JPH11141604A - 振動絶縁装置 - Google Patents

振動絶縁装置

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JPH11141604A
JPH11141604A JP30720097A JP30720097A JPH11141604A JP H11141604 A JPH11141604 A JP H11141604A JP 30720097 A JP30720097 A JP 30720097A JP 30720097 A JP30720097 A JP 30720097A JP H11141604 A JPH11141604 A JP H11141604A
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JP
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vibration
permanent magnet
output
acceleration
electromagnets
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JP30720097A
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English (en)
Inventor
Toshiharu Inanobe
利晴 稲野辺
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 機械的外乱の性質等に応じて、被制御体に対
する振動伝達の周波数特性を最適化する。 【解決手段】 開示されるインシュレータは、軸方向に
複数の磁石片11 ,12,13 ,14 に分割され、一端
を装置内部(又は装置外部)に固定された永久磁石体1
と、該各磁石片に対応して設けられ、一端を装置外部
(又は装置内部)にバネを介して固定された複数の電磁
石21 ,22 ,23 ,24 とを備え、該永久磁石と各電
磁石との間に圧力感受性を有するダンパ材3を注入され
ているインシュレータユニット10に対して、インシュ
レータ制御回路20を備えて、機械的外乱の周波数成分
に応じて、各電磁石21 ,22 ,23 ,24 を励磁し、
永久磁石1との間のダンパ材3の圧力を制御して共振周
波数を変化させることによって、装置内部の被制御体に
対する振動伝達の周波数特性を最適化するように構成さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、被制御体への振
動の伝達を小さくする働きをする振動絶縁装置に係り、
詳しくは、機械的外乱の性質に応じて、被制御体の振動
特性を制御できる振動絶縁装置に関する。
【0002】
【従来の技術】光ディスク装置や光磁気ディスク装置等
のように、外部からの振動の影響を受けやすい機器(被
制御体)を、台座上に搭載すると共に、この台座をイン
シュレータを介して大地に固定した脚座上に設置するこ
とによって、被制御体の振動を防止する振動絶縁装置
(以下、インシュレータという)は、従来から知られて
いる(例えば特開平8−21482号公報参照)。
【0003】図3は、従来のインシュレータの構成を示
す側面図である。同図に示すように、脚座21に対し
て、インシュレータ22を介して台座23を設置する。
インシュレータ22は、ゴムやスプリング等からなるダ
ンパ材24を有している。脚座21は大地に固定され
る。台座23上には、光ディスク装置等の被制御体25
を搭載する。この場合、脚座21を装置外部26と呼
び、台座23を含む被制御体25を装置内部27と呼
ぶ。インシュレータ22は、ダンパ材24によって、装
置外部26に生じた振動等の機械的外乱を減衰させて装
置内部27に伝えることによって、装置内部27に搭載
されている、光ディスク装置等の被制御体25の振動が
少なくなるようにする作用を行なう。
【0004】一般に、インシュレータがない場合には、
装置内部の振動伝達特性の共振周波数fi と、装置外部
の振動伝達特性の共振周波数fo とが一致して、装置外
部から装置内部への総合伝達特性のQが高くなり、その
ため被制御体25の振動振幅が大きくなるが、インシュ
レータを挿入したことによって、そのコンプライアンス
に基づいて装置内部の伝達特性の共振周波数fi が変化
するため、総合伝達特性のQが低くなり、このため、被
制御体25の振動振幅を小さくすることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のインシュレータは、ダンパの材質やインシュレータ
の構造に基づく固定的な機械的特性から、そのコンプラ
イアンスは一定であって、したがって、インシュレータ
を含む装置内部の振動伝達特性における共振周波数fi
は固有なものであった。
【0006】一方、装置外部の機械的外乱は、その性質
が一様ではなく周波数成分も一定ではないが、大別し
て、外部物体の衝突等に基づくピーク波(衝撃波)の場
合と、地震等による連続波の場合とに分けられる。これ
に対して、装置内部の振動伝達特性の共振周波数fi
一定の場合、機械的外乱に基づく振動を常に確実に抑圧
することができない。例えば、ピーク波を抑圧する特性
を有するインシュレータのダンパは、連続波が加わった
場合は、逆に振動を増幅する特性があることが知られて
いる。このように、従来のインシュレータでは、機械的
外乱に基づく振動を効果的に遮断することができないと
いう問題があった。
【0007】この発明は、上述の事情に鑑みてなされた
ものであって、機械的外乱を検出して、その周波数条件
に応じて、インシュレータの共振周波数特性を制御する
ことによって、機械的外乱の種類にかかわらず、装置内
部に伝達される振動が、被制御体に対して最適な条件に
なるように制御することが可能な振動絶縁装置を提供す
ることを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1記載の発明は、被制御体への機械的外乱の
伝達を小さくするための振動絶縁装置に係り、軸心のま
わりに沿って、異なる極性を交互に繰り返し持つ永久磁
石、該永久磁石を取り巻く態様で、かつ、該永久磁石の
各極に対応して設けられた複数の電磁石、及び、上記永
久磁石と上記各電磁石との間に充填又は介挿された圧力
感受性のダンパ材を有してなる防振部と、上記防振部に
作用する機械的外乱の加速度の2次元成分又は3次元成
分を検出する複数の加速度センサと、これらの加速度セ
ンサによって検出された機械的外乱の加速度の上記2次
元成分又は3次元成分に基づいて、上記複数の電磁石の
中から励磁すべき単数又は複数の電磁石を特定し、特定
した上記電磁石を励磁して、該電磁石と対向する上記永
久磁石との間の上記ダンパ材に加えられる圧力を変える
ことで、被制御体に対する上記防振部の振動伝達特性を
最適化する最適化回路とを備えてなることを特徴として
いる。
【0009】また、請求項2記載の発明は、請求項1記
載の振動絶縁装置に係り、上記永久磁石が、複数の部分
磁石を、軸心のまわりに沿って、異なる極を交互に繰り
返す態様で、集設することで、構成されていることを特
徴としている。
【0010】また、請求項3記載の発明は、請求項1又
は2記載の振動絶縁装置に係り、上記永久磁石及び上記
電磁石が、それぞれ、相対向して配置された2つの支持
部材に取着されると共に、これらの磁石の少なくとも一
方が、対応する上記支持部材に、バネ部材を介して、取
着されていることを特徴としている。
【0011】また、請求項4記載の発明は、請求項1,
2又は3記載の振動絶縁装置に係り、上記加速度センサ
が、防振部外部のX方向の振動加速度を検出する第1の
外部センサと、防振部外部のY方向の振動加速度を検出
する第2の外部センサと、防振部外部のZ方向の振動加
速度を検出する第3の外部センサと、防振部内部のX方
向の振動加速度を検出する第1の内部センサと、防振部
内部のY方向の振動加速度を検出する第2の内部センサ
と、防振部内部のZ方向の振動加速度を検出する第3の
内部センサとを有してなると共に、上記最適化回路が、
上記第1の外部センサの出力と第1の内部センサの出力
との差分を求める第1の減算器と、上記第2の外部セン
サの出力と第2の内部センサの出力との差分を求める第
2の減算器と、上記第3の外部センサの出力と第3の内
部センサの出力との差分を求める第3の減算器と、上記
第1の減算器出力と第3の減算器出力によって、上記Y
方向の電磁石を励磁する第1の制御回路と、上記第2の
減算器出力と第3の減算器出力によって、上記X方向の
電磁石を励磁する第2の制御回路とを備えてなることを
特徴としている。
【0012】また、請求項5記載の発明は、請求項1乃
至4の何れか1に記載の振動絶縁装置に係り、上記ダン
パ材が、圧力の増加に伴ってバネ係数が増加すること
で、上記防振部の共振周波数が上昇し、圧力の減少に伴
ってバネ係数が低下することで、上記防振部の共振周波
数が低下する特性を有するものであることを特徴として
いる。
【0013】また、請求項6記載の発明は、請求項1乃
至5の何れか1に記載の振動絶縁装置に係り、上記防振
部が、上記ダンパ材、上記永久磁石及び電磁石を収納す
る可撓性の外囲器を有してなることを特徴としている。
【0014】
【作用】この発明の構成では、検出された機械的外乱の
周波数成分に応じて、装置本体である防振部の共振周波
数を制御して、装置内部に伝達される振動が、機械的外
乱の種類にかかわらず、被制御体に対して最適な条件に
なるようにしたので、被制御体が安定に動作できる限界
の外乱加速度、すなわち、外部から受ける振動の大きさ
の限界値を向上させることができ、したがって、被制御
体に対する防振の効果を増大できる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態について説明する。説明は、実施例を用い
て具体的に行なう。図1は、この発明の一実施例である
インシュレータユニット(防振部)の機械的構成を示す
図であって、(a)は内部構造の説明図、(b)はA−
A断面図、また、図2は、同実施例であるインシュレー
タ制御回路(最適化回路)の電気的構成を示すブロック
図である。この例のインシュレータユニット(防振部)
10は、図1に示すように、永久磁石体1と、電磁石2
1 ,22 ,23 ,24 と、ダンパ材3と、中空円筒状の
外囲器4と、上蓋部5と、下蓋部6とから概略構成され
ている。
【0016】上記永久磁石体1は、円柱状をなし、その
軸を要(かなめ)として直交方向に4等分割してなる4
個の扇形断面を有する縦長の磁石片11 ,12 ,13
4からなっている。それぞれの磁石片11 ,12 ,13
,14 は、円筒の外周面と中心軸を対極とする方向に
着磁されており、円筒面の外周にN極とS極が交互に並
ぶように配置されていて、このような状態で4個の磁石
片が一体に接着されている。さらに永久磁石体1は、そ
の一端が、例えば上蓋部5の中心に、接続部10 を介し
て固着されている。
【0015】また、電磁石21 ,22 ,23 ,24 は、
それぞれ軟磁性体からなる磁心211,221,231,241
の周囲に、コイル221,222,223,224を設けた構造
を有している。そして、各電磁石21 ,22 ,23 ,2
4 は、それぞれの一方の磁極が、磁石片11 ,12 ,1
3 ,14 と対向するように、永久磁石体1と同心の円周
上に配置されていると共に、それぞれその一端を、例え
ば下蓋部6に、板バネ、スプリングバネ、ゴムバネ等か
らなる接続部231,232,233,234を介して固着され
ている。
【0017】なお、永久磁石体1を上蓋部5に固定する
代わりに下蓋部6に固定し、電磁石21 ,22 ,23
4 を下蓋部6に固定する代わりに上蓋部5に固定する
ようにしても良い。電磁石21 ,22 ,23 ,24 は、
全体の形状が、図1(b)に示されるように、円柱状の
永久磁石体1と同心の、円筒殻の一部をなすような形状
を有し、その内側と、永久磁石体1の表面との間が、一
定の間隔tをなすように配置されている。
【0018】ダンパ材3は、圧力感受性のゲルからな
り、永久磁石体1と、電磁石21 ,22 ,23 ,24
を包囲すると共に、両者の間に上述の間隔tを保つよう
に注入され、上下の部分は、それぞれ上蓋部5と下蓋部
6に接着されている。また、外囲器4は、可撓性を有す
る材質からなり、ダンパ材3を内包すると共に、その上
部は上蓋部5に接続され、下部は下蓋部6に接続されて
いる。ダンパ材3が、それ自体でその形状を保つことが
できるものであれば、特に外囲器4を必要としないが、
そうでない場合は、上蓋部5と下蓋部6の間を連結し
て、内部にダンパ材3を保持する外囲器4を必要とす
る。
【0019】上蓋部5は、その上に台座7を固着するた
めのものであって、台座7上に被制御体9を搭載するこ
とによって、被制御体および台座7と共に、装置内部を
形成する。上蓋部5は、例えば、永久磁石体1と同心の
円板からなり、その下面中央部に、永久磁石体1の上端
を固着されている。下蓋部6は、インシュレータを脚座
8に固着するためのものであって、脚座8を大地に固定
することによって、脚座8と共に、装置外部を構成す
る。
【0020】次に、この例のインシュレータ制御回路
(最適化回路)20は、図2に示すように、外部センサ
111 ,112 ,113 と、内部センサ121 ,12
2 ,123 と、減算器131 ,132 ,133 と、Xコ
ントローラ14と、Yコントローラ16と、Xドライバ
161 ,162 と、Yドライバ171 ,172 とから概
略構成されている。
【0021】上記外部センサ111 ,112 ,113
は、脚座8に取り付けられていて、それぞれ脚座8の、
水平面内におけるある基準方向であるX方向と、水平面
内におけるX方向と直交するY方向と、X,Y方向と直
交する垂直方向のZ方向とにおける振動の加速度を検出
する。内部センサ121 ,122 ,123 は、台座7に
取り付けられていて、それぞれ台座7の、X方向と、Y
方向と、Z方向とにおける振動の加速度を検出する。減
算器121 ,122 ,123 は、それぞれ外部センサ1
1 と内部センサ121 、外部センサ112 と内部セン
サ122 、外部センサ113 と内部センサ123 の、そ
れぞれの出力の差分を検出する。
【0022】Xコントローラ14は、X方向の差分出力
と、Z方向の差分出力とからなる信号の周波数成分に応
じた出力を発生してXドライバ161 , 162 を駆動
し、Xドライバ161 , 162 は、駆動入力に応じてY
方向のコイル221,223の電流を定常状態より増減し
て、電磁石21 ,23 を励磁する。Yコントローラ15
は、Y方向の差分出力と、Z方向の差分出力とからなる
信号の周波数成分に応じた出力を発生してYドライバ1
1 , 172 を駆動し、Yドライバ171 , 172は、
駆動入力に応じてX方向のコイル222, 24の電流を定
常状態より増減して、電磁石22 , 4 を励磁する。
【0023】以下、図1及び図2を参照して、この例の
インシュレータの動作について説明する。インシュレー
タユニットに用いられているダンパ材3は上述のように
圧力感受性を有し、圧力が増加したとき、その弾性係数
が増大し、圧力が減少したとき、その弾性係数が低下す
る特性を有している。本発明のインシュレータにおいて
は、ダンパ材のこのような特性を利用して、振動の周波
数成分に応じて、インシュレータユニットの共振周波数
特性を制御して、外乱発生時、装置内部に伝達される振
動が、被制御体に対して最適な条件になるように制御す
ることによって、被制御体の振動が少なくなるように制
御する。以下、振動方向に対応するインシュレータユニ
ットの制御方法を詳述する。
【0024】(1)X方向の振動を制御する場合 減算器131 によって検出された、X方向の外部センサ
111 と内部センサ121 の加速度検出出力の差分によ
って、X方向の機械的外乱が発生したことを検知したと
き、Xコントローラ14は、機械的外乱の周波数成分を
検出して、その周波数が高いときは、Xドライバ161
, 162 の出力電流を、定常状態より大きくすることに
よって、Y方向のコイル221,223の電流を増加させ
て、電磁石21 ,23 の励磁を強くする。
【0025】この際、電磁石21 ,23 の励磁は、永久
磁石1の対向する磁石片11 ,13の磁極N1 ,N2
の間に吸引力を生じさせるような方向であり、これによ
って、電磁石21 ,23 は永久磁石1に対して吸引され
て、ダンパ材3の、電磁石21 ,23 と永久磁石1との
間の領域A,Cの圧力が強くなるので、この領域のダン
パ材3の弾性係数が増大し、したがって、インシュレー
タユニットのX方向の共振周波数が高くなる。
【0026】一方、機械的外乱の周波数が低いときは、
Xコントローラ14は、Xドライバ161 , 162 の出
力電流を、定常状態より小さくすることによって、Y方
向のコイル221,223の電流を減少させて、電磁石2
1 ,23 の励磁を弱くする。これによって、ダンパ材3
の、電磁石21 ,23 と永久磁石1との間の領域A,C
の圧力が弱くなるので、この領域のダンパ材3の弾性係
数が低下し、したがってインシュレータユニットのX方
向の共振周波数が低くなる。
【0027】(2)Y方向の振動を制御する場合 減算器132 によって検出された、Y方向の外部センサ
112 と内部センサ122 の加速度検出出力の差分によ
って、Y方向の機械的外乱が発生したことを検知したと
き、Yコントローラ15は、機械的外乱の周波数成分を
検出して、その周波数が高いときは、Yドライバ171
, 172 の出力電流を、定常状態より大きくすることに
よって、X方向のコイル222,224の電流を増加させ
て、電磁石22 ,24 の励磁を強くする。
【0028】この際、電磁石22 ,24 の励磁は、永久
磁石1の対向する磁石片12 ,14 磁極S1 ,S2
との間に吸引力を生じさせるような方向であり、これに
よって、電磁石22 ,24 は永久磁石1に対して吸引さ
れて、ダンパ材3の、電磁石22 ,24 と永久磁石1と
の間の領域B, Dの圧力が強くなるので、この領域のダ
ンパ材3の弾性係数が増大し、したがって、インシュレ
ータユニットのY方向の共振周波数が高くなる。
【0029】一方、機械的外乱の周波数が低いときは、
Yコントローラ15は、Yドライバ171 , 172 の出
力電流を、定常状態より小さくすることによって、X方
向のコイル222,224の電流を減少させて、電磁石2
2 ,24 の励磁を弱くする。これによって、ダンパ材3
の、電磁石22 ,24 と永久磁石1との間の領域B,D
の圧力が弱くなるので、この領域のダンパ材3の弾性係
数が低下し、したがってインシュレータユニットのY方
向の共振周波数が低くなる。
【0030】(3)Z方向の振動を制御する場合 減算器133 によって検出された、Z方向の外部センサ
113 と内部センサ123 の加速度検出出力の差分によ
って、Z方向の機械的外乱が発生したことを検知したと
き、Xコントローラ14,Yコントローラ15は、機械
的外乱の周波数成分を検出して、その周波数が高いとき
は、Xドライバ161 ,162 とYドライバ171 ,
2 の出力電流を、定常状態より大きくすることによっ
て、Y方向のコイル221,223とX方向のコイル222
24の電流を増加させて、電磁石21 ,23 , 2 ,2
4 の励磁を強くする。
【0031】これによって、電磁石21 ,23 , 2
4 は永久磁石1に対して吸引されて、ダンパ材3の、
電磁石21 ,23 , 2 ,24 と永久磁石1との間の領
域A,C,B,Dの圧力が強くなるので、この領域のダ
ンパ材3の弾性係数が増大し、したがって、インシュレ
ータユニットのZ方向の共振周波数が高くなる。
【0032】一方、機械的外乱の周波数が低いときは、
Xコントローラ14,Yコントローラ15は、Xドライ
バ161 162 とYドライバ171 , 172 の出力電流
を、定常状態より小さくすることによって、Y方向のコ
イル221,223とX方向のコイル222,224の電流を減
少させて、電磁石21 ,23 , 2 ,24 の励磁を弱く
する。これによって、ダンパ材3の、電磁石21 ,23
, 2 ,24 と永久磁石1との間の領域A,C,B,D
の圧力が弱くなるので、この領域のダンパ材3の弾性係
数が低下し、したがって、インシュレータユニットのZ
方向の共振周波数が低くなる。
【0033】このように、この例のインシュレータで
は、X方向の機械的外乱に対しては、X方向の外部セン
サと内部センサの加速度検出出力の差分によってこれを
検出して、Y方向の電磁石の励磁を制御することによっ
て、インシュレータユニットのX方向の共振周波数を制
御し、Y方向の機械的外乱に対しては、Y方向の外部セ
ンサと内部センサの加速度検出出力の差分によってこれ
を検出して、X方向の電磁石の励磁を制御することによ
って、インシュレータユニットのY方向の共振周波数を
制御し、Z方向の機械的外乱に対しては、X方向とY方
向の加速度検出出力の差分によってこれを検出して、X
方向とY方向の電磁石の励磁を制御することによって、
インシュレータユニットのZ方向の共振周波数を制御す
る。
【0034】この際、機械的外乱が衝撃等に基づくピー
ク波であって高い周波数成分からなるときは、ダンパ材
の圧力を高くして弾性係数を増大させることによって、
インシュレータユニットの共振周波数が高くなるように
制御し、機械的外乱が地震等に基づく連続波であって、
低い周波数成分からなるときは、ダンパ材の圧力を低く
して弾性係数を低下させることによって、インシュレー
タユニットの共振周波数が低くなるように制御する。
【0035】したがって、この例の構成によれば、機械
的外乱の種類に応じて、インシュレータユニットの共振
周波数を変化させることによって、機械的外乱の種類に
かかわらず、装置内部に伝達される振動が、被制御体に
対して最適な条件になるように、インシュレータの特性
を制御することができるので、被制御体である磁気ディ
スク装置等が、安定に動作できる限界の外乱加速度、す
なわち、外部から受ける振動の大きさの限界値を向上さ
せることができる。
【0031】なお、この際、電磁石21 ,22 ,23
4 の形状を、永久磁石体1と同心の円筒殻の一部をな
す形状にすることによって、各電磁石の励磁時におけ
る、各電磁石と永久磁石体1との間の圧力の増減を有効
に行なえるようになる。また、各電磁石に対する励磁電
流を、上記のように定常状態を中心として増減させて、
吸引力を増減させるように制御する代わりに、励磁電流
0の状態を中心として、極性が反転する励磁電流を流す
ことによって、吸引力と反発力とが発生するように制御
しても良い。
【0036】以上、この発明の実施例を図面により詳述
してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られたもの
ではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変
更等があってもこの発明に含まれる。
【0037】例えば、振動方向の検出とインシュレータ
ユニットの共振周波数の制御を、水平方向のみ行なっ
て、垂直方向には行なわないようにしても良く、あるい
は、水平面内や垂直面内の方向に限らず、任意の面内の
方向でも良い。あるいは、水平面内のX,Y方向のみに
限らず、さらに多くの方向で検出と制御を行なうように
しても良い。
【0038】外部センサ及び内部センサとしては、古典
的な可動コイル型振動検出器や、水晶振動センサ,圧電
磁器振動センサ,抵抗線歪み計,磁気歪み計等各種のも
のから選択して使用することができる。また、インシュ
レータユニットの数は、例えば、最低3個とし、台座の
大きさに応じてそれ以上の数を任意に選択することがで
きる。
【0039】また、上述の実施例では、複数の磁石片
(部分磁石)11 ,12 ,13 ,14が、軸心のまわり
に沿って、異なる極を交互に繰り返す態様の永久磁石体
1を用いたが、軸心のまわりに沿って、異なる極性を交
互に繰り返す単一の永久磁石体を用いても良い。また、
磁石片(部分磁石)11 ,12 ,13 ,14は、4個に
限らず、適宜、4個以上、例えば、8個あるいは16個
でも良い。
【0040】また、上述の実施例では、ダンパ材3とし
て、圧力感受性のゲルを用いたが、これに代えてゴム状
弾性体や発泡性弾性体を用いるようにしても良い。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の構成に
よれば、検出された機械的外乱の周波数成分に応じて、
装置本体である防振部の共振周波数を制御して、装置内
部に伝達される振動が、機械的外乱の種類にかかわら
ず、被制御体に対して最適な条件になる構成としたの
で、被制御体に対する防振の効果を増大できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を構成するインシュレータ
ユニットの機械的構成を示す図である。
【図2】同実施例を構成するインシュレータ制御回路の
電気的構成を示すブロック図である。
【図3】従来のインシュレータの構成を示す側面図であ
る。
【符号の説明】
1 永久磁石体(永久磁石) 11 ,12 ,13 ,14 磁石片(部分磁石) 21 ,22 ,23 ,24 電磁石 3 ダンパ材 231,232,233,234 接続部(バネ部材) 5 上蓋部(支持部材) 6 下蓋部(支持部材) 9 被制御体 10 インシュレータユニット(防振部、装置本
体) 111 ,112 , 113 外部センサ(加速度セン
サ) 121 ,122 , 123 内部センサ(加速度セン
サ) 131 ,132 , 133 減算器 14 Xコントローラ(第1の制御回路) 15 Yコントローラ(第2の制御回路) 20 インシュレータ制御回路(最適化回路)

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被制御体への機械的外乱の伝達を小さく
    するための振動絶縁装置であって、 軸心のまわりに沿って、異なる極性を交互に繰り返し持
    つ永久磁石、 該永久磁石を取り巻く態様で、かつ、該永久磁石の各極
    に対応して設けられた複数の電磁石、及び、 前記永久磁石と前記各電磁石との間に充填又は介挿され
    た圧力感受性のダンパ材を有してなる防振部と、 前記防振部に作用する機械的外乱の加速度の2次元成分
    又は3次元成分を検出する複数の加速度センサと、 これらの加速度センサによって検出された機械的外乱の
    加速度の前記2次元成分又は3次元成分に基づいて、前
    記複数の電磁石の中から励磁すべき単数又は複数の電磁
    石を特定し、特定した前記電磁石を励磁して、該電磁石
    と対向する前記永久磁石との間の前記ダンパ材に加えら
    れる圧力を変えることで、被制御体に対する前記防振部
    の振動伝達特性を最適化する最適化回路とを備えてなる
    ことを特徴とする振動絶縁装置。
  2. 【請求項2】 前記永久磁石は、複数の部分磁石を、軸
    心のまわりに沿って、異なる極を交互に繰り返す態様
    で、集設することで、構成されていることを特徴とする
    請求項1記載の振動防振装置。
  3. 【請求項3】 前記永久磁石及び前記電磁石は、それぞ
    れ、相対向して配置された2つの支持部材に取着される
    と共に、これらの磁石の少なくとも一方が、対応する前
    記支持部材に、バネ部材を介して、取着されていること
    を特徴とする請求項1又は2記載の振動絶縁装置。
  4. 【請求項4】 前記加速度センサが、 防振部外部のX方向の振動加速度を検出する第1の外部
    センサと、 防振部外部のY方向の振動加速度を検出する第2の外部
    センサと、 防振部外部のZ方向の振動加速度を検出する第3の外部
    センサと、 防振部内部のX方向の振動加速度を検出する第1の内部
    センサと、 防振部内部のY方向の振動加速度を検出する第2の内部
    センサと、 防振部内部のZ方向の振動加速度を検出する第3の内部
    センサとを有してなると共に、 前記最適化回路が、 前記第1の外部センサの出力と第1の内部センサの出力
    との差分を求める第1の減算器と、 前記第2の外部センサの出力と第2の内部センサの出力
    との差分を求める第2の減算器と、 前記第3の外部センサの出力と第3の内部センサの出力
    との差分を求める第3の減算器と、 前記第1の減算器出力と第3の減算器出力によって、前
    記Y方向の電磁石を励磁する第1の制御回路と、 前記第2の減算器出力と第3の減算器出力によって、前
    記X方向の電磁石を励磁する第2の制御回路とを備えて
    なることを特徴とする請求項1,2又は3記載の振動絶
    縁装置。
  5. 【請求項5】 前記ダンパ材は、圧力の増加に伴ってバ
    ネ係数が増加することで前記防振部の共振周波数が上昇
    し、圧力の減少に伴ってバネ係数が低下することで前記
    防振部の共振周波数が低下する特性を有するものである
    ことを特徴とする請求項1乃至4の何れか1に記載の振
    動絶縁装置。
  6. 【請求項6】 前記防振部は、前記ダンパ材、前記永久
    磁石及び電磁石を収納する可撓性の外囲器を有してなる
    ことを特徴とする請求項1乃至5の何れか1に記載の振
    動絶縁装置。
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