JPH09318845A - 光伝送モジュール - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ファイバと光路変換面及び光素子との位置
合わせ精度を確保しつつ，生産性に優れ且つ安価な小型
の自己整合的な光伝送モジュールを提供することを目的
とする。 【解決手段】 光ファイバ１０３と，ファイバ固定用溝
１０４と，ファイバ固定用溝１０４と一体形成され，光
ファイバ１０３からの出射光の光路を変換する傾斜面１
０５とを備える光ファイバ保持部材１０１と，光素子１
１０を複数個形成してなる光素子部材１０２とを具備し
て構成し，光ファイバ保持部材１０１は，光ファイバ固
定用溝１０４に略平行な方向に光素子部材１０２の位置
を概略規定するための位置決め部材１０７を具備し，該
位置決め部材１０７に光素子部材１０２の所定の一部を
配置し，光ファイバ保持部材１０１上の電極１０６の一
部と光素子部材１０２の電極１１１の一部とを電気的に
接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は光通信，光情報処理
及び光インターコネクション等に用いられる光伝送モジ
ュールに係り，特に，光ファイバと光路変換面及び光素
子との位置合わせ精度を確保しつつ，生産性に優れ，且
つ安価な小型の自己整合的な光伝送モジュールに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の光伝送モジュールの構成方法とし
ては，例えば，図６に示すようなものがある。この第１
従来例は，特開平５−３０３０２８号公報で開示された
「光ファイバアレイ用光反射器」の構成であり，光ファ
イバ整列用Ｖ字溝６０２を設け，一方の端にこれら光フ
ァイバ整列用Ｖ字溝６０２に直交する反射用Ｖ字溝６０
１を設け，光ファイバ整列用Ｖ字溝６０２に整列された
光ファイバ６０１からの出射光を，反射用Ｖ字溝６０３
のＶ字にカットされた面により方向変更させるものであ
り，受光素子等の光素子との光学的結合を複雑な調整を
必要とせずに実現している。

【０００３】また，図７には，１９９５年電子情報通信
学会エレクトロニクスソサエティ大会，発表番号Ｃ−１
９８で開示された「光受信アレイモジュール」の構成図
を示す。この第２従来例では，第１従来例と同様に，反
射用Ｖ字溝を結晶基板の異方性エッチングの手法で作製
し，その反射面によりアレイファイバ７０３からの出射
光の光路を変換させ，ＡｕＳｎバンプ７０４を用いたセ
ルフアライメントの手法により位置決めされたＰＤアレ
イ（受光素子）に投影することにより，光結合を実現し
ている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら，上記第
１従来例においては，光ファイバアレイ６０１と反射機
構が簡単な構造となり，また同一の基板６０１上に形成
が可能であり，モジュールの小型化等に有効であるが，
依然として受光素子等の光素子と光ファイバアレイとの
位置合わせのための調整作業が残る等，生産性に問題が
あった。

【０００５】また，第２従来例のように半田バンプによ
るフリップチップ実装を用いた場合，最終的な位置合わ
せはセルフアライメントの効果により簡略化できるが，
半田バンプの作製工程が付加されることにより，製造工
程の煩雑化によるコストアップ等，生産性に問題が残
る。

【０００６】本発明は，上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって，光ファイバと光路変換面及び光素子
との位置合わせ精度を確保しつつ，生産性に優れ且つ安
価な小型の自己整合的な光伝送モジュールを提供するこ
とを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に，本発明の請求項１に係る光伝送モジュールは，少な
くとも１つ以上の光ファイバと，前記光ファイバのファ
イバ固定用溝と，前記ファイバ固定用溝と一体に形成さ
れ，前記光ファイバからの出射光の光路を変換する傾斜
面とを備える光ファイバ保持部材と，光素子を複数個形
成してなる光素子部材と，を具備する光伝送モジュール
において，前記光ファイバ保持部材は，表面の所望の位
置に電極パターン若しくは半導体集積回路ベアチップを
搭載して当該光伝送モジュールのベース部材として機能
し，前記光ファイバ固定用溝に略平行な方向に前記光素
子部材の位置を概略規定するための位置決め部材を具備
し，前記位置決め部材に前記光素子部材の所定の一部を
配置し，前記光ファイバ保持部材上の電極の一部と前記
光素子部材の電極の一部とを電気的に接続させたもので
ある。

【０００８】また，請求項２に係る光伝送モジュール
は，請求項１記載の光伝送モジュールにおいて，前記光
ファイバ保持部材は，所定の方位を有する結晶基板を材
料とし，半導体加工プロセス及び異方性エッチングによ
り前記ファイバ固定用溝及び前記傾斜面が一体に作製さ
れ，前記光素子部材は，前記光ファイバからの出射光の
投影領域に対し少なくとも２つ以上の光素子が含まれる
ように，光素子が複数個アレイ状に形成されてなり，前
記光ファイバは，前記ファイバ固定用溝に配置される際
に，前記光ファイバ保持部材の表面より当該光ファイバ
の外周の一部が突出するように設置され，前記光素子部
材の一部が当該光ファイバの該突出部分に突き当たるよ
うに配置されるものである。

【０００９】また，請求項３に係る光伝送モジュール
は，請求項１または２記載の光伝送モジュールにおい
て，前記光ファイバ保持部材上に形成される電極の間隔
は，前記光素子部材の電極間隔より大きいか，或いは前
記光素子部材の電極の一部が不等間隔であるように変調
されたピッチで形成されるものである。

【００１０】また，請求項４に係る光伝送モジュール
は，請求項１，２または３記載の光伝送モジュールにお
いて，前記光ファイバ保持部材は，当該光ファイバ保持
部材上に形成された電極間に凸部を具備するものであ
る。

【００１１】また，請求項５に係る光伝送モジュール
は，請求項１，２，３または４記載の光伝送モジュール
において，前記光ファイバ保持部材は，化学エッチング
に対し等方性を有する基板を材料とし，前記反射面は，
選択的なエッチングにより球面若しくは非球面で形成さ
れるものである。

【００１２】また，請求項６に係る光伝送モジュール
は，請求項１，２，３，４または５記載の光伝送モジュ
ールにおいて，前記光ファイバは，端面が球面若しくは
非球面形状に加工されたものである。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下，本発明の光伝送モジュール
の概要について，並びに，本発明の光伝送モジュールの
実施例について，〔実施例１〕，〔実施例２〕，〔実施
例３〕，〔実施例４〕の順に図面を参照して詳細に説明
する。

【００１４】〔本発明の光伝送モジュールの概要〕本発
明の請求項１に係る光伝送モジュールでは，図１に示す
如く，少なくとも１つ以上の光ファイバ１０３と，ファ
イバ固定用溝１０４と，ファイバ固定用溝１０４と一体
に形成され，光ファイバ１０３からの出射光の光路を変
換する傾斜面１０５とを備える光ファイバ保持部材１０
１と，光素子１１０を複数個形成してなる光素子部材１
０２と，を具備して構成し，光ファイバ保持部材１０１
は，表面の所望の位置に電極パターン１０６若しくは半
導体集積回路ベアチップを搭載して当該光伝送モジュー
ルのベース部材として機能し，光ファイバ固定用溝１０
４に略平行な方向に光素子部材１０２の位置を概略規定
するための位置決め部材１０７を具備し，該位置決め部
材１０７に光素子部材１０２の所定の一部を配置し，光
ファイバ保持部材１０１上の電極１０６の一部と光素子
部材１０２の電極１１１の一部とを電気的に接続させて
いる。

【００１５】従って，光ファイバ１０３と光路変換面で
ある傾斜面１０５及び光素子１１０との位置合わせ精度
を確保しつつ，生産性に優れ且つ小型の光伝送モジュー
ルを実現できる。

【００１６】また，請求項２に係る光伝送モジュールで
は，図１及び図２に示す如く，光ファイバ保持部材１０
１の材料として，所定の方位を有する結晶基板を用い，
半導体加工プロセス及び異方性エッチングによりファイ
バ固定用溝１０４及び傾斜面１０５を一体に作製し，光
素子部材１０２を，光ファイバ１０３からの出射光の投
影領域に対し少なくとも２つ以上の光素子１１０が含ま
れるように，光素子１１０を複数個アレイ状に形成して
構成し，光ファイバ１０３をファイバ固定用溝１０４に
配置する際に，光ファイバ保持部材１０１の表面より当
該光ファイバ１０３の外周の一部が突出するように設置
し，光素子部材１０２の一部が光ファイバ１０３の該突
出部分に突き当たるように配置している。

【００１７】従って，半導体プロセスを利用して光伝送
モジュールを作製することができ，簡易に高精度な位置
決め機構を備えた光伝送モジュールを実現できる。

【００１８】また，請求項３に係る光伝送モジュールで
は，図１及び図３に示す如く，光ファイバ保持部材１０
１上に形成される電極１０６の間隔は，光素子部材１０
２の電極１１１の間隔より大きいか，或いは光素子部材
１０２の電極の一部１１１’が不等間隔であるように変
調されたピッチで形成されている。

【００１９】これにより，隣接チャンネルの電気的接触
を効率よく回避することができ，また不必要な光素子１
１０の接続による当該光伝送モジュールの性能劣化や配
線の電気的特性が制御可能で，且つ，歩留まりよく生産
が可能な光伝送モジュールを実現できる。

【００２０】また，請求項４に係る光伝送モジュールで
は，図４に示す如く，光ファイバ保持部材１０１に，当
該光ファイバ保持部材１０１上に形成された電極１０６
間に凸部４２５を具備している。これにより，隣接チャ
ンネルの電気的接触を効率よく回避することができ，歩
留まりよく生産が可能な光伝送モジュールを実現でき
る。

【００２１】また，請求項５に係る光伝送モジュールで
は，図５に示す如く，光ファイバ保持部材１０１の材料
として，化学エッチングに対し等方性を有する基板を用
い，反射面１０５’を，選択的なエッチングにより球面
若しくは非球面で形成している。これにより，反射機能
部の光学的性能を向上することが可能で，半導体プロセ
スを利用することができ，簡易に高精度な位置決め機構
を備えた光伝送モジュールを実現できると共に，高効率
な光結合系が実現される。

【００２２】また，請求項６に係る光伝送モジュールで
は，図５に示す如く，光ファイバ１０３’の端面を，球
面若しくは非球面形状に加工している。これにより，光
ファイバ１０３’からの出射光の拡散を抑制することが
可能で，光素子１１０の小型化により高速性を確保でき
ると共に，高効率な光結合系を実現できる。

【００２３】〔実施例１〕図１は本発明の実施例１に係
る光伝送モジュールの構造説明図である。図１（ａ）
は，光ファイバ保持部材１０１及び光素子部材１０２を
接続する前の光伝送モジュールの斜視図，図１（ｂ）は
方向Ｂから見た光結合部分の断面図，図１（ｃ）は光素
子部材１０２の斜視図である。

【００２４】本実施例の光伝送モジュールでは，少なく
とも１つ以上の光ファイバ１０３と，ファイバ固定用溝
１０４と，ファイバ固定用溝１０４と一体に形成され，
光フアイバ１０３からの出射光の光路を変換するため反
射面（傾斜面）１０５とを，同一部材である光ファイバ
保持部材１０１上に形成する。

【００２５】例えば光ファイバ保持部材１０１の材料と
して，所定の方位（この場合＜１００面＞）を有するシ
リコン結晶基板を用いた場合には，通常のフォトリソグ
ラフィ等の半導体加工プロセス及び異方性エッチングの
手法により，ファイバ固定用溝１０４を同一基板１０１
上に一体に作製する。

【００２６】この時，ファイバ固定用溝１０４の光ファ
イバ１０３に対向する傾斜面１０５を，光路変換機能素
子である反射面として用いることにより，反射面１０５
をファイバ固定用溝１０４と一体化されたものとして扱
うことができる。更にこの場合，反射率を向上させるた
めに，反射面１０５に金属薄膜と透明絶縁膜や誘電体多
層膜を形成してもよい。

【００２７】また，光素子部材１０２の位置決め機構と
しては，ファイバ固定用溝１０４に沿った光ファイバ保
持部材１０１の両サイドの所定の位置に薄膜を形成後，
フォトリソグラフィの手法によるパターニングとエッチ
ングの手法により形成した凸部１０７を設けて，該凸部
１０７を位置決め機構として用いるか，或いは，ファイ
バ固定用溝１０４の幅を，光ファイバ１０３が配置され
た際に，光ファイバ１０３の外周の一部が光ファイバ保
持部材１０１の表面より所定量だけ突出するよう設定し
て，光ファイバ１０３の一部を位置決め機構として用い
る。

【００２８】そして，次段の電気回路への接続やＩＣの
ベアチップ実装のための電気配線１０６を，図１（ｂ）
に示す如く，光ファイバ保持部材１０１の絶縁体薄膜１
１２上に形成する。

【００２９】次に光素子部材１０２においては，本実施
例では受光素子が光素子１１０として形成されている
が，例えば，１［μｍ］以下の波長による光伝送システ
ムを考えた場合，光素子部材（受光素子基板）１０２と
してシリコン基板を用い，フォトダイオード（例えば，
ｐｉｎ層から構成されるｐｉｎ−ＰＤ）を受光素子１１
０として，所定間隔を保つアレイ状に作製する。

【００３０】また光素子部材１０２においては，図２に
示す平面図の如く，光伝送モジュールを構成する際に，
光ファイバ１０３からの出射光の投影領域２００に対し
て，少なくとも２つ以上の受光素子１１０が含まれるよ
うに，受光素子１１０を複数個アレイ状に形成し，電極
１１１も該受光素子１１０と共に形成されている。

【００３１】本実施例による光伝送モジュールでは，光
ファイバ保持部材１０１の位置決め部材である凸部（本
実施例では，ファイバ外周部の一部）１０７に，受光素
子部材１０２の一辺が接触するよう配置させることによ
り，受光素子部材１０２のファイバ光軸方向についての
位置決めが行われる。

【００３２】更に，受光素子部材１０２のファイバアレ
イ方向についての位置決めは，受光素子部材１０２を配
置した際に，光ファイバ１０３からの出射光の投影部分
２００に位置する複数の受光素子の電極１１１に，光フ
ァイバ保持部材１０１上の電極パターン１０６がくるよ
うにすることにより行われる。

【００３３】つまり，ファイバ固定用溝１０４の延長上
の光ファイバ保持部材１０６表面に設けた電極１０６
を，受光素子部材１０２上の所定の電極に接触させるこ
とにより，自動的に光が入射した複数の受光素子１１０
が電気的に接続され，対応する光ファイバ１０３にアラ
イメントされた１つの受光素子として機能することによ
り，特に光素子部材１０２の微調整をする必要なく，光
伝送モジュールの組付けを行うことが可能になる。

【００３４】上記方法により，受光素子部材１０２は，
ファイバアレイ方向とファイバ光軸方向について，機械
的な機構とアライメントフリーな素子構成により精度良
く位置決めがなされる。

【００３５】尚，受光素子部材１０２上の電極１１１と
光ファイバ保持部材１０１上の電極１０６との電気的接
続には，例えば，光ファイバ保持部材１０１上の電極１
０６の一部に導電性接着剤を選択的に塗布してメサ形状
の凸部１０７を形成し，この凸部１０７と受光素子の電
極１１１とを接触させ硬化させることにより接続を行
う。

【００３６】〔実施例２〕次に，本発明の実施例２に係
る光伝送モジュールについて説明する。図３は，本実施
例の光伝送モジュールにおける光ファイバ保持部材１０
１及び光素子部材１０２の接続を説明する平面図であ
る。

【００３７】実施例１では，図２に示すように，光ファ
イバ保持部材１０１上に形成される電極１０６の間隔
が，受光素子部材１０２上の電極１１１のピッチよりも
大きくなるように形成されている。

【００３８】これに対して実施例２では，図３に示すよ
うに，受光素子部材１０２上の電極１１１の一部が不等
間隔であるように変調されたピッチで形成されている。

【００３９】これらの方法により，実施例１及び実施例
２では，光ファイバ保持部材１０１上の電極１０６の一
部に導電性接着剤を選択的に塗布してメサ形状の凸部１
０７を形成する際に，その塗布量の制御を緩和すること
ができ，光伝送モジュール構成時に，凸部１０７の変形
による不要な隣接チャンネル間の電気的接触を防止する
ことができる。

【００４０】また，特に実施例２（図３）においては，
更に，必要以上の受光素子の電気的結合によって受光素
子の容量が増加することによる応答速度の低下を防止す
ることも可能となる。

【００４１】〔実施例３〕次に，本発明の実施例３に係
る光伝送モジュールについて説明する。図４は，本実施
例の光伝送モジュールにおける光ファイバ保持部材１０
１及び光素子部材１０２の接続を説明する説明図であ
り，図４（ａ）は平面図，図４（ｂ）は断面図である。

【００４２】本実施例では，光ファイバ保持部材１０１
表面の電極１１１間に，例えば，フォトリソグラフィ及
びパターニングの手法等により，凸部４２５を所定の場
所に形成後，光ファイバ保持部材１０１上の電極１０６
の一部に導電性接着剤を選択的に塗布してメサ形状の凸
部１０７を形成している。これにより，光素子部材１０
２を配置の際に，接着剤（１０７）の変形による不要な
隣接チャンネル間の電気的接触を防止することができ
る。

【００４３】〔実施例４〕次に，本発明の実施例４に係
る光伝送モジュールについて説明する。図５は，本実施
例の光伝送モジュールの断面図である。

【００４４】図５（ａ）では，光ファイバ保持部材１０
１として，化学エッチングに対し等方性を有する基板，
例えばガラス基板等を用い，選択的なエッチングにより
反射面１０５が球面若しくは非球面形状となるように加
工して金属反射膜を形成後，絶縁膜を形成するか，或い
は誘電体多層膜を形成して，光路変換機能を実現してい
る。

【００４５】図５（ａ）の如く，反射面１０５を球面若
しくは非球面形状とすることにより，光ファイバ１０３
からの出射光の発散を抑制でき，また効率よく受光素子
に集光させることができ，更に，より少ない受光素子１
１０により受光素子部材１０２を構成させることによ
り，実質的な受光面積を小さくでき，受光素子１１０の
応答速度を向上させることができる。

【００４６】また図５（ｂ）のように，光ファイバ１０
３’として，光ファイバ１０３’の端面が球面若しくは
非球面形状に加工されたものを用いることによっても，
光ファイバ１０３からの発散光の発散角を抑制でき，図
５（ａ）と同様な効果が期待できる。

【００４７】本発明は上記実施例１から実施例４までの
実施形態に限定されることなく，その他この精神に逸脱
することなく種々の変形が可能である。例えば，光素子
１１０の表面に機能薄膜を形成したり，光素子１１０と
して面発光タイプのＬＥＤまたはＬＤを用いることも可
能であり，また，波長帯も１［μｍ］以下に限られるこ
となく，他の波長帯，例えば１．３／１．５［μｍ］帯
の伝送システムに用いるデバイスにも応用可能であり，
更に，光ファイバ保持部材１０１として，前記半導体プ
ロセス及び異方性エッチングの手法により作製した基板
をもとに，電鋳法による金型作製とそれを型に樹脂等で
射出成形や複製した樹脂部材を用いても良い。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように，本発明の請求項１
に係る光伝送モジュールによれば，少なくとも１つ以上
の光ファイバと，ファイバ固定用溝と，ファイバ固定用
溝と一体に形成され，光ファイバからの出射光の光路を
変換する傾斜面とを備える光ファイバ保持部材と，光素
子を複数個形成してなる光素子部材とを具備して構成
し，光ファイバ保持部材は，表面の所望の位置に電極パ
ターン若しくは半導体集積回路ベアチップを搭載して当
該光伝送モジュールのベース部材として機能し，光ファ
イバ固定用溝に略平行な方向に光素子部材の位置を概略
規定するための位置決め部材を具備し，該位置決め部材
に光素子部材の所定の一部を配置し，光ファイバ保持部
材上の電極の一部と光素子部材の電極の一部とを電気的
に接続させることとしたので，光ファイバと光路変換面
である傾斜面及び光素子との位置合わせ精度を確保しつ
つ，生産性に優れ且つ小型の光伝送モジュールを提供す
ることができる。

【００４９】また，請求項２に係る光伝送モジュールに
よれば，光ファイバ保持部材の材料として，所定の方位
を有する結晶基板を用い，半導体加工プロセス及び異方
性エッチングによりファイバ固定用溝及び傾斜面を一体
に作製し，光素子部材を，光ファイバからの出射光の投
影領域に対し少なくとも２つ以上の光素子が含まれるよ
うに，光素子を複数個アレイ状に形成して構成し，光フ
ァイバをファイバ固定用溝に配置する際に，光ファイバ
保持部材の表面より当該光ファイバの外周の一部が突出
するように設置し，光素子部材の一部が光ファイバの該
突出部分に突き当たるように配置したので，半導体プロ
セスを利用して光伝送モジュールを作製することがで
き，簡易に高精度な位置決め機構を備えた光伝送モジュ
ールを提供することができる。

【００５０】また，請求項３に係る光伝送モジュールに
よれば，光ファイバ保持部材上に形成される電極の間隔
は，光素子部材の電極の間隔より大きいか，或いは光素
子部材の電極の一部が不等間隔であるように変調された
ピッチで形成されることとしたので，隣接チャンネルの
電気的接触を効率よく回避することができ，また不必要
な光素子の接続による当該光伝送モジュールの性能劣化
や配線の電気的特性が制御可能で，且つ，歩留まりよく
生産が可能な光伝送モジュールを提供することができ
る。

【００５１】また，請求項４に係る光伝送モジュールに
よれば，光ファイバ保持部材に，当該光ファイバ保持部
材上に形成された電極間に凸部を具備しているので，隣
接チャンネルの電気的接触を効率よく回避することがで
き，歩留まりよく生産が可能な光伝送モジュールを提供
することができる。

【００５２】また，請求項５に係る光伝送モジュールに
よれば，光ファイバ保持部材の材料として，化学エッチ
ングに対し等方性を有する基板を用い，反射面を，選択
的なエッチングにより球面若しくは非球面で形成したの
で，反射機能部の光学的性能を向上することが可能で，
半導体プロセスを利用することができ，簡易に高精度な
位置決め機構を備えた光伝送モジュールを提供すること
ができると共に，高効率な光結合系を実現し得る光伝送
モジュールを提供することができる。

【００５３】また，請求項６に係る光伝送モジュールに
よれば，光ファイバの端面を，球面若しくは非球面形状
に加工したので，光ファイバからの出射光の拡散を抑制
することが可能で，光素子の小型化により高速性を確保
できると共に，高効率な光結合系を実現し得る光伝送モ
ジュールを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１に係る光伝送モジュールの構
造説明図であり，図１（ａ）は光ファイバ保持部材及び
光素子部材を接続する前の光伝送モジュールの斜視図，
図１（ｂ）は方向Ｂから見た光結合部分の断面図，図１
（ｃ）は光素子部材の斜視図である。

【図２】実施例１の光伝送モジュールにおける光ファイ
バ保持部材及び光素子部材の接続を説明する平面図であ
る。

【図３】実施例２の光伝送モジュールにおける光ファイ
バ保持部材及び光素子部材の接続を説明する平面図であ
る。

【図４】実施例３の光伝送モジュールにおける光ファイ
バ保持部材及び光素子部材の接続を説明する説明図であ
り，図４（ａ）は平面図，図４（ｂ）は断面図である。

【図５】実施例４の光伝送モジュールの断面図である。

【図６】第１従来例の光ファイバアレイ用光反射器の構
造説明図である。

【図７】第２従来例の光受信アレイモジュールの構造説
明図である。

【符号の説明】

１０１ 光ファイバ保持部材 １０２ 光素子部材 １０３，１０３’ 光ファイバ １０４ ファイバ固定用溝 １０５，１０５’ 傾斜面（反射面） １０６，１１１，１１１’ 電極パターン（電極） １０７ 固定及び電気接触のための凸部（導電性接着
剤） １１０ 光素子 ２００，３００ 出射光の投影領域 ４２５ 凸部

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも１つ以上の光ファイバと，前
   記光ファイバのファイバ固定用溝と，前記ファイバ固定
   用溝と一体に形成され，前記光ファイバからの出射光の
   光路を変換する傾斜面とを備える光ファイバ保持部材
   と，光素子を複数個形成してなる光素子部材と，を有す
   る光伝送モジュールにおいて，前記光ファイバ保持部材
   は，表面の所望の位置に電極パターン若しくは半導体集
   積回路ベアチップを搭載して当該光伝送モジュールのベ
   ース部材として機能し，前記光ファイバ固定用溝に略平
   行な方向に前記光素子部材の位置を概略規定するための
   位置決め部材を有し，前記位置決め部材に前記光素子部
   材の所定の一部を配置し，前記光ファイバ保持部材上の
   電極の一部と前記光素子部材の電極の一部とを電気的に
   接続させたことを特徴とする光伝送モジュール。
2. 【請求項２】 前記光ファイバ保持部材は，所定の方位
   を有する結晶基板を材料とし，半導体加工プロセス及び
   異方性エッチングにより前記ファイバ固定用溝及び前記
   傾斜面が一体に作製され，前記光素子部材は，前記光フ
   ァイバからの出射光の投影領域に対し少なくとも２つ以
   上の光素子が含まれるように，光素子が複数個アレイ状
   に形成されてなり，前記光ファイバは，前記ファイバ固
   定用溝に配置される際に，前記光ファイバ保持部材の表
   面より当該光ファイバの外周の一部が突出するように設
   置され，前記光素子部材の一部が当該光ファイバの該突
   出部分に突き当たるように配置されることを特徴とする
   請求項１記載の光伝送モジュール。
3. 【請求項３】 前記光ファイバ保持部材上に形成される
   電極の間隔は，前記光素子部材の電極間隔より大きい
   か，或いは前記光素子部材の電極の一部が不等間隔であ
   るように変調されたピッチで形成されることを特徴とす
   る請求項１または２記載の光伝送モジュール。
4. 【請求項４】 前記光ファイバ保持部材は，当該光ファ
   イバ保持部材上に形成された電極間に凸部を有すること
   を特徴とする請求項１，２または３記載の光伝送モジュ
   ール。
5. 【請求項５】 前記光ファイバ保持部材は，化学エッチ
   ングに対し等方性を有する基板を材料とし，前記反射面
   は，選択的なエッチングにより球面若しくは非球面で形
   成されることを特徴とする請求項１，２，３または４記
   載の光伝送モジュール。
6. 【請求項６】 前記光ファイバは，端面が球面若しくは
   非球面形状に加工されたものであることを特徴とする請
   求項１，２，３，４または５記載の光伝送モジュール。