JPH09295707A - 搬送ロボットを用いたクリーンルームの物品搬送管理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 クリーンルームにおけるカセット等を迅速、
的確に搬送管理できる物品搬送管理方法。 【解決手段】 加工／処理品を搭載して無人搬送される
カセット１ｂ及びカセットの搭載物の所定位置に装着す
る電子モジュール１０Ａを備えると共に、電子モジュー
ルと通信する無線通信機能と地上局２２Ａを搬送ロボッ
ト３０の所定位置に備え、電子モジュール１０Ａの記憶
機能に、カセット１ｂ及びカセットの搭載物を特定する
コード等の情報を記録し、搬送ロボット３０の地上局２
２Ａが読み取った情報によって、搭載物の次工程に対す
る搬送管理をするようにした。この場合、搬送ロボット
３０は、カセット１ｂを一時保管する出庫用として用
い、情報通信機能によって移送装置の上位管理装置又は
制御装置に接続される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、クリーンルーム
において、各処理機能装置及びストック機能装置等の間
を移動して処理がされる搬送ロボットを用いたクリンル
ームにおける搬送搬送管理方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体のウェーハ処理工場のようなクリ
ーンルームにおいては、製作過程の半製品又は完成品を
処理装置やストッカとの間をカセットのような所定の搬
送体（以下カセットと称する）に搭載して無人搬送シス
テムによって搬送し、所定の処理を施したり一時保管す
る機能を備えている。上記ストッカは、各処理機能の間
に適切に配設され、又、クリーンルームの外部と内部と
の間にクリーン処理のためのバッファストッカを設けて
いる。各ストッカに対する入出庫作業は搬送ロボット等
の自動移載機によって行うのが標準であるが、しばし
ば、作業員が自分で望むカセットを手動で入出庫する場
合もある。又、自動移載機がストッカから出庫動作をす
る前に光学的センサによって対象の棚のカセットの有無
を確認している。

【０００３】このようなカセット類には、その積載物を
示すＩＤカードを装着している。ウェーハ洗浄装置等の
半導体処理装置において、カセットからウェーハと共に
ＩＤカードを自動的に抜き取り又は装着する手段とし
て、例えば特開平６−７７３０５号公報に開示のものが
あり、ウェーハカセット内のウェーハを交換するとき又
は洗浄時にＩＤカードを自動的に抜き取り又は装着する
手段として、例えば特開平６−１８３５２２号公報に開
示のものがある。又、カセットの無人搬送システムの搬
送走行機能としては、特性の走行路を誘導走行される搬
送台車にカセットを搭載する手段や、リニアモータの１
次側駆動機能を走行路に配設し、カセット自体を２次導
体として走行する手段が採用されている。このような走
行手段や移送手段を使用した搬送制御はホストコンピュ
ータが集中的に行っている。即ち、発送者からの情報は
ホストコンピュータに集まり、ホストコンピュータから
の指令で各カセットの無人搬送／移送機能が操作され
る。上述の無人搬送／移送機能を利用した倉庫等におけ
る入出庫管理のために、ホストコンピュータにカセット
等の情報を得るためにカセットに装着するＩＤカードに
バーコードを印刷して使用している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、搬送ロボッ
トによる出庫作業では、操作員が出庫所望のカセット等
を目視により確認の上、取り出し、照合の上、次工程で
搬送していたので、この取り出し、照合に多くの時間を
要していたので、作業効率が向上できる搬送方法が要望
されていた。又、無人搬送システムにおける上記のよう
なホストコンピュータによる集中管理の場合、何らかの
事故でホストコンピュータの機能が一時でも停止する
と、各カセットの位置やカセットの積載物が不明確にな
り、又、何らかの原因で間違った場所にカセットが搬送
されるとその発見が容易ではない。さらに、カセットが
人手でストッカに入庫されると、在庫データが混乱して
自動搬出の場合に異なったカセットを出庫してしまう危
険性がある。

【０００５】特開平６−７７３０５号公報及び特開平６
−１８３５２２号公報に開示のものは、ウェーハを搭載
するカセットの移動等に対応してＩＤカード管理を実行
しようとするものであって、特定の処理機能に限定せず
に搬送するウェーハと搭載カセットとの関係を管理する
ものではない。バーコードを使用すると、表示桁数が、
例えば２０桁程度に限定されるので、ＩＤ番号を割り当
てての制御なら良いが、搬送物の管理／処理に必要な情
報を記録することはできない。又バーコードを適切に張
り付ける手間が必要である。

【０００６】又、図５に示すように、カセットの一時ス
トッカ機能であるラック４０に保管されたカセット１ｎ
のＩＤカード１ｎａに記したバーコードは上の棚に妨害
されて読み取ることができない。従って、棚に収めた場
合でも読み取れるようにカセット１ｎの表面側にＩＤカ
ード１ｎｂを貼付する必要がある。そのために、カセッ
トの搬送、保管条件によってはカセットの各面に誤りな
く同一のＩＤカードを貼付する必要があるという不便さ
がある。又、ラック４０から入出庫用の移送機（図示せ
ず）でストックされたカセットの存在を確認するには、
現在は光学的な手段のセンサで行っているが、精度が悪
く、又カセットの存在を確認してもそれが望むカセット
である保証はない。本発明は従来のものの上記課題（問
題点）を解決したクリーンルームにおける搬送ロボット
を用いた物品搬送管理方法を提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のクリーンルーム
における搬送ロボットを用いた物品搬送管理方法は、上
記課題を解決するために、加工／処理品を搭載して無人
搬送されるカセット及び／又は該カセットの搭載物の所
定位置に装着する電子モジュールを備えると共に、上記
電子モジュールと通信する無線通信機能と該無線通信機
能によって上記電子モジュールの記憶機能の記憶内容を
読み出す機能を有する地上局を搬送ロボットの所定位置
に備え、上記電子モジュールの記憶機能に、上記カセッ
ト及び／又は該カセットの搭載物を特定するコード等の
情報等を記録し、上記搬送ロボットの地上局が読み取っ
た上記情報によって、該搭載物の次工程に対する搬送管
理をするようにした。この場合、上記搬送ロボットは、
カセットを一時保管するストッカの出庫用として用いる
ものとする。又、上記搬送ロボットは、情報通信機能に
よって該移送装置の上位管理装置及び／又は制御装置に
接続され、また、この搬送ロボットに設けた地上局に
は、上記無線通信機能によって上記電子モジュールの記
憶機能に所定情報を書き込む機能を設け、上記電子モジ
ュールは着脱自在とし、カードタイプとするのが望まし
い。

【０００８】本発明は、上述のような方法としたので、
無人搬送カセットの管理が容易確実に実行され、ホスト
コンピュータが停止した後であっても、各所に配設した
電子モジュールの記憶機能の記憶内容の読み取り機能に
よって、自動的に速やかに各カセット、即ち、搬送品の
所在地を把握できる。又、電子モジュールの記憶機能の
記憶内容に書き込む機能によって、カセットの搭載物や
その状態を変化させた場合は即座に対応できる。電子モ
ジュールを着脱自在にすると、カセットと搭載物品を示
す情報表示の管理が容易になり、電子モジュールをカー
ドにすると、アンテナの構成が容易で、故障時等の取り
替え処理が容易になり、無線通信機能との間隔を接近で
きる。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の最適な実施の形態を図を
参照して詳細に説明する。 第１の実施の形態：図１は本発明に基づく無線通信機能
を備えた電子モジュールを用いた物品搬送管理方法を適
用した物品搬送処理システムの機能構成を示している。
図１において、１はカセットで、このカセット１には無
人搬送機能（図示せず）が設けられたクリーンルーム内
における処理材料である半導体ウェーハ等が搭載されて
いる。２はホストコンピュータ装置で、この物品搬送処
理システムを含めた上位の情報処理システムを制御管理
するもので、操作機能や表示機能等の図示は省略してい
る。カセット１の所定面の表面には、記憶機能と無線通
信機能を備えた電子モジュールの一種であるカードタイ
プのＩＣカード１０が搭載されている。１１は移動局と
して機能するＩＣカード１０の無線通信機能のための移
動局用アンテナで、送信用と受信用を一体にして示して
いる。

【００１０】２０は地上局として機能する無線通信機能
で、図２に示す搬送ロボット３０のアーム３０ａの先端
の所定位置に搭載される。この無線通信機能２０は、物
品搬送システムを適用した上位システムとして設けられ
た各種処理施設又は倉庫施設等における業務を実行する
ためにＩＣカード１０とセットになって無線通信を行う
ものである。２１はＩＣカード１０と無線通信機能２０
のための地上局用アンテナで、送信用と受信用を一体に
して示している。無線通信機能２０は接続ケーブル２０
ａによって搬送品管理業務を実行するための単位情報処
理機能２２に接続している。単位情報処理機能２２にお
ける情報入力装置や表示装置及びカセットの移送用の搬
送ロボットの制御装置の図示は省略している。単位情報
処理機能２２は接続ケーブル２２ａによってホストコン
ピュータ装置２に接続している。ホストコンピュータ装
置２に接続される接続ケーブル２ａは単位情報処理機能
２２以外の各施設に配設されたその他の単位情報処理機
能やカセットの無人搬送用制御機能等と接続するケーブ
ルを総合して示している。

【００１１】次に、図２、図３によってストッカに保管
されたカセットを出庫する場合におけるＩＣカード１０
と無線通信機能２０の機能を説明する。なお、図２は本
発明を説明するためのストッカとロボットの構造関係の
概要を示し、図３は無線通信のための主要機能要素を示
し、搬送波の発振機能、データ処理機能の詳細等その他
の機能要素は省略し簡略化して示している。

【００１２】図２において、３０は出庫専用又は入出庫
業務を行う搬送ロボット（以下ロボットと略すことが多
い）で、アーム３０ａの先端に支持体を介して設けられ
るグリップ３１によってカセットを把握し移載するよう
に構成されている。又、２１はロボット３０のアーム３
０ａの先端に支持体３０ｂを介して装着した地上局の無
線通信機能用の地上局用アンテナである。図２に示した
上記のアンテナ２１は無線通信機能用回路２０Ａに接続
され、無線通信機能用回路２０Ａは、単位情報処理機能
２２と共にデータ処理装置（地上局と称す）２２Ａを構
成している。即ち、アンテナ２１と無線通信機能用回路
２０Ａは地上局として搭載する対象である、例えばロボ
ットの構造に対応し、内部回路を適切に構成することに
よって図１に示すように無線通信機能２０として一体に
しても図２に示すように分離させるようにしても良い。
地上局２２Ａはロボットの制御装置３０Ａに接続され、
地上局２２Ａとロボットの制御装置３０Ａは適切にホス
トコンピュータ装置２に接続されている。ロボット３０
本体と制御装置３０Ａとを接続するケーブル類の図示は
省略している。２ａは接続ケーブルで、ホストコンピュ
ータ装置２に接続される。４０Ａはカセットのストッカ
であるラックで、図２ではラック４０Ａを横からみた状
態を示している。１ｂはラック４０Ａの所定の棚４０Ａ
2に保管されたカセット、１０Ａは移動局で、カセット
１ｂに搭載されたＩＣカード１０に設けられる。

【００１３】図３において、２２Ａは前述したように地
上に装置した無線通信機能用回路２０Ａと単位情報処理
機能２２を合成して示した地上局である。地上局２２Ａ
はホストコンピュータ装置２に接続されている。ホスト
コンピュータ装置２は、２２Ａで示す以外の地上局を総
括して示す地上局２２Ｎと、無人搬送システム管理用、
即ち、各カセットを搭載した無人搬送機能の制御機能２
９に接続されている。１０Ａは前述したようにＩＣカー
ドの機能要素（以下移動局と記す）の構成を示してい
る。地上局２２Ａにおいて、単位情報処理機能２２は対
人用のインタフェース２３を備えている。所定の場所に
配設された地上局２２Ａの対人用インタフェース２３に
よって、例えばそのラックにカセット１の搭載物（以下
カセット搭載物という）を入出庫し、又は入庫したカセ
ット搭載物に関する必要情報を対象カセットの移動局１
０Ａに記憶すべき事項を書き込む。又、後述するように
検知された異常情報を報知する機能を備えている。対人
用インタフェース２３を介して地上局２２Ａに入力され
たデータ、又は／及び、上位管理機能としてのホストコ
ンピュータ装置２等から入力される指令信号等は、所定
のコード化された信号として、一時ホールドされる（こ
の信号を、一時ホールド信号という）。又、地上局２２
Ａの無線通信機能（符号指示は省略）においては、送信
信号作成部２４で作成される搬送波を所定の呼びかけ信
号をＰＳＫ（位相変調）又はＦＳＫ（周波数変調）で変
調した出力信号を出力増幅機能２５ａで増幅し、波形成
形のフィルタリング機能と送信アンテナ２１ａとのマッ
チング機能を備えた出力部２５ｂから送信アンテナ２１
ａに供給する。

【００１４】今、ホストコンピュータ装置２又は対人用
のインタフェース２３への手動指令等所定の上位管理装
置からロボットの制御装置３０Ａに、カセット１ｂの置
かれた棚の上部の棚４０Ａ1を指定して出庫指令が出さ
れると、制御装置３０Ａの働きでロボット３０のグリッ
プ３１は棚４０Ａ1の前に移動する。グリップ３１が棚
４０Ａ1の前に移動されると、地上局２２Ａの働きで無
線通信機能２０は所定の呼びかけ信号を送信する。しか
しながら、棚４０Ａ1にはカセットが存在しないので、
当然、無線通信機能２０はカセットに搭載される移動局
から送信する筈の後述する応答信号を受信しない。従っ
て、無線通信機能２０に接続する単位情報処理機能２２
はこの棚４０Ａ1にカセットがないと判定して予め設定
した信号を出力する。即ち、例えば、対人用インタフェ
ース２３等によって作業員に報知し、又は、ホストコン
ピュータ装置２に報告する。

【００１５】次に、所定の上位管理装置からロボットの
制御装置３０Ａに、棚４０Ａ2からカセット１ｂを出庫
するように指令が出されると、制御装置３０Ａの働きで
ロボット３０のグリップ３１は棚４０Ａ2の前に移動す
る。グリップ３１が棚４０Ａ2の前に移動すると、前記
と同様、無線通信機能２０は所定の呼びかけ信号を送信
する。

【００１６】移動局１０Ａにおいては、受信アンテナ１
１ａが地上局２２Ａが送信する送信電波を受信すると、
受信機能１２で受信波を増幅し復調する。又、整流して
直流成分を取り出し蓄電機能１３に蓄電する。蓄電機能
１３で蓄電された電気エネルギーは、移動局１０Ａの各
電気回路を作動するために使用される。受信機能１２で
復調された信号はデータ処理機能１４を操作する。即
ち、前述した呼びかけ信号を受信すると、データ処理機
能１４は、所定の応答信号と予め設定されたカセット番
号等の送信データをデータ処理機能１４に備えた記憶機
能から読み出し、送信機能１５で所定周波数の搬送波
に、例えばＡＳＫ（振幅変調）で変調して送信アンテナ
１１ｂから送信する。

【００１７】地上局２２Ａの受信アンテナ２１ｂは移動
局１０Ａの送信する電波を受信すると、無線通信機能
（符号指示は省略）に属する受信信号増幅機能２６で増
幅し、復調機能２７で送信された信号を取り出して単位
情報処理機能２２に伝送する。単位情報処理機能２２は
応答信号を確認し、指令された出庫カセットに関するデ
ータと一致しないと、例えば、対人用インタフェース２
３等によって作業員に報知し、又は、ホストコンピュー
タ装置２に報告する。単位情報処理機能２２は応答信号
を確認して指令された出庫カセットに関するデータと一
致することを判定すると、ロボットの制御装置３０Ａに
ＯＫ信号を送信するので、図２のロボット３０は出庫作
業を実行する。従って、例えば、ロボット３０によって
棚４０Ａ2にストックされていた対象カセットが図示し
ない無人搬送機能に搭載される。従って、無人搬送機能
の制御機能２９によって、上述した物品を搭載したカセ
ット１ｂは、次の処理施設等に搬送される。又、ロボッ
トの制御装置３０Ａは所定の報告信号をホストコンピュ
ータ装置２に送信する。

【００１８】移動局のデータ処理機能１４に備えた記憶
機能の内容書き換え指令が地上局２２Ａに指令されてい
る場合は、前述した一時ホールド信号に所定の指令信号
を付加して送信信号作成部２４で作成される搬送波に変
調して送信アンテナ２１ａから送信する。移動局１０Ａ
においては受信アンテナ１１ａが地上局２０Ａが送信す
る送信電波を受信すると受信機能１２で復調され、復調
された前述の信号は、受信信号に含まれる所定の指令信
号に従って処理される。この場合は、データ処理機能１
４に設けられた記憶機能に記録される。地上局２２Ａと
移動局１０Ａが上述のような交信可能状態にあるとき
に、対人用のインタフェース２３によって、カセット搭
載物に関する情報が書き込まれると、上記のように一時
ホールドされることなく直ちに、移動局１０Ａに送信さ
れる場合もある。

【００１９】上述の説明では、カセットの自動移送を行
う搬送ロボットのアーム先端部にアンテナのみ（図２に
図示する）又は無線通信機能を含めて（図１に図示す
る）装着するように説明したが、搬送ロボットの機構的
条件に対応して適切に構成した地上局の所定部を適切な
箇所に配設すれば良い。又、カセットを移送するため
に、搬送ロボットにグリップを装着するように説明した
が、カセット移動機構はカセットとカセットの移送装置
の構造と構成条件等に対応してフォークでも良く、これ
らの移動機構の条件に対応して無線通信機能又はアンテ
ナの装着条件と装着位置を設定すれば良い。

【００２０】第２の実施の形態：第１の実施の形態では
電子モジュールであるＩＣカードをカセットに固定して
いるように図示したが、図４に示す第２の実施の形態の
ものは、ＩＣカードを着脱自在に設けたものである。図
４において、１０Ｓはカセット１に設けられたＩＣカー
ドホルダ（電子モジュールホルダ）で、このＩＣカード
ホルダ１０Ｓに通信機能を設けたＩＣカード１０が着脱
自在に装着されている。１１は移動局であるＩＣカード
のアンテナ（地上局用アンテナ）である。即ち、地上局
２２Ａを形成しない施設からカセット１に搭載した物品
を搬出する場合等に、特定のカセット１に対応させて予
め情報を書き込んだＩＣカード１０を準備し、必要な時
に装着するようにする。又、ＩＣカード１０が故障した
場合にもスペアのＩＣカードとの交換が実行できる。そ
の他は、図１乃至図３を参照して説明した第１の実施の
形態と同一なので説明は省略する。

【００２１】上述の説明は本発明の技術思想を実現する
ための基本構成とその働きを説明する実施の形態を示し
たものであって、クリーンルーム関連の無人搬送システ
ムや搭載物である半導体ウエーハ等の処理装置とその搬
送カセットの条件等に対応して適切に適用すれば良い。
例えば、カセットに搭載する電子モジュールとしてＩＣ
カードの場合を示したが、その他の形状構成の機能であ
っても、実施の形態で説明したように、対応カセットに
関する情報を詳細にカセット自体に搭載し、地上との間
に形成した無線通信機能によって地上の担当者又は管理
機能（ホストコンピュータ等）に報知し、又、地上担当
者又は管理機能（ホストコンピュータ等）から入力され
る情報を記録する機能を設けることができれば良い。
又、カセット上に電子モジュールを搭載する位置も、各
実施の形態では上面であるように図示説明したが、カセ
ットの使用条件とストッカの構造等に対応させて任意適
切な箇所に搭載するようにすれば良い。又、地上局の無
線通信機能の装着位置と送信出力もカセットへの電子モ
ジュールの装着条件等と対応させて設定すれば良い。
又、データ書き込みの必要がない地上局には、データ読
み取り機能のみで、データ書き込み機能を設けなくても
良いことは当然である。又、実施の形態の説明において
は、カセットをロボットによってラックから出庫する場
合についてのみ記したが、処理装置等からカセット類を
移動させる場合にも本発明は同様に機能させ得ることは
明らかであり、出庫以外の場合に、移動局上に記録され
たデータの書き換えが必要な場合にも上記の説明を参照
して実行できることは明らかである。ロボットは、本発
明に基づく機能機器の搭載に関係なく従来の作業を実行
できることも当然である。

【００２２】

【発明の効果】本発明は上述した要素機能により成るの
で、次のような優れた効果を有する。 (１)移送物であるカセット又はカセット搭載物に無線通
信機能と記憶機能を備えた電子モジュールを設けると共
に、地上局の無線通信用アンテナを搬送ロボットの先端
部所定位置等に装着したので、出荷時には、搬送ロボッ
トと電子モジュール間で適切な交信を行い、ストッカ中
に収納された多くのカセット中から所望のカセットの存
在とそのカセットの搭載物の確認を的確に行い、次工程
への搬送を容易確実に行うことができる。 (２)この場合、電子モジュールをカードタイプにする
と、カセットへの装着を含めた取り扱いが容易になる。 (３)又、カセットに対する電子モジュールを着脱自在に
すると、電子モジュールへの情報記録を予め行っておく
ことができ、電子モジュール故障の場合の交換が容易に
できるので、システムとしての管理とメンテナンスが容
易に実行できる。 (４)又、本発明では上記のように搬送物品とこの物品に
関する情報が完全に同期をとって搬送でき、容易に把握
できるので、例えば管理部門でカセットの所在や関連情
報が紛失するような事態が起きても、物品の存在箇所は
迅速、的確に発見でき、カセットの搭載内容を把握する
ことができる。 (５)更に、本発明のように電子式の記憶機能に情報を記
憶させるようにすれば、従来のバーコードを用いた場合
のように、記載情報量が限定されることがない。例え
ば、バーコードが２０桁程度の情報しか記録できないの
に対して、５１２バイト乃至１０２４バイト等の記憶容
量が容易に得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に基づくクリーンルームにおける物品搬
送管理方法を適用した第１の実施の形態の概要構成と、
第２の実施の形態の概要構成を示す斜視図である。

【図２】本発明に基づく第１及び第２の実施の形態を説
明するストッカ(ラック)と移送用の搬送ロボットの側面
図である。

【図３】本発明を適用した第１及び第２の実施の形態に
対応する無線通信機能における地上局と移動局夫々を構
成する要素機能の概要構成を示すブロック図である。

【図４】本発明を適用した第２の実施の形態を説明する
移動局の着脱構造を説明する斜視図である。

【図５】従来のものの問題点を説明するストッカ(ラッ
ク)の正面図である。

【符号の説明】

１：カセット ２：ホストコンピュータ装置 １０：電子モジュール（ＩＣカード）、（移動局） １０Ａ：移動局 １０Ｓ：電子モジュールホルダ（ＩＣカードホルダ） １１：移動局用アンテナ １４：移動局のデータ処理機能 ２０：無線通信機能 ２１：地上局用アンテナ ２２：単位情報処理機能 ２２Ａ：地上局 ２９：無人搬送機能の制御機能 ３０：搬送ロボット ３０ａ：アーム ３１：グリップ ４０Ａ：ストッカ（ラック）

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルームにおける加工／処理品を
   搭載して無人搬送されるカセット及び／又は該カセット
   の搭載物の所定位置に装着する無線通信機能と記憶機能
   を有する電子モジュールを備えると共に、 上記電子モジュールと通信する無線通信機能と該無線通
   信機能によって上記電子モジュールの記憶機能の記憶内
   容を読み出す機能を有する地上局を搬送ロボットの所定
   位置に備え、 上記電子モジュールの記憶機能に、上記カセット及び／
   又は該カセットの搭載物を特定するコード等の情報等を
   記録し、上記搬送ロボットの地上局が読み取った上記情
   報によって、該搭載物の次工程に対する搬送管理をする
   ようにしたことを特徴とするクリーンルームの物品搬送
   管理方法。
2. 【請求項２】 上記搬送ロボットは、カセットを一時保
   管するストッカの出庫用として用いられる請求項１記載
   のクリーンルームの物品搬送管理方法。
3. 【請求項３】 上記搬送ロボットは、情報通信機能によ
   って該移送装置の上位管理装置及び／又は制御装置に接
   続され、また、この搬送ロボットに設けた地上局には、
   上記無線通信機能によって上記電子モジュールの記憶機
   能に所定情報を書き込む機能を設けた請求項１又は２記
   載のクリーンルームの物品搬送管理方法。
4. 【請求項４】 上記電子モジュールは着脱自在とした請
   求項１乃至３のいずれかに記載のクリーンルームの物品
   搬送管理方法。
5. 【請求項５】 上記電子モジュールはカードタイプであ
   る請求項１乃至４のいずれかに記載の物品搬送管理方
   法。