JPH09329185A - 制振装置 - Google Patents

制振装置

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JPH09329185A
JPH09329185A JP8144232A JP14423296A JPH09329185A JP H09329185 A JPH09329185 A JP H09329185A JP 8144232 A JP8144232 A JP 8144232A JP 14423296 A JP14423296 A JP 14423296A JP H09329185 A JPH09329185 A JP H09329185A
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JP
Japan
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vibration
force
isolation table
damping device
floor
Prior art date
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JP8144232A
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English (en)
Inventor
Toshihiro Miyazaki
俊弘 宮崎
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Bridgestone Corp
Original Assignee
Bridgestone Corp
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Publication date
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Priority to US08/864,399 priority patent/US5975510A/en
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    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F1/00—Springs
    • F16F1/36—Springs made of rubber or other material having high internal friction, e.g. thermoplastic elastomers
    • F16F1/40—Springs made of rubber or other material having high internal friction, e.g. thermoplastic elastomers consisting of a stack of similar elements separated by non-elastic intermediate layers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F1/00—Springs
    • F16F1/36—Springs made of rubber or other material having high internal friction, e.g. thermoplastic elastomers
    • F16F1/371—Springs made of rubber or other material having high internal friction, e.g. thermoplastic elastomers characterised by inserts or auxiliary extension or exterior elements, e.g. for rigidification
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/03—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using magnetic or electromagnetic means
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 導電体の干渉を防止ししつつ磁束密度の低下
を防止し、振動受部から振動受部へ不要な振動を伝えな
い制振装置を提供すること。 【解決手段】 マグネット部６１を、軸方向に硬く軸直
角方向に柔軟な積層ゴム５４Ａを用いて駆動コイル６２
に発生する力の方向には柔軟に、力の方向とは直交する
方向には硬く除振台１２側の除振台取付フレーム４８に
支持すると共に、積層ゴム５４Ｃを用いて力の方向には
硬く、力の方向とは直交する方向には柔軟に床１４側の
床取付フレーム５６に支持する。駆動コイル６２は、支
持部材６４を介して除振台取付フレーム４８に固着す
る。これにより駆動コイル６２の干渉を防止しつつ、空
隙６０の幅を狭くすることができ、磁束密度の低下を防
止して、除振台１２を制振させる大きな力を発生させる
ことができる。さらに、積層ゴム５４Ｃによって床１４
の上下方向の振動を遮断できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子顕微鏡、精密
光学機器、測定器、精密天秤などの外来振動がその機能
を妨げる機器やこれを搭載して振動を遮断する除振台に
好適な制振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】振動体（振動発生部）に被振動体（振動
受け部）を支持した系において、被振動体への振動の伝
搬を防止するために、被除振体に能動的に力を加える能
動制御の手法が開発されつつある。
【０００３】このような能動制振のためのアクチュエー
ター機構が、例えば、特開平８−７４９２８号に示され
ている。
【０００４】このアチュエーターは、磁力線が通過して
いる空隙中に設置された導電体（駆動コイル）に電流を
流して除振台を制振する力を発生させるものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、空隙中に支
持された導電体は振動受部である除振台本体に固定さ
れ、空隙を形成した磁力線生成手段は振動発生部である
基礎側に設置されているため、基礎に対して除振台本体
が導電体の移動方向と直交方向に移動すると磁力線生成
手段と導電体が干渉し、導電体が損傷を受ける。
【０００６】これを避けるために、空隙を広くとれば磁
束密度が低下し、流した電流に対する力の発生効率が低
下してしまうという問題がある。
【０００７】また、導電体を単純に空隙中に支持しよう
とすれば、この機構を通して振動が基礎側から除振台側
に伝わることになり除振性能が悪化する。
【０００８】本発明は上記事実を考慮し、振動受部であ
る制振対象物に制振するための所定方向の力を伝達する
とともに、振動発生部と振動受部との間に相対的な変位
が生じても空隙中に導電体が支持され、干渉が起こら
ず、かつ振動受部から振動受部へ不要な振動を伝えない
ような制振装置を提供することが目的である。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の制振装
置は、振動発生部及び振動受部の何れか一方に連結さ
れ、所定の振動方向に対して交差する方向に磁力線を通
す空隙を備えた磁力線生成手段と、振動発生部及び振動
受部の何れか他方に連結され、所定の電流が流された際
に前記振動方向に沿った方向に力を発生するように前記
空隙内に設けられる導電体と、振動発生部及び振動受部
の何れか一方と前記磁力線生成手段との間、または振動
発生部及び振動受部の何れか他方と前記導電体との間の
少なくとも一方に設けられ、前記力の方向とは交差する
方向に柔軟でかつ前記力の方向には硬い特性を有する第
１の支持手段と、前記導電体と前記磁力線生成手段との
間に設けられ、前記力の方向に柔軟でかつ前記力の方向
とは交差する方向に硬い特性を有する第２の支持手段
と、を有することを特徴としている。
【００１０】請求項１に記載の制振装置によれば、磁力
線生成手段の空隙内に配設された導電体に電流を流すこ
とによって、電流と直交する方向の力を導電体に発生さ
せることができる。導電体に、振動発生部の振動方向と
は反対方向の力を発生させることにより、発生した力に
よって振動受部の制振を行うことができる。
【００１１】ここで、振動発生部及び振動受部の何れか
一方と磁力線生成手段との間、または、振動発生部及び
振動受部の何れか他方と導電体との間の少なくとも一方
に、力の方向とは交差する方向に柔軟でかつ力の方向に
は硬い特性を有する第１の支持手段が設けられているの
で、振動受部の力と交差する方向の振動が振動受部へ伝
達しないようにでき、しかも導電体に発生した力を振動
受部へ効率的に伝達することができる。
【００１２】また、導電体は、力の方向には柔軟で力の
方向とは交差する方向に硬い特性を有する第２の支持手
段で磁力線生成手段に支持されるため、導電体を力の方
向へ動き易く、かつ磁力線生成手段に接触しないように
空隙内の所定位置に支持することができる。
【００１３】さらに、導電体は、力の方向とは交差する
方向に硬い特性を有する第２の支持手段で磁力線生成手
段に支持されるため、空隙の幅を狭くして導電体と磁力
線生成手段との間隔を狭くすることができるため、磁束
密度を増加させ、流した電流に対する力の発生効率を向
上することができる。
【００１４】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の制振装置において、前記第１の支持手段及び前記第２
の支持手段は、弾性材料層と剛性材料層とを交互に積層
した積層体であることを特徴としている。
【００１５】請求項２に記載の制振装置によれば、第１
の支持手段及び第２の支持手段は、弾性材料層と剛性材
料層とを交互に積層した積層体からなっていため、積層
方向には特に硬く、積層方向と直交する方向には特に柔
軟な特性にできる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
［第１の実施形態］本発明の制振装置の第１の実施形態
を図面を参照しながら説明する。
【００１７】図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、振動受
部としての除振台１２は、振動発生部としての床１４に
配置された４個の上下方向制振装置１６で支持されてい
る。
【００１８】図２に示すように、この上下方向制振手段
１６は、床側に配置される防振装置１８と除振台側に配
置される上下方向アクチュエーター２０から構成されて
いる。
【００１９】この防振装置１８は、環状板２２と第１の
支持手段としての積層ゴム２４とを交互に重ねた構造で
ある。
【００２０】図３に示すように、積層ゴム２４は、環状
の弾性材料層２４Ａと剛性材料層２４Ｂとを交互に重ね
て両端に環状の取付板２４Ｃを固着したものであり、軸
方向（図３の上下方向）に硬く、軸直角方向に柔軟な特
性を有している。
【００２１】図２に示すように、上下方向アクチュエー
ター２０は、コイル部２９、磁力線生成手段としてのマ
グネット部３５及びマグネット部３５を支持する第２の
支持手段としての複数個の防振ゴム３６から構成されて
いる。
【００２２】コイル部２９は、底板２６及び底板２６の
中央に取り付けられる導電体としての円筒状の駆動コイ
ル２８を備えている。
【００２３】一方、マグネット部３５は、環状の永久磁
石３０、透磁性材料からなる環状のポール３２及び透磁
性材料からなる壺型のヨーク３４を備えている。また、
マグネット部３５は、空隙３８を下方に向けて図示しな
いボルトで除振台１２の下面に固定されている。
【００２４】なお、永久磁石３０及び駆動コイル２８の
軸方向は床１４に対して垂直方向、即ち上下方向となっ
ている。
【００２５】マグネット部３５では、ポール３２の側面
とヨーク３４との間に設けられた環状の空隙３８に磁力
線が通るようになっており、駆動コイル２８はポール３
２及びヨーク３４と接触しないように空隙３８に挿入さ
れている。
【００２６】この上下方向アクチュエーター２０では、
駆動コイル２８に電流を流すことによって、マグネット
部３５に上下方向の力を生じさせることができる。な
お、駆動コイル２８は、制御装置４４（図１（Ｂ）参
照。図２では図示せず。）に連結されている。
【００２７】本実施形態の防振ゴム３６は円柱状のゴム
から構成されており、上下方向に柔軟で水平方向に硬い
特性を有している。なお、これら複数の防振ゴム３６に
代えて、駆動コイル２８を取り囲むような円筒状の防振
ゴム一つでマグネット部３５を支持するようにしても良
い。
【００２８】このため、マグネット部３５は容易に動か
すことができ、床１４が水平方向に振動した際のマグネ
ット部３５とコイル部２９との接触を防止することがで
きる。このため、磁力線の通る空隙３８の間隔を全長に
渡って小さくすることができ、磁束密度を大きくして磁
力線を効率的に駆動コイル２８へ通過させて大きな力を
発生させることができる。
【００２９】さらに、マグネット部３５のポール３２の
孔４０には、底板２６に立設された棒状のストッパー４
２が挿入されている。万が一大きな水平方向の外力が除
振台１２に働いて、マグネット部３５とコイル部２９と
が水平方向に大きく相対移動するようなときでも、この
ストッパー４２によって駆動コイル２８がマグネット部
３５に接触することはない。
【００３０】図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、除振台
１２の下側には、中央及び除振台１２の長手方向両側に
水平方向制振装置４６が配置されている。
【００３１】図４及び図５に示すように、水平方向制振
装置４６は、除振台１２の下面に取り付けられる除振台
取付フレーム４８を備えている。除振台取付フレーム４
８は、除振台１２の下面に取り付けられるベース部分４
８Ａとベース部分４８Ａの両端から下方へ延びる一対の
側板４８Ｂとを備え、略コ字状に形成されている。
【００３２】側板４８Ｂと側板４８Ｂとの間には、中央
に角柱状の永久磁石５０を備えた壺型のヨーク５２が配
置されている。永久磁石５０の先端には、透磁性材料か
らなる角柱状のポール５８が取り付けられており、ポー
ル５８の側面とヨーク５２との間に設けられた空隙６０
に磁力線が通るようになっており、矩形に巻かれた駆動
コイル６２がポール５８及びヨーク５２と接触しないよ
うに空隙６０に挿入されている。なお、ヨーク５２、永
久磁石５０及びポール５８によってマグネット部６１が
構成されており、駆動コイル６２及びマグネット部６１
の軸方向は床１４に対して平行、即ち水平方向となって
いる。
【００３３】マグネット部６１は、上面及び側面に取り
付けられた第２の支持手段としての積層ゴム５４Ａ，５
４Ｂを介して除振台取付フレーム４８に連結されてい
る。これにより、マグネット部６１は、除振台１２に対
し上下方向及びマグネット部６１の軸方向と直交する水
平方向には殆ど動くことはないが、マグネット部６１の
軸方向へは柔軟に動くことが出来る。
【００３４】さらに、マグネット部６１は、図５に示す
ように、背面に取り付けられた第１の支持手段としての
積層ゴム５４Ｃを介して、床１４に取り付けられた床取
付フレーム５６に連結されている。これにより、マグネ
ット部６１は、床１４に対してマグネット部６１の軸方
向へは殆ど動くことはないが、上下方向及びマグネット
部６１の軸方向と直交する水平方向には柔軟に動くこと
が出来る。
【００３５】なお、駆動コイル６２は、絶縁材料からな
る支持部材６４を介して除振台取付フレーム４８のベー
ス部分４８Ａに固着されている。また、マグネット部６
１のヨーク５２には、支持部材６４を当たらないように
挿通させるスリット６６が形成されている。
【００３６】本実施形態では、除振台１２に対してマグ
ネット部６１が、積層ゴム５４Ａ，Ｂによって上下方向
及びマグネット部３５の軸方向と直交する水平方向には
殆ど動かないように支持されているため、磁力線の通る
空隙６０の間隔を全長に渡って小さくすることができ
る。このため、磁束密度を大きくして磁力線を効率的に
駆動コイル６２へ通過させることができ、大きな力を発
生させることができる。
【００３７】なお、図１（Ａ）に示すように、中央の水
平方向制振装置４６は矢印Ｘ方向及び矢印Ｘ方向とは反
対方向の振動に沿って力を発生するように向きが決めら
れており、その両側の水平方向制振装置４６は矢印Ｙ方
向及び矢印Ｙ方向とは反対方向の振動に沿って力を発生
するように向きが決められている。
【００３８】図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、除振台
１２には、３か所の角部に振動検出器６８が取り付けら
れている。振動検出器６８は、各々図１（Ａ）の矢印Ｘ
方向及び矢印Ｘ方向とは反対方向の振動、矢印Ｙ方向及
び矢印Ｙ方向とは反対方向の振動及び、図１（Ｂ）の矢
印Ｚ方向及び矢印Ｚ方向とは反対方向の振動（上下振
動）を検出し、振動検出信号を制御装置４４に出力す
る。
【００３９】なお、制御装置４４は、振動検出信号を入
力して演算を行い、除振台１２を制振するように上下方
向制振手段１６の駆動コイル２８及び水平方向制振装置
４６の駆動コイル６２に電流を流す。
【００４０】次に、本実施形態の作用を説明する。例え
ば、床１４が振動によって矢印Ｚ方向に微小変位する
と、除振台１２も矢印Ｚ方向に変位しようとするが、除
振台１２が矢印Ｚ方向に変位しはじめると、振動検出器
６８によってその加速度が検出され、振動検出器６８か
らの振動検出信号を受けた制御装置４４は加速度が零と
なるように上下方向アクチュエーター２０の駆動コイル
２８に電流を流す。即ち、電流を流された駆動コイル２
８によって除振台１２は矢印Ｚ方向とは反対方向の力を
受けるので、除振台１２の矢印Ｚ方向への変位が抑えら
れる。なお、床１４が矢印Ｚ方向とは反対方向に微小変
位しても同様にして除振台１２の上下変位を抑えること
ができるので、床１４が上下方向に微小振動しても除振
台１２が上下方向に動くことはない。
【００４１】一方、床１４が振動によって矢印Ｙ方向に
微小変位すると、除振台１２も矢印Ｙ方向に変位しよう
とするが、除振台１２が矢印Ｙ方向に変位しはじめる
と、振動検出器６８によってその加速度が検出され、振
動検出器６８からの振動検出信号を受けた制御装置４４
は加速度が零となるように除振台１２の長手方向両側の
水平方向制振装置４６の駆動コイル６２に電流を流す。
即ち、電流を流された駆動コイル６２によって除振台１
２は矢印Ｙ方向とは反対方向の力を受けるので、除振台
１２の矢印Ｙ方向への変位が抑えられる。なお、矢印Ｙ
方向とは反対方向の変位も同様にして抑えられる。
【００４２】なお、床１４が矢印Ｙ方向とは反対方向、
矢印Ｘ方向及び矢印Ｘ方向とは反対方向に微小変位して
も同様にして除振台１２の変位を抑えることができるの
で、床１４が水平方向の何れの方向に微小振動しても除
振台１２は水平方向に動くことはない。
【００４３】さらに、複数の振動検出器６８によって除
振台１２の回転方向（図１（Ａ）の矢印Ｒ方向）の振動
を検出し、除振台１２の長手方向両側の水平方向制振装
置４６を制御することによって、除振台１２の回転方向
の振動を制振することもできる。
【００４４】このように、本実施形態の上下方向制振手
段１６では、上下方向に柔軟で水平方向に硬い特性を有
した防振ゴム３６によってマグネット部３５を支持した
ので、マグネット部３５の空隙３８の幅を全長に渡って
狭くすることができ、磁束密度の低下を防止して除振台
１２を制振させる大きな力を発生させることができる。
さらに、積層ゴム２４によって床１４の水平方向の振動
を遮断できるので、床１４の水平振動が上下方向制振手
段１６を介して除振台１２へ伝達することを防止でき
る。
【００４５】また、本実施形態の水平方向制振装置４６
では、マグネット部６１を積層ゴム５４Ａ，Ｂによって
駆動コイル６２の取りついている除振台取付フレーム４
８に連結し、マグネット部６１を力の発生方向に柔軟
に、力の発生方向と直交する方向に硬く支持したので、
空隙６０の幅を全長に渡って狭くすることができ、磁束
密度の低下を防止して、除振台１２を制振させる大きな
力を発生させることができる。さらに、積層ゴム５４Ｃ
によって床１４の上下方向の振動を遮断できるので、床
１４の上下振動が水平方向制振装置４６を介して除振台
１２へ伝達することを防止できる。 ［第２の実施形態］本発明の第２の実施形態を図６及び
図７にしたがって説明する。なお、前述した実施形態と
同一構成に関しては同一符号を付し、その説明は省略す
る。
【００４６】図６に示すように、本実施形態の水平方向
制振装置４６の駆動コイル６２は、第１の実施形態のも
のより幅広となっており、絶縁材料からなるスペーサー
７０を介して除振台取付フレーム４８の側板４８Ｂに固
定されている。
【００４７】本実施形態のマグネット部６１のヨーク５
２は、図７に示すように略コ字状に形成されており、水
平方向に延びる空隙６０のみが設けられている。
【００４８】本実施形態のヨーク５２は、除振台取付フ
レーム４８の側板４８Ｂに対して積層ゴム５４Ａのみで
支持されている。
【００４９】本実施形態の除振台取付フレーム４８の側
板４８Ｂと側板４８Ｂとの間の寸法は第１の実施形態と
同一であるが、ヨーク５２の側面を支持する積層ゴム５
４Ｂが設けられていない分だけ本実施形態のヨーク５２
は第１の実施形態のものより幅広になっている。
【００５０】本実施形態では、駆動コイル６２の上下方
向に延びる縦部分６２Ａとポール５８の側面との間に
は、所定寸法の間隔７２があけられており、駆動コイル
６２の軸直角横幅方向に沿った大きな外力が除振台１２
に働いてもこの間隔７２内で吸収することができる。
【００５１】また、本実施形態では、ヨーク５２の側面
を支持する積層ゴム５４Ｂがない分、ヨーク５２の幅を
広くできるので、水平方向に延びる空隙６０のみであっ
ても駆動コイル６２に磁力線を通す空隙６０の長さは第
１の実施形態と同一にすることができる。このため、本
実施形態の水平方向制振装置４６は、外形寸法を同じく
して第１の実施形態と同じ駆動力を発生させることがで
きる。
【００５２】なお、この他の作用、効果は第１の実施形
態と同様である。 ［第３の実施形態］本発明の第３の実施形態を図８にし
たがって説明する。なお、前述した実施形態と同一構成
に関しては同一符号を付し、その説明は省略する。
【００５３】図８に示すように、本実施形態の上下方向
アクチュエーター２０では、底板２６に円筒状の外筒８
０が軸線方向を垂直にして取り付けられている。外筒８
０は、軸方向に２分割可能となっており、上筒８０Ａと
下筒８０Ｂとがボルト８２によって連結されている。下
筒８０Ｂと底板２６とは密着しており、下筒８０Ｂと底
板２６との間はオーリング８４でシールされている。
【００５４】外筒８０の中には、所定の間隔を介してマ
グネット部３５が同軸的に挿入されている。
【００５５】マグネット部３５のヨーク３４の下面外周
側には、環状に形成された弾性体からなるローリングシ
ール８６の厚肉内周部分８６Ａが密着するように固定さ
れている。ローリングシール８６の径方向中間部分は薄
肉に形成されており、略Ｕ字状に屈曲している。また、
ローリングシール８６の厚肉外周部分８６Ｂは、上筒８
０Ａと下筒８０Ｂとの間に挟持されている。
【００５６】本実施形態では、ヨーク３４、ローリング
シール８６、外筒８０及び底板２６によって囲まれる内
部空間に空気が充填されており、全体で空気ばねを構成
している。このようなローリングシール型空気ばねは、
防振ゴム３６に比較して軸方向（図８の上下方向）に柔
軟で水平方向ばね定数が高いので、駆動コイル２８とマ
グネット部３５との水平方向の相対変位を、除振台１２
と床１４との相対変位に比較して小さく抑えることがで
きると共に駆動コイル２８とマグネット部３５との干渉
を防止することができる。なお、本実施形態では、水平
方向ばね定数を特に高くすることができるので、ストッ
パー４２を省くことができる。
【００５７】なお、他の作用、効果は第１の実施形態と
同様である。 ［第４の実施形態］本発明の第４の実施形態を図９及び
図１０にしたがって説明する。なお、前述した実施形態
と同一構成に関しては同一符号を付し、その説明は省略
する。
【００５８】本実施形態では、図９及び図１０に示すよ
うに、ヨーク５２が床１４に固定されている。
【００５９】また、除振台１２の下面にはフレーム９０
が取り付けられている。図９に示すように除振台取付フ
レーム４８の側板４８Ｂの外側面には積層ゴム５４Ｄが
取り付けられ、図１０に示すようにベース部分４８Ａの
端面には積層ゴム５４Ｅが取り付けられ、除振台取付フ
レーム４８はこれら積層ゴム５４Ｄ，５４Ｅを介してフ
レーム９０に取り付けられている。
【００６０】本実施形態では、除振台取付フレーム４８
を積層ゴム５４Ｄ，５４Ｅを介して除振台１２のフレー
ム９０に連結したので、除振台１２へ制振力を作用させ
ることができると共に床１４の上下振動が水平方向制振
装置４６を介して除振台１２へ伝達することを防止でき
る。
【００６１】なお、他の作用、効果は第１の実施形態と
同様である。
【００６２】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
制振装置は上記構成としたので、振動発生部から振動受
部への振動伝達を防止しながら、導電体に流した電流に
対する力の発生効率を向上させ、振動受部を制振させる
大きな力を発生させることができるという優れた効果を
有する。
【００６３】また、請求項２に記載の制振装置は、第１
の支持手段及び第２の支持手段を、弾性材料層と剛性材
料層とが交互に積層された積層体としたので、力の発生
方向に動き易くでき、しかも振動伝達方向の剛性を極め
て低くすることができ好ましい。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）は制振装置で支持された除振台の平面図
であり、（Ｂ）は制振装置で支持された除振台の側面図
である。
【図２】上下方向制振装置の縦断面図である。
【図３】積層ゴムの一部断面図である。
【図４】水平方向制振装置の正面図である。
【図５】水平方向制振装置の側面図である。
【図６】第２の実施形態に係る水平方向制振装置の正面
図である。
【図７】第２の実施形態に係る水平方向制振装置の側面
図である。
【図８】第３の実施形態に係る上下方向制振装置の縦断
面図である。
【図９】第４の実施形態に係る水平方向制振装置の正面
図である。
【図１０】第４の実施形態に係る水平方向制振装置の側
面図である。
【符号の説明】
１２ 除振台（振動受部） １４ 床（振動発生部） １６ 上下方向制振装置 ２４ 積層ゴム（第１の支持手段） ２４Ａ 弾性材料層 ２４Ｂ 剛性材料層 ２８ 駆動コイル（導電体） ３５ マグネット部（磁力線生成手段） ３６ 防振ゴム（第２の支持手段） ３８ 空隙 ４６ 水平方向制振装置 ６１ マグネット部（磁力線生成手段） ５４Ａ 積層ゴム（第２の支持手段） ５４Ｂ 積層ゴム（第２の支持手段） ５４Ｃ 積層ゴム（第１の支持手段） ５４Ｅ 積層ゴム（第２の支持手段） ６０ 空隙 ６２ 駆動コイル（導電体）

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 振動発生部及び振動受部の何れか一方に
    連結され、所定の振動方向に対して交差する方向に磁力
    線を通す空隙を備えた磁力線生成手段と、 振動発生部及び振動受部の何れか他方に連結され、所定
    の電流が流された際に前記振動方向に沿った方向に力を
    発生するように前記空隙内に設けられる導電体と、 振動発生部及び振動受部の何れか一方と前記磁力線生成
    手段との間、または振動発生部及び振動受部の何れか他
    方と前記導電体との間の少なくとも一方に設けられ、前
    記力の方向とは交差する方向に柔軟でかつ前記力の方向
    には硬い特性を有する第１の支持手段と、 前記導電体と前記磁力線生成手段との間に設けられ、前
    記力の方向に柔軟でかつ前記力の方向とは交差する方向
    に硬い特性を有する第２の支持手段と、 を有することを特徴とする制振装置。
  2. 【請求項２】 前記第１の支持手段及び前記第２の支持
    手段は、弾性材料層と剛性材料層とが交互に積層された
    積層体であることを特徴とする請求項１に記載の制振装
    置。
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