JPH09329758A

JPH09329758A - 光走査装置及びその製造方法

Info

Publication number: JPH09329758A
Application number: JP14917496A
Authority: JP
Inventors: Yasuisa Kobayashi; 靖功小林
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 1996-06-11
Filing date: 1996-06-11
Publication date: 1997-12-22

Abstract

(57)【要約】【課題】極めて耐久性に優れ、且つ作製の容易な光走
査装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】トーションバネ５は、両端部にハウジン
グ固定部１２を、前記中央部に平面状の磁石取付部１３
をそれぞれ備え、その磁石取付部１３の一側面に前記磁
石３を取り付け、且つ他側面にミラー１５を設けてい
る。前記トーションバネ５は、前記ハウジング固定部１
２においてハウジング１に支持され、且つ光源３１から
出射されたレーザー光１０を反射させるミラー３と磁石
１５とは前記磁石取付部１３において揺動可能に支持さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザープリン
タ、バーコードリーダー、レーザースキャンマイクロメ
ーター等の事務機器、計測機に使用される光走査装置及
びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、磁石付きミラーと交流磁場を発生
させるためのコイルを備えた光走査装置としては、例え
ば図７に示す構成を有する光走査装置が知られている。

【０００３】前記従来の光走査装置では、図７に示すよ
うに、形状記憶合金ワイヤ等からなるトーションバネ５
０が、適当な張力で引っ張られた状態でハウジング１に
対して固定治具５２によって固定されている。トーショ
ンバネ５０のほぼ中央に、磁石の少なくとも片面に鏡面
加工された磁石付きミラー５３が、図示しない接着剤で
固定されている。

【０００４】一方、コア６にはコイル７が巻き付けられ
ている。コイル７は、コア６に設けられたネジ孔８及
び、ハウジング１に設けられた孔４を通して、ネジによ
ってハウジング１に固定されている。そして、パルス電
流発生器９より所定の電流をコイルに流すと交番磁界が
発生し、磁石付きミラー５３が振動する。図示しない光
源より発射されたレーザー光１０は磁石付きミラー５３
によって反射され、磁石付きミラー５３が共振すること
により、図示しない被走査面に走査されるのである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光走査装置は、磁石付きミラー５３をトーションバネ５
０に接着剤等で固定しているため、駆動中に徐々に両者
の固着力が低下し、ついには磁石付きミラーの空転ある
いは脱落に至り、装置の耐久性を著しく低下させる原因
となっていた。また、この磁石付きミラー５３は磁石の
少なくとも一面を機械的に鏡面研磨加工して作製される
のであるが、研磨加工時に切り粉が研磨面に付着して新
たに傷を発生させる等の理由で鏡面仕上げが非常に困難
であるという問題があった。

【０００６】本発明の光走査装置は上述した問題点を解
決するためになされたものであり、極めて耐久性に優
れ、且つ作製の容易な光走査装置及びその製造方法を提
供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１に記載の光走査装置は、両端部がハ
ウジングに支持され、且つ中央部が光源から出射された
光ビームを反射させる反射部と磁石とを揺動可能に支持
する弾性部材を備えたものを対象として、特に、前記弾
性部材は、前記両端部に前記ハウジングに支持される固
定部を、前記中央部に平面状の磁石取付部をそれぞれ備
え、その磁石取付部の一側面に前記磁石を取り付け、且
つ他側面に反射部を設けている。従って、前記弾性部材
は、前記固定部においてハウジングに確実に固定され
る。また、前記磁石は前記磁石取付部の一側面において
強い固着力で確実に取り付けられ、駆動時において前記
磁石が脱落することがない。一方、他側面に反射部を設
けているので前記磁石とは別体で反射部を設けることが
でき、前記磁石を鏡面研磨加工する必要がなく、反射部
を容易に形成することができる。

【０００８】また、請求項２に記載の光走査装置は、前
記反射部が、前記磁石取付部の前記磁石が取り付けられ
る面とは反対側の面を鏡面加工したものである。従っ
て、前記磁石を鏡面研磨加工する必要がなく、また、別
体で反射部を形成して前記反対側の面に取り付ける必要
がない。

【０００９】また、請求項３に記載の光走査装置の製造
方法は、両端部がハウジングに支持され、且つ中央部が
光源から出射された光ビームを反射させる反射部と磁石
とを揺動可能に支持する弾性部材を備えた光走査装置の
製造方法であって、特に、弾性を有する薄板上に、前記
弾性部材の平面形状に対応するレジスト層を形成し、そ
のレジスト層が形成されていない部分を電解研磨法によ
って溶解させて、前記両端部に前記ハウジングに支持さ
れる固定部を、前記中央部に前記磁石取付部をそれぞれ
形成し、その後に、前記磁石取付部の一側面に反射部を
設けるとともに、他側面に磁石を接着固定する。従っ
て、前記弾性を有する薄板のレジスト層が形成されてい
ない部分を均一に溶解し、電解研磨法により前記固定部
及び前記磁石取付部を高い精度で、且つ容易に形成し、
さらに前記磁石取付部の一側面に前記反射部を設け、且
つ他側面に確実に磁石を取り付けることができる。

【００１０】また、請求項４に記載の光走査装置の製造
方法は、前記反射部を、前記磁石取付部の前記磁石が取
り付けられる面とは反対側の面にミラーを接着固定して
形成する。従って、前記磁石を鏡面研磨加工する必要が
なく、別体で作製したミラーにより容易に前記反射部を
形成することができる。

【００１１】また、請求項５に記載の光走査装置の製造
方法は、前記反射部を、前記磁石取付部の前記磁石が取
り付けられる面とは反対側の面を電解研磨法により鏡面
加工して形成する。従って、前記磁石を鏡面研磨加工す
る必要がなく、また、ミラーを別体で作製し接着固定す
る必要もなく、容易に精度の高い反射部を形成すること
ができる。

【００１２】また、請求項６に記載の光走査装置の製造
方法は、前記薄板として、形状記憶合金を用いている。
従って、極めて弾性的に優れ、且つ耐久性に優れた光走
査装置を製造することができる。

【００１３】また、請求項７に記載の光走査装置の製造
方法は、前記形状記憶合金が、ＴｉーＮｉ系形状記憶合
金であり、前記電解研磨法は、過塩素酸・酢酸溶液を電
解研磨液として用いている。従って、ＴｉーＮｉ系形状
記憶合金によって構成される薄板のレジスト層が形成さ
れていない部分を、過塩素酸・酢酸溶液により均一に溶
解し、極めて弾性的に優れ、且つ耐久性に優れた光走査
装置を製造することができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００１５】図１は、本発明の第一の実施の形態の光走
査装置に用いられるトーションバネ５の構成を示す図で
ある。このトーションバネ５は厚さ約０．２ｍｍのＴｉ
ーＮｉ系形状記憶合金からなり、バネ部１１、ハウジン
グ固定部１２及び磁石取付部１３からなる。バネ部１１
は幅０．１〜０．６ｍｍ程度であり、トーションバネ５
両端部に設けられたハウジング固定部１２はバネ部１１
より大きく形成されており、ハウジングに固定するため
のネジ止め用の孔が設けられている。そして、トーショ
ンバネ５のほぼ中央には、磁石取付部１３が設けられて
いる。この磁石取付部１３の寸法は、取り付けられる磁
石３の寸法とほぼ同じであり、縦３ｍｍ、横６ｍｍ程度
である。尚、トーションバネ５は、本発明の弾性部材を
構成するものである。

【００１６】次に、本実施の形態の光走査装置の構成を
図２に示す。前記構成を有するトーションバネ５が、適
当な張力で引っ張られた状態でハウジング固定部１２に
おいて固定治具２によってハウジング１に固定されてい
る。トーションバネ５は、上述したように厚さ約０．２
ｍｍのＴｉーＮｉ系形状記憶合金からなり、バネ部１
１、ハウジング固定部１２及び磁石取付部１３からな
る。トーションバネ５のほぼ中央の磁石取付部１３の一
面には、磁石３が図示しない接着剤で固定されている。
磁石３には、Ｎｉ−Ｃｏ系合金またはＳｍ−Ｃｏ系合金
等が用いられ、その大きさは縦３ｍｍ、横６ｍｍ、厚さ
０．３ｍｍ程度である。さらに、磁石取付部１３の他の
一面には前記磁石３と同程度の大きさのミラー１５が接
着固定されている。尚、ミラー１５は本発明の反射部を
構成するものである。

【００１７】一方、コア６が磁石３に対向するように配
置されている。コア６にはコイル７が巻き付けられてお
り、例えば３００ターンほど巻かれている。コイル７
は、コア６に設けられたネジ孔８、及びハウジング１に
設けられた孔４を通して図示しないネジによってハウジ
ング１に固定されている。パルス電流発生器９により、
例えば３Ｖで１００ｍＡ程度の電流をコイル７に流すと
交番磁界が発生し、磁石３が振動する。同時にその背面
に固定されたミラー１５も振動する。ミラー１５に対向
するように配置された光源３１より発射されたレーザー
光１０はミラー１５によって反射され、磁石３とともに
ミラー１５も共振することにより被走査面３２に走査さ
れるのである。尚、レーザー光１０は本発明の光ビーム
を構成するものである。

【００１８】次に、本発明の第二の実施の形態の光走査
装置を図３に示す。尚、前記第一の実施の形態と同一の
部材には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略す
る。

【００１９】第二の実施の形態の光走査装置は、トーシ
ョンバネ５の磁石取付部１３において、前記磁石３を取
り付ける面とは反対側の面を鏡面研磨加工し反射部１５
ａとして形成したものである。尚、反射部１５ａは、通
常の機械研磨により形成することが可能であるが、後述
する電解研磨法によって形成することも可能である。こ
のように磁石取付部１３自体を反射部として加工すれ
ば、ミラー１５を別途作製して前記磁石取付部１３に接
着固定する必要がないという利点がある。

【００２０】次に、前記トーションバネ５を電解研磨法
によって製造する方法について図４を用いて説明する。

【００２１】まず、図４（ａ）に示すように厚さ約０．
２ｍｍ程度のＴｉーＮｉ系形状記憶合金板２１（以下、
合金板２１と略記する）上に所望のトーションバネ５と
同じ寸法形状となるようにレジスト層２２を形成する。
尚、レジスト層２２は図中網掛けにて示した部分であ
る。さらに、電解研磨で電圧を印加するためのリード線
２３を取り付け、その取り付け部分にも前記レジスト層
２２形成部分と連続するようにレジスト層２２を塗布す
る。リード線２３は合金板２１全体を均一に電解研磨す
るためにはできる限り多数設けたほうがよいが、少なく
とも１箇所あれば電解研磨を行うことは可能である。ま
た、リード線２３を取り付ける位置も特に限定されるも
のではない。図４では、便宜上２箇所のハウジング固定
部に対応する位置にリード線２３を設けた一例を図示し
た。レジスト層２２は図４（ａ）では合金板２１の片面
しか図示していないが、実際は合金板２１の表裏両面の
同じ位置に形成されている。尚、合金板２１は、本発明
の薄板を構成するものである。

【００２２】次に、図４（ｂ）に示すように前記レジス
ト層２２が形成された合金板２１を電解研磨液２７中に
配置し、合金板２１が陽極となるようにリード線２３を
直流電源２４に接続する。そして、合金板２１の表裏各
面に対向するように少なくとも２枚の陰極板２５を配置
し、直流電源２４の陰極側に接続する。陰極板２５は白
金板またはステンレス板を用いる。なお、陰極板２５は
浴槽２６の側壁全体を覆うように配置できれば望まし
い。電解研磨液２７には過塩素酸・酢酸溶液が用いら
れ、その組成は例えば５％過塩素酸・９５％酢酸であ
る。この状態で直流電源２４より所定の電圧を印加する
と合金板２１上のレジスト層２２が形成されていない部
分が徐々に溶解し、最終的に図４（ｃ）に示すようにレ
ジスト層２２を形成した部分及びリード線２３のみが残
存する。印加する電圧は５〜３０Ｖで、例えば２０Ｖの
電圧を印加すると２〜３時間程度で所望の形状になる。

【００２３】そして、最後にリード線２３及びその延長
する不要部分を切断除去し、さらにレジスト層２２を除
去すれば図１に示すようなトーションバネ５が完成す
る。

【００２４】また、第二の実施の形態の光走査装置にお
いて、トーションバネ５の磁石取付部１３を電解研磨で
鏡面化して反射部１５ａを形成する場合は、図４（ｄ）
に示すように、トーションバネ形状化された合金板２１
上の少なくとも一面のレジスト層２２を除去した状態
で、再び図４（ｂ）に示すように合金板２１を電解研磨
液２７中に前記状態と全く同様に配置する。そして、表
面粗さの程度により異なるが、印加電圧１〜１０Ｖで
０．５〜２時間程度電解研磨を行うと、合金板２１の表
面が鏡面化され、反射部１５ａが完成する。

【００２５】尚、前記製造方法は、その要旨を逸脱しな
い範囲において、種々の変更を加えることができる。

【００２６】例えば、電解研磨液２７の組成は自由に変
更可能でり、また、必要であれば液を加熱し、３０〜５
０℃程度で実施すれば合金板２１の溶解速度が増す。ま
た、電解研磨液２７に適当な攪拌を与えたり、合金板２
１に揺動、振動、回転等を与えれば、より均一に合金板
２１を溶解でき、ひいては精度よくトーションバネを作
製することができるのである。

【００２７】さらに、合金板２１と陰極板２５の配置は
図４（ｂ）に示した配置に限られるものではない。例え
ば、合金板２１を液面に対して水平に配置し、その合金
板２１と対向するように陰極板２５を配置する、すなわ
ち、２枚の陰極板２５を浴槽２６の底付近と液面付近に
配置してもよいのである。

【００２８】さらに、前記製造方法においては定電位に
よる電解研磨についてその一例を説明したが、これを定
電流にて実施することも可能である。特に、トーション
バネの面積に比べ溶解する部分の面積が大きい場合、定
電流で実施するほうがより精度よくトーションバネを作
製することができる。その定電流条件は合金板２１と作
製するトーションバネ５の面積と形状にもよるが、だい
たい電流密度０．５〜５Ａ／ｄｍ²程度である。

【００２９】次に、前記各実施の形態の光走査装置の動
作について説明する。

【００３０】今、コイル７に図２に示すようなパルス電
流を流すと、コイル７前方及び後方には、図５の（ａ）
及び（ｂ）に示すようにいわゆる交番磁界ができる。そ
して、中心がトーションバネ５に固定され、かつ、その
コイル７前方に設置されている磁石３は、交番磁界によ
りＭＨｃｏｓθのトルクを受ける。（Ｍは磁石の磁気モ
ーメント、Ｈは磁界の強さ、θはふれ角）また、ねじれ
角θの場合トーションバネ５による復元力、ｋθも同時
に受ける（ｋ：バネ定数）。

【００３１】さらに、磁石３が高速に振動する場合、空
気との摩擦抵抗及びトーションバネ５内部の摩擦抵抗な
どによって、ｄθ／ｄｔに比例した減衰力も受けること
になる。そして、前記トルクが周期的（角振動数ω）に
加わると、磁石３はねじり振動を始める。この振動系を
方程式で表すと数式１になる。

【００３２】

【数１】

【００３３】これは、減衰振動系に強制力が加わった場
合の方程式で、その一般解は数式２で表される。

【００３４】

【数２】

【００３５】つまり、電流の周波数ωと、磁石３及びト
ーションバネ５からなる機械系の固有振動数ω₀が一致
した場合いわゆる共振状態となり、最大のふれ角となる
のである。本実施形態の場合、コイル７にかける電圧３
Ｖ、コイル電流約１００ｍＡで、約８００Ｈｚで磁石３
が共振し、そのふれ角は約５０度、すなわち、走査角約
１００度で磁石３の背面に取り付けられたミラー１５に
よりレーザー光が走査されるのである。

【００３６】前記実施形態では、走査角約１００度、走
査周波数８００Ｈｚを例にとって説明したが、前記トー
ションバネの板厚ｔ、磁石の質量ｍを変えることによっ
て様々な周波数の光走査装置をつくることができる。例
えば、４００Ｈｚの光走査装置を製作する場合、周波数
ｆは（ｋ／ｍ）^1/2に比例し、バネ定数ｋはｔ³に比例す
ることからｔの３／２乗が周波数に比例することにな
る。ｔ＝２００μｍで共振周波数８００Ｈｚであったこ
とから、おおよそｔ＝１２５μｍのトーションバネを上
と同様な条件で用いれば、およそ４００Ｈｚの光走査装
置を製作することができる。

【００３７】さらに、数式２の係数ＭＨ／Ｉからわかる
ように、いろいろな強さ（Ｍ）の磁石を用いることで、
あるいは様々な振幅の磁界（Ｈ＝ｎｉ、ｎ：コイル巻線
数ｉ：電流）即ち電流ｉを与えることで、対象となる電
気製品あるいは電子機器に応じて所望の走査角を持つ光
走査装置もつくることができるのである。

【００３８】また、本発明ではコイル７に流す電流波形
を矩形波とした。なぜなら、図５に示すようにねじれ角
θによって磁石に加えられるトルクはＭＨｃｏｓθとな
り、ちょうど交番磁界Ｈｃｏｓθが磁石の磁気モーメン
トＭに作用することになり、θ＝ωｔとおくと数式１が
成立するからである。

【００３９】図６に矩形波電流に伴う磁石のねじれ角θ
の振動の様子を示す。数式（２ー２）より、ω＝ω₀の
とき、α＝９０°すなわちθは交番磁界に対して９０°
位相遅れとなる。つまり、磁界の切り替わりから９０°
遅れたところで磁石のねじれ角θは最大になり、ひいて
はトーションバネ５による復元力ｋθ（ｋ：バネ定数）
も最大となる。電流波形の各点ａ、ｂ、ｃ、ｄはそれぞ
れ磁石３の振動状態（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に
対応している。矩形波にするとトーションバネ５の復元
力が最大になるまで磁石３にトルクを与えることができ
るので、他の電流波形に比べ走査幅を最大にすることが
できる。しかしながら、走査幅に余裕があればＳＩＮ
波、三角波などの周期波形でも十分走査可能である。ま
た、本実施形態ではコイル７に流す電流を最小限に止め
るために共振現象を利用して本光走査装置を構成した
が、電力に余裕があるなら共振点をはずして光走査装置
を駆動しても機能上問題はないのである。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように本
発明の請求項１に記載の光走査装置は、両端部がハウジ
ングに支持され、且つ中央部が光源から出射された光ビ
ームを反射させる反射部と磁石とを揺動可能に支持する
弾性部材を備えたものを対象として、特に、前記弾性部
材は、前記両端部に前記ハウジングに支持される固定部
を、前記中央部に平面状の磁石取付部をそれぞれ備え、
その磁石取付部の一側面に前記磁石を取り付け、且つ他
側面に反射部を設けている。従って、前記弾性部材は、
前記固定部においてハウジングに確実に固定される。ま
た、前記磁石は前記磁石取付部の一側面において強い固
着力で確実に取り付けられ、駆動時において前記磁石が
脱落することがない。一方、他側面に反射部を設けてい
るので前記磁石とは別体で反射部を設けることができ、
前記磁石を鏡面研磨加工する必要がなく、反射部を容易
に形成することができる。

【００４１】また、請求項２に記載の光走査装置は、前
記反射部が、前記磁石取付部の前記磁石が取り付けられ
る面とは反対側の面を鏡面加工したものである。従っ
て、前記磁石を鏡面研磨加工する必要がなく、また、別
体で反射部を形成して前記反対側の面に取り付ける必要
がない。

【００４２】また、請求項３に記載の光走査装置の製造
方法は、両端部がハウジングに支持され、且つ中央部が
光源から出射された光ビームを反射させる反射部と磁石
とを揺動可能に支持する弾性部材を備えた光走査装置の
製造方法であって、特に、弾性を有する薄板上に、前記
弾性部材の平面形状に対応するレジスト層を形成し、そ
のレジスト層が形成されていない部分を電解研磨法によ
って溶解させて、前記両端部に前記ハウジングに支持さ
れる固定部を、前記中央部に前記磁石取付部をそれぞれ
形成し、その後に、前記磁石取付部の一側面に反射部を
設けるとともに、他側面に磁石を接着固定する。従っ
て、前記弾性を有する薄板のレジスト層が形成されてい
ない部分を均一に溶解し、電解研磨法により前記固定部
及び前記磁石取付部を高い精度で、且つ容易に形成し、
さらに前記磁石取付部の一側面に前記反射部を設け、且
つ他側面に確実に磁石を取り付けることができる。

【００４３】また、請求項４に記載の光走査装置の製造
方法は、前記反射部を、前記磁石取付部の前記磁石が取
り付けられる面とは反対側の面にミラーを接着固定して
形成する。従って、前記磁石を鏡面研磨加工する必要が
なく、別体で作製したミラーにより容易に前記反射部を
形成することができる。

【００４４】また、請求項５に記載の光走査装置の製造
方法は、前記反射部を、前記磁石取付部の前記磁石が取
り付けられる面とは反対側の面を電解研磨法により鏡面
加工して形成する。従って、前記磁石を鏡面研磨加工す
る必要がなく、また、ミラーを別体で作製し接着固定す
る必要もなく、容易に精度の高い反射部を形成すること
ができる。

【００４５】また、請求項６に記載の光走査装置の製造
方法は、前記薄板として、形状記憶合金を用いている。
従って、極めて弾性的に優れ、且つ耐久性に優れた光走
査装置を製造することができる。

【００４６】また、請求項７に記載の光走査装置の製造
方法は、前記形状記憶合金が、ＴｉーＮｉ系形状記憶合
金であり、前記電解研磨法は、過塩素酸・酢酸溶液を電
解研磨液として用いている。従って、ＴｉーＮｉ系形状
記憶合金によって構成される薄板のレジスト層が形成さ
れていない部分を、過塩素酸・酢酸溶液により均一に溶
解し、極めて弾性的に優れ、且つ耐久性に優れた光走査
装置を製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施の形態の光走査装置に用い
られるトーションバネの構成を示す図である。

【図２】光走査装置の構成を示す斜視図である。

【図３】第二の実施の形態の光走査装置を示す斜視図で
ある。

【図４】トーションバネの製造方法を示す説明図であ
る。

【図５】磁石及びミラーが交番磁界からトルクを受ける
模式図である。

【図６】磁石及びミラーが矩形波電流に伴って振動する
様子を示す図である。

【図７】従来の光走査装置の構成を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ハウジング３磁石５トーションバネ１１バネ部１２ハウジング固定部１３磁石取付部１５ミラー１５ａ反射部１０レーザー光線３１光源２１合金板２２レジスト層２７電解研磨液

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】両端部がハウジングに支持され、且つ中
央部が光源から出射された光ビームを反射させる反射部
と磁石とを揺動可能に支持する弾性部材を備えた光走査
装置において、前記弾性部材は、前記両端部に前記ハウジングに支持さ
れる固定部を、前記中央部に平面状の磁石取付部をそれ
ぞれ備え、その磁石取付部の一側面に前記磁石を取り付
け、且つ他側面に反射部を設けたことを特徴とする光走
査装置。
【請求項２】前記反射部は、前記磁石取付部の前記磁
石が取り付けられる面とは反対側の面を鏡面加工したも
のであることを特徴とする請求項１に記載の光走査装
置。
【請求項３】両端部がハウジングに支持され、且つ中
央部が光源から出射された光ビームを反射させる反射部
と磁石とを揺動可能に支持する弾性部材を備えた光走査
装置の製造方法であって、弾性を有する薄板上に、前記弾性部材の平面形状に対応
するレジスト層を形成し、そのレジスト層が形成されて
いない部分を電解研磨法によって溶解させて、前記両端
部に前記ハウジングに支持される固定部を、前記中央部
に前記磁石取付部をそれぞれ形成し、その後に、前記磁石取付部の一側面に反射部を設けると
ともに、他側面に磁石を接着固定することを特徴とする
光走査装置の製造方法。
【請求項４】前記反射部は、前記磁石取付部の前記磁
石が取り付けられる面とは反対側の面にミラーを接着固
定して形成することを特徴とする請求項３に記載の光走
査装置の製造方法。
【請求項５】前記反射部は、前記磁石取付部の前記磁
石が取り付けられる面とは反対側の面を電解研磨法によ
り鏡面加工して形成することを特徴とする請求項３に記
載の光走査装置の製造方法。
【請求項６】前記薄板は、形状記憶合金を用いたこと
を特徴とする請求項３乃至５のいずれかに記載の光走査
装置の製造方法。
【請求項７】前記形状記憶合金は、ＴｉーＮｉ系形状
記憶合金であり、前記電解研磨法は、過塩素酸・酢酸溶液を電解研磨液と
して用いたことを特徴とする請求項６に記載の光走査装
置の製造方法。