JPH09314785A - 金属箔張り積層板の製造方法及び製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 生産性良く、安定した高い品質で金属箔張り
積層板を製造する。 【解決手段】 所定枚数の樹脂含浸基材１の外側に金属
箔２を重ね、この重ね合わせ材３を連続して送りつつ対
向配置される一対の加圧ベルト４，４間に通して加圧す
る。この際に、加圧ベルト４の前後において金属箔２に
電流を流して金属箔２を発熱させる。このようにして連
続工法で重ね合わせ材３を加熱加圧して積層成形する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板に
加工して使用される金属箔張り積層の製造方法及び金属
箔張り積層板の製造装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】金属箔張り積層板は一般に、基材に熱硬
化性樹脂を含浸乾燥して調製した樹脂含浸基材を複数枚
重ねると共にその片側あるいは両側の外面に銅箔等の金
属箔を重ね、これを熱盤間にセットしてプレスすること
によって、加熱加圧成形して製造されている。しかしこ
の方法では成形がバッチ工法になるため、生産能率が非
常に悪くなる。

【０００３】そこで、特公平４−７６７８４号公報等に
開示されるような連続工法で金属箔張り積層板を製造す
る技術が提供されている。すなわちこの製造法は、長尺
の樹脂含浸基材を複数枚連続して送りながら重ね合わせ
ると共に、長尺の金属箔を同様に連続して送りながら樹
脂含浸基材の外側に重ね、そしてこのように重ね合わせ
たものを連続して送りつつ対向配置される一対の加圧ベ
ルト間に通し、加圧ベルトによって加圧すると共に、加
圧ベルトの内側に配設した加熱装置で加熱することによ
って、加熱加圧成形を連続して行なうようにしたもので
あり、金属箔張り積層板を連続した流れの工法で生産性
良く製造することができるようにしたものである。

【０００４】しかし、このように加圧ベルトの内側に配
設した加熱装置で加熱する場合、加圧ベルト間に通す樹
脂含浸基材を均一に加熱することが困難であり、連続工
法では金属箔張り積層板を安定した品質で製造すること
が難しいという問題があった。一方、特表平７−５０８
９４０号公報には、金属箔に電流を流して金属箔を発熱
させることによって、樹脂含浸基材の加熱を均一に行な
うことができるようにした金属箔張り積層板の製造法が
提供されている。この製造法は、樹脂含浸基材の外側に
金属箔を重ねると共に絶縁プレートを挟んでジグザグに
折り返してつづら折り状に重ね、これをプレス装置にセ
ットし、そして金属箔に電流を流して金属箔を発熱させ
ることによって樹脂含浸基材を加熱しながら加圧し、金
属箔張り積層板を積層成形するようにしたものである。

【０００５】この方法では、積層する金属箔そのものを
発熱させるために、樹脂含浸基材の加熱を均一に行なう
ことが容易になり、安定した品質で金属箔張り積層板を
製造することができるが、積層成形はバッチ工法になる
ため、生産能率が悪いという問題があった。また特公昭
６２−５８９０３号公報には、長尺の金属箔と熱可塑性
合成樹脂フィルムとを重ね、金属箔に電流を流して金属
箔を発熱させると共に金属箔と熱可塑性合成樹脂フィル
ムをロール間に通して加圧することによって、金属箔張
り積層板を製造するようにした工法が記載されている。

【０００６】この方法では連続工法で成形を行なうこと
ができるために生産性が高く、また積層する金属箔その
ものを発熱させるために加熱を均一に行なうことが容易
になる。しかし加圧は金属箔と熱可塑性合成樹脂フィル
ムをロール間に通すことによって行なわれており、加圧
力はロール間を通過する一瞬の短時間作用するだけであ
る。熱可塑性合成樹脂フィルムを積層する場合にはこの
ような短時間の加圧でもよいが、プリント配線板に使用
される金属箔張り積層板は一般に熱硬化性樹脂によって
作製されており、熱硬化性樹脂の樹脂含浸基材を用いる
場合には硬化に時間を要するため、このようなロールに
よる短時間の加圧では外観良好で板厚精度の良い金属張
り積層板を成形することができず、実用的な品質の金属
張り積層板を得ることがはできない。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来か
ら提供されている方法では、いずれも、生産性良く、安
定した高い品質で金属箔張り積層板を製造することが難
しいという問題があった。従って本発明が解決しようと
する課題は、生産性良く、安定した高い品質で金属箔張
り積層板を製造することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明に係る金属箔張り
積層板の製造方法は、所定枚数の樹脂含浸基材１の外側
に金属箔２を重ね、この重ね合わせ材３を連続して送り
つつ対向配置される一対の加圧ベルト４，４間に通して
加圧すると共に、加圧ベルト４の前後において金属箔２
に電流を流して金属箔２を発熱させることによって、重
ね合わせ材３を加熱加圧して積層成形することを特徴と
するものである。

【０００９】また請求項２に係る金属箔張り積層板の製
造方法は、金属箔２に電流を流して金属箔２を発熱させ
る他に加圧ベルト４によって重ね合わせ材３を加熱する
ことを特徴とするものである。また請求項３に係る金属
箔張り積層板の製造方法は、積層成形を減圧雰囲気下で
行なうことを特徴とするものである。

【００１０】また請求項４に係る金属箔張り積層板の製
造方法は、金属箔２に電流を流して金属箔２を発熱させ
る他に加圧ベルト４によって重ね合わせ材３を加熱する
と共に、積層成形を減圧雰囲気下で行なうことを特徴と
するものである。また請求項５に係る金属箔張り積層板
の製造方法は、重ね合わせ材３を加熱加圧して積層成形
した後に、アフターキュアを行なうことを特徴とするも
のである。

【００１１】また請求項６に係る金属箔張り積層板の製
造方法は、加圧ベルト４の前後にそれぞれ金属ロール５
を配置し、金属箔２をこの金属ロール５に接触させつつ
送って金属ロール５を電極６として金属箔２に電流を流
すことを特徴とするものである。また請求項７に係る金
属箔張り積層板の製造方法は、樹脂含浸基材１の樹脂が
熱硬化性樹脂であることを特徴とするものである。

【００１２】また請求項８に係る金属箔張り積層板の製
造方法は、樹脂含浸基材１の基材がガラス繊維基材であ
ることを特徴とするものである。また請求項９に係る金
属箔張り積層板の製造方法は、配線回路１１を有する内
層材７を樹脂含浸基材１に重ねると共に樹脂含浸基材１
の外側に金属箔２を重ねて重ね合わせ材３を形成するこ
とを特徴とするものである。

【００１３】また請求項１０に係る金属箔張り積層板の
製造方法は、内層材７がフレキシブル配線材７ａである
ことを特徴とするものである。また請求項１１に係る金
属箔張り積層板の製造方法は、内層材７として貫通孔８
を設けたものを用いることを特徴とするものである。ま
た請求項１２に係る金属箔張り積層板の製造方法は、内
層材７として表面に樹脂層１５を設けたものを用いるこ
とを特徴とするものである。

【００１４】また請求項１３に係る金属箔張り積層板の
製造方法は、樹脂層１５の表面を粗面化することを特徴
とするものである。また請求項１４に係る金属箔張り積
層板の製造方法は、表面に樹脂層９を設けた金属箔２を
用いることを特徴とするものである。また請求項１５に
係る金属箔張り積層板の製造方法は、樹脂層９は接着性
を有するものであることを特徴とするものである。

【００１５】また請求項１６に係る金属箔張り積層板の
製造方法は、樹脂層９はレジスト材料で形成されている
ことを特徴とするものである。また請求項１７に係る金
属箔張り積層板の製造方法は、外面にレジスト材料の樹
脂層９ａを設けると共に内面に接着性を有する樹脂層９
ｂを設けた金属箔２を用いることを特徴とするものであ
る。

【００１６】本発明に係る金属箔張り積層板の製造装置
は、所定枚数の樹脂含浸基材１の外側に金属箔２を重ね
た重ね合わせ材３を加熱加圧して積層成形する金属箔張
り積層板の製造装置において、上記の重ね合わせ材３を
加圧しつつ連続して通すための一対の対向配置される加
圧ベルト４，４と、加圧ベルト４の前後においてそれぞ
れ配置され金属箔２に電流を流して金属箔２を発熱させ
る電極６とを具備して成ることを特徴とするものであ
る。

【００１７】また請求項１９に係る金属箔張り積層板の
製造装置は、金属ロール５で電極６を形成して成ること
を特徴とするものである。また請求項２０に係る金属箔
張り積層板の製造装置は、金属ロール５で形成される電
極６を加圧ベルト４の前後においてそれぞれ配置して成
ることを特徴とするものである。

【００１８】また請求項２１に係る金属箔張り積層板の
製造装置は、加圧ベルト４の表面を絶縁層１０で形成し
て成ることを特徴とするものである。また請求項２２に
係る金属箔張り積層板の製造装置は、加圧ベルト４表面
の絶縁層１０を金属酸化物層で形成して成ることを特徴
とするものである。また請求項２３に係る金属箔張り積
層板の製造装置は、加圧ベルト４表面の絶縁層１０を樹
脂層で形成して成ることを特徴とするものである。

【００１９】また請求項２４に係る金属箔張り積層板の
製造装置は、加圧ベルト４を絶縁材料で形成して成るこ
とを特徴とするものである。また請求項２５に係る金属
箔張り積層板の製造装置は、加圧ベルト４を断熱構造に
形成して成ることを特徴とするものである。また請求項
２６に係る金属箔張り積層板の製造装置は、加圧ベルト
４を多孔質体で作製して断熱構造に形成して成ることを
特徴とするものである。

【００２０】また請求項２７に係る金属箔張り積層板の
製造装置は、加圧ベルト４の内面に樹脂層１１を設けて
断熱構造に形成して成ることを特徴とするものである。
また請求項２８に係る金属箔張り積層板の製造装置は、
加圧ベルト４を加熱する加熱装置１２を具備して成るこ
とを特徴とするものである。また請求項２９に係る金属
箔張り積層板の製造装置は、加圧ベルト４を減圧室１３
内に設置して成ることを特徴とするものである。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。図１は本発明に係る製造装置の一例を示すもので
あり、エンドレスに形成される加圧ベルト４をローラ２
１，２１間に懸架すると共に、この加圧ベルト４を上下
一対、対向配置することによってダブルベルトプレスを
構成するようにしてある。上下の加圧ベルト４はローラ
２１によって常時、矢印方向に走行駆動されている。

【００２２】一方、樹脂含浸基材１や金属箔２としては
それぞれ長尺のものをコイル状に巻いて使用するもので
あり、複数枚の樹脂含浸基材１をコイルから繰り出して
ガイドロール２２で送りつつ重ねると共に、２枚の金属
箔２をコイルから繰り出して重ねた樹脂含浸基材１の両
側の各外面に重ね合わせ、そしてこの樹脂含浸基材１と
金属箔２を重ね合わせて形成される重ね合わせ材３を連
続して送りつつ、加圧ベルト４，４間に供給するように
してある。

【００２３】また加圧ベルト４の前後、つまり入口側と
出口側にはそれぞれ電極６が配置してあり、重ね合わせ
材３の加圧ベルト４，４間を通過する前の箇所と加圧ベ
ルト４，４間を通過した後の箇所において、この電極６
によって金属箔２に電流が流されるようにしてある。そ
して樹脂含浸基材１と金属箔２を重ね合わせた重ね合わ
せ材３を連続して送って加圧ベルト４，４間に通しなが
ら、上記のように加圧ベルト４の前後で金属箔２に電流
を流すと、金属箔２の電極６，６の間の部分がジュール
熱によって発熱する。従って、この金属箔２の発熱によ
る加熱と加圧ベルト４，４を通過する部分の加圧によっ
て、重ね合わせ材３を加熱加圧成形して、複数枚の樹脂
含浸基材１と表面の金属箔２とからなる金属箔張り積層
板Ａを積層成形することができるものである。例えば、
電極６，６間に２０〜１５０Ｖ（なかでも６０Ｖ程度が
一般的である）、６００〜２５００Ａ（なかでも１５０
０Ａ程度が一般的である）の電流を流すのを基準とし、
金属箔２の加熱温度を熱電対や非接触型温度系で計測し
て８０〜１８０℃になるように電圧・電流値を制御する
ことによって、加熱を行なうようにすることができるも
のであり、また加圧ベルト４によって５〜５０ｋｇｆ／
ｃｍ² （なかでも１０ｋｇｆ／ｃｍ² 程度が一般的であ
る）の圧力が２〜３０分間（なかでも３０分間程度が一
般的である）作用するようにして成形を行なうことがで
きる。図１の例では、樹脂含浸基材１の両側の外面にそ
れぞれ金属箔２を重ねることによって、両面金属張り積
層板Ａを成形するようにしたが、樹脂含浸基材１の片側
の外面に金属箔２を重ねることによって、片面金属張り
積層板Ａを成形することもできる。両面金属張り積層板
Ａを成形する場合には図１のように２枚の金属箔２に対
応して加圧ベルト４の前後に２対の電極６を設ける必要
があるが、片面金属張り積層板Ａを成形する場合には、
１枚の金属箔２に対応して１対の電極６を設けるだけで
よい。

【００２４】このようにして加圧ベルト４による連続工
法で金属箔張り積層板Ａを成形することができるもので
あり、金属箔張り積層板Ａを連続した流れの工法で生産
性良く製造することができるものである。また金属箔２
に電流を流して表面に積層される金属箔２そのものを発
熱させるために、樹脂含浸基材１の加熱を均一に行なう
ことが容易になり、安定した品質で金属箔張り積層板Ａ
を製造することができるものである。しかも加圧は加圧
ベルト４，４間を通過する間、継続して行なわれるの
で、加圧の保圧時間を確保することができ、外観良好で
板厚精度が良好な、品質の高い金属箔張り積層板Ａを得
ることができるものである。

【００２５】上記のようにして加圧ベルト４を通して成
形した金属箔張り積層板Ａは連続した帯状で加圧ベルト
４から出てくるので、金属箔張り積層板Ａを切断装置２
３で所要寸法に裁断して、定寸の金属箔張り積層板Ａに
する。この金属箔張り積層板Ａは加熱時間が加圧ベルト
４を通過する時間だけであるので、樹脂含浸基材１の樹
脂１の硬化が不十分である場合がある。このために加熱
炉２４に金属箔張り積層板Ａを入れてアフターキュアす
るようにしてある（請求項５）。加熱炉２４は図１に示
すように、加熱槽２５内に上下一対の駆動ロール２６，
２６を設けると共に駆動ロール２６，２６に縦ベルト２
７を懸架し、縦ベルト２７の外面に棚片２８を直角に突
設すると共にこの棚片２８を一定間隔で縦ベルト２７に
多数設けて形成されるものであり、駆動ロール２６を駆
動して縦ベルト２７を走行させることによって、加熱槽
２５の入口２９側では棚片２８は上昇し、加熱槽２５の
出口３０側では棚片２８は下降するようになっている。
そして加熱槽２５内に入口２９から供給された金属箔張
り積層板Ａは棚板２８の上に載置され、加熱槽２５内を
上昇する。縦ベルト２７が上の駆動ロール２６を通過す
る際にこの金属箔張り積層板Ａは一つ前の棚板２８の上
に移り、今度は加熱槽２５内を下降し、出口３０にまで
達すると、この金属箔張り積層板Ａは出口３０から送り
出されるようになっている。このようにして入口２９か
ら出口３０に移動するまでの間、金属箔張り積層板Ａを
加熱槽２５内で加熱してアフターキュアすることができ
るものである。アフターキュアは例えばガラス布基材エ
ポキシ樹脂積層板の場合、１５０℃、６０分の条件にな
るように設定することができる。

【００２６】ここで、上記の金属箔２は電流を流して発
熱させるために、電気伝導性を有するものであることが
必要であるが、一般に金属箔２は電気伝導性を有するの
で、金属箔２の種類は特に限定されるものではなく、例
えば電解銅箔、圧延銅箔、アルミニウム箔、銀箔、金箔
などを挙げることができる。金属箔張り積層板Ａを電気
用積層板として用いる場合には銅箔が好ましい。極薄銅
箔の場合にはアルミニウム箔をキャリアとした銅箔を用
いることもできるものであり、この場合、アルミニウム
箔を銅箔で回路を形成する際のレジストとして利用する
ことができるものである。

【００２７】また上記の樹脂含浸基材１は、基材に樹脂
を含浸・乾燥して得られるものである。この基材として
は、ガラスなどの無機繊維、ポリエステル、ポリアミ
ド、アクリル、などの有機合成繊維、木綿などの天然繊
維等からなる織布、不織布、あるいは紙、もしくはこれ
らを組み合わせたものを用いることができるが、機械強
度を維持しつつ薄いものを容易に作製することができる
点で、基材としてはガラス布が好ましい（請求項６）。

【００２８】また樹脂含浸基材１において基材に含浸さ
せる樹脂としては、熱硬化性樹脂を用いることができる
（請求項７）。この熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹
脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ジアリ
ルフタレート樹脂、フェノール樹脂などを単独であるい
は二種以上を配合して用いることができ、さらにこれら
をアクリロニトリルブタジエンゴム、多官能性アクリレ
ート化合物、ポリブチラールなどで変性したものや、ポ
リフェニレンエーテル／エポキシ樹脂、ポリカーボネー
ト／シアネート、ポリスチレン／エポキシ樹脂、架橋ポ
リエチレン／エポキシ樹脂、その他熱可塑性樹脂を変性
した架橋硬化性樹脂組成物などを挙げることができる。
またこれらをベースとした変性樹脂やこれらの組み合わ
せ樹脂なども用いることができる。さらに、熱伝導性が
優れたものにするために、これらの樹脂に窒化珪素、窒
化ボロン、窒化アルミニウム、アルミナ、シリカ、炭酸
カルシウム、タルク、クレー、硫酸バリウム、水酸化ア
ルミニウム等の無機充填剤や、金、銀、アルミニウムな
どの金属粉を一種単独であるいは複数種組み合わせて添
加したものを用いることもできる。樹脂含浸基材１の樹
脂としてこのように熱硬化性樹脂を用いても、上記のよ
うに加熱加圧成形は重ね合わせ材３が加圧ベルト４を通
過する間、継続して行なわれるので、金属箔張り積層板
Ａの層間接着性の面などの品質において問題は生じな
い。

【００２９】図１の例では、電極６として金属ロール５
を用い、この金属ロール５を加圧ベルト４の前後にそれ
ぞれ配置し、加圧ベルト４の前後の金属ロール５に電源
Ｖを接続して給電するようにしてある（請求項６，１
９，２０）。金属ロール５はその軸方向の長さを金属箔
２の幅寸法と同等かもしくはそれ以上の寸法に形成して
あり、重ね合わせ材３を送る際に金属箔２の表面に幅方
向に亘って金属ロール５が接して回転するようにしてあ
る。このように電極６として金属ロール５を用いると、
金属ロール５は金属箔２の表面を転がるように回転する
ので、金属箔２の表面に傷を付けるようなおそれなく、
金属箔２に電流を流すことができるものである。両面金
属箔張り積層板Ａを製造する場合には、図１のように２
対の金属ロール５を加圧ベルト４の前後においてそれぞ
れ上下に対向させて配置するのがよい。尚、電極６とし
ては上記の金属ロール５の他に、棒状に形成したものを
使用することもでき、また金属で形成する他に、炭素材
などを用いて形成することもできる。

【００３０】また図１の例では、上下の各加圧ベルト４
の内側に電気ヒーター等で形成される加熱装置１２を設
け、加圧ベルト４をこの加熱装置１２で加熱することに
よって、加圧ベルト４で重ね合わせ材３を加圧ベルト４
からも８０〜１８０℃程度の温度で加熱することができ
るようにしてある（請求項２，４，２８）。このよう
に、金属箔２に電流を流して発熱させることによる加熱
と併用して、加熱装置１２を具備して加圧ベルト４で重
ね合わせ材３を加熱するようにすれば、十分に高い温度
で重ね合わせ材３を加熱することができ、成形に要する
時間は２〜２０程度になり、成形時間を短縮することが
できるものであり（例えば３０分を２０分に短縮でき
る）、またアフターキュアを不要にすることもできるも
のである。

【００３１】さらに図１の例では、加圧ベルト４を減圧
室１３内に設置し、減圧雰囲気下で加熱加圧成形を行な
うようにしてある（請求項３、請求項２９）。すなわ
ち、樹脂含浸基材１と金属箔２を重ねた重ね合わせ材３
を入口３１から減圧室１３内に導入し、金属箔２に電流
を流して発熱させることによって加熱を行ないながら、
加圧ベルト４，４間に通して加圧することによって、減
圧室１３内で加熱加圧成形を行なう。このとき、金属箔
２に電流を流して発熱させる他に、加熱装置１２を併用
して加熱を行なうようにしてもよいのはいうまでもな
い。そしてこのように加熱加圧成形して得られた金属箔
張り積層板Ａは出口３２を通して減圧室１３から導出さ
れる。このように加熱加圧成形を減圧室１３で減圧雰囲
気下で行なうことによって、加熱加圧成形時に樹脂含浸
基材１から発生するガス成分や樹脂含浸基材１が内在す
る気泡を除去し易くなり、金属箔張り積層板Ａにボイド
が発生することを防ぐことができるものである。特に後
述の多層積層板を製造する場合には内層材の配線回路の
間にボイドが発生し易いが、このように減圧雰囲気で多
層積層板を成形するようにすれば、ボイド発生の問題を
解消することができるものである。減圧は５〜６０トー
ル（なかでも１０トール程度が一般的である）で行なう
ことができる。

【００３２】上記のように樹脂含浸基材１と金属箔２か
らなる重ね合わせ材３を成形することによって金属箔張
り積層板Ａを製造することができるが、樹脂含浸基材１
と金属箔２の他にさらに内層用の配線回路を設けた内層
材７を重ねて重ね合わせ材３を成形することによって、
多層の金属箔張り積層板Ａを製造することができる（請
求項９）。すなわち図１に示すように、複数枚の送られ
る樹脂含浸基材１の間に内層材７をガイドロール２２で
送り込んで樹脂含浸材１の間に内層材７を挟み込むと共
にさらに樹脂含浸基材１の外側に金属箔２を重ねて重ね
合わせ材３を形成するようにし、そしてこの重ね合わせ
材３を金属箔２に電流を流して発熱させながら加圧ベル
ト４，４間に通して、加熱加圧成形をすることによっ
て、内層材７の表面に樹脂含浸基材１による絶縁接着層
を介して金属箔２が積層された多層の金属箔張り積層板
Ａを製造することができるものである。

【００３３】上記の内層材７としては、可撓性を有する
樹脂フィルムや樹脂シートの表面に配線回路を設けて形
成したフレキシブル配線材７ａを用いることができる
（請求項１０）。フレキシブル配線材７ａは屈曲性があ
るために図１のように長尺のものをコイル状に巻いて使
用することができ、樹脂含浸基材１や金属箔２と同様に
連続して送りながら供給することができ、工法の連続化
が容易になるものである。

【００３４】勿論、内層材７としてリジッドな回路板７
ｂを用いることもできるが、この場合には図２に示すよ
うに、所定の大きさに作製したリジッドな回路板７ｂを
一列に並べ、順次樹脂含浸材１の間に送り込むようにし
て、樹脂含浸基材１と金属箔２と回路板７ｂからなる重
ね合わせ材３を形成することができる。またこのように
内層材７を用いて多層の金属箔張り積層板Ａを成形する
場合、内層材７に貫通孔８を設けておけば、加熱加圧成
形の際に内層材７の両面の樹脂含浸基材１から樹脂が貫
通孔８に流入し、図３に示すように樹脂含浸基材１によ
る内層材７の両面の絶縁接着層３３が貫通孔８を介して
一体化され、金属箔２を内層材７に接着させる絶縁接着
層３３の内層材７に対する密着強度を高めることができ
るものである（請求項１１）。尚、この貫通孔８は切除
して廃棄される金属箔張り積層板Ａの側端部の位置に設
けるようにするのが好ましい。

【００３５】また、上記のように配線回路１４を表面に
設けた内層材７を用いて多層の金属箔張り積層板Ａを成
形する場合、配線回路１４は内層材７の表面から凸とな
っているために積層成形の際に配線回路１４間に気泡が
残り、多層の金属箔張り積層板Ａにボイドが発生し易
く、また多層の金属箔張り積層板Ａの表面に配線回路１
４によって凹凸が生じ、金属箔２にファインパターンで
回路を形成するのが困難になる。そこでこの場合には、
図４に示すように表面に樹脂層１５を設けた内層材７を
用いることができる（請求項１２）。図４（ａ）のもの
は配線回路１４間のみを樹脂層１５で充填するように内
層材１の表面に樹脂層１５を設けたもの、図４（ｂ）の
ものは配線回路４を覆うように内層材１の表面に樹脂層
１５を設けたものである。このように内層材１の表面に
樹脂層１５を設けて内層材１の表面を平にならすことに
よって、ボイドの発生を低減できると共に多層の金属箔
張り積層板Ａの表面を平滑に形成することができ、金属
箔２にファインパターンで回路を形成することが容易に
なるものである。この樹脂層１５は、エポキシ樹脂、ポ
リイミド樹脂、ＰＰＯ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、
フェノール樹脂などの熱硬化性樹脂、ポリエチレンテレ
フタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポ
リフェニレンサルファイド樹脂、フッ素樹脂などの熱可
塑性樹脂、これらをベースとした変性樹脂、さらにこれ
らを組み合わせた樹脂などで形成することができる。

【００３６】さらにこのように内層材７の表面に樹脂層
１５を設けるにあたって、表面層１５の表面を粗面化し
て使用することができる（請求項１３）。粗面化はサン
ドブラスト等の物理的方法や、エッチング等の化学的方
法で行なうことができるものであり、図４（ｃ）のよう
に表面層１５の表面に粗面３６を形成することによっ
て、その外側に配される樹脂含浸基材１による絶縁接着
層３３との密着性が高まるものである。

【００３７】上記の加圧ベルト４は成形時の加熱温度に
耐える必要があるために、一般にスチール等の金属ベル
トが用いられる。しかし加圧ベルト４を導電性のある金
属ベルトで形成すると、金属箔２に流される電流が加圧
ベルト４にリークし、電流を流すことによる金属箔２の
発熱効率が低下するおそれがある。そこで加圧ベルト４
を金属ベルトで形成する場合には、加圧ベルト４の表面
（外面）に図５のように電気の絶縁層１０を形成し、加
圧ベルト４はこの絶縁層１０で金属箔２に接触して、金
属箔２から加圧ベルト４へと電流が流れないようにして
ある（請求項２１）。

【００３８】この絶縁層１０は、加圧ベルト４の表面に
設けた金属酸化物層で形成することができる（請求項２
２）。金属酸化物層は金属の加圧ベルト４の表面を酸化
処理することによって形成することができるものであ
り、例えば加圧ベルト４をアルミニウム材で形成する場
合には、アルミナで絶縁層１０を形成することができ
る。また絶縁層１０としては、加圧ベルト４の表面に塗
布して設けた樹脂層によって形成することもできる（請
求項２３）。絶縁層１０を樹脂層で形成する場合、加熱
加圧成形時の高温に耐える必要があるので、この樹脂と
してはシリコーン系樹脂やフッ素系樹脂を用いることが
でき、さらにこれらに粒状アルミナ等の熱伝導性フィラ
ーを配合したものを用いることができる。

【００３９】さらに加圧ベルト４を電気絶縁性を有する
樹脂材料で形成して、金属箔２に流される電流が加圧ベ
ルト４にリークしないようにしてもよい（請求項２
４）。加圧ベルト４は加熱加圧成形の際の温度と圧力に
耐える必要があるので、樹脂材料としてはシリコーン系
樹脂やフッ素系樹脂を用いることができ、さらにこれら
に粒状アルミナ等の熱伝導性フィラーを配合したものを
用いることができる。

【００４０】また、重ね合わせ材３を金属箔２に電流を
流して発熱させながら加圧ベルト４，４間に通して、加
熱加圧成形をするにあたって、金属箔２で発熱した熱が
加圧ベルト４の側へ逃げると、樹脂含浸基材１に対する
加熱効率が低下する（この場合は加熱装置１２を用いた
加熱を行なわない）。そこで、このような加熱効率の低
下を防ぐためには、加圧ベルト４を断熱構造に形成する
のがよい（請求項２５）。

【００４１】加圧ベルト４を断熱構造にするには、加圧
ベルト４を多孔質樹脂組成物で形成することによって行
なうことができる（請求項２６）。加圧ベルト４は加熱
加圧成形の際の温度と圧力に耐える必要があるので、多
孔質樹脂組成物としては発泡シリコーン系樹脂、気泡を
有するフッ素系樹脂、ガラスビーズなど中空構造の無機
フィラーを含有するシリコーン系樹脂やフッ素系樹脂な
どの樹脂組成物を用いるのが好ましい。また加圧ベルト
４を金属ベルトで形成しているときには、図６のように
加圧ベルト４の内面に樹脂層１１を設けて、加圧ベルト
４を断熱構造にすることができる（請求項２７）。この
樹脂層１１は上記と同様な多孔質樹脂組成物で形成する
ことができる。

【００４２】また、金属箔２としては表面に樹脂層９を
設けたものを用いることができる（請求項１４）。樹脂
層９は金属箔２の内面（樹脂含浸基材１に接する側）に
設けることも、金属箔２の外面（樹脂含浸基材１に接し
ないする側）に設けることも、金属箔２の内面と外面の
両方に設けることもできる。樹脂層９を図７のように金
属箔２の内面に設ける場合、樹脂層９は金属箔２と樹脂
含浸基材１とを接着させる接着性を有する接着剤で形成
することができる（請求項１５）。尚、この樹脂層９は
異なる特性を有する複数層で形成するようにしてあって
もよい。このように金属箔２の内面に接着性を有する樹
脂層９を設けるようにすれば、積層する樹脂含浸基材１
の枚数を減らすことができ、薄い金属箔張り積層板Ａを
製造することが容易になるものである。この接着性を有
する樹脂層９は、液状の接着剤の塗布、シート状接着剤
の積層、プリプレグのような基材を有するシート状の接
着性を有する材料の積層などで形成することがるもので
あり、またこの接着性を有する樹脂層９としては、エポ
キシ樹脂、ポリイミド樹脂、ＰＰＯ樹脂、不飽和ポリエ
ステル樹脂、フェノール樹脂などの熱硬化性樹脂、ポリ
エチレンテレフタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレ
ート樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、フッ素樹
脂などの熱可塑性樹脂、これらをベースとした変性樹
脂、さらにこれらを組み合わせた樹脂を用いることがで
きる。また熱伝導性に優れた樹脂層９とするには、これ
らの樹脂に窒化珪素、窒化ボロン、窒化アルミニウム、
アルミナ、シリカ、炭酸カルシウム、タルク、クレー、
硫酸バリウム、水酸化アルミニウム等の無機充填剤や、
金、銀、アルミニウムなどの金属粉を一種単独であるい
は複数種組み合わせて添加するのが好ましい。これらの
充填剤の平均粒径を適当に選択することによって熱伝導
性の向上の効果を大きく得ることができる。尚、この接
着性を有する樹脂層９の厚みは２０〜５０μｍ程度が好
ましいが、できるだけ薄い方が熱伝導の点から好まし
い。

【００４３】樹脂層９を図８のように金属箔２の外面に
設ける場合には、金属箔２はこの樹脂層９が加圧ベルト
４に接するので、この樹脂層９によって金属箔２と加圧
ベルト４との間の電気絶縁性を確保することができ、金
属箔２に流す電流が加圧ベルト４にリークすることを防
ぐことができるものであり、さらにこの樹脂層９が絶縁
層となって金属箔２の発熱による熱が加圧ベルト４側へ
逃げることを防ぐこともできるものである。加えて樹脂
層９は金属箔２の表面保護の効果も有する。この樹脂層
９はポリエチレン、ポリプロピレン、フッ素樹脂などで
形成することができ、金属箔２にこれらの樹脂を塗工し
たりこれらの樹脂フィルムをラミネートしたりして樹脂
層９を形成することができる。

【００４４】またこのように樹脂層９を図８のように金
属箔２の外面に設けるにあたって、樹脂層９をレジスト
材料で形成することができる（請求項１６）。レジスト
材料としては耐エッチング液性を有する感光性エッチン
グレジストやドライフィルムなど感光性樹脂を用いるこ
とができる。このように外面にレジスト材料の樹脂層９
を設けた金属箔２を用いて金属箔張り積層板Ａを製造す
ると、金属箔張り積層板Ａの金属箔２はレジスト材料の
樹脂層９で被覆されているので、次工程でこの樹脂層９
を露光・現像することによって、金属箔２の回路形成に
利用することができるものである。図９は金属箔２の外
面にレジスト材料の樹脂層９ａを設けると共に内面に接
着性を有する樹脂層９ｂを設けるようにしてある（請求
項１７）。

【００４５】尚、図８や図９のように金属箔２の外面に
樹脂層９を設ける場合、樹脂層９が絶縁層となるので、
金属箔２に電流を流すために図１０の例では針片３４を
設けた金属ロール５を電極６として用いるようにしてい
る。すなわちこの金属ロール５は軸方向の両端縁に沿っ
て多数の針片３４を全周に亘って設けてあり、樹脂含浸
基材１と金属箔２の重ね合わせ材３をこの金属ロール
５，５間に通す際、及び加圧ベルト４で成形された金属
箔張り積層板Ａをこの金属ロール５，５間に通す際、針
片３４が樹脂層９を通して針片３４が金属箔２に食い込
むようにしてある。従って金属箔２に針片３４から電流
を流して金属箔２を発熱させることができるものであ
る。尚、金属箔張り積層板Ａの側端は切除して廃棄され
る部分であるので、針片３４によって金属箔２に孔があ
いても問題はない。

【００４６】また図１１の例では、樹脂層９を金属箔２
の幅方向の両側端部には設けないようにしてあり、金属
ロール５として軸方向の両端部に段部３７を設けたもの
を用いるようにしてある。段部３７は金属ロール５に一
体に設けたりリングを装着したりして形成することがで
きる。そしてこのものでは、段部３７が樹脂層９で被覆
されない金属箔２に接触するために、金属ロール５から
金属箔２に電流を流すことができる。

【００４７】尚、金属箔２の裏面には樹脂層９が設けら
れない場合には、加圧ベルト４の入口側に配設される電
極６として針片３４や段部３７を有しない金属ロール５
を用い、図１２のように金属箔２の樹脂層９が設けられ
ない裏面に金属ロール５を接触させて電流を流すように
することができる。図１２中、３８は押さえロールであ
る。

【００４８】

【発明の効果】上記のように本発明に係る金属箔張り積
層板の製造方法は、所定枚数の樹脂含浸基材の外側に金
属箔を重ね、この重ね合わせ材を連続して送りつつ対向
配置される一対の加圧ベルト間に通して加圧すると共
に、加圧ベルトの前後において金属箔に電流を流して金
属箔を発熱させることによって、重ね合わせ材を加熱加
圧して積層成形するようにしたので、加圧ベルトによる
連続工法で金属箔張り積層板を成形することができ、金
属箔張り積層板を連続した流れの工法で生産性良く製造
することができるものであり、また表面に積層される金
属箔そのものを発熱させるために樹脂含浸基材の加熱を
均一に行なうことが容易になり、安定した品質で金属箔
張り積層板を製造することができるものである。しかも
加圧は加圧ベルトを通過する間、継続して行なわれるの
で、加圧の保圧時間を確保することができ、層間接着性
等の品質が高い金属箔張り積層板を得ることができるも
のである。また請求項２の発明は、金属箔に電流を流し
て金属箔を発熱させる他に加圧ベルトによって重ね合わ
せ材を加熱するようにしたので、十分に高い温度で重ね
合わせ材を加熱することができ、成形に要する時間を短
縮することができるものである。

【００４９】また請求項３の発明は、積層成形を減圧雰
囲気下で行なうようにしたので、ボイドの少ない金属箔
張り積層板を製造することができるものである。また請
求項４の発明は、金属箔に電流を流して金属箔を発熱さ
せる他に加圧ベルトによって重ね合わせ材を加熱すると
共に、積層成形を減圧雰囲気下で行なうようにしたの
で、成形に要する時間を短縮できると共にボイドの少な
い金属箔張り積層板を製造することができるものであ
る。

【００５０】また請求項５の発明は、重ね合わせ材を加
熱加圧して積層成形した後に、アフターキュアを行なう
ようにしたので、成形時の加熱が不十分であっても樹脂
の効果を十分に進めることができるものである。また請
求項６の発明は、加圧ベルトの前後にそれぞれ金属ロー
ルを配置し、金属箔をこの金属ロールに接触させつつ送
って金属ロールを電極として金属箔に電流を流すように
したので、金属ロールは金属箔の表面を転がるように回
転し、金属箔の表面を傷付けるようなおそれなく、金属
箔に電流を流すことができるものである。

【００５１】また請求項７の発明は、樹脂含浸基材の樹
脂が熱硬化性樹脂であることを特徴とするものであり、
熱硬化性樹脂によって高い電気的あるいは機械的性能を
有する金属箔張り積層板を得ることができると共に、熱
硬化性樹脂を用いても上記のように加熱加圧成形は重ね
合わせ材が加圧ベルトを通過する間、継続して行なわれ
るので、金属箔張り積層板の層間接着性などの品質にお
いて問題は生じないものである。

【００５２】また請求項８の発明は、樹脂含浸基材の基
材がガラス繊維基材であることを特徴とするものであ
り、機械的強度が高い金属箔張り積層板を得ることがで
きるものである。また請求項９の発明は、配線回路を有
する内層材を樹脂含浸基材に重ねると共に樹脂含浸基材
の外側に金属箔を重ねて重ね合わせ材を形成するように
したので、上記のような連続工法で多層積層板を製造す
ることが可能になるものである。

【００５３】また請求項１０の発明は、内層材がフレキ
シブル配線材であることを特徴とするものであり、フレ
キシブル配線材は屈曲性があるために長尺のものをコイ
ル状に巻いて連続して送りながら供給することができ、
連続工法による成形が容易になるものである。また請求
項１１の発明は、内層材として貫通孔を設けたものを用
いるようにしたので、加熱加圧成形の際に樹脂含浸基材
から樹脂が貫通孔に流入し、樹脂含浸基材による絶縁接
着層と内層材との密着強度を高めることができるもので
ある。

【００５４】また請求項１２の発明は、内層材として表
面に樹脂層を設けたものを用いるようにしたので、内層
材の表面を樹脂層で平にならすことができ、ボイドの発
生を低減できると共に多層の金属箔張り積層板の表面を
平滑に形成することができるものである。また請求項１
３の発明は、樹脂層の表面を粗面化するようにしたの
で、その外側に配される樹脂含浸基材による絶縁接着層
との密着性を高めることができるものである。

【００５５】また請求項１４，１５の発明は、表面に接
着性を有する樹脂層を設けた金属箔を用いるようにした
ので、この接着性を有する樹脂層で樹脂含浸基材の役目
をさせることによって、樹脂含浸基材の使用枚数を少な
くすることができるものである。また請求項１４，１６
の発明は、表面にレジスト材料で形成される樹脂層を設
けたので、金属箔張り積層板を製造した次工程でレジス
ト材料の樹脂層を露光・現像して、金属箔の回路形成に
利用することができるものである。

【００５６】また請求項１７の発明は、金属箔の外面に
レジスト材料の樹脂層を設けると共に内面に接着性を有
する樹脂層を設けるようにしたので、内面の接着性を有
する樹脂層で樹脂含浸基材の使用枚数を少なくすること
ができると共に外面のレジスト材料の樹脂層を金属箔の
回路形成に利用することができるものである。次に本発
明に係る金属箔張り積層板の製造装置は、所定枚数の樹
脂含浸基材の外側に金属箔を重ねた重ね合わせ材を加熱
加圧して積層成形する金属箔張り積層板の製造装置にお
いて、上記の重ね合わせ材を加圧しつつ連続して通すた
めの一対の対向配置される加圧ベルトと、加圧ベルトの
前後においてそれぞれ配置され金属箔に電流を流して金
属箔を発熱させる電極とを具備したので、加圧ベルトに
よる連続工法で金属箔張り積層板を成形することがで
き、金属箔張り積層板を連続した流れの工法で生産性良
く製造することができるものであり、また表面に積層さ
れる金属箔そのものを発熱させることができるために樹
脂含浸基材の加熱を均一に行なうことが容易になり、安
定した品質で金属箔張り積層板を製造することができる
ものである。しかも加圧は加圧ベルトを通過する間、継
続して行なわれるようにすることができるので、加圧の
保圧時間を確保することができ、層間接着性等の品質が
高い金属箔張り積層板を得ることができるものである。

【００５７】また請求項１９，２０の発明は、金属ロー
ルで電極を形成し、金属ロールを加圧ベルトの前後にお
いてそれぞれ配置したので、金属ロールは金属箔の表面
を転がるように回転し、金属箔の表面を傷付けるような
おそれなく、金属箔に電流を流すことができるものであ
る。また請求項２１，２２，２３の発明は、加圧ベルト
の表面を金属酸化物や樹脂層からなる絶縁層で形成した
ので、金属箔に流される電流が加圧ベルトにリークする
ことをこの絶縁層で防ぐことができ、金属箔の発熱効率
が低下することがなくなるものである。

【００５８】また請求項２４の発明は、加圧ベルトを絶
縁材料で形成したので、金属箔に流される電流が加圧ベ
ルトにリークすることがなくなり、金属箔の発熱効率が
低下することを防ぐことができるものである。また請求
項２５，２６，２７の発明は、加圧ベルトを多孔質体で
形成したり内面に樹脂層を設けたりして断熱構造に形成
したので、金属箔で発熱した熱が加圧ベルトの側へ逃げ
ることを防ぐとができ、樹脂含浸基材に対する加熱効率
の低下を低減することができるものである。

【００５９】また請求項２８の発明は、加圧ベルトを加
熱する加熱装置を具備したので、金属箔に電流を流すこ
とによって発生する熱の他に、加圧ベルトからの熱によ
っても重ね合わせ材を加熱することができ、十分に高い
温度で重ね合わせ材を加熱して、成形に要する時間を短
縮することができるものである。また請求項２９の発明
は、加圧ベルトを減圧室内に設置するようにしたので、
積層成形を減圧雰囲気下で行なうようにすることがで
き、ボイドの少ない金属箔張り積層板を製造することが
できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示す概略図である。

【図２】本発明の実施の他の形態を示す概略図である。

【図３】本発明の実施の他の形態を示す一部の拡大した
断面図である。

【図４】本発明の実施の他の形態を示す一部の拡大した
断面図である。

【図５】本発明の実施の他の形態を示す一部の拡大した
断面図である。

【図６】本発明の実施の他の形態を示す一部の拡大した
断面図である。

【図７】本発明の実施の他の形態を示す一部の拡大した
断面図である。

【図８】本発明の実施の他の形態を示す一部の拡大した
断面図である。

【図９】本発明の実施の他の形態を示す一部の拡大した
断面図である。

【図１０】本発明の実施の他の形態を示す一部の拡大し
た断面図である。

【図１１】本発明の実施の他の形態を示す一部の拡大し
た断面図である。

【図１２】本発明の実施の他の形態を示す一部の概略図
である。

【符号の説明】

１ 樹脂含浸基材 ２ 金属箔 ３ 重ね合わせ材 ４ 加圧ベルト ５ 金属ロール ６ 電極 ７ 内層材 ８ 貫通孔 ９ 樹脂層 １０ 絶縁層 １１ 樹脂層 １２ 加熱装置 １３ 減圧室 １４ 配線回路 １５ 樹脂層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松尾 正人 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 藤澤 優一 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 平田 篤臣 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内

Claims (29)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定枚数の樹脂含浸基材の外側に金属箔
   を重ね、この重ね合わせ材を連続して送りつつ対向配置
   される一対の加圧ベルト間に通して加圧すると共に、加
   圧ベルトの前後において金属箔に電流を流して金属箔を
   発熱させることによって、重ね合わせ材を加熱加圧して
   積層成形することを特徴とする金属箔張り積層板の製造
   方法。
2. 【請求項２】 金属箔に電流を流して金属箔を発熱させ
   る他に加圧ベルトによって重ね合わせ材を加熱すること
   を特徴とする請求項１に記載の金属箔張り積層板の製造
   方法。
3. 【請求項３】 積層成形を減圧雰囲気下で行なうことを
   特徴とする請求項１に記載の金属箔張り積層板の製造方
   法。
4. 【請求項４】 金属箔に電流を流して金属箔を発熱させ
   る他に加圧ベルトによって重ね合わせ材を加熱すると共
   に、積層成形を減圧雰囲気下で行なうことを特徴とする
   請求項１に記載の金属箔張り積層板の製造方法。
5. 【請求項５】 重ね合わせ材を加熱加圧して積層成形し
   た後に、アフターキュアを行なうことを特徴とする請求
   項１乃至４のいずれかに記載の金属箔張り積層板の製造
   方法。
6. 【請求項６】 加圧ベルトの前後にそれぞれ金属ロール
   を配置し、金属箔をこの金属ロールに接触させつつ送っ
   て金属ロールを電極として金属箔に電流を流すことを特
   徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の金属箔張り
   積層板の製造方法。
7. 【請求項７】 樹脂含浸基材の樹脂が熱硬化性樹脂であ
   ることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の
   金属箔張り積層板の製造方法。
8. 【請求項８】 樹脂含浸基材の基材がガラス繊維基材で
   あることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載
   の金属箔張り積層板の製造方法。
9. 【請求項９】 配線回路を有する内層材を樹脂含浸基材
   に重ねると共に樹脂含浸基材の外側に金属箔を重ねて重
   ね合わせ材を形成することを特徴とする請求項１乃至８
   のいずれかに記載の金属箔張り積層板の製造方法。
10. 【請求項１０】 内層材がフレキシブル配線材であるこ
    とを特徴とする請求項９に記載の金属箔張り積層板の製
    造方法。
11. 【請求項１１】 内層材として貫通孔を設けたものを用
    いることを特徴とする請求項９又は１０に記載の金属箔
    張り積層板の製造方法。
12. 【請求項１２】 内層材として表面に樹脂層を設けたも
    のを用いることを特徴とする請求項９乃至１１のいずれ
    かに記載の金属箔張り積層板の製造方法。
13. 【請求項１３】 樹脂層の表面を粗面化することを特徴
    とする請求項１２に記載の金属箔張り積層板の製造方
    法。
14. 【請求項１４】 表面に樹脂層を設けた金属箔を用いる
    ことを特徴とする請求項１乃至１３のいずれかに記載の
    金属箔張り積層板の製造方法。
15. 【請求項１５】 樹脂層は接着性を有するものであるこ
    とを特徴とする請求項１４に記載の金属箔張り積層板の
    製造方法。
16. 【請求項１６】 樹脂層はレジスト材料で形成されてい
    ることを特徴とする請求項１４に記載の金属箔張り積層
    板の製造方法。
17. 【請求項１７】 外面にレジスト材料の樹脂層を設ける
    と共に内面に接着性を有する樹脂層を設けた金属箔を用
    いることを特徴とする請求項１乃至１３のいずれかに記
    載の金属箔張り積層板の製造方法。
18. 【請求項１８】 所定枚数の樹脂含浸基材の外側に金属
    箔を重ねた重ね合わせ材を加熱加圧して積層成形する金
    属箔張り積層板の製造装置において、上記の重ね合わせ
    材を加圧しつつ連続して通すための一対の対向配置され
    る加圧ベルトと、加圧ベルトの前後においてそれぞれ配
    置され金属箔に電流を流して金属箔を発熱させる電極と
    を具備して成ることを特徴とする金属箔張り積層板の製
    造装置。
19. 【請求項１９】 金属ロールで電極を形成して成ること
    を特徴とする請求項１８に記載の金属箔張り積層板の製
    造装置。
20. 【請求項２０】 金属ロールで形成される電極を加圧ベ
    ルトの前後においてそれぞれ配置して成ることを特徴と
    する請求項１９に記載の金属箔張り積層板の製造装置。
21. 【請求項２１】 加圧ベルトの表面を絶縁層で形成して
    成ることを特徴とする請求項１８乃至２０のいずれかに
    記載の金属箔張り積層板の製造装置。
22. 【請求項２２】 加圧ベルトの表面の絶縁層を金属酸化
    物層で形成して成ることを特徴とする請求項２１に記載
    の金属箔張り積層板の製造装置。
23. 【請求項２３】 加圧ベルトの表面の絶縁層を樹脂層で
    形成して成ることを特徴とする請求項２１に記載の金属
    箔張り積層板の製造装置。
24. 【請求項２４】 加圧ベルトを絶縁材料で形成して成る
    ことを特徴とする請求項１８乃至２０のいずれかに記載
    の金属箔張り積層板の製造装置。
25. 【請求項２５】 加圧ベルトを断熱構造に形成して成る
    ことを特徴とする請求項１８乃至２４のいずれかに記載
    の金属箔張り積層板の製造装置。
26. 【請求項２６】 加圧ベルトを多孔質体で作製して断熱
    構造に形成して成ることを特徴とする請求項２５に記載
    の金属箔張り積層板の製造装置。
27. 【請求項２７】 加圧ベルトの内面に樹脂層を設けて断
    熱構造に形成して成ることを特徴とする請求項２５に記
    載の金属箔張り積層板の製造装置。
28. 【請求項２８】 加圧ベルトを加熱する加熱装置を具備
    して成ることを特徴とする請求項１８乃至２４のいずれ
    かに記載の金属箔張り積層板の製造装置。
29. 【請求項２９】 加圧ベルトを減圧室内に設置して成る
    ことを特徴とする請求項１８乃至２８のいずれかに記載
    の金属箔張り積層板の製造装置。