JPH09330514A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH09330514A JPH09330514A JP14761096A JP14761096A JPH09330514A JP H09330514 A JPH09330514 A JP H09330514A JP 14761096 A JP14761096 A JP 14761096A JP 14761096 A JP14761096 A JP 14761096A JP H09330514 A JPH09330514 A JP H09330514A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高精度な位置決め方式と磁気ヘッドの低浮上
化という条件の下で、磁気ヘッドと磁気記録媒体との接
触確率の小さい条件を満たすことができる高信頼性を有
する磁気記録媒体を提供する。 【解決手段】 本発明に係る磁気記録媒体は、基板１
１、磁性層１２、低反射率層１３、高反射率層１４及び
潤滑層１５を備えている。低反射率層１３は、一般的に
は磁性層１２の保護膜としての機能も果たす場合が多
い。用いられる材質は、窒素化カーボンや水素添加カー
ボン（ＤＬＣ）などが挙げられる。高反射率層１４は、
Ａｌ，Ａｌ1-x Ｔｉｘ，Ａｌ系合金、Ａｇ、Ａｕなどの
薄膜が用いられる。
化という条件の下で、磁気ヘッドと磁気記録媒体との接
触確率の小さい条件を満たすことができる高信頼性を有
する磁気記録媒体を提供する。 【解決手段】 本発明に係る磁気記録媒体は、基板１
１、磁性層１２、低反射率層１３、高反射率層１４及び
潤滑層１５を備えている。低反射率層１３は、一般的に
は磁性層１２の保護膜としての機能も果たす場合が多
い。用いられる材質は、窒素化カーボンや水素添加カー
ボン（ＤＬＣ）などが挙げられる。高反射率層１４は、
Ａｌ，Ａｌ1-x Ｔｉｘ，Ａｌ系合金、Ａｇ、Ａｕなどの
薄膜が用いられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
等に用いられる磁気記録媒体に関し、特に、超高密度記
録に用いられる高信頼性の磁気記録媒体に関する。
等に用いられる磁気記録媒体に関し、特に、超高密度記
録に用いられる高信頼性の磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、磁気記録媒体の記録密度が向上
するにつれて、記録信号のＳ／Ｎが劣化するので、位置
決め精度も悪化する。このため、一定のＳ／Ｎを確保す
るため、位置決め情報（サーボ信号）に光記録方式を導
入したものが知られている。この光記録方式を用いた磁
気ディスク装置に用いられる磁気記録媒体は、位置決め
情報としてのピットを有している。このような技術につ
いて、K.MORIらによる論文（IEEE Transaction on Magn
eties,VoL.27,No.6 pp5298-5300 ）がある。この論文に
よると、３．５″の位置信号に対応するエッチングによ
り形成されたドットパターンを有するスパッタ薄膜媒体
を用いて記録再生を行ない、トラック密度１７ＫＴＰＩ
を達成している。
するにつれて、記録信号のＳ／Ｎが劣化するので、位置
決め精度も悪化する。このため、一定のＳ／Ｎを確保す
るため、位置決め情報（サーボ信号）に光記録方式を導
入したものが知られている。この光記録方式を用いた磁
気ディスク装置に用いられる磁気記録媒体は、位置決め
情報としてのピットを有している。このような技術につ
いて、K.MORIらによる論文（IEEE Transaction on Magn
eties,VoL.27,No.6 pp5298-5300 ）がある。この論文に
よると、３．５″の位置信号に対応するエッチングによ
り形成されたドットパターンを有するスパッタ薄膜媒体
を用いて記録再生を行ない、トラック密度１７ＫＴＰＩ
を達成している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の磁気
記録媒体において、情報の読み出し又は書き込み（以
下、「Ｒ／Ｗ」と略す。）を行なう際に、磁気ヘッドと
磁気記録媒体表面のドットとが接触し、信頼性上問題と
なる場合があった。その理由は、高密度記録に対応し磁
気ヘッドの浮上量が低浮上化したために、磁気記録媒体
表面のドット高さが、磁気ヘッドと磁気記録媒体表面と
の接触確率の支配的な因子となったからである。ここで
いう「ドット」とは、前述のとおり、位置決め情報とし
てエッチングで形成したピットにより生じた、磁気記録
媒体表面の突起のことである。
記録媒体において、情報の読み出し又は書き込み（以
下、「Ｒ／Ｗ」と略す。）を行なう際に、磁気ヘッドと
磁気記録媒体表面のドットとが接触し、信頼性上問題と
なる場合があった。その理由は、高密度記録に対応し磁
気ヘッドの浮上量が低浮上化したために、磁気記録媒体
表面のドット高さが、磁気ヘッドと磁気記録媒体表面と
の接触確率の支配的な因子となったからである。ここで
いう「ドット」とは、前述のとおり、位置決め情報とし
てエッチングで形成したピットにより生じた、磁気記録
媒体表面の突起のことである。
【０００４】
【発明の目的】本発明の目的は、高精度な位置決め方式
と磁気ヘッドの低浮上化という条件の下で、磁気ヘッド
と磁気記録媒体との接触確率の小さい条件を満たすこと
ができる高信頼性を有する磁気記録媒体を提供すること
にある。
と磁気ヘッドの低浮上化という条件の下で、磁気ヘッド
と磁気記録媒体との接触確率の小さい条件を満たすこと
ができる高信頼性を有する磁気記録媒体を提供すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気記録媒
体は、少なくとも二つの光学反射率の異なる領域が、位
置決め情報として表面に形成されてなるものである。例
えば、基板上に磁性層が積層され、この磁性層上に低反
射率層の領域と高反射率層の領域とが同一平面となるよ
うに積層されてなるものである。前記低反射率層の材質
は、窒素化カーボン又は水素添加カーボンとしてもよ
い。前記高反射率層の材質は、Ａｌ、Ａｌ1-x Ｔｉｘ、
Ａｌ系合金、Ａｇ又はＡｕとしてもよい。
体は、少なくとも二つの光学反射率の異なる領域が、位
置決め情報として表面に形成されてなるものである。例
えば、基板上に磁性層が積層され、この磁性層上に低反
射率層の領域と高反射率層の領域とが同一平面となるよ
うに積層されてなるものである。前記低反射率層の材質
は、窒素化カーボン又は水素添加カーボンとしてもよ
い。前記高反射率層の材質は、Ａｌ、Ａｌ1-x Ｔｉｘ、
Ａｌ系合金、Ａｇ又はＡｕとしてもよい。
【０００６】本発明に係る磁気記録媒体は、このように
位置決め情報として光学反射率の異なる領域の反射率差
を用いているので、磁気記録媒体表面を平滑に保つこと
ができる。そのため、磁気ヘッドの浮上量を下げていっ
ても、磁気ヘッドと磁気記録媒体の接触確率を上がらな
くすることが可能となる。したがって、磁気ヘッドと磁
気記録媒体との接触確率を低く抑えることができるの
で、磁気ヘッドへの付着物の発生及びダメージの発生を
抑えることができる。
位置決め情報として光学反射率の異なる領域の反射率差
を用いているので、磁気記録媒体表面を平滑に保つこと
ができる。そのため、磁気ヘッドの浮上量を下げていっ
ても、磁気ヘッドと磁気記録媒体の接触確率を上がらな
くすることが可能となる。したがって、磁気ヘッドと磁
気記録媒体との接触確率を低く抑えることができるの
で、磁気ヘッドへの付着物の発生及びダメージの発生を
抑えることができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る磁気記録媒
体の第一実施形態を示す断面図である。以下、この図面
に基づき説明する。
体の第一実施形態を示す断面図である。以下、この図面
に基づき説明する。
【０００８】本発明に係る磁気記録媒体は、基板１１、
磁性層１２、低反射率層１３、高反射率層１４及び潤滑
層１５を備えている。
磁性層１２、低反射率層１３、高反射率層１４及び潤滑
層１５を備えている。
【０００９】基板１１としては、アクリル樹脂、ポリカ
ーボネート樹脂等のプラスチック、ガラス、ガラス上に
溝付き樹脂を形成した基板、又はアルミニウム系合金板
等が用いられる。
ーボネート樹脂等のプラスチック、ガラス、ガラス上に
溝付き樹脂を形成した基板、又はアルミニウム系合金板
等が用いられる。
【００１０】磁性層１２としては、Ｃｏ系合金膜が一般
的であり、代表的なものとしては、ＣｏＰｔ，ＣｏＣ
ｒ，ＧｄＦｅＣｏ，ＴｂＣｏ，ＴｂＦｅＣｏ，ＧｄＣ
ｏ，ＤｙＦｅＣｏ，ＮｄＦｅＣｏなどがあり、その他に
もＴｂＦｅ，ＭｎＢｉ，ＭｎＣｕＢｉなどがある。ま
た、これらには、Ｔｉ，Ｃｒ，Ｔａ，Ｎｉ，Ｐｔ，Ｎｂ
を少量添加しても良い。この添加量は、一般的には１０
at％以下とされる。
的であり、代表的なものとしては、ＣｏＰｔ，ＣｏＣ
ｒ，ＧｄＦｅＣｏ，ＴｂＣｏ，ＴｂＦｅＣｏ，ＧｄＣ
ｏ，ＤｙＦｅＣｏ，ＮｄＦｅＣｏなどがあり、その他に
もＴｂＦｅ，ＭｎＢｉ，ＭｎＣｕＢｉなどがある。ま
た、これらには、Ｔｉ，Ｃｒ，Ｔａ，Ｎｉ，Ｐｔ，Ｎｂ
を少量添加しても良い。この添加量は、一般的には１０
at％以下とされる。
【００１１】低反射率層１３は、一般的には磁性層１２
の保護膜としての機能も果たす場合が多い。用いられる
材質は、窒素化カーボンや水素添加カーボン（ＤＬＣ）
などが挙げられる。反射率を低反射率にする方法として
は、微量添加元素を膜に加えて、光スペクトルの吸収中
心を人工的に作り、特定波長においての反射率を下げる
手法もあるが、まだ一般的とは言えない。
の保護膜としての機能も果たす場合が多い。用いられる
材質は、窒素化カーボンや水素添加カーボン（ＤＬＣ）
などが挙げられる。反射率を低反射率にする方法として
は、微量添加元素を膜に加えて、光スペクトルの吸収中
心を人工的に作り、特定波長においての反射率を下げる
手法もあるが、まだ一般的とは言えない。
【００１２】高反射率層１４は、Ａｌ，Ａｌ1-x Ｔｉ
ｘ，Ａｌ系合金、Ａｇ、Ａｕなどの薄膜が用いられる。
一般的にはコストの観点でＡｌ系が良く使われる。
ｘ，Ａｌ系合金、Ａｇ、Ａｕなどの薄膜が用いられる。
一般的にはコストの観点でＡｌ系が良く使われる。
【００１３】潤滑層１５は、有機潤滑膜であるパーフル
オロポリエーテルが用いられる。パーフルオロポリエー
テルの構造式は、「−ＣＦ2 [(ＣＦ2 ＣＦ2 Ｏ）ｍ（Ｃ
Ｆ2Ｏ）ｎ] ＣＦ2 −」で表される。その他の潤滑層と
しては、無機物のＡｕやＰｂ等の金属やＰｂＯ，ＳｉＯ
等の酸化物、ＢＮやＳｉＮ等の窒化物、ＭｏＳ2 等の硫
化物が用いられる。有機物としては、高級エステル脂肪
酸、高級アルコール等が用いられる。
オロポリエーテルが用いられる。パーフルオロポリエー
テルの構造式は、「−ＣＦ2 [(ＣＦ2 ＣＦ2 Ｏ）ｍ（Ｃ
Ｆ2Ｏ）ｎ] ＣＦ2 −」で表される。その他の潤滑層と
しては、無機物のＡｕやＰｂ等の金属やＰｂＯ，ＳｉＯ
等の酸化物、ＢＮやＳｉＮ等の窒化物、ＭｏＳ2 等の硫
化物が用いられる。有機物としては、高級エステル脂肪
酸、高級アルコール等が用いられる。
【００１４】次に、本実施形態の磁気記録媒体の動作に
ついて説明する。磁気記録媒体上に照射されたレーザ光
は、透光性のある潤滑層１５を透過し、低反射率層１３
と高反射率層１４とに当たり、入射方向と逆方向へ反射
して戻る。その際に生じる反射率差を位置決め情報とし
て用いる。また、磁気ヘッドがＲ／Ｗを行うために磁気
記録媒体上をシークするが、凹凸の小さい表面状態を実
現しているために、磁気ヘッドと磁気記録媒体との接触
確率を小さく抑えることができ、信頼性を損なう恐れの
ある因子である付着物の発生などを抑えることができ
る。
ついて説明する。磁気記録媒体上に照射されたレーザ光
は、透光性のある潤滑層１５を透過し、低反射率層１３
と高反射率層１４とに当たり、入射方向と逆方向へ反射
して戻る。その際に生じる反射率差を位置決め情報とし
て用いる。また、磁気ヘッドがＲ／Ｗを行うために磁気
記録媒体上をシークするが、凹凸の小さい表面状態を実
現しているために、磁気ヘッドと磁気記録媒体との接触
確率を小さく抑えることができ、信頼性を損なう恐れの
ある因子である付着物の発生などを抑えることができ
る。
【００１５】図２は、本発明に係る磁気記録媒体の第二
実施形態を示す断面図である。以下、この図面に基づき
説明する。ただし、図１と同一部分は同一符号を付すこ
とにより重複説明を省略する。
実施形態を示す断面図である。以下、この図面に基づき
説明する。ただし、図１と同一部分は同一符号を付すこ
とにより重複説明を省略する。
【００１６】本実施形態の磁気記録媒体は、第一実施形
態の磁気記録媒体における低反射率層１３の領域と高反
射率層１４の領域とが入れ替わった構造となっており、
他の部分は第一実施形態の磁気記録媒体と全く同じであ
る。
態の磁気記録媒体における低反射率層１３の領域と高反
射率層１４の領域とが入れ替わった構造となっており、
他の部分は第一実施形態の磁気記録媒体と全く同じであ
る。
【００１７】
【実施例】次に、上記第一実施形態における一実施例に
ついて説明する。基板１１は、Ａｌ−Ｐ合金基板を用い
る。このときにＡｌ−Ｐ合金板上にＣｒメッキ膜を塗布
したものを用いる場合がある。磁性層１２は、ＣｏＣｒ
Ｔａ膜を用いる。低反射率層１３は、水素添加カーボン
膜を用いる。高反射率層１４は、ＡｌＴｉ膜を用いる。
潤滑層１５は、パーフロオロポリエーテルを用いる。
ついて説明する。基板１１は、Ａｌ−Ｐ合金基板を用い
る。このときにＡｌ−Ｐ合金板上にＣｒメッキ膜を塗布
したものを用いる場合がある。磁性層１２は、ＣｏＣｒ
Ｔａ膜を用いる。低反射率層１３は、水素添加カーボン
膜を用いる。高反射率層１４は、ＡｌＴｉ膜を用いる。
潤滑層１５は、パーフロオロポリエーテルを用いる。
【００１８】次に、本実施例の磁気記録媒体の製造方法
を説明する。円盤状をしたＡｌ−Ｐ基板をスパッタ装置
内に設置し、予め２００℃に加熱する。続いて、３×１
０-7Ｔｏｒｒ以下に真空排気後、Ａｒガスを導入して、
３×１０-3Ｔｏｒｒとし、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ合金のター
ゲットをスパッタすることにより、磁性層１２を５０ｎ
ｍの厚さに形成する。続いて、再度３×１０-7Ｔｏｒｒ
以下に真空排気後、Ａｒ＋Ｈ2 の混合ガスを導入して、
５Ｎの純度のグラファイトターゲットを反応性スパッタ
リングすることにより、低反射率層１３を１６ｎｍの厚
さに形成する。この後に、再度３×１０-7Ｔｏｒｒ以下
に真空排気後、Ａｒガスを導入し、３×１０-3Ｔｏｒｒ
にした後、ＡｌＴｉターゲットをスパッタリングするこ
とにより、高反射率層１４を７．６２ｎｍの厚さに形成
する。この厚さは、グライドハイトアバランシュ０．３
μ″に相当する。この後に、Ａｌ−Ｐ基板をスパッタ装
置より取り出し、フォトレジストで位置情報のパターニ
ングをおこない、末露光部分をケミカルエッチングし
て、同部位のＡｌＴｉ膜も除去する。この後、研磨工程
で、パターニングされたＡｌＴｉ膜の突起高さを５．０
８ｎｍまで削り、洗浄した後にパーフロオロポリエーテ
ルにディップすることによって所望の磁気記録媒体を得
る。
を説明する。円盤状をしたＡｌ−Ｐ基板をスパッタ装置
内に設置し、予め２００℃に加熱する。続いて、３×１
０-7Ｔｏｒｒ以下に真空排気後、Ａｒガスを導入して、
３×１０-3Ｔｏｒｒとし、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ合金のター
ゲットをスパッタすることにより、磁性層１２を５０ｎ
ｍの厚さに形成する。続いて、再度３×１０-7Ｔｏｒｒ
以下に真空排気後、Ａｒ＋Ｈ2 の混合ガスを導入して、
５Ｎの純度のグラファイトターゲットを反応性スパッタ
リングすることにより、低反射率層１３を１６ｎｍの厚
さに形成する。この後に、再度３×１０-7Ｔｏｒｒ以下
に真空排気後、Ａｒガスを導入し、３×１０-3Ｔｏｒｒ
にした後、ＡｌＴｉターゲットをスパッタリングするこ
とにより、高反射率層１４を７．６２ｎｍの厚さに形成
する。この厚さは、グライドハイトアバランシュ０．３
μ″に相当する。この後に、Ａｌ−Ｐ基板をスパッタ装
置より取り出し、フォトレジストで位置情報のパターニ
ングをおこない、末露光部分をケミカルエッチングし
て、同部位のＡｌＴｉ膜も除去する。この後、研磨工程
で、パターニングされたＡｌＴｉ膜の突起高さを５．０
８ｎｍまで削り、洗浄した後にパーフロオロポリエーテ
ルにディップすることによって所望の磁気記録媒体を得
る。
【００１９】
【発明の効果】本発明に係る磁気記録媒体によれば、高
反射率領域と低反射率領域を形成して位置決め情報を付
与することにより、磁気記録媒体表面の凹凸を軽減でき
るため、信頼性を向上できる。その理由は、磁気記録媒
体表面の凹凸を軽減したことにより、磁気ヘッドを低浮
上化しても、磁気ヘッドと磁気記録媒体媒体との接触確
率が上がらないためである。
反射率領域と低反射率領域を形成して位置決め情報を付
与することにより、磁気記録媒体表面の凹凸を軽減でき
るため、信頼性を向上できる。その理由は、磁気記録媒
体表面の凹凸を軽減したことにより、磁気ヘッドを低浮
上化しても、磁気ヘッドと磁気記録媒体媒体との接触確
率が上がらないためである。
【図１】本発明に係る磁気記録媒体の第一実施形態を示
す断面図である。
す断面図である。
【図２】本発明に係る磁気記録媒体の第二実施形態を示
す断面図である。
す断面図である。
１１ 基板 １２ 磁性層 １３ 低反射率層 １４ 高反射率層 １５ 潤滑層
Claims (4)
- 【請求項１】 少なくとも二つの光学反射率の異なる領
域が位置決め情報として表面に形成されてなる磁気記録
媒体。 - 【請求項２】 基板上に磁性層が積層され、この磁性層
上に低反射率層の領域と高反射率層の領域とが同一平面
となるように積層されてなる磁気記録媒体。 - 【請求項３】 前記低反射率層の材質が窒素化カーボン
又は水素添加カーボンである、請求項２記載の磁気記録
媒体。 - 【請求項４】 前記高反射率層の材質がＡｌ、Ａｌ1-x
Ｔｉｘ、Ａｌ系合金、Ａｇ又はＡｕである、請求項２記
載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14761096A JPH09330514A (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14761096A JPH09330514A (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09330514A true JPH09330514A (ja) | 1997-12-22 |
Family
ID=15434225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14761096A Pending JPH09330514A (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09330514A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014116055A (ja) * | 2012-12-12 | 2014-06-26 | Toshiba Corp | 磁気ディスク、磁気ディスク装置および熱アシスト磁気記録方法 |
-
1996
- 1996-06-10 JP JP14761096A patent/JPH09330514A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014116055A (ja) * | 2012-12-12 | 2014-06-26 | Toshiba Corp | 磁気ディスク、磁気ディスク装置および熱アシスト磁気記録方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
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