JPH09318314A - 光学式変位測定装置 - Google Patents
光学式変位測定装置Info
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- JPH09318314A JPH09318314A JP13307296A JP13307296A JPH09318314A JP H09318314 A JPH09318314 A JP H09318314A JP 13307296 A JP13307296 A JP 13307296A JP 13307296 A JP13307296 A JP 13307296A JP H09318314 A JPH09318314 A JP H09318314A
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成で位置検出センサの調整ができ且
つ簡単な構成でシールド効果を持たせる。 【解決手段】 三角測距原理による光学式変位測定装置
である。支持部材７を中央縦片の両端部から支持横片１
４を連出した略コ字状に形成する。支持横片１４に長孔
１６を設ける。光学筒９の外面部に突設した突起３１に
支持横片１４に設けた長孔１６を長孔１６の長手方向に
移動自在に嵌め込んで支持部材７を光学筒９に取付ける
と共に中央縦片１３に設けた板ばねにより位置検出セン
サ３を光学筒９の端部に押し付け、支持部材７を長孔１
６の長手方向に沿って移動することで受光スポットの移
動方向に位置検出センサ３を移動自在とする。
つ簡単な構成でシールド効果を持たせる。 【解決手段】 三角測距原理による光学式変位測定装置
である。支持部材７を中央縦片の両端部から支持横片１
４を連出した略コ字状に形成する。支持横片１４に長孔
１６を設ける。光学筒９の外面部に突設した突起３１に
支持横片１４に設けた長孔１６を長孔１６の長手方向に
移動自在に嵌め込んで支持部材７を光学筒９に取付ける
と共に中央縦片１３に設けた板ばねにより位置検出セン
サ３を光学筒９の端部に押し付け、支持部材７を長孔１
６の長手方向に沿って移動することで受光スポットの移
動方向に位置検出センサ３を移動自在とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、三角測距法によっ
て測定物体までの距離や変位を測定するための光学式変
位測定装置に関するものである。
て測定物体までの距離や変位を測定するための光学式変
位測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から図５に示すような光学式変位測
定装置が知られている。図５に示す光学式変位測定装置
は、レーザダイオードなどの発光源１、光を測定物体に
投光する投光レンズ６などを持つ投光光学系、測定物体
からの反射、散乱光を受光する受光レンズ１１を備えた
受光光学系、受光光学系の結像面に配置されて受光スポ
ットの位置によって電流出力が変化するようになったＰ
ＳＤのような位置検出センサ３で構成してある。
定装置が知られている。図５に示す光学式変位測定装置
は、レーザダイオードなどの発光源１、光を測定物体に
投光する投光レンズ６などを持つ投光光学系、測定物体
からの反射、散乱光を受光する受光レンズ１１を備えた
受光光学系、受光光学系の結像面に配置されて受光スポ
ットの位置によって電流出力が変化するようになったＰ
ＳＤのような位置検出センサ３で構成してある。
【０００３】ここで、レーザダイオードなどの投光源１
から射出された光（投光ビーム）は投光レンズ６を介し
て測定物体に照射される。測定物体からの反射光は受光
レンズ１１を介して受光素子である位置検出センサ３
（ＰＳＤ）に受光される。測定物体の位置が変化する
と、ＰＳＤに形成される光スポットの位置が変化し、Ｐ
ＳＤはその受光位置に応じて両端の電流が変化するの
で、この両端の電流の出力をＩ／Ｖ変換器にそれぞれ入
力し、電流電圧変換、適当な増幅を行ったのち、検波回
路にてそれぞれの同期検波を行って信号成分のみを検出
し、平滑化のために積分回路にて積分された後、その出
力を演算部で処理して測距情報を得るようになってい
る。
から射出された光（投光ビーム）は投光レンズ６を介し
て測定物体に照射される。測定物体からの反射光は受光
レンズ１１を介して受光素子である位置検出センサ３
（ＰＳＤ）に受光される。測定物体の位置が変化する
と、ＰＳＤに形成される光スポットの位置が変化し、Ｐ
ＳＤはその受光位置に応じて両端の電流が変化するの
で、この両端の電流の出力をＩ／Ｖ変換器にそれぞれ入
力し、電流電圧変換、適当な増幅を行ったのち、検波回
路にてそれぞれの同期検波を行って信号成分のみを検出
し、平滑化のために積分回路にて積分された後、その出
力を演算部で処理して測距情報を得るようになってい
る。
【０００４】上記のような従来の変位測定装置におい
て、位置検出センサ３であるＰＳＤを固定するに当たっ
ては、回路基板５１′にＰＳＤを半田付けし、それを受
光光学系の光学筒１１にねじ６１により固定していた。
また、ＰＳＤは微弱な信号を扱いノイズが侵入しやすい
ものであり、このため、従来にあっては、ノイズの侵入
を防ぐため、フレキシブルな材料で形成されたシールド
板６０をＰＳＤの回りに取付けていた。
て、位置検出センサ３であるＰＳＤを固定するに当たっ
ては、回路基板５１′にＰＳＤを半田付けし、それを受
光光学系の光学筒１１にねじ６１により固定していた。
また、ＰＳＤは微弱な信号を扱いノイズが侵入しやすい
ものであり、このため、従来にあっては、ノイズの侵入
を防ぐため、フレキシブルな材料で形成されたシールド
板６０をＰＳＤの回りに取付けていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ＰＳＤはそ
の受光位置に応じて変化する電流を出力するが、取付け
誤差を調整するため、ＰＳＤは受光スポットの移動方向
に平行に移動させて位置調整をする必要があるが、従来
例にあっては、位置調整がしにくいという問題があっ
た。
の受光位置に応じて変化する電流を出力するが、取付け
誤差を調整するため、ＰＳＤは受光スポットの移動方向
に平行に移動させて位置調整をする必要があるが、従来
例にあっては、位置調整がしにくいという問題があっ
た。
【０００６】また、ＰＳＤからの電流出力は非常に微弱
で、ノイズ侵入防止のために、ＰＳＤの回りにフレキシ
ブルな材料で形成されたシールド板６０を取付ける必要
があるが、部品点数が増え、コストが高くなり、また、
構造が複雑になって製作しにくいという問題がある。ま
た、シールド板６０を用いる場合に、グランドに落とす
手段としては、シールド板６０に半田付けされたリード
線を回路基板のグランドに半田するか、ケースや光学筒
９にねじを切って、リード線をねじにより固定する方法
が取られているが、部品点数が増え、コストが高くな
り、また、構造が複雑になるという問題がある。
で、ノイズ侵入防止のために、ＰＳＤの回りにフレキシ
ブルな材料で形成されたシールド板６０を取付ける必要
があるが、部品点数が増え、コストが高くなり、また、
構造が複雑になって製作しにくいという問題がある。ま
た、シールド板６０を用いる場合に、グランドに落とす
手段としては、シールド板６０に半田付けされたリード
線を回路基板のグランドに半田するか、ケースや光学筒
９にねじを切って、リード線をねじにより固定する方法
が取られているが、部品点数が増え、コストが高くな
り、また、構造が複雑になるという問題がある。
【０００７】更に、ケースや光学筒９にグランドを落と
す場合、ねじを切ってから時間が経過していると、酸化
や腐食により金属表面に被膜ができ、ねじで固定しても
導通がとれないことがある。本発明は、上記の従来例の
問題点に鑑みて発明したものであって、簡単な構成で位
置検出センサの調整ができ且つ簡単な構成でシールド効
果を持たせることができる光学式変位測定装置を提供す
ることを課題とするものである。
す場合、ねじを切ってから時間が経過していると、酸化
や腐食により金属表面に被膜ができ、ねじで固定しても
導通がとれないことがある。本発明は、上記の従来例の
問題点に鑑みて発明したものであって、簡単な構成で位
置検出センサの調整ができ且つ簡単な構成でシールド効
果を持たせることができる光学式変位測定装置を提供す
ることを課題とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の光学式変位測定装置は、光ビームを発生す
る投光源１と、光ビームを測定物体２に照射する投光光
学系と、光ビームの測定物体２での反射光を集光する受
光光学系と、受光光学系の結像面に配置されて受光スポ
ットの位置を検出する位置検出センサ３と、受光光学系
を組み込む光学筒９に位置検出センサ３を取付ける支持
部材７とを備えた三角測距原理による光学式変位測定装
置において、支持部材７を中央縦片１３の両端部から支
持横片１４を連出した略コ字状に形成し、支持横片１４
に長孔１６を設け、光学筒９の外面部に突設した突起３
１に支持横片１４に設けた長孔１６を長孔１６の長手方
向に移動自在に嵌め込んで支持部材７を光学筒９に取付
けると共に中央縦片１３に設けた板ばね１５により位置
検出センサ３を光学筒９の端部に押し付け、支持部材７
を長孔１６の長手方向に沿って移動することで受光スポ
ットの移動方向に位置検出センサ３を移動自在として成
ることを特徴とするものである。このような構成とする
ことで、支持部材７を長孔１６に沿って移動すること
で、簡単に支持部材７により光学筒９の端部に押し当て
ている位置検出センサ３を受光スポットの移動方向に移
動させることができることになる。
め、本発明の光学式変位測定装置は、光ビームを発生す
る投光源１と、光ビームを測定物体２に照射する投光光
学系と、光ビームの測定物体２での反射光を集光する受
光光学系と、受光光学系の結像面に配置されて受光スポ
ットの位置を検出する位置検出センサ３と、受光光学系
を組み込む光学筒９に位置検出センサ３を取付ける支持
部材７とを備えた三角測距原理による光学式変位測定装
置において、支持部材７を中央縦片１３の両端部から支
持横片１４を連出した略コ字状に形成し、支持横片１４
に長孔１６を設け、光学筒９の外面部に突設した突起３
１に支持横片１４に設けた長孔１６を長孔１６の長手方
向に移動自在に嵌め込んで支持部材７を光学筒９に取付
けると共に中央縦片１３に設けた板ばね１５により位置
検出センサ３を光学筒９の端部に押し付け、支持部材７
を長孔１６の長手方向に沿って移動することで受光スポ
ットの移動方向に位置検出センサ３を移動自在として成
ることを特徴とするものである。このような構成とする
ことで、支持部材７を長孔１６に沿って移動すること
で、簡単に支持部材７により光学筒９の端部に押し当て
ている位置検出センサ３を受光スポットの移動方向に移
動させることができることになる。
【０００９】また、位置検出センサ３が受光スポットの
位置によって電流出力が変化するものであることも好ま
しい。このような構成とすることで、簡単な構成で位置
検出センサ３を構成することができることになる。ま
た、支持部材７を金属製として位置検出センサ３に対し
て電気的シールド効果を持たせることも好ましい。この
ような構成とすることで、位置検出センサ３を光学筒９
に位置調整自在に保持するための支持部材７により電気
的シールドができることになる。
位置によって電流出力が変化するものであることも好ま
しい。このような構成とすることで、簡単な構成で位置
検出センサ３を構成することができることになる。ま
た、支持部材７を金属製として位置検出センサ３に対し
て電気的シールド効果を持たせることも好ましい。この
ような構成とすることで、位置検出センサ３を光学筒９
に位置調整自在に保持するための支持部材７により電気
的シールドができることになる。
【００１０】また、光学筒９を金属製とし、光学筒９に
対して移動自在に取付けた金属製の支持部材７を金属製
のねじ３２により固定することも好ましい。このような
構成とすることで、支持部材７と光学筒９とで電気的シ
ールドができて、シールド効果を高めることができる。
また、光学筒９に支持部材７を固定するためにねじ込む
ねじ３２よりも小径のタッピング用の孔１７を形成する
ことも好ましい。このような構成とすることで、ねじ３
２により固定する際に、小径のタッピング用の孔１７の
表面の被膜を削り取って、新鮮な金属表面を露出させて
ねじ３２と電気的に接続できることになる。
対して移動自在に取付けた金属製の支持部材７を金属製
のねじ３２により固定することも好ましい。このような
構成とすることで、支持部材７と光学筒９とで電気的シ
ールドができて、シールド効果を高めることができる。
また、光学筒９に支持部材７を固定するためにねじ込む
ねじ３２よりも小径のタッピング用の孔１７を形成する
ことも好ましい。このような構成とすることで、ねじ３
２により固定する際に、小径のタッピング用の孔１７の
表面の被膜を削り取って、新鮮な金属表面を露出させて
ねじ３２と電気的に接続できることになる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明を以下添付図面に示す実施
形態に基づいて詳述する。図１乃至図４に本発明の実施
形態を示す。光学式変位測定装置は、レーザダイオード
などの発光源１、光を測定物体２に集光する投光レンズ
６などをもつ投光光学系、測定物体２からの反射、散乱
光を受光する受光レンズ１１を備えた受光光学系、受光
光学系の結像面に配置されたＰＳＤなどの位置検出セン
サ３を備えており、更に、位置検出センサ３の位置を調
節することができる位置検出センサ３の支持部材７、投
光光学系、受光光学系を保持するための光学筒８、９を
備えている。ここで、光学筒８と光学筒９とは連結部材
１０により連結してあり、投光光学系側の光学筒８には
レーザダイオードなどの発光源１、投光レンズ６が装着
してある。受光光学系側の光学筒９には受光レンズ１１
が装着してあり、更に、受光光学系側の光学筒９の後端
開口部１２の後面部には位置検出センサ３であるＰＳＤ
（以下ＰＳＤとして説明する）が当接してあって、支持
部材７によりＰＳＤを受光光学系側の光学筒９の後端開
口部１２の後面部に押し当てて取付けてある。
形態に基づいて詳述する。図１乃至図４に本発明の実施
形態を示す。光学式変位測定装置は、レーザダイオード
などの発光源１、光を測定物体２に集光する投光レンズ
６などをもつ投光光学系、測定物体２からの反射、散乱
光を受光する受光レンズ１１を備えた受光光学系、受光
光学系の結像面に配置されたＰＳＤなどの位置検出セン
サ３を備えており、更に、位置検出センサ３の位置を調
節することができる位置検出センサ３の支持部材７、投
光光学系、受光光学系を保持するための光学筒８、９を
備えている。ここで、光学筒８と光学筒９とは連結部材
１０により連結してあり、投光光学系側の光学筒８には
レーザダイオードなどの発光源１、投光レンズ６が装着
してある。受光光学系側の光学筒９には受光レンズ１１
が装着してあり、更に、受光光学系側の光学筒９の後端
開口部１２の後面部には位置検出センサ３であるＰＳＤ
（以下ＰＳＤとして説明する）が当接してあって、支持
部材７によりＰＳＤを受光光学系側の光学筒９の後端開
口部１２の後面部に押し当てて取付けてある。
【００１２】支持部材７は中央縦片１３の両端部から支
持横片１４を連出した略コ字状をしており、中央縦片１
３に弾性を有する板ばね１５を切り起こしにより形成し
てある。また、中央縦片１３にはＰＳＤの端子４０を挿
入する孔（図示せず）が設けてあり、端子４０は孔に挿
入してあってＰＳＤを支持部材７に支持している。支持
横片１４には長孔１６が設けてある。受光光学系側の光
学筒９の後端部の上下面には複数（実施形態では２個）
の突起３１が突設してあり、更にねじ孔やタッピング用
の孔などの孔１７が設けてある。そして、ＰＳＤに支持
部材７を被せて取付けた状態で、ＰＳＤを受光光学系側
の光学筒９の後端開口部１２の後面部に押し当てると共
に支持部材７の支持横片１４ｂに設けた長孔１６を受光
光学系側の光学筒９の外面部に突設した突起３１にはめ
込むことで支持部材７を光学筒９に取付け、支持部材７
の板ばね１５によりＰＳＤを受光光学系側の光学筒９の
後端開口部１２の後面部に弾性的に押し当てるのであ
る。そして、長孔１４を突起３１にはめ込んだ状態で長
孔１４に沿って支持部材７を移動することで、支持部材
７により保持しているＰＳＤを横方向に移動調整するこ
とができるようになっており、調整後、長孔１４にねじ
３２を挿入して孔１７に螺合することで、支持部材７を
受光光学系側の光学筒９に固定し、ＰＳＤを固定するよ
うになっている。ここで、支持部材７へのＰＳＤの取付
けに当たっては、ＰＳＤの端子がない場合であっても、
接着剤などにより支持部材７の板ばね１５とＰＳＤとを
固定してもよいものである。
持横片１４を連出した略コ字状をしており、中央縦片１
３に弾性を有する板ばね１５を切り起こしにより形成し
てある。また、中央縦片１３にはＰＳＤの端子４０を挿
入する孔（図示せず）が設けてあり、端子４０は孔に挿
入してあってＰＳＤを支持部材７に支持している。支持
横片１４には長孔１６が設けてある。受光光学系側の光
学筒９の後端部の上下面には複数（実施形態では２個）
の突起３１が突設してあり、更にねじ孔やタッピング用
の孔などの孔１７が設けてある。そして、ＰＳＤに支持
部材７を被せて取付けた状態で、ＰＳＤを受光光学系側
の光学筒９の後端開口部１２の後面部に押し当てると共
に支持部材７の支持横片１４ｂに設けた長孔１６を受光
光学系側の光学筒９の外面部に突設した突起３１にはめ
込むことで支持部材７を光学筒９に取付け、支持部材７
の板ばね１５によりＰＳＤを受光光学系側の光学筒９の
後端開口部１２の後面部に弾性的に押し当てるのであ
る。そして、長孔１４を突起３１にはめ込んだ状態で長
孔１４に沿って支持部材７を移動することで、支持部材
７により保持しているＰＳＤを横方向に移動調整するこ
とができるようになっており、調整後、長孔１４にねじ
３２を挿入して孔１７に螺合することで、支持部材７を
受光光学系側の光学筒９に固定し、ＰＳＤを固定するよ
うになっている。ここで、支持部材７へのＰＳＤの取付
けに当たっては、ＰＳＤの端子がない場合であっても、
接着剤などにより支持部材７の板ばね１５とＰＳＤとを
固定してもよいものである。
【００１３】ところで、本発明において、従来のシール
ド板を省略するするため、支持部材７を金属製として、
該支持部材７によりＰＳＤを覆うことで、ＰＳＤを受光
光学系側の光学筒９に取付けるための部材を電気的シー
ルドをするための部材として兼用させるものである。こ
こで、ＰＳＤに端子４０を設けて上記のように支持部材
７に設けた孔に挿入して取付ける場合、端子４０が金属
製の支持部材１４と接触しないように端子４０を孔の縁
に接触しないように遊嵌するか、あるいは、少なくとも
孔の縁部分に絶縁部を設けてあって、端子４０と金属製
の支持部材１４とが電気的に接触しないようにするもの
である。金属製の支持部材１４をグランドに落とすた
め、リード線５０を支持部材１４に直接半田付けにより
固定し、更に、リード線５０を回路基板５１のグランド
やケース５２や金属製の光学筒９に接続するようにして
いる。
ド板を省略するするため、支持部材７を金属製として、
該支持部材７によりＰＳＤを覆うことで、ＰＳＤを受光
光学系側の光学筒９に取付けるための部材を電気的シー
ルドをするための部材として兼用させるものである。こ
こで、ＰＳＤに端子４０を設けて上記のように支持部材
７に設けた孔に挿入して取付ける場合、端子４０が金属
製の支持部材１４と接触しないように端子４０を孔の縁
に接触しないように遊嵌するか、あるいは、少なくとも
孔の縁部分に絶縁部を設けてあって、端子４０と金属製
の支持部材１４とが電気的に接触しないようにするもの
である。金属製の支持部材１４をグランドに落とすた
め、リード線５０を支持部材１４に直接半田付けにより
固定し、更に、リード線５０を回路基板５１のグランド
やケース５２や金属製の光学筒９に接続するようにして
いる。
【００１４】また、ねじ３２は金属製であり、光学筒９
も金属製とすることで、ねじ３２を介して金属製の支持
部材１４と金属製の光学筒９とを導通して同電位とし、
この支持部材１４及び光学筒９によりＰＳＤの電気的シ
ールドを行うことができ、このことでよりＰＳＤの電気
的シールド性を高めることができるものである。この場
合、ねじ３２を確実に光学筒９と導通させるために、新
鮮な金属表面を露出させる必要がある。例えば、光学筒
９をクロメートなどの表面処理をした場合には、表面処
理後にねじ切りをして新鮮な金属表面を露出させた孔１
７を形成する必要がある。
も金属製とすることで、ねじ３２を介して金属製の支持
部材１４と金属製の光学筒９とを導通して同電位とし、
この支持部材１４及び光学筒９によりＰＳＤの電気的シ
ールドを行うことができ、このことでよりＰＳＤの電気
的シールド性を高めることができるものである。この場
合、ねじ３２を確実に光学筒９と導通させるために、新
鮮な金属表面を露出させる必要がある。例えば、光学筒
９をクロメートなどの表面処理をした場合には、表面処
理後にねじ切りをして新鮮な金属表面を露出させた孔１
７を形成する必要がある。
【００１５】また、上記光学筒９に設ける孔１７として
ねじ３２よりも小径のタッピング用の孔を設け、ねじ３
２で支持部材７を光学筒９に取付ける場合、ねじ３２で
タッピング用の孔１７にタップを切るようにしてタッピ
ング用の孔１７にねじ込むことで、新鮮な金属表面を露
出させることができて、確実に金属製のねじ３２を光学
筒９に導通させ、支持部材１４及び光学筒９によりＰＳ
Ｄの電気的シールドを行うことができるものである。例
えば、セルフタップにより常に新鮮な金属表面を露出さ
せることができるので、前述の孔１７としてねじ孔を形
成するもののように、表面処理後にねじを切ってねじ孔
を形成するなどの配慮が必要でなく、確実に電気的シー
ルドができるものである。
ねじ３２よりも小径のタッピング用の孔を設け、ねじ３
２で支持部材７を光学筒９に取付ける場合、ねじ３２で
タッピング用の孔１７にタップを切るようにしてタッピ
ング用の孔１７にねじ込むことで、新鮮な金属表面を露
出させることができて、確実に金属製のねじ３２を光学
筒９に導通させ、支持部材１４及び光学筒９によりＰＳ
Ｄの電気的シールドを行うことができるものである。例
えば、セルフタップにより常に新鮮な金属表面を露出さ
せることができるので、前述の孔１７としてねじ孔を形
成するもののように、表面処理後にねじを切ってねじ孔
を形成するなどの配慮が必要でなく、確実に電気的シー
ルドができるものである。
【００１６】
【発明の効果】本発明の請求項１記載の発明にあって
は、上記のように、三角測距原理による光学式変位測定
装置において、支持部材を中央縦片の両端部から支持横
片を連出した略コ字状に形成し、支持横片に長孔を設
け、光学筒の外面部に突設した突起に支持横片に設けた
長孔を長孔の長手方向に移動自在に嵌め込んで支持部材
を光学筒に取付けると共に中央縦片に設けた板ばねによ
り位置検出センサを光学筒の端部に押し付け、支持部材
を長孔の長手方向に沿って移動することで受光スポット
の移動方向に位置検出センサを移動自在としてあるの
で、簡単な構成で受光スポットの移動方向に位置検出セ
ンサを移動させることができて、位置検出センサの位置
調整が簡単に行えるものである。
は、上記のように、三角測距原理による光学式変位測定
装置において、支持部材を中央縦片の両端部から支持横
片を連出した略コ字状に形成し、支持横片に長孔を設
け、光学筒の外面部に突設した突起に支持横片に設けた
長孔を長孔の長手方向に移動自在に嵌め込んで支持部材
を光学筒に取付けると共に中央縦片に設けた板ばねによ
り位置検出センサを光学筒の端部に押し付け、支持部材
を長孔の長手方向に沿って移動することで受光スポット
の移動方向に位置検出センサを移動自在としてあるの
で、簡単な構成で受光スポットの移動方向に位置検出セ
ンサを移動させることができて、位置検出センサの位置
調整が簡単に行えるものである。
【００１７】また、請求項２記載の発明にあっては、上
記請求項１記載の発明の効果に加えて、位置検出センサ
が受光スポットの位置によって電流出力が変化するもの
であるから、簡単な構成で位置検出センサを構成するこ
とができるものである。また、請求項３記載の発明にあ
っては、上記請求項１又は請求項２記載の発明の効果に
加えて、支持部材を金属製として位置検出センサに対し
て電気的シールド効果を持たせてあるので、位置検出セ
ンサを光学筒に取付けるための支持部材をそのまま位置
検出センサの電気的シールド部材として兼用することが
できて、従来のように、別部材のシールド板を設ける必
要がなく、簡単な構成で電気的シールド効果を持たせる
ことができ、コストダウンを図ることができるものであ
る。
記請求項１記載の発明の効果に加えて、位置検出センサ
が受光スポットの位置によって電流出力が変化するもの
であるから、簡単な構成で位置検出センサを構成するこ
とができるものである。また、請求項３記載の発明にあ
っては、上記請求項１又は請求項２記載の発明の効果に
加えて、支持部材を金属製として位置検出センサに対し
て電気的シールド効果を持たせてあるので、位置検出セ
ンサを光学筒に取付けるための支持部材をそのまま位置
検出センサの電気的シールド部材として兼用することが
できて、従来のように、別部材のシールド板を設ける必
要がなく、簡単な構成で電気的シールド効果を持たせる
ことができ、コストダウンを図ることができるものであ
る。
【００１８】また、請求項４記載の発明にあっては、上
記請求項３記載の発明の効果に加えて、光学筒を金属製
とし、光学筒に対して移動自在に取付けた金属製の支持
部材を金属製のねじにより固定してあるので、支持部材
と光学筒で位置検出センサの電気的シールドを行うこと
ができて、簡単な構成で電気的シールド効果をより高め
ることができるものである。
記請求項３記載の発明の効果に加えて、光学筒を金属製
とし、光学筒に対して移動自在に取付けた金属製の支持
部材を金属製のねじにより固定してあるので、支持部材
と光学筒で位置検出センサの電気的シールドを行うこと
ができて、簡単な構成で電気的シールド効果をより高め
ることができるものである。
【００１９】また、請求項５記載の発明にあっては、上
記請求項４記載の発明の効果に加えて、光学筒に支持部
材を固定するためにねじ込むねじよりも小径のタッピン
グ用の孔を形成してあるので、ねじの雄ねじ部によるセ
ルフタップにより光学筒に新鮮な金属表面を露出させる
ことができ、表面処理の手順などを考慮することなく、
確実に電気的シールドをとることができるものである。
記請求項４記載の発明の効果に加えて、光学筒に支持部
材を固定するためにねじ込むねじよりも小径のタッピン
グ用の孔を形成してあるので、ねじの雄ねじ部によるセ
ルフタップにより光学筒に新鮮な金属表面を露出させる
ことができ、表面処理の手順などを考慮することなく、
確実に電気的シールドをとることができるものである。
【図１】本発明の平面図である。
【図２】同上の分解斜視図である。
【図３】同上の支持部材の板ばねにより位置検出センサ
を押圧して位置検出センサを光学筒に取付けている状態
の概略平断面図である。
を押圧して位置検出センサを光学筒に取付けている状態
の概略平断面図である。
【図４】同上の支持部材の板ばねにより位置検出センサ
を押圧して位置検出センサを光学筒に取付けている状態
の概略側面図である。
を押圧して位置検出センサを光学筒に取付けている状態
の概略側面図である。
【図５】従来例を示す分解斜視図である。
１ 投光源 ２ 測定物体 ３ 位置検出センサ ７ 支持部材 ９ 光学筒 １３ 中央縦片 １４ 支持横片 １６ 長孔 １７ 孔 ３１ 突起 ３２ ねじ
Claims (5)
- 【請求項１】 光ビームを発生する投光源と、光ビーム
を測定物体に照射する投光光学系と、光ビームの測定物
体での反射光を集光する受光光学系と、受光光学系の結
像面に配置されて受光スポットの位置を検出する位置検
出センサと、受光光学系を組み込む光学筒に位置検出セ
ンサを取付ける保持部材とを備えた三角測距原理による
光学式変位測定装置において、支持部材を中央縦片の両
端部から支持横片を連出した略コ字状に形成し、支持横
片に長孔を設け、光学筒の外面部に突設した突起に支持
横片に設けた長孔を長孔の長手方向に移動自在に嵌め込
んで支持部材を光学筒に取付けると共に中央縦片に設け
た板ばねにより位置検出センサを光学筒の端部に押し付
け、支持部材を長孔の長手方向に沿って移動することで
受光スポットの移動方向に位置検出センサを移動自在と
して成ることを特徴とする光学式変位測定装置。 - 【請求項２】 位置検出センサが受光スポットの位置に
よって電流出力が変化するものであることを特徴とする
請求項１記載の光学式変位測定装置。 - 【請求項３】 支持部材を金属製として位置検出センサ
に対して電気的シールド効果を持たせて成ることを特徴
とする請求項１又は請求項２記載の光学式変位測定装
置。 - 【請求項４】 光学筒を金属製とし、光学筒に対して移
動自在に取付けた金属製の支持部材を金属製のねじによ
り固定して成ることを特徴とする請求項３記載の光学式
変位測定装置。 - 【請求項５】 光学筒に支持部材を固定するためにねじ
込むねじよりも小径のタッピング用の孔を形成して成る
ことを特徴とする請求項４記載の光学式変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13307296A JP3605942B2 (ja) | 1996-05-28 | 1996-05-28 | 光学式変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13307296A JP3605942B2 (ja) | 1996-05-28 | 1996-05-28 | 光学式変位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09318314A true JPH09318314A (ja) | 1997-12-12 |
| JP3605942B2 JP3605942B2 (ja) | 2004-12-22 |
Family
ID=15096197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13307296A Expired - Fee Related JP3605942B2 (ja) | 1996-05-28 | 1996-05-28 | 光学式変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3605942B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11245816A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-14 | East Japan Railway Co | レール変位量測定装置 |
| JP2008145160A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Keyence Corp | 光学式変位センサ及びその調整方法 |
| JP2011128048A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Keyence Corp | 光学式変位センサのセンサヘッド及びそのセンサヘッドを備える光学式変位センサ |
| CN117490984A (zh) * | 2023-12-12 | 2024-02-02 | 浙江嘉利（丽水）工业股份有限公司 | 一种汽车led尾灯用机器人视觉验光检测设备 |
-
1996
- 1996-05-28 JP JP13307296A patent/JP3605942B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11245816A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-14 | East Japan Railway Co | レール変位量測定装置 |
| JP2008145160A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Keyence Corp | 光学式変位センサ及びその調整方法 |
| JP2011128048A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Keyence Corp | 光学式変位センサのセンサヘッド及びそのセンサヘッドを備える光学式変位センサ |
| CN117490984A (zh) * | 2023-12-12 | 2024-02-02 | 浙江嘉利（丽水）工业股份有限公司 | 一种汽车led尾灯用机器人视觉验光检测设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3605942B2 (ja) | 2004-12-22 |
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