JPH09320512A - 質量分析装置用直接試料導入プローブのフィラメント - Google Patents
質量分析装置用直接試料導入プローブのフィラメントInfo
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- JPH09320512A JPH09320512A JP8156090A JP15609096A JPH09320512A JP H09320512 A JPH09320512 A JP H09320512A JP 8156090 A JP8156090 A JP 8156090A JP 15609096 A JP15609096 A JP 15609096A JP H09320512 A JPH09320512 A JP H09320512A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 質量分析における試料のイオン化を脱離型化
学イオン化又は脱離型電子衝撃イオン化により行う質量
分析装置において、試料を直接導入するための直接試料
導入プローブの先端に備えたフィラメントに、試料を容
易にサンプリングできるようにし、且つサンプリングし
た試料を安定的に保持できるようにする。 【解決手段】 質量分析における試料のイオン化を脱離
型化学イオン化又は脱離型電子衝撃イオン化により行う
質量分析装置に試料を直接導入するための直接試料導入
プローブの先端に備えられ、試料ホルダーとして機能し
且つ試料加熱手段として機能するフィラメント1におい
て、その表面の少なくとも一部に試料を保持するための
凹部1bを設ける。
学イオン化又は脱離型電子衝撃イオン化により行う質量
分析装置において、試料を直接導入するための直接試料
導入プローブの先端に備えたフィラメントに、試料を容
易にサンプリングできるようにし、且つサンプリングし
た試料を安定的に保持できるようにする。 【解決手段】 質量分析における試料のイオン化を脱離
型化学イオン化又は脱離型電子衝撃イオン化により行う
質量分析装置に試料を直接導入するための直接試料導入
プローブの先端に備えられ、試料ホルダーとして機能し
且つ試料加熱手段として機能するフィラメント1におい
て、その表面の少なくとも一部に試料を保持するための
凹部1bを設ける。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、質量分析における
試料のイオン化を脱離型化学イオン化又は脱離型電子衝
撃イオン化により行う質量分析装置に関する。特に、質
量分析装置に試料を導入するための直接試料導入プロー
ブ並びにその先端に設けられ、試料ホルダーとして且つ
試料加熱手段として機能するフィラメントに関する。
試料のイオン化を脱離型化学イオン化又は脱離型電子衝
撃イオン化により行う質量分析装置に関する。特に、質
量分析装置に試料を導入するための直接試料導入プロー
ブ並びにその先端に設けられ、試料ホルダーとして且つ
試料加熱手段として機能するフィラメントに関する。
【0002】
【従来の技術】質量分析装置は様々な物質を高感度分析
(10-9〜10-10gオーダー)できる分析装置である
が、最高感度付近での極微量分析においては試料の全量
を無駄なくイオン源内に導入できる直接試料導入プロー
ブが用いられる。中でも、脱離型化学イオン化プローブ
あるいは脱離型電子衝撃イオン化プローブは、試料をイ
オン源内のイオン化領域にまで直接導入することができ
るため、極微量試料の分析に適している。
(10-9〜10-10gオーダー)できる分析装置である
が、最高感度付近での極微量分析においては試料の全量
を無駄なくイオン源内に導入できる直接試料導入プロー
ブが用いられる。中でも、脱離型化学イオン化プローブ
あるいは脱離型電子衝撃イオン化プローブは、試料をイ
オン源内のイオン化領域にまで直接導入することができ
るため、極微量試料の分析に適している。
【0003】ここで、脱離型化学イオン化プローブを用
いて試料を脱離型化学イオン化して質量分析する場合を
図3を参照しながら説明する。
いて試料を脱離型化学イオン化して質量分析する場合を
図3を参照しながら説明する。
【0004】まず、試料ホルダーとして且つ試料加熱手
段として機能するフィラメント1が先端に設けられた脱
離型化学イオン化プローブ2aを、内圧が高真空度(1
0-3〜10-4Pa)に設定されているイオン源3に挿入
する。ここでフィラメント1は、約100μm径の白金
ワイヤーから構成されており、イオン源3の内部の高真
空度(10-3〜10-4Pa)に設定されているイオン化
室4に挿入されている。イオン化室4には、反応ガスを
イオン化室4に導入するためのガス管5が接続されてい
る。また、イオン化室4には、イオン化された試料を検
出器(図示せず)方向へ通過させるための穴6が設けら
れており、その穴6の上方にはレンズ系を構成する電極
群7が設けられている。
段として機能するフィラメント1が先端に設けられた脱
離型化学イオン化プローブ2aを、内圧が高真空度(1
0-3〜10-4Pa)に設定されているイオン源3に挿入
する。ここでフィラメント1は、約100μm径の白金
ワイヤーから構成されており、イオン源3の内部の高真
空度(10-3〜10-4Pa)に設定されているイオン化
室4に挿入されている。イオン化室4には、反応ガスを
イオン化室4に導入するためのガス管5が接続されてい
る。また、イオン化室4には、イオン化された試料を検
出器(図示せず)方向へ通過させるための穴6が設けら
れており、その穴6の上方にはレンズ系を構成する電極
群7が設けられている。
【0005】次に、フィラメント1を加熱してフィラメ
ント1に保持されていた試料を気化させ、その気化した
試料とガス管5からイオン化室4に導入される反応ガス
(例えば、メタン、イソブタン、アンモニア等)とを反
応させることにより試料をイオン化する。生成イオン
は、イオン化室4の穴6を通過し、電極群7により収束
されて検出器(図示せず)へ到達し、その質量が分析さ
れる。
ント1に保持されていた試料を気化させ、その気化した
試料とガス管5からイオン化室4に導入される反応ガス
(例えば、メタン、イソブタン、アンモニア等)とを反
応させることにより試料をイオン化する。生成イオン
は、イオン化室4の穴6を通過し、電極群7により収束
されて検出器(図示せず)へ到達し、その質量が分析さ
れる。
【0006】また、脱離型電子衝撃イオン化プローブを
用いて試料を脱離型電子衝撃イオン化して質量分析する
場合を図4を参照しながら説明する。
用いて試料を脱離型電子衝撃イオン化して質量分析する
場合を図4を参照しながら説明する。
【0007】まず、図3の場合と同様に、試料ホルダー
として且つ試料加熱手段として機能するフィラメント1
が先端に設けられた脱離型電子衝撃化学イオン化プロー
ブ2bを、内圧が高真空度(10-3〜10-4Pa)に設
定されているイオン源3に挿入する。ここでフィラメン
ト1は、イオン源3の内部の高真空度(10-3〜10-4
Pa)に設定されているイオン化室4に挿入されてい
る。イオン化室4には、気化した試料を電子衝撃により
イオン化するための熱電子を発生するイオン源フィラメ
ント8が設けられている。また、イオン化室4には、図
3の場合と同様に、イオン化された試料を検出器(図示
せず)方向へ通過させるための穴6が設けられており、
その穴6の上方にはレンズ系を構成する電極群7が設け
られている。
として且つ試料加熱手段として機能するフィラメント1
が先端に設けられた脱離型電子衝撃化学イオン化プロー
ブ2bを、内圧が高真空度(10-3〜10-4Pa)に設
定されているイオン源3に挿入する。ここでフィラメン
ト1は、イオン源3の内部の高真空度(10-3〜10-4
Pa)に設定されているイオン化室4に挿入されてい
る。イオン化室4には、気化した試料を電子衝撃により
イオン化するための熱電子を発生するイオン源フィラメ
ント8が設けられている。また、イオン化室4には、図
3の場合と同様に、イオン化された試料を検出器(図示
せず)方向へ通過させるための穴6が設けられており、
その穴6の上方にはレンズ系を構成する電極群7が設け
られている。
【0008】次に、フィラメント1を加熱し、保持して
いた試料を気化させ、その気化した試料に、イオン源フ
ィラメント8から放出された熱電子を衝突させてイオン
化する。生成イオンは穴6を通過し電極群7により収束
されて検出器(図示せず)へ到達し、その質量が分析さ
れる。
いた試料を気化させ、その気化した試料に、イオン源フ
ィラメント8から放出された熱電子を衝突させてイオン
化する。生成イオンは穴6を通過し電極群7により収束
されて検出器(図示せず)へ到達し、その質量が分析さ
れる。
【0009】このようなプローブを用いて極微量試料を
質量分析する際には、これらのプローブに設けられたフ
ィラメントに試料をサンプリングすることが必要となる
が、この場合、極微量の試料をマニュピュレーターの針
先に採取し、その針先に採取した試料をフィラメントの
先端に擦りつけることによりサンプリングが行われてい
る。
質量分析する際には、これらのプローブに設けられたフ
ィラメントに試料をサンプリングすることが必要となる
が、この場合、極微量の試料をマニュピュレーターの針
先に採取し、その針先に採取した試料をフィラメントの
先端に擦りつけることによりサンプリングが行われてい
る。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図5に
示すように、プローブに設けられたフィラメント1の先
端部1a近傍の平面図(同図(a))におけるx−x断
面が、非常に小さな直径の円形(同図(b))なので、
その上に試料を擦りつけてサンプリングすることが困難
であり、また、うまくサンプリングできたとしても、し
っかりとフィラメント1上に試料が固定されていないの
で、質量分析装置のイオン源にプローブを挿入する以前
に試料を紛失してしまうこともある。
示すように、プローブに設けられたフィラメント1の先
端部1a近傍の平面図(同図(a))におけるx−x断
面が、非常に小さな直径の円形(同図(b))なので、
その上に試料を擦りつけてサンプリングすることが困難
であり、また、うまくサンプリングできたとしても、し
っかりとフィラメント1上に試料が固定されていないの
で、質量分析装置のイオン源にプローブを挿入する以前
に試料を紛失してしまうこともある。
【0011】本発明は、以上のような従来の技術の課題
を解決しようとするものであり、質量分析における試料
のイオン化を脱離型化学イオン化又は脱離型電子衝撃イ
オン化により行う質量分析装置に、試料を直接導入する
ための直接試料導入プローブの先端に備えたフィラメン
トに、試料を容易にサンプリングできるようにし、しか
もサンプリングした試料を安定的に保持できるようにす
ることを目的とする。
を解決しようとするものであり、質量分析における試料
のイオン化を脱離型化学イオン化又は脱離型電子衝撃イ
オン化により行う質量分析装置に、試料を直接導入する
ための直接試料導入プローブの先端に備えたフィラメン
トに、試料を容易にサンプリングできるようにし、しか
もサンプリングした試料を安定的に保持できるようにす
ることを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明者は、直接試料導
入プローブの先端に備えたフィラメントに試料を擦りつ
けたときに試料が容易にフィラメントに付着し且つ付着
した試料が安定的に保持されるようにするためには、フ
ィラメントの表面の少なくとも一部に凹部を形成すれば
よいことを見出し、本発明を完成させるに至った。
入プローブの先端に備えたフィラメントに試料を擦りつ
けたときに試料が容易にフィラメントに付着し且つ付着
した試料が安定的に保持されるようにするためには、フ
ィラメントの表面の少なくとも一部に凹部を形成すれば
よいことを見出し、本発明を完成させるに至った。
【0013】即ち、本発明は、質量分析における試料の
イオン化を脱離型化学イオン化又は脱離型電子衝撃イオ
ン化により行う質量分析装置に試料を直接導入するため
の直接試料導入プローブの先端に備えられ、試料ホルダ
ーとして機能し且つ試料加熱手段として機能するフィラ
メントにおいて、その表面の少なくとも一部に試料を保
持するための凹部が設けられていることを特徴とするフ
ィラメントを提供する。
イオン化を脱離型化学イオン化又は脱離型電子衝撃イオ
ン化により行う質量分析装置に試料を直接導入するため
の直接試料導入プローブの先端に備えられ、試料ホルダ
ーとして機能し且つ試料加熱手段として機能するフィラ
メントにおいて、その表面の少なくとも一部に試料を保
持するための凹部が設けられていることを特徴とするフ
ィラメントを提供する。
【0014】また、本発明は、質量分析における試料の
イオン化を脱離型化学イオン化又は脱離型電子衝撃イオ
ン化により行う質量分析装置に試料を直接導入するため
の直接試料導入プローブであって、その先端に試料ホル
ダーとして機能し且つ試料加熱手段として機能するフィ
ラメントが備えられている直接試料導入プローブにおい
て、フィラメントの表面の少なくとも一部に試料を保持
するための凹部が設けられていることを特徴とする直接
試料導入プローブを提供する。
イオン化を脱離型化学イオン化又は脱離型電子衝撃イオ
ン化により行う質量分析装置に試料を直接導入するため
の直接試料導入プローブであって、その先端に試料ホル
ダーとして機能し且つ試料加熱手段として機能するフィ
ラメントが備えられている直接試料導入プローブにおい
て、フィラメントの表面の少なくとも一部に試料を保持
するための凹部が設けられていることを特徴とする直接
試料導入プローブを提供する。
【0015】更に、本発明は、質量分析における試料の
イオン化を脱離型化学イオン化又は脱離型電子衝撃イオ
ン化により行う質量分析装置であって、試料ホルダーと
して機能し且つ試料加熱手段として機能するフィラメン
トが先端に設けられた直接試料導入プローブを備えた質
量分析装置において、フィラメントの表面の少なくとも
一部に試料を保持するための凹部が設けられていること
を特徴とする質量分析装置を提供する。
イオン化を脱離型化学イオン化又は脱離型電子衝撃イオ
ン化により行う質量分析装置であって、試料ホルダーと
して機能し且つ試料加熱手段として機能するフィラメン
トが先端に設けられた直接試料導入プローブを備えた質
量分析装置において、フィラメントの表面の少なくとも
一部に試料を保持するための凹部が設けられていること
を特徴とする質量分析装置を提供する。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面を参照しなが
ら詳細に説明する。
ら詳細に説明する。
【0017】本発明のフィラメントは、機能的には従来
のフィラメントと同様に、その先端部に試料を保持する
試料ホルダーとして機能するとともに、電気を導通する
ことにより自ら発熱し、試料を加熱気化させるための加
熱手段として機能する。このため、本発明のフィラメン
ト1は、導電性の細いワイヤーを、図1(a)の平面図
に示すように、屈曲させてその先端部1aに試料を保持
するような構造となっており、しかもそのx−x断面図
(図1(b))に示すように、その表面の少なくとも一
部に試料を保持するための凹部1bが設けられている。
このような凹部1bを設けることにより、その部分に、
マニュピュレーターの針先で極微量の試料を擦りつけた
場合に、容易にサンプリングすることができ、しかもサ
ンプリングした試料の保持性が向上し、質量分析装置の
イオン源にプローブを挿入する以前に試料を紛失してし
まうことを防止することができる。
のフィラメントと同様に、その先端部に試料を保持する
試料ホルダーとして機能するとともに、電気を導通する
ことにより自ら発熱し、試料を加熱気化させるための加
熱手段として機能する。このため、本発明のフィラメン
ト1は、導電性の細いワイヤーを、図1(a)の平面図
に示すように、屈曲させてその先端部1aに試料を保持
するような構造となっており、しかもそのx−x断面図
(図1(b))に示すように、その表面の少なくとも一
部に試料を保持するための凹部1bが設けられている。
このような凹部1bを設けることにより、その部分に、
マニュピュレーターの針先で極微量の試料を擦りつけた
場合に、容易にサンプリングすることができ、しかもサ
ンプリングした試料の保持性が向上し、質量分析装置の
イオン源にプローブを挿入する以前に試料を紛失してし
まうことを防止することができる。
【0018】なお、フィラメント1の材料としては、試
料を汚染せず、耐久性に優れた白金ワイヤーを使用する
ことが好ましい。
料を汚染せず、耐久性に優れた白金ワイヤーを使用する
ことが好ましい。
【0019】ここで、凹部1bの形状には、試料のサン
プリングと保持とを容易にするような形状であるかぎり
特に制限はない。例えば、図1(a)におけるx−x断
面形状に関し、図1(b)の場合には凹部1bが三角形
状となっているが、図2(a)に示すように半円形状で
もよく、矩形形状(図2(b))でもよい。また、凹部
1bが複数存在してもよい(図2(c))。更に、凹部
1bの表面を平坦にしてもよい(図2(d))。また、
試料をサンプリングしやすくするために、図1(b)や
図2(a)〜(d)等に示すように、凹部1bの先端部
1cが、角をもつように形成することが好ましいが、図
2(e)に示すように、滑らかな曲線に形成することも
できる。
プリングと保持とを容易にするような形状であるかぎり
特に制限はない。例えば、図1(a)におけるx−x断
面形状に関し、図1(b)の場合には凹部1bが三角形
状となっているが、図2(a)に示すように半円形状で
もよく、矩形形状(図2(b))でもよい。また、凹部
1bが複数存在してもよい(図2(c))。更に、凹部
1bの表面を平坦にしてもよい(図2(d))。また、
試料をサンプリングしやすくするために、図1(b)や
図2(a)〜(d)等に示すように、凹部1bの先端部
1cが、角をもつように形成することが好ましいが、図
2(e)に示すように、滑らかな曲線に形成することも
できる。
【0020】なお、図1及び図2の態様において、凹部
1bとして、x−x方向に直交する方向のライン状の凹
部を例示したが、図1(a)のy−y方向に直交するラ
イン状の凹部を形成してもよく、またx−x方向あるい
はy−y方向に対して斜めの方向のライン状凹部(図示
せず)としてもよい。また、それらを組み合わせて十文
字形状の凹部や格子状の凹部を形成してもよい(図示せ
ず)。ライン状以外にも、曲線状あるいは円形ホール状
の凹部を形成してもよい(図示せず)。また、凹部の深
さや幅についても、特に制限はなく、使用する導電性ワ
イヤーの材料の種類や、分析対象となる試料の量などに
より適宜選択することができる。
1bとして、x−x方向に直交する方向のライン状の凹
部を例示したが、図1(a)のy−y方向に直交するラ
イン状の凹部を形成してもよく、またx−x方向あるい
はy−y方向に対して斜めの方向のライン状凹部(図示
せず)としてもよい。また、それらを組み合わせて十文
字形状の凹部や格子状の凹部を形成してもよい(図示せ
ず)。ライン状以外にも、曲線状あるいは円形ホール状
の凹部を形成してもよい(図示せず)。また、凹部の深
さや幅についても、特に制限はなく、使用する導電性ワ
イヤーの材料の種類や、分析対象となる試料の量などに
より適宜選択することができる。
【0021】本発明のフィラメントへの凹部の形成は、
カミソリを用いて人の手で行うこともでき、マイクロ加
工機械を使用して行うこともできる。
カミソリを用いて人の手で行うこともでき、マイクロ加
工機械を使用して行うこともできる。
【0022】以上の利点を有する本発明のフィラメント
は、質量分析における試料のイオン化を脱離型化学イオ
ン化又は脱離型電子衝撃イオン化により行う質量分析装
置に試料を直接導入するための直接試料導入プローブの
フィラメントとして、非常に有用である。なお、この直
接試料導入プローブの構造は、本発明のフィラメントを
使用する以外は、従来の直接試料導入プローブと同様の
構造とすることができる。
は、質量分析における試料のイオン化を脱離型化学イオ
ン化又は脱離型電子衝撃イオン化により行う質量分析装
置に試料を直接導入するための直接試料導入プローブの
フィラメントとして、非常に有用である。なお、この直
接試料導入プローブの構造は、本発明のフィラメントを
使用する以外は、従来の直接試料導入プローブと同様の
構造とすることができる。
【0023】更に、この直接試料導入プローブを質量分
析装置に使用することにより、極微量分析が容易とな
る。なお、この質量分析装置の構造は、本発明のフィラ
メントを備えた直接試料導入プローブを使用する以外
は、従来の質量分析装置と同様の構造とすることができ
る。
析装置に使用することにより、極微量分析が容易とな
る。なお、この質量分析装置の構造は、本発明のフィラ
メントを備えた直接試料導入プローブを使用する以外
は、従来の質量分析装置と同様の構造とすることができ
る。
【0024】
【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
る。
る。
【0025】実施例1 100μm径の白金ワイヤーからなる図1(a)の形状
のフィラメント1に、カミソリを用いて人の手で、図1
(b)に示すような深さ50μmで幅70μmのライン
状の凹部1bを形成した。
のフィラメント1に、カミソリを用いて人の手で、図1
(b)に示すような深さ50μmで幅70μmのライン
状の凹部1bを形成した。
【0026】このフィラメント1の凹部1bに、直径2
0〜30μmの高分子有機化合物粒子をマニュピュレー
ターの針先で擦り付けた。その結果、凹部に試料を容易
にサンプリングでき、しかも安定的に保持することがで
きた。
0〜30μmの高分子有機化合物粒子をマニュピュレー
ターの針先で擦り付けた。その結果、凹部に試料を容易
にサンプリングでき、しかも安定的に保持することがで
きた。
【0027】比較例1 凹部を設けないフィラメントを使用する以外は、実施例
1同様にサンプリングを試みた。その結果、うまくサン
プリングすることができず、わずかにサンプリングでき
た試料も質量分析装置のイオン源に挿入する前に粉失し
てしまった。
1同様にサンプリングを試みた。その結果、うまくサン
プリングすることができず、わずかにサンプリングでき
た試料も質量分析装置のイオン源に挿入する前に粉失し
てしまった。
【0028】
【発明の効果】本発明によれば、質量分析における試料
のイオン化を脱離型化学イオン化又は脱離型電子衝撃イ
オン化により行う質量分析装置において、試料を直接導
入するための直接試料導入プローブの先端に備えたフィ
ラメントに、試料を容易にサンプリングでき、しかもサ
ンプリングした試料を安定的に保持できる。
のイオン化を脱離型化学イオン化又は脱離型電子衝撃イ
オン化により行う質量分析装置において、試料を直接導
入するための直接試料導入プローブの先端に備えたフィ
ラメントに、試料を容易にサンプリングでき、しかもサ
ンプリングした試料を安定的に保持できる。
【図1】本発明のフィラメントの先端部分近傍の平面図
(同図(a))とそのx−x断面図(同図(b))であ
る。
(同図(a))とそのx−x断面図(同図(b))であ
る。
【図2】本発明のフィラメントの先端部分近傍の断面図
(同図(a)〜(e))である。
(同図(a)〜(e))である。
【図3】脱離型化学イオン化プローブを用いて試料をイ
オン化して質量分析する場合の概略説明図である。
オン化して質量分析する場合の概略説明図である。
【図4】脱離型電子衝撃イオン化プローブを用いて試料
をイオン化して質量分析する場合の概略説明図である。
をイオン化して質量分析する場合の概略説明図である。
【図5】従来の直接試料導入プローブに設けられたフィ
ラメントの先端部近傍の平面図(同図(a))と、その
x−x断面図(同図(b))である。
ラメントの先端部近傍の平面図(同図(a))と、その
x−x断面図(同図(b))である。
1…フィラメント 2a…脱離型化学イオン化プロー
ブ 2b…脱離型電 子衝撃イオン化プローブ 3…イオン源 4…イオ
ン化室 5…ガス管 6…穴 7…電極群 8……イオン源フィラメント
ブ 2b…脱離型電 子衝撃イオン化プローブ 3…イオン源 4…イオ
ン化室 5…ガス管 6…穴 7…電極群 8……イオン源フィラメント
Claims (6)
- 【請求項1】 質量分析における試料のイオン化を脱離
型化学イオン化又は脱離型電子衝撃イオン化により行う
質量分析装置に試料を直接導入するための直接試料導入
プローブの先端に備えられ、試料ホルダーとして機能し
且つ試料加熱手段として機能するフィラメントにおい
て、その表面の少なくとも一部に試料を保持するための
凹部が設けられていることを特徴とするフィラメント。 - 【請求項2】 フィラメントが白金ワイヤーである請求
項1記載のフィラメント。 - 【請求項3】 質量分析における試料のイオン化を脱離
型化学イオン化又は脱離型電子衝撃イオン化により行う
質量分析装置に試料を直接導入するための直接試料導入
プローブであって、その先端に試料ホルダーとして機能
し且つ試料加熱手段として機能するフィラメントが備え
られている直接試料直接導入プローブにおいて、フィラ
メントの表面の少なくとも一部に試料を保持するための
凹部が設けられていることを特徴とする直接試料導入プ
ローブ。 - 【請求項4】 フィラメントが白金ワイヤーである請求
項3記載の直接試料導入プローブ。 - 【請求項5】 質量分析における試料のイオン化を脱離
型化学イオン化又は脱離型電子衝撃イオン化により行う
質量分析装置であって、試料ホルダーとして機能し且つ
試料加熱手段として機能するフィラメントが先端に設け
られた直接試料導入プローブを備えた質量分析装置にお
いて、フィラメントの表面の少なくとも一部に試料を保
持するための凹部が設けられていることを特徴とする質
量分析装置。 - 【請求項6】 フィラメントが白金ワイヤーである請求
項5記載の質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8156090A JPH09320512A (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 質量分析装置用直接試料導入プローブのフィラメント |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8156090A JPH09320512A (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 質量分析装置用直接試料導入プローブのフィラメント |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09320512A true JPH09320512A (ja) | 1997-12-12 |
Family
ID=15620097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8156090A Pending JPH09320512A (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 質量分析装置用直接試料導入プローブのフィラメント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09320512A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009092649A (ja) * | 2007-09-19 | 2009-04-30 | Hitachi Ltd | 微小試料加熱プローブおよびその製造方法、ならびに微小試料加熱プローブを用いた分析装置および分析方法 |
| WO2012008089A1 (ja) * | 2010-07-12 | 2012-01-19 | 株式会社日立製作所 | 微小試料分析装置及び方法 |
| US8742332B2 (en) | 2009-11-27 | 2014-06-03 | Hitachi, Ltd. | Mass spectrometer and mass spectrometry method |
-
1996
- 1996-05-27 JP JP8156090A patent/JPH09320512A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009092649A (ja) * | 2007-09-19 | 2009-04-30 | Hitachi Ltd | 微小試料加熱プローブおよびその製造方法、ならびに微小試料加熱プローブを用いた分析装置および分析方法 |
| US8742332B2 (en) | 2009-11-27 | 2014-06-03 | Hitachi, Ltd. | Mass spectrometer and mass spectrometry method |
| WO2012008089A1 (ja) * | 2010-07-12 | 2012-01-19 | 株式会社日立製作所 | 微小試料分析装置及び方法 |
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