JPH09293676A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. マスク及び被露光基板間に配置され、照明光学系から前記マスクに照射される照明光束を前記被露光基板の感光面上に集光する投影光学系において、
   前記マスクから出射した前記照明光束を反射する第１の反射面と、
   前記第１の反射面から出射した前記照明光束を集光する集光光学系と、
   前記集光光学系から出射した前記照明光束を、前記被露光基板上に垂直に入射するように反射する第２の反射面と、
   前記第１の反射面及び／又は第２の反射面を前記照明光束の光路長を変化させる方向に移動させる移動手段とを具えることを特徴とする投影光学系。
2. 前記集光光学系は、
   前記第１の反射面と前記集光光学系との間に配置された、前記第１の反射面から出射した前記照明光束の収差を補正する補正光学系を具えることを特徴とする請求項１に記載の投影光学系。
3. 照明光学系から発射された照明光束をマスクに描かれたパターンに照射し、前記被露光基板に露光する投影露光装置において、
   前記マスクから出射した前記照明光束を反射する第１の反射面と、前記第１の反射面から出射した前記照明光束を集光する集光光学系と、前記集光光学系から出射した前記照明光束を、前記被露光基板上に垂直に入射するように反射する第２の反射面とを有する投影光学系と、
   前記被露光基板の前記感光面と垂直な方向における前記被露光基板の前記感光面の高さを検出する高さ検出手段と、
   前記高さ検出手段の検出結果に基づいて、前記第１の反射面及び／又は前記第２の反射面を前記照明光束の光路長を変化させる方向に移動させる移動手段とを具えることを特徴とする投影露光装置。
4. 前記第１及び第２の反射面は一体に形成され、前記第１の反射面の移動に伴つて前記第２の反射面が移動することを特徴とする請求項３に記載の投影露光装置。
5. 前記投影光学系に対して、前記マスク及び前記被露光基板を相対的に走査させる走査手段を具え、
   前記投影光学系は、前記マスクのパターンの一部を前記被露光基板に投影し、かつ前記走査手段による走査方向と直交方向に所定間隔で複数並んで配置されており、
   前記高さ検出手段は、前記投影光学系の投影位置に応じて複数並んで配置されており、
   前記移動手段は、対応する各前記高さ検出手段の検出結果に応じて対応する前記第１の反射面及び／又は前記第２の反射面を移動させることを特徴とする請求項３に記載の投影露光装置。
6. 前記集光光学系は、
   前記第１の反射面と、前記投影光学系の前記集光光学系との間に配置された、前記第１の反射面から出射した前記照明光束の収差を補正する補正光学系を具えることを特徴とする請求項３に記載の投影露光装置。
7. 前記移動手段は、前記第１の反射面及び／又は第２の反射面を３点で移動させることを特徴とする請求項１また２に記載の投影光学系。
8. 前記移動手段は、前記第１の反射面及び／又は第２の反射面を３点で移動させることを特徴とする請求項３から６のいずれか一項に記載の投影露光装置。