JPS6010705Y2 - 超音波霧化器用圧電振動子 - Google Patents
超音波霧化器用圧電振動子Info
- Publication number
- JPS6010705Y2 JPS6010705Y2 JP2878281U JP2878281U JPS6010705Y2 JP S6010705 Y2 JPS6010705 Y2 JP S6010705Y2 JP 2878281 U JP2878281 U JP 2878281U JP 2878281 U JP2878281 U JP 2878281U JP S6010705 Y2 JPS6010705 Y2 JP S6010705Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- electrode
- ultrasonic
- piezoelectric
- piezoelectric vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は超音波霧化器用圧電振動子に関するものである
。
。
第１図は本考案によって作られた圧電振動子の斜視図で
ある。
ある。
第２図は第１図に於けるＡ−Ａ’閉断面構造図である。
従来のこの種の圧電振動子を第３図〜第６図に示す。
この種の圧電振動子は例えは第３図の如く圧電磁器５に
銀電極６を単に焼付けたもの、または第４図の如く圧電
磁器７に銀電極８を焼付し更に超音波放射面をガラスコ
ーティング９を行ったもの、または第５図の如（圧電磁
器１０に銀電極１１を焼付し金属箔１２、例えばステン
レス、リン青銅、ニッケル、チタン等を接着剤にて接着
を行い超音波放射面としたもの、または第６図の如く圧
電磁器１３に銀電極１４を焼付し、その上に例えばニッ
ケル、クロム、銅、スズ、金等の金属を電解メッキにて
施こした電極１５を設けたもの等があった。
銀電極６を単に焼付けたもの、または第４図の如く圧電
磁器７に銀電極８を焼付し更に超音波放射面をガラスコ
ーティング９を行ったもの、または第５図の如（圧電磁
器１０に銀電極１１を焼付し金属箔１２、例えばステン
レス、リン青銅、ニッケル、チタン等を接着剤にて接着
を行い超音波放射面としたもの、または第６図の如く圧
電磁器１３に銀電極１４を焼付し、その上に例えばニッ
ケル、クロム、銅、スズ、金等の金属を電解メッキにて
施こした電極１５を設けたもの等があった。
これ等は耐エロージヨンか弱く超音波放射面の電極が欠
損し霧化効率が悪くなったり、又接着剤による接着層の
影響で超音波の伝達が悪くなり霧化効率が悪くなる等の
欠点があった。
損し霧化効率が悪くなったり、又接着剤による接着層の
影響で超音波の伝達が悪くなり霧化効率が悪くなる等の
欠点があった。
更に、超音波霧化器は医療用として利用する場合、酸性
の強い液体に振動子が接触する事が多く特に耐久性の大
きな電極が求められていた。
の強い液体に振動子が接触する事が多く特に耐久性の大
きな電極が求められていた。
本考案による超音波霧化器用圧電振動子は従来のこの種
の圧電振動子に比較して超音波発生時の耐エロージヨン
性が大巾に改善され寿命特性を延命した点に特徴がある
。
の圧電振動子に比較して超音波発生時の耐エロージヨン
性が大巾に改善され寿命特性を延命した点に特徴がある
。
また本考案による超音波霧化器用振動子は前記欠点を解
決したもので、超音波放射面の電極材質を蒸着又はスパ
ッター法等によってチタン金属膜にしたものである。
決したもので、超音波放射面の電極材質を蒸着又はスパ
ッター法等によってチタン金属膜にしたものである。
すなわち本考案の要旨は圧電磁器に銀電極を焼付けして
設け、その上にニッケル、銅、亜鉛またはスズ等の金属
電極をメッキにて形成腰さらに超音波放射面にチタン金
属膜を施こしたことを特徴とする超音波霧化器用圧電振
動子からなり、以下図面に従って本考案を説明する。
設け、その上にニッケル、銅、亜鉛またはスズ等の金属
電極をメッキにて形成腰さらに超音波放射面にチタン金
属膜を施こしたことを特徴とする超音波霧化器用圧電振
動子からなり、以下図面に従って本考案を説明する。
第１図は本考案によって作られた圧電振動子の斜視図で
あり、円板状の圧電磁器１の両面に第２図に示すように
銀電極２が焼付けられている。
あり、円板状の圧電磁器１の両面に第２図に示すように
銀電極２が焼付けられている。
この銀電極２は前記圧電磁器１に強固に耐着するように
形成され、さらにその上にニッケル、銅、亜鉛またはス
ズ等の金属電極３を金属電解メッキにより形成する。
形成され、さらにその上にニッケル、銅、亜鉛またはス
ズ等の金属電極３を金属電解メッキにより形成する。
更に、前記金属電極３の一方側を超音波放射面側として
、蒸着またはスパッター法によって、チタンからなる金
属膜４を設け、前記超音波放射面側となるようにする。
、蒸着またはスパッター法によって、チタンからなる金
属膜４を設け、前記超音波放射面側となるようにする。
ここで圧電磁器の超音波放射面に焼付銀のみを形成した
振動子、焼付銀の上面にガラスをコーティングした振動
子、又焼付銀の上面に銅を電解メッキにより形成し更に
チタン金属膜を形成した本願の振動子をそれぞれ水道水
を満した超音波霧化器の振動子として装着し、霧化量５
００ＣＣ７時で連続運転を実施すると、焼付銀のみの場
合は約１゜ｏｏｏｏ寺間て電極にばくりか生じ、ガラス
コーティングの場合は約２，０００８寺間でガラス層に
破損がみられる。
振動子、焼付銀の上面にガラスをコーティングした振動
子、又焼付銀の上面に銅を電解メッキにより形成し更に
チタン金属膜を形成した本願の振動子をそれぞれ水道水
を満した超音波霧化器の振動子として装着し、霧化量５
００ＣＣ７時で連続運転を実施すると、焼付銀のみの場
合は約１゜ｏｏｏｏ寺間て電極にばくりか生じ、ガラス
コーティングの場合は約２，０００８寺間でガラス層に
破損がみられる。
これに対し上記本願の振動子の場合は１０、００（１）
等間を経過しても変化はみられない。
等間を経過しても変化はみられない。
更に本願の振動子と本願の振動子のチタン金属膜のかわ
りに銀及びニッケル金属膜を形成した振動子をＰＨ４，
０〜７．０の酸生水を満した超音波霧化器の振動子とし
て装置腰霧化量５００ｃｃ／時で連続運転を実施すると
、銀の場合は６００時間、ニッケルの場合は約２，００
（転）間で電極には（りが生じたのに対腰本願の振動子
は５，００（転）間経過後も変化がみられない。
りに銀及びニッケル金属膜を形成した振動子をＰＨ４，
０〜７．０の酸生水を満した超音波霧化器の振動子とし
て装置腰霧化量５００ｃｃ／時で連続運転を実施すると
、銀の場合は６００時間、ニッケルの場合は約２，００
（転）間で電極には（りが生じたのに対腰本願の振動子
は５，００（転）間経過後も変化がみられない。
以上述べたように本考案は、圧電磁器に銀電極を焼付け
して設け、その上にニッケル、銅、亜鉛またはスズ等の
金属電極をメッキにて形成七更に超音波放射面にチタン
からなる金属膜を施こしたことを特徴とする超音波霧化
器用圧電振動子により、例えばネブライザー用圧電振動
子として、振動子の超音波放射面は超音波による耐エロ
ージヨン性は良く、更に大気による電極の汚染にも強く
、寿命が従来のこの種の圧電振動子に比較して数段秀れ
たものであり、工業的に利益の大きいものである。
して設け、その上にニッケル、銅、亜鉛またはスズ等の
金属電極をメッキにて形成七更に超音波放射面にチタン
からなる金属膜を施こしたことを特徴とする超音波霧化
器用圧電振動子により、例えばネブライザー用圧電振動
子として、振動子の超音波放射面は超音波による耐エロ
ージヨン性は良く、更に大気による電極の汚染にも強く
、寿命が従来のこの種の圧電振動子に比較して数段秀れ
たものであり、工業的に利益の大きいものである。
第１図は本考案によって作られた圧電振動子の斜視図で
あり、第２図は、同じく本考案の圧電振動子のＡ−Ａ’
線による断面図を示す。 第３図、第４図、第５図および第６図は、従来の圧電振
動子の電極を説明する断面図である。 １・・・・・・圧電磁器、２・・・銀電極、３・・・・
・・金属′電極、４・・・・・・金属膜。
あり、第２図は、同じく本考案の圧電振動子のＡ−Ａ’
線による断面図を示す。 第３図、第４図、第５図および第６図は、従来の圧電振
動子の電極を説明する断面図である。 １・・・・・・圧電磁器、２・・・銀電極、３・・・・
・・金属′電極、４・・・・・・金属膜。
Claims (1)
- 圧電磁器に銀電極が焼付けして形成され、その上にニッ
ケル、銅、亜鉛またはスズ等の金属電極がメッキにて形
成され、更に超音波放射面にチタンからなる金属膜か施
されてなることを特徴とする超音波霧化器用圧電振動子
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2878281U JPS6010705Y2 (ja) | 1981-03-02 | 1981-03-02 | 超音波霧化器用圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2878281U JPS6010705Y2 (ja) | 1981-03-02 | 1981-03-02 | 超音波霧化器用圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5782980U JPS5782980U (ja) | 1982-05-22 |
| JPS6010705Y2 true JPS6010705Y2 (ja) | 1985-04-11 |
Family
ID=29434644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2878281U Expired JPS6010705Y2 (ja) | 1981-03-02 | 1981-03-02 | 超音波霧化器用圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6010705Y2 (ja) |
-
1981
- 1981-03-02 JP JP2878281U patent/JPS6010705Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5782980U (ja) | 1982-05-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FR2885913A1 (fr) | Element composite comprenant un substrat conducteur et un revetement metallique nanostructure. | |
| TW202001001A (zh) | 經陽極處理之金屬基板的無鎳密封技術 | |
| JPS6027496Y2 (ja) | 液体霧化装置の電歪振動子 | |
| CN205923720U (zh) | 不粘锅 | |
| JPH09323054A (ja) | 超音波噴霧振動板 | |
| CN210614154U (zh) | 一种复合陶瓷超声波雾化片 | |
| FR2384865A1 (fr) | Procede de galvanisage partiel | |
| JP2589111B2 (ja) | 超音波加湿器用圧電振動子 | |
| CN210104103U (zh) | 点镀电极模组及点镀装置 | |
| JPS6217040B2 (ja) | ||
| JPH11121773A (ja) | 太陽電池用絶縁基板及びその製造方法 | |
| JP2005154187A5 (ja) | ||
| JP2983408B2 (ja) | 水晶への金属層形成方法及び水晶振動子の製造方法 | |
| JPH0639259Y2 (ja) | プレート式熱交換器 | |
| JP2652440B2 (ja) | 超音波加湿器用振動子 | |
| JPS60100814A (ja) | 薄膜構造 | |
| JPS618177A (ja) | 超音波加湿器用振動子 | |
| JPH01301878A (ja) | 電解用電極の製造方法 | |
| JPS587998A (ja) | 超音波トランスデユ−サ構造体 | |
| JPS54127877A (en) | Preparation of thin film | |
| JPS645859A (en) | Thermal head | |
| JPH0521036B2 (ja) | ||
| JPS6217795Y2 (ja) | ||
| JPS59141060A (ja) | 超音波探触子 | |
| Tomashov et al. | The Use of Plasma Pulses for Producing Titanium-Based Surface Alloys |