JPH09323018A - 窒素生成のための、透過による空気分離方法および装置 - Google Patents
窒素生成のための、透過による空気分離方法および装置Info
- Publication number
- JPH09323018A JPH09323018A JP9044215A JP4421597A JPH09323018A JP H09323018 A JPH09323018 A JP H09323018A JP 9044215 A JP9044215 A JP 9044215A JP 4421597 A JP4421597 A JP 4421597A JP H09323018 A JPH09323018 A JP H09323018A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- value
- air
- permeator
- permeation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/22—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/22—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion
- B01D53/225—Multiple stage diffusion
- B01D53/227—Multiple stage diffusion in parallel connexion
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
離の方法および装置を提供する。 【解決手段】本装置は、連続して、空気圧縮器(2)、
空気または水で冷却される冷却器(3)、オイルと水を
濾過する装置(4)、空気再加熱器(5)および透過器
(6)を有する。空気再加熱器(5)は、圧縮された空
気を冷却する最終却液の温度の関数としての温度を調節
する装置(18A)を備える。
Description
透過による空気分離方法であって、空気が圧縮され、望
ましい場合は透過段階から再利用ガスが混合され、冷却
され、精製され、精製空気として透過器に導入され、透
過器に進入するときの空気の温度が前もって決められた
温度差ΔTにより上昇させられた、圧縮空気の最終冷媒
液の温度TAと少なくとも同じである値TSに調節され
るタイプの方法に関する。
可能とする。透過は、分圧差の膜の反対側への影響下で
起こる。透過物、つまり膜を通過するガスは、最も透過
性のある成分が豊富であり、残りの部分(濃縮物)は最
も透過性のない成分が豊富である。
常の動作範囲においてほとんどの膜はアレニウス式に従
う。例えば、二成分分離の場合、以下の式が成り立つ。
ついてのAの透過速度]、 PermB :成分Bの透過率、 PermA0,PermB0:定数、 Ea (A),Ea (B):活性化エネルギー(定数)、 T:絶対温度、 R:理想気体定数。)
rmA >PermB の場合)によって規定される選択性
は分離効率の基準となる。これは温度に依存し、以下の
式で表される。
透過性のある成分(成分A)は酸素であり、透過の濃縮
物(非透過物)となる窒素(成分B)は、工業的に高純
度で回収され得る。使用される膜は一般的にポリマー膜
である。以下の説明は、これを使用する場合にのみ限定
される。
けられ、アルゴンは不活性ガスなのでよりしばしば窒素
とともに受け入れられる。以下、「窒素純度」とは、不
活性ガス(窒素+アルゴン)の純度を意味する。この純
度は、工業的に、適切な生成のもとで99%のオーダー
値に達し得る。
昇すると透過率が上昇し、このことは膜の窒素生成、つ
まり特定の純度と供給圧力での1単位面積の膜によって
生成される窒素流量にも同じことが言えることを示す。
しかしながらこの流量の増加は入ってくる空気の流量の
増加を必要とする。
<Ea (N2 )であるので、選択性は減少し、窒素生成
量、つまり定純度での濃縮物流量の供給空気流量に対す
る比にも同じことが言える。
分離生成との妥協からなる。分離温度の選択は、選択
性、活性化エネルギー、単位面積あたりの費用の、膜の
酸素透過性(より一般的には資本費用) に対する比、分
離装置の使用の度合い、およびエネルギーコストに依存
する。
は重要なパラメーターではなく、比較的高温で動作する
ことが望ましい。反対に、99%のオーダーの高純度が
求められる場合、処理される空気の温度を下げることは
経済的に興味深い。
な方法は、空気圧縮器の出口で、空気冷却剤を、または
所望により冷却水を取り付けることである。こうして、
TA+2℃(TAは、冷却器で使用された最終冷媒液の
温度)のオーダーの温度が達成される。
で透過器の動作を不調にする透過器内の水の存在による
いかなる危険性をも避けるためには、水とオイルとの濾
過の後に、空気を数度だけ再加熱し、相対湿度を100
%から80%未満に下げる(これを透過前の空気を脱飽
和という)ことが必要である。
ともTA+ΔT(ΔTは前もって決められた温度差)と
同じでなくてはならず、しばしば少なくとも5℃である
ように選定される。
最終冷媒液の予見しうる最高温度よりも例えば5℃高い
一定温度TSで動作する。典型的には、圧縮器が最終空
気冷却剤を備え、最高周辺温度35℃で動作する場合T
Sは約40℃に選定される。
この装置を使用する場合、高純度窒素が生成される際、
経済的最適値と一致することはほとんどない。
度窒素生成における経済性を向上させることである。
に、本発明は以下のことを特徴とする上述の方法を提供
する。
1と同じかそれ以下であるとき、温度TSは一定値TS
1=TA1+ΔTに調節される。
りも高い第2しきい値TA2と間にあるとき、温度TS
はTS−TA≧ΔTに成るように調節される。
特徴を有する。
間隔の全範囲において、一定値TS2である。
あるとき第1透過面積A1が使用され、TA値がTA1
とTA2の間の温度であるとき、透過面積はA1よりも
小さい第2値A2にまで減少される。
い値TA3との間にあるとき、温度TSはTS3−TA
3≧ΔTであるような一定値TS3に調節される。
い値TA3との間にあるとき、透過面積はA2よりも低
い値A3にまで再び減少される。
き、TSは可変値TA+ΔTに調節される。
℃、および約5℃である。
に適する窒素生成のための装置を提供する。
たは水冷式冷却器、水およびオイル濾過器、空気再加熱
器、および透過器が配置されてなるタイプであり、空気
再加熱器が、冷却器の透過ユニットへ進入する空気の温
度TSを、冷却器の最終冷媒液の温度TAの関数として
調節する手段を備えることを特徴とする。
は、熱を生じる液のための通路とこの通路のための調整
可能なバイパスとを有する;透過器は少なくとも2つの
透過装置を有し、これらのうち少なくとも1つはその稼
働を停止させる手段を有する。
を参照して説明する。
容周辺温度、つまり約35℃までの温度の全範囲におい
て実質的に一定な圧力の下で、排出導管1において純度
が99%(窒素およびアルゴンの純度)である窒素を生
成するように設定されている。本装置は、圧縮器2から
下流側へ連続的に、空気冷却器3、水およびオイルの濾
過ユニット4、空気再加熱器5、透過器6および流量調
節弁7を有する。
循環のためのコイル8が横切るラジエーターを備える。
このラジエーターはコイル8へ大気空気を吹きつける送
風器9を備える。
滴を除去するためのサイクロン10、そして残留する小
滴を除去するための粗い凝集濾過器11と微細な凝集濾
過器12、および最後に、オイル蒸気を除去するための
炭素塔13を有する。
の通路14と、圧縮器の潤滑および冷却油の向流循環の
ための通路15とを有する間接向流熱交換器である。オ
イル回路16はさらに交換器の端部へのバイパス17を
有し、このバイパスを循環する液は、透過器に入る空気
温度の検出器18Aによって制御される3方向弁18に
よって調節される。検出器18Aは周辺温度の検出器1
8Bによって規定される制御温度を表示する。
濾過装置6Aおよび6Bからなり、それぞれの膜は19
Aおよび19Bで示される。実際には、それぞれの装置
6Aおよび6Bは管状の膜の束を囲包する1または複数
の濾過モジュールを有し、分離されるべき空気はこれら
の管内へ導入される。装置6Aまたは6Bが複数のモジ
ュールからなる場合は、この分野では知られるように、
これらのモジュールは異なった方法で配置され得る。
0は、2つの装置6A、6Bの入口にそれぞれつながる
岐管20A、20Bに分かれる。生成された窒素(濃縮
物)は、単管21で再結合する導管21A、21Bを経
由する。導管21は、弁7の下流側で生成物排出導管1
を成す。導管20Bと21Bはそれぞれ遮断バルブ22
Bおよび23Bを備える。2つの装置内の富酸素空気か
らなる透過物は、残留廃棄物Wとして、単管24におい
て再結合する導管24Aと24Bを経由して本装置から
排出される。
特許0588705に記述されている方法で、検出器1
8Bによって制御される加熱装置26により温度制御さ
れる格納器25内に配置される。これにより、装置の停
止の間、それぞれ互いに近い温度に維持することができ
る。
る。
透過装置6Aと6Bを透過するための全ての空気が使用
されるように弁22Bと23Bが開かれる。再加熱器5
は、25+5=30℃の空気を導管20で供給するよう
に調節される。
と23Bは閉じられ、同時に、検出器18Aは再加熱器
5の基準点を40℃にする。反対に、周辺温度が25℃
よりも低下すると、弁22Bと23Bは再び開かれ、同
時に検出器18Aは、再加熱器5の制御点を30℃まで
戻す。
成窒素の圧力は、必要であれば圧縮器の加圧能力によっ
て透過器を使用することで、実質的に一定に維持され得
る。
温度TSが35℃以下の全範囲において40℃で一定で
ある前記の通常の方法を示し、実線(曲線C2)は、T
SがTA≦25℃のとき30℃であり、TAが25〜3
0℃の間とき40℃である上記本方法を示している。
を一定純度に維持することを保証し得る。
ず)は導管21内を移動するガスの酸素含量を計測し、
この計測値の関数として弁7の開閉度を制御する。より
正確には、もし窒素の純度が前もって定めた値よりも下
がる場合、解析器は弁の開口度を下げ、またその逆が行
われる。
設置され、つまり導管21の上流側に設置され、弁の開
閉を制御する狭窄部に連結される。こうして調節された
流量は、分離温度TSの関数として表示され、したがっ
て検出器18Aで制御され得る基準値に対応する。生成
する窒素の一定純度を維持することを可能にする流量の
変動の法則は透過器のパラメータから決定される。
透過器への効果は、約10分経過しなければ現れず、安
定化は膜が新たな分離温度に達するのに必要な最後の3
0分から1時間の間を除いては生じない。
面積は、前もって決められた時間まで、そうでなけれ
ば、別の態様として、出口圧が前もって決められた値に
変更されるときまで、弁22Bと23Bとの操作によっ
て修正され得ない。
する間にヒステリシスを導入することを含む。したがっ
て、上記例では、周辺温度が26℃を超えるときTSを
30℃から40℃に上昇させ、周辺温度が24℃を下回
るときは30℃から40℃に戻す。
器への順応性を改良するために、透過装置は3つの透過
器と、2つの周辺しきい値温度と、3つのTS値にさら
に分割され得る。もちろん透過装置の数は3より多くす
ることができる。
るとき、3つの透過装置が動作する。25℃<TA≦3
0℃、TS=35℃であるとき、2つの透過器だけが動
作する。そして30℃<TA≦35℃、TS=40℃で
あるとき、1つの透過器が動作する。これは図2の2点
で交わる線(曲線C3)で示される。
に改変される。
使用するために、周辺温度が上昇する間の空気の相対湿
度を80%より下回るように維持する他の方法では、あ
る一定のしきい値よりも高いTAのそれぞれの値、例え
ばTA=25℃であるとき、TS=TA+5℃に選定
し、出口圧に対応する方法で、つまりTAが上昇すると
出口圧が下がるように調節する。この方法は、窒素の使
用が、TS=40℃における対応する出口圧よりも実質
的に低い圧力で継続的に行われる多くの場合に適する。
に示される。
力を供給する潤滑スクリュータイプの圧縮器2を有す
る。装置6Aと6Bはそれぞれ2210m2 と、520
m2 の透過面積を有する。生成された窒素の純度は酸素
解析器の手段によって99%に維持され、TA=20℃
の場合の窒素の公称流量は基準100として選定され
る。
つの主要な動作態様での様々な周辺温度における流量と
窒素の圧力(相対バール値)を示す。
行純度(≦93%)での窒素生成にも適用され得る。従
って、長期継続性を改良した条件の下で、温度を下げた
状態で、いつでも膜を動作することができる。
液は水でも成り得、所望する場合は、付加的な回路によ
って冷却される。この場合、前記温度TAは、交換器内
の水の入口温度であり、検出器18Bはこの温度を検出
し、検出器18Aと温度調整器26を制御する。
過物の一部を圧縮器2の入口へ再循環させることが当然
可能である。
図。
Claims (10)
- 【請求項1】 空気を圧縮し、冷却し、および精製し、
この精製空気を透過器に導入することを包含し、透過器
に進入する空気の温度が前もって決められた温度差ΔT
によって上昇された、圧縮空気の最終冷媒液の温度TA
と少なくとも同じである、窒素生成のための透過による
空気分離方法において、 (A)温度TA(周辺温度)の値が第一しきい値TA1
と同じかそれ以下であるとき、温度TS(分離温度)は
一定値TS1=TA1+ΔTに調節され、 (B)温度TAが、温度TA1とTA1よりも高い第2
値TA2との間にあるとき、温度TSはTS−TA≧Δ
Tであるような値に調節されることを特徴とする空気分
離方法。 - 【請求項2】 TSの値が温度TAが間隔TA1、TA
2の全範囲において一定である値TS2である請求項1
記載の方法。 - 【請求項3】 温度TAの値がTA1とほぼ同じである
とき、第1透過面積A1が利用され、温度TAの値がT
A1からTA2の間にあるとき、透過面積はA1よりも
小さい第2値A2に減少する請求項1記載の方法。 - 【請求項4】 温度TAの値がTA2とTA2よりも高
いTA3との間にあるとき、温度TSはTS3−TA3
≧ΔTであるような一定値TS3に調節される請求項1
記載の方法。 - 【請求項5】 温度TAの値がTA2とTA2よりも高
いTA3との間にあるとき、透過面積はA2よりも少な
い第3値に再び減少する請求項3記載の方法。 - 【請求項6】 温度TAの値の間隔がTA1よりも大き
いとき、TSは可変値TA+ΔTに調節される請求項1
記載の方法。 - 【請求項7】 TA1の値とΔTがそれぞれ25℃と5
℃である請求項1記載の方法。 - 【請求項8】 窒素生成のための、透過による空気分離
のための装置であって、直列に、空気圧縮器、冷却器、
オイルと水を濾過するための装置、空気再加熱器および
透過器を有し、空気再加熱器が、冷却器内の最終冷媒の
温度の関数として透過器に進入する空気の温度を調節す
る手段を有する装置。 - 【請求項9】 空気再加熱器が熱交換液のための通路
と、この通路のための調節可能なバイパスを有する請求
項8記載の装置。 - 【請求項10】 透過器が少なくとも2つの透過装置を
有し、これらの少なくとも1つが装置外への排出手段を
有する請求項8記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9602449A FR2745199B1 (fr) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | Procede et installation de separation d'air par permeation, pour la production d'azote |
| FR9602449 | 1996-02-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09323018A true JPH09323018A (ja) | 1997-12-16 |
| JP3703933B2 JP3703933B2 (ja) | 2005-10-05 |
Family
ID=9489638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04421597A Expired - Fee Related JP3703933B2 (ja) | 1996-02-28 | 1997-02-27 | 窒素生成のための、透過による空気分離方法および装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5829272A (ja) |
| EP (1) | EP0792678B1 (ja) |
| JP (1) | JP3703933B2 (ja) |
| DE (1) | DE69724679T2 (ja) |
| ES (1) | ES2206668T3 (ja) |
| FR (1) | FR2745199B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012192360A (ja) * | 2011-03-17 | 2012-10-11 | Onodani Kiko Kk | 窒素ガス発生装置 |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2764523B1 (fr) * | 1997-06-17 | 1999-07-16 | Air Liquide | Procede et dispositif de fourniture de plusieurs gaz de travail, et son application a une installation d'assemblage de composants electroniques |
| FR2781390A1 (fr) * | 1998-07-22 | 2000-01-28 | Air Liquide | Procede et installation pour la purification d'un gaz contenant des impuretes lourdes |
| EP1072351A1 (en) * | 1999-07-08 | 2001-01-31 | Pierre Diserens | Method for laser cutting |
| ITFI20010088A1 (it) * | 2001-05-14 | 2002-11-14 | Eurosider S A S Di Ottavio Mil | Apparato a membrane per la produzione di azoto gassoso |
| US6719825B2 (en) * | 2002-05-07 | 2004-04-13 | Graham-White Manufacturing Company | Air drying apparatus and method |
| US7081153B2 (en) * | 2003-12-02 | 2006-07-25 | Honeywell International Inc. | Gas generating system and method for inerting aircraft fuel tanks |
| US7306646B2 (en) * | 2004-04-08 | 2007-12-11 | Parker-Hannifin Corporation | Utilization of compressor surge control air in an aircraft on-board inert gas generating system |
| US7387659B2 (en) * | 2005-02-01 | 2008-06-17 | Parker Hannifin Corporation | Pneumatically operated automatic shutoff circuit for controlling the generation of gas |
| WO2007011979A2 (en) * | 2005-07-19 | 2007-01-25 | Pacific Consolidated Industries, Llc | Mobile nitrogen generation device |
| SG184085A1 (en) | 2010-04-13 | 2012-10-30 | Carrier Corp | Controlled atmosphere systems and methods |
| US8574342B1 (en) | 2010-12-27 | 2013-11-05 | Charles M. Flowe | Method and apparatus for membrane separation |
| RU2539409C1 (ru) * | 2013-06-25 | 2015-01-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Краснодарский Компрессорный Завод" | Азотная компрессорная станция |
| WO2015191879A1 (en) * | 2014-06-11 | 2015-12-17 | Thermo King Corporation | Air supply system and method |
| EA030712B1 (ru) * | 2014-11-11 | 2018-09-28 | Общество с ограниченной ответственностью "Тегас" | Генератор азота |
| DE102015210338A1 (de) | 2015-06-03 | 2016-12-08 | BSH Hausgeräte GmbH | Kaffeemaschine |
| RU180075U1 (ru) * | 2017-10-18 | 2018-06-01 | Леонид Григорьевич Кузнецов | Азотная компрессорная установка |
| RU183558U1 (ru) * | 2018-07-24 | 2018-09-25 | Леонид Григорьевич Кузнецов | Азотная компрессорная установка |
| RU192071U1 (ru) * | 2019-06-27 | 2019-09-03 | Леонид Григорьевич Кузнецов | Азотная компрессорная установка |
| RU206404U1 (ru) * | 2021-05-21 | 2021-09-09 | Леонид Григорьевич Кузнецов | Судовая компрессорная установка для получения газообразного азота высокого давления |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0075431A1 (en) * | 1981-09-17 | 1983-03-30 | Monsanto Company | Method of separating one gas from a mixture of gases |
| US4787919A (en) * | 1987-06-23 | 1988-11-29 | Union Carbide Corporation | Membrane separation system and process |
| FR2678143B1 (fr) * | 1991-06-28 | 1993-09-03 | Air Liquide | Procede et dispositif d'etablissement d'une atmosphere controlee dans des compartiments d'une enceinte de conservation de produits alimentaires vegetaux frais. |
| FR2695568B1 (fr) * | 1992-09-14 | 1994-10-21 | Air Liquide | Procédé et installation de séparation de gaz par perméation. |
| US5388413A (en) * | 1993-01-22 | 1995-02-14 | Major; Thomas O. | Portable nitrogen source |
| FR2712821B1 (fr) * | 1993-11-26 | 1995-12-22 | Air Liquide | Procédé et installation de fourniture d'azote au moyen de membranes semi-perméables utilisant une géométrie membranaire variable. |
| US5425801A (en) * | 1993-12-21 | 1995-06-20 | Praxair Technology, Inc. | Membrane nitrogen with temperature tracking |
| DE4435702C2 (de) * | 1994-10-06 | 1998-11-26 | Druckluft Dannoehl Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von Stickstoff |
-
1996
- 1996-02-28 FR FR9602449A patent/FR2745199B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-02-21 ES ES97400392T patent/ES2206668T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-21 DE DE69724679T patent/DE69724679T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-02-21 EP EP97400392A patent/EP0792678B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-27 JP JP04421597A patent/JP3703933B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-02-28 US US08/808,172 patent/US5829272A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012192360A (ja) * | 2011-03-17 | 2012-10-11 | Onodani Kiko Kk | 窒素ガス発生装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3703933B2 (ja) | 2005-10-05 |
| US5829272A (en) | 1998-11-03 |
| EP0792678B1 (fr) | 2003-09-10 |
| DE69724679D1 (de) | 2003-10-16 |
| FR2745199A1 (fr) | 1997-08-29 |
| FR2745199B1 (fr) | 2002-03-29 |
| DE69724679T2 (de) | 2004-07-08 |
| ES2206668T3 (es) | 2004-05-16 |
| EP0792678A1 (fr) | 1997-09-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3703933B2 (ja) | 窒素生成のための、透過による空気分離方法および装置 | |
| US8444749B2 (en) | Method and system for membrane-based gas recovery | |
| US7169210B2 (en) | Control system for helium recovery | |
| JP2789548B2 (ja) | 多段膜制御装置及び方法 | |
| JPS63296820A (ja) | 高純度水素又はヘリウムの製造方法 | |
| CA1321361C (en) | Membrane unit turn-down control system | |
| JPH07204444A (ja) | 温度追随を使用しての半透膜窒素 | |
| EP0974389A2 (en) | Method and apparatus for recovering a gaseous component from a gas mixture | |
| JPH08196853A (ja) | 異なる選択性を有するメンブレンのカスケードによって高純度ガスを製造するための方法および装置 | |
| JPWO2022012944A5 (ja) | ||
| US6458190B2 (en) | Installation and process for the separation of gas by selective permeation | |
| JPH0747222A (ja) | 有機蒸気含有排ガスの処理方法 | |
| JP3328749B2 (ja) | 低沸点不純物を含むガスの液化方法及び装置 | |
| EP4321827A1 (en) | Air separation unit | |
| JP7031214B2 (ja) | ヘリウム富化ガスの製造方法及びガス分離システム | |
| JPH0584418A (ja) | 空気分離装置の前処理方法及び装置 | |
| CN222437678U (zh) | 一种基于膜富氧的多级压缩空气供应系统 | |
| JP2024134083A (ja) | ガス制御システム | |
| RU168132U1 (ru) | Установка мембранного разделения газовых смесей высокого давления | |
| JP3545914B2 (ja) | アルゴンの回収方法および同装置 | |
| KR20230024884A (ko) | 헬륨 흐름으로부터 원치않는 성분을 분리하는 방법 및 장치 | |
| JPH04121574A (ja) | 深冷分離による水素回収方法及び装置 | |
| JPH04347485A (ja) | 空気分離装置における炭酸ガスの回収方法および装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040106 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041025 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041102 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20050202 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20050207 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050502 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050621 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050721 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050502 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |