００２４】また、上述した例では、ローラ取付軸１０
を４箇所に設けているが、例えば、図１（Ａ）の手前側
の中央部近傍に１個設けるだけでも、本発明の効果が得
られることは明瞭であり、ローラ取付軸の個数が多くな
ればなるほど基板の整列効果を向上させることができ
る。好ましくは、図１（Ａ）の手前側に図示したよう
に、基板の角部を押圧ローラにより側方から基準固定部
４に対して押圧するために、それぞれの角部に１個ずつ
少なくとも２個設けるようにするとよい。
を４箇所に設けているが、例えば、図１（Ａ）の手前側
の中央部近傍に１個設けるだけでも、本発明の効果が得
られることは明瞭であり、ローラ取付軸の個数が多くな
ればなるほど基板の整列効果を向上させることができ
る。好ましくは、図１（Ａ）の手前側に図示したよう
に、基板の角部を押圧ローラにより側方から基準固定部
４に対して押圧するために、それぞれの角部に１個ずつ
少なくとも２個設けるようにするとよい。
【００２５】また、ローラ取付軸の回動角は、９０度に
限定されることはなく、基板の押圧を解除できる角度で
よいが、図４（Ａ）に示したように、基板の取り出しに
邪魔にならない角度にするべきである。
限定されることはなく、基板の押圧を解除できる角度で
よいが、図４（Ａ）に示したように、基板の取り出しに
邪魔にならない角度にするべきである。
【００２６】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、製造装
置に設置する前には、基板キャリア内の各基板は、適正
な力で押圧手段により押し付けられて整列した状態で収
納され、また製造装置の所定の場所に搬送されたときに
基板を整列した状態で基板への押圧を解除できるので、
各製造装置において基板整列を行う必要がなく、製造処
理時間を短縮することが可能になる。
置に設置する前には、基板キャリア内の各基板は、適正
な力で押圧手段により押し付けられて整列した状態で収
納され、また製造装置の所定の場所に搬送されたときに
基板を整列した状態で基板への押圧を解除できるので、
各製造装置において基板整列を行う必要がなく、製造処
理時間を短縮することが可能になる。
【００２７】また、基板キャリア内で各基板を押圧手段
により押し付けて保持しているため、台車や人手あるい
は自動搬送等で基板キャリアを運んでいる時に、基板の
位置ずれあるいは飛び出しを防止できる、という効果も
得られる。
により押し付けて保持しているため、台車や人手あるい
は自動搬送等で基板キャリアを運んでいる時に、基板の
位置ずれあるいは飛び出しを防止できる、という効果も
得られる。
【図１】本発明による基板キャリアが台車に載せられて
キャリアエレベータに搬送されたときの状態を示すもの
で、（Ａ）は、（Ｂ）のＡ−Ａ’線に沿う上面断面図、
（Ｂ）は、（Ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う側断面図である。
キャリアエレベータに搬送されたときの状態を示すもの
で、（Ａ）は、（Ｂ）のＡ−Ａ’線に沿う上面断面図、
（Ｂ）は、（Ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う側断面図である。
【図２】図１（Ｂ）の左側部分の拡大断面図である。
【図３】押圧ローラが基板を押圧する機構を示す斜視図
である。
である。
【図４】本発明による基板キャリアがキャリアエレベー
タにより持ち上げられた状態を示すもので、（Ａ）は、
（Ｂ）のＡ−Ａ’線に沿う上面断面図、（Ｂ）は、
（Ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う側断面図である。
タにより持ち上げられた状態を示すもので、（Ａ）は、
（Ｂ）のＡ−Ａ’線に沿う上面断面図、（Ｂ）は、
（Ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う側断面図である。
【図５】図４（Ｂ）の左側部分の拡大断面図である。
【図６】従来構成の基板キャリアが台車に載せられてキ
ャリアエレベータに搬送されたときの状態を示すもの
で、（Ａ）は、（Ｂ）のＡ−Ａ’線に沿う上面断面図、
（Ｂ）は、（Ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う側断面図である。
ャリアエレベータに搬送されたときの状態を示すもの
で、（Ａ）は、（Ｂ）のＡ−Ａ’線に沿う上面断面図、
（Ｂ）は、（Ａ）のＢ−Ｂ’線に沿う側断面図である。
１ 上板 ２ 下板 ３ たな ４ 基準固定部 ５ 取手 ６ ボールナット部 ７ アーム ８ 基準ローラ ９ 押圧ローラ １０ ローラ取付軸 １１ 軸連結板 １２ 軸受 １３ 台車 １４ 基板 １５ キャリアエレベータ １６ フランジ
Claims (3)
- 【請求項１】 基板を収納して所定の場所に搬送する基
板キャリアにおいて、 基板を保持する保持部と、 前記保持部に対して第１と第２の位置に相対移動可能
で、第１の位置では前記保持部に保持された基板を押圧
して整列させ、第２の位置では基板から離れて押圧を解
除する押圧手段と、 前記相対移動に応じて押圧手段を所定軸を中心に回動さ
せる手段とを設け、 基板が前記所定の場所に搬送されたとき、前記押圧手段
を第１から第２の位置に相対移動させ、その相対移動に
応じて前記押圧手段を所定軸を中心に回動させることに
より押圧手段を基板から離すようにしたことを特徴とす
る基板キャリア。 - 【請求項２】 前記押圧手段は、保持部に対して自由落
下できるように取り付けられており、基板が前記所定の
場所に搬送されたとき、前記押圧手段を自由落下させる
ことにより押圧手段の自重により押圧手段を第１から第
２の位置に相対移動させることを特徴とする請求項１に
記載の基板キャリア。 - 【請求項３】 前記押圧手段は少なくとも２つ設けら
れ、それぞれの押圧手段が基板の角部を側方から基準部
材に対して押圧することを特徴とする請求項１または２
に記載の基板キャリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10527896A JPH09290890A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 基板キャリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10527896A JPH09290890A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 基板キャリア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09290890A true JPH09290890A (ja) | 1997-11-11 |
Family
ID=14403211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10527896A Pending JPH09290890A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 基板キャリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09290890A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003092331A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Tokyo Electron Ltd | 無人搬送車 |
| KR100871980B1 (ko) * | 2003-12-31 | 2008-12-08 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 웨이퍼 플랫존 정렬장치 |
| US7500564B2 (en) | 2004-08-16 | 2009-03-10 | Dongbu Electronics Co., Ltd. | Wafer carrying apparatus |
| JP2010109039A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Toppan Printing Co Ltd | 基板用カセット |
| US7735710B2 (en) | 2002-02-22 | 2010-06-15 | Applied Materials, Inc. | Substrate support |
| JP2011035021A (ja) * | 2009-07-30 | 2011-02-17 | Tokyo Electron Ltd | 基板位置合わせ機構、それを用いた真空予備室および基板処理システム |
| CN117944985A (zh) * | 2024-02-06 | 2024-04-30 | 苏州逸动健康科技有限公司 | 一种药物筛选用培养器械的排列装置 |
-
1996
- 1996-04-25 JP JP10527896A patent/JPH09290890A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003092331A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Tokyo Electron Ltd | 無人搬送車 |
| US7735710B2 (en) | 2002-02-22 | 2010-06-15 | Applied Materials, Inc. | Substrate support |
| KR100871980B1 (ko) * | 2003-12-31 | 2008-12-08 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 웨이퍼 플랫존 정렬장치 |
| US7500564B2 (en) | 2004-08-16 | 2009-03-10 | Dongbu Electronics Co., Ltd. | Wafer carrying apparatus |
| JP2010109039A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Toppan Printing Co Ltd | 基板用カセット |
| JP2011035021A (ja) * | 2009-07-30 | 2011-02-17 | Tokyo Electron Ltd | 基板位置合わせ機構、それを用いた真空予備室および基板処理システム |
| CN117944985A (zh) * | 2024-02-06 | 2024-04-30 | 苏州逸动健康科技有限公司 | 一种药物筛选用培养器械的排列装置 |
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