JPH09314663A - ラミネータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ラミネート時にレジストを軟化させるための
有効な加熱手段を新たに設けたラミネータを提供する。 【解決手段】 感光性レジストを片方の面に付着され
たフィルム２を、一対のラミネートロール４によって基
板１上に連続的にラミネートするためのラミネータは、
ラミネートされる前のフィルム部分をラミネートロール
４へと案内するフィルムガイド５を備えている。フィル
ムガイド５は、ラミネートされる前のフィルム部分を案
内する際、該フィルム部分の、レジストを付着されてい
ない面と接触する。フィルムガイド５にはヒータ６が設
けられている。ヒータ６により、フィルムガイド５の、
ラミネートされる前のフィルム部分が接触する面の温度
が上昇される。加熱ユニット１３の前端には、別のヒー
タ７が保持されている。ヒータ７は、ラミネートされる
前のフィルム部分の、レジストを付着された面に近接し
て対向した位置にて、該フィルム部分を加熱する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性レジストを
片方の面に付着されたフィルムの先端を、基板の前端に
仮付けし、ラミネートロールによって該フィルムを基板
上に連続的にラミネートするためのラミネータに関す
る。かかるラミネータは、例えば、プリント回路用基板
やフラットディスプレイ用ガラス基板上に電気回路等の
パターンを転写する露光工程に先立ち、これらの基板に
感光性レジストフィルムをラミネートするのに用いられ
る。

【０００２】

【従来の技術】基板の前端に感光性レジストフィルムの
先端を仮付けした後、一対のラミネートロール（圧着ロ
ール）によって該フィルムを基板に連続的にラミネート
してゆく典型的なラミネータの一例が、特公昭６２−４
９１６９号公報に開示されている。このラミネータにお
いて、基板は入口側コンベアによってフィルム仮付け位
置に向けて搬送され、該フィルム仮付け位置にて一旦停
止された後にフィルム仮付け装置によって前端にフィル
ム先端を仮付けされ、一対のラミネートロール間に送り
込まれてフィルムをラミネートされる。ラミネートされ
る前のフィルム部分は、レジストを付着されていない面
を、ラミネートロールの手前側に配置されたフィルムガ
イドに接触させながら、該フィルガイドによって案内さ
れ、一対のラミネートロール間へと送り込まれる。

【０００３】基板と感光性レジストフィルムとは、良好
な相互密着性を要求されるが、かかる密着性は次の条件
により決定されると言ってよい。

【０００４】１．ラミネートロールの加圧力と温度 ２．ラミネート時におけるレジストと基板との温度 ３．ラミネート速度 ４．基板およびフィルムのそれぞれの特性 近年、基板に形成されるパターンは、その描線の幅が狭
くなる傾向にある。したがって、感光性レジストフィル
ムと基板との密着性を高める要望は益々強くなってい
る。一方、生産性を向上させるためには、ラミネート速
度を高める必要があるが、高速になるほど、高い密着性
を得るのが難しくなる。

【０００５】ラミネート時におけるフィルムおよび基板
を、適正な温度まで上昇させると、密着性が向上するこ
とが知られている。これは、フィルムに付着された感光
性レジストがラミネート時に十分軟化し、また他の状態
変化を伴うことにより、基板に密着しやすくなるからと
考えられる。この点を考慮して、従来のラミネータにお
けるラミネートロールは、ヒータを内蔵したホットロー
ルとされている。かかるホットロールは、ラミネート時
に重ねられた基板およびフィルムの双方を加熱し、それ
によって、レジストを軟化させている。同時にホットロ
ールは、フィルム上の軟化したレジストを、加圧力によ
って基板上に押し付け、フィルムと基板とを密着させ
る。

【０００６】しかしながら、生産性を向上すべくラミネ
ート速度を上げた場合、ホットロールによる加熱ではレ
ジストを十分に軟化させることができなくなる場合が多
い。ホットロールが、より速く回転するため、基板およ
びフィルムを所望の温度にまで上昇させるだけの接触加
熱時間が得られなくなるからである。その結果、ほとん
ど加圧力のみに依存してラミネートする状態となり、十
分に高い密着性は得られない。

【０００７】そこで、ラミネータに投入される前の基板
をあらかじめ昇温させておくためのプリヒータ装置を、
ラミネータの前工程に設けることが一般的に行われてい
る。レジストと接する基板の方を加熱することにより、
ラミネート時にレジストを軟化させようとする考えであ
る。かかるプリヒータ装置をホットロールと併用するこ
とにより、ラミネート時の基板の温度はさらに高められ
る。したがって、レジストの軟化の程度も進み、フィル
ムと基板との間の密着性も向上する。

【０００８】しかしながら、ラミネート速度をより高速
化しようという要求のもとでは、上述したようなプリヒ
ータ装置を追加してもなお、ラミネート時にレジストを
十分に軟化させることができず、したがって所望の高い
密着性が得られない場合が多くなっている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明が解決し
ようとする課題は、ラミネート時にレジストを軟化させ
るための有効な加熱手段を新たに設けたラミネータを提
供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の発明者は、軟化
させるべきレジストを有するフィルム自身をラミネート
前にあらかじめ加熱する（プリヒート）適切な手段がこ
れまでに提案されていなかったことに着目し、かかる加
熱手段を設けたラミネータを開発した。

【００１１】本発明によれば、感光性レジストを片方の
面に付着されたフィルムの先端を、基板の前端に仮付け
し、ラミネートロールによって該フィルムを基板上に連
続的にラミネートするためのラミネータであって、ラミ
ネートされる前のフィルム部分の、レジストを付着され
ていない面と接触しながら、該ラミネートされる前のフ
ィルム部分を前記ラミネートロールへと案内するフィル
ムガイドを備えるものにおいて、前記フィルムガイドに
ヒータが設けられ、該ヒータにより、前記フィルムガイ
ドの、前記ラミネートされる前のフィルム部分が接触す
る面の温度を上昇可能となされている、ラミネータが提
供される。

【００１２】フィルムガイドにヒータを設けることに代
えて、または、フィルムガイドにヒータを設けることに
加えて、前記フィルムガイドによって案内される、前記
ラミネートされる前のフィルム部分の、レジストを付着
された面に近接して対向するように配置可能なヒータを
設けてもよい。このヒータによっても、前記ラミネート
される前のフィルム部分を加熱する。

【００１３】前記ラミネートされる前のフィルム部分
の、レジストを付着された面に近接して対向するように
配置可能な前記ヒータは、該レジストを付着された面に
対して近接および離反するように移動可能とすることが
できる。

【００１４】いずれのヒータも、前記ラミネートされる
前のフィルム部分が前記フィルムガイドによって案内さ
れるときのみ、作動状態とされ、それ以外は非作動状態
とされるようにすることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１に示したラミネータ３は、特
公昭６２−４９１６９号公報に開示されたものとほぼ同
様な構造を有するが、後述するように、フィルムガイド
５にヒータが設けられ、また、新たに加熱ユニット１３
が備えられている点で異なる。

【００１６】ラミネータ３の動作を概略的に説明する。
図１の左方からローラコンベア８によって搬送されてき
た基板１は、前端が仮付けブロック１４のところまで来
た位置（フィルム仮付け位置）で一旦停止される。ロー
ル１５の形状に巻かれた感光性レジストフィルム２は、
ロール状態から引き出され、その先端は仮付けブロック
１４に吸着保持されている。仮付けブロック１４が基板
１の前端に近づき、該前端にフィルム２の先端（レジス
ト側）を仮付けした後、図示の後退位置へと戻る。基板
１は再び右方へと搬送され始め、それとほぼ同時に、フ
ィルム２の先端を仮付けされた基板１の前端が、一対の
ラミネートロール４間に入り込む。ラミネートロール４
が回転することにより、フィルム２は基板１に連続的に
ラミネートされてゆく。このとき、フィルム２は、ロー
ル状態から引き出されながら、レジストが付着されてい
ない面をフィルムガイド５に接触させた状態で、ラミネ
ートロール４間へと案内される。連続するフィルム２
は、基板１の長さに合わせて適当な長さに切断され、最
終的にはフィルムシートとなって基板１上にラミネート
される。フィルムガイド５は、切断されたフィルムシー
トの後端が基板１上に垂れてしまわないように、該後端
を負圧吸引して保持しながら案内する。

【００１７】ヒータを備えたフィルムガイド５および加
熱ユニット１３の詳細は、図２に示されている。フィル
ムガイド５の一部には、平面状のヒータ６が設けられて
いる。このヒータ６は、少なくともフィルム２が接触す
る面が十分に昇温されるよう、フィルムガイド５を加熱
する。このヒータ６付きのフィルムガイド５は、該フィ
ルムガイド５と接触する、ラミネートされる前のフィル
ム部分を、レジストが付着されていない面側から加熱す
る役割を果たす。

【００１８】一方、加熱ユニット１３は、ラミネートさ
れる前のフィルム部分を、レジストが付着された面側か
ら加熱するためのヒータ７を備えている。加熱ユニット
１３はさらに、ヒータ７を前端に保持し且つ基板進行方
向すなわち図２で左右方向に移動可能なロッド９と、該
ロッド９の移動を案内するガイド１０と、ロッド９を駆
動するエアシリンダ１１とを備えている。エアシリンダ
１１のロッド前端は、ロッド９の後端に連結されてお
り、エアシリンダ１１の後端は、ガイド１０とともにラ
ミネータのベース１２に取り付けられている。ロッド９
の前端に保持されたヒータ７は、エアシリンダ１１の作
動により、フィルムガイド５に近づいた位置をとった
り、フィルムガイド５から遠ざかった位置をとったりす
るように移動可能である。別の言い方をすれば、ヒータ
７は、フィルムガイド５によって案内される、ラミネー
トされる前のフィルム部分の、レジストを付着された面
に対して近接および離反するように移動可能となされて
いる。ヒータ７は、レジストを付着された面に近接して
対向する位置（二点鎖線で示す）において、フィルム２
を加熱する。ヒータ７は、レジストを直接加熱してこれ
を軟化させることになる。ヒータ７がフィルムガイド５
から遠ざかった位置をとるのは、フィルム２の仮付け時
に仮付けブロック１４と干渉するのを避けるためであ
る。

【００１９】ヒータ６およびヒータ７は、それぞれ温度
センサによって一定の温度となるように制御することが
望ましく、また、フィルム２がフィルムガイド５を通過
するときのみ作動状態（ＯＮ）とし、それ以外は非作動
状態（ＯＦＦ）とするようにしてもよい。

【００２０】図示したヒータ７の形状は、フィルムガイ
ド５のフィルム接触面の曲面形状に対応した形状とされ
ているが、他の形状、例えば円形断面を有するヒータと
してもよい。

【００２１】また、ヒータ６も、図示形状は平板である
が、別の形状としてもよい。また、ヒータ６は、図示し
た場所以外の、フィルムガイド５の別の位置に取り付け
るようにしてもよい。

【００２２】ヒータ７としては、赤外線ヒータまたは遠
赤外線ヒータを用いることが望ましい。しかしながら、
全く異なる形式のヒータを採用することもできる。例え
ば、フィルムに熱風を吹き付けるノズル装置をヒータと
してもよい。

【００２３】ヒータ６およびヒータ７は、同時に使用す
ることができるが、個別に使用する態様をとることもで
きる。

【００２４】本発明によるラミネータは、ラミネータに
投入される前の基板をあらかじめ加熱しておくプリヒー
タ装置と併用して用いられることが好ましい。さらに、
本発明によるラミネータにおけるラミネートロールは、
ヒータを内蔵したホットロールとすることが好ましい。
このように、本発明において使用されているヒータに加
えて、公知の他の加熱手段を併用することにより、フィ
ルム上のレジストを軟化させるための熱エネルギを累積
的に高めることができ、その分、ラミネート速度を一層
速くすることができる。

【００２５】

【発明の効果】本発明によれば、フィルムをラミネート
前にあらかじめ加熱する新たな加熱手段を設けたラミネ
ータが提供される。レジストを軟化させるためには、レ
ジストを有するフィルム自身をプリヒートするという本
発明における加熱手段が最も有効である。レジストが十
分に軟化されたフィルムは、高い密着性をもって基板上
にラミネートされることができる。したがって、描線の
幅の狭いパターンの露光においても、支障をきたすこと
はない。また、速いラミネート速度にも対応できる。

【００２６】さらに、フィルムの表裏両側にヒータが設
けられた場合には、フィルムの両面を同時に別々のヒー
タによって加熱することができるので、特に有効な加熱
状態が得られる。

【００２７】また、フィルムをプリヒートする手段を有
する本発明によるラミネータを、公知の基板のプリヒー
タ装置や、ラミネータ時に基板およびフィルムを加熱す
るホットロールと併用することにより、さらに好ましい
加熱状態が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるラミネータの一実施例の側面図。
下部のラミネート機構は上部のものとほぼ同様なので図
示を省略してある。

【図２】本発明によるラミネートにおいてヒータが設け
られた部分を拡大して示す断片側面図。

【符号の説明】

１ 基板、２ 感光性レジストフィルム、３ ラミネー
タ、４ ラミネートロール、５ フィルムガイド、６
ヒータ、７ ヒータ、 ８ ローラコンベア、９ロッ
ド、１０ ガイド、１１ エアシリンダ、１２ ベー
ス、１３ 加熱ユニット、１４ 仮付けブロック、１５
ロール。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 感光性レジストを片方の面に付着された
   フィルムの先端を、基板の前端に仮付けし、ラミネート
   ロールによって該フィルムを基板上に連続的にラミネー
   トするためのラミネータであって、ラミネートされる前
   のフィルム部分の、レジストを付着されていない面と接
   触しながら、該ラミネートされる前のフィルム部分を前
   記ラミネートロールへと案内するフィルムガイドを備え
   るものにおいて、 前記フィルムガイドにヒータが設けられ、該ヒータによ
   り、前記フィルムガイドの、前記ラミネートされる前の
   フィルム部分が接触する面の温度を上昇可能となされて
   いる、ラミネータ。
2. 【請求項２】 感光性レジストを片方の面に付着された
   フィルムの先端を、基板の前端に仮付けし、ラミネート
   ロールによって該フィルムを基板上に連続的にラミネー
   トするためのラミネータであって、ラミネートされる前
   のフィルム部分の、レジストを付着されていない面と接
   触しながら、該ラミネートされる前のフィルム部分を前
   記ラミネートロールへと案内するフィルムガイドを備え
   るものにおいて、 前記フィルムガイドによって案内される、前記ラミネー
   トされる前のフィルム部分の、レジストを付着された面
   に近接して対向するように配置可能なヒータが設けられ
   ており、該ヒータにより、前記ラミネートされる前のフ
   ィルム部分を加熱するようになされている、ラミネー
   タ。
3. 【請求項３】 感光性レジストを片方の面に付着された
   フィルムの先端を、基板の前端に仮付けし、ラミネート
   ロールによって該フィルムを基板上に連続的にラミネー
   トするためのラミネータであって、ラミネートされる前
   のフィルム部分の、レジストを付着されていない面と接
   触しながら、該ラミネートされる前のフィルム部分を前
   記ラミネートロールへと案内するフィルムガイドを備え
   るものにおいて、 前記フィルムガイドにヒータが設けられ、該ヒータによ
   り、前記フィルムガイドの、前記ラミネートされる前の
   フィルム部分が接触する面の温度を上昇可能となされて
   おり、 前記フィルムガイドによって案内される、前記ラミネー
   トされる前のフィルム部分の、レジストを付着された面
   に近接して対向するように配置可能なヒータが設けられ
   ており、該ヒータにより、前記ラミネートされる前のフ
   ィルム部分を加熱するようになされている、ラミネー
   タ。
4. 【請求項４】 前記ラミネートされる前のフィルム部分
   の、レジストを付着された面に近接して対向するように
   配置可能な前記ヒータが、該レジストを付着された面に
   対して近接および離反するように移動可能となされてい
   る、請求項２または３に記載のラミネータ。
5. 【請求項５】 前記ラミネートされる前のフィルム部分
   が前記フィルムガイドによって案内されるときのみ、前
   記ヒータが作動状態とされ、それ以外は非作動状態とさ
   れるようになされている、請求項１ないし４のいずれか
   に記載のラミネータ。