JPH0934530A - 位置決め方法及び装置 - Google Patents
位置決め方法及び装置Info
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- JPH0934530A JPH0934530A JP20377195A JP20377195A JPH0934530A JP H0934530 A JPH0934530 A JP H0934530A JP 20377195 A JP20377195 A JP 20377195A JP 20377195 A JP20377195 A JP 20377195A JP H0934530 A JPH0934530 A JP H0934530A
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- Japan
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- speed
- moving object
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- distance
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Numerical Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】減速用速度テーブルを最小限の誤差で正確に作
成することができる方法及び装置を提供する。 【構成】移動対象物を加速移動する加速領域において、
ステージ（１５）の速度データとその時の時間データと
に基づき、当該ステージの初期静止位置からの距離
（Ｌ）を算出する。そして、この距離データを速度デー
タとともに減速用速度テーブルに書き込み、速度と距離
の関係を示す減速用速度テーブル（２８ｂ）を完成させ
る。
成することができる方法及び装置を提供する。 【構成】移動対象物を加速移動する加速領域において、
ステージ（１５）の速度データとその時の時間データと
に基づき、当該ステージの初期静止位置からの距離
（Ｌ）を算出する。そして、この距離データを速度デー
タとともに減速用速度テーブルに書き込み、速度と距離
の関係を示す減速用速度テーブル（２８ｂ）を完成させ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は位置決め方法及び装
置に関し、例えば、マスクやレチクル等の基板のパター
ン位置を測定する装置におけるステージの位置決め方法
及び装置に関する。
置に関し、例えば、マスクやレチクル等の基板のパター
ン位置を測定する装置におけるステージの位置決め方法
及び装置に関する。
【０００２】
【背景技術】マスクやレチクル等の基板上に形成された
パターンの位置を計測する場合、例えば、被測定対象と
なる基板をＸＹステージ上に載置し、ＸＹステージを順
次移動させることによって光学的にパターン位置を計測
する。一般に、レチクル等の基板は軽量であるため、Ｘ
Ｙステージを移動させる時に、急激に加速又は減速させ
ると、ステージ上で基板がずれてしまう。従って、ＸＹ
ステージの移動速度は精密に制御される必要がある。
パターンの位置を計測する場合、例えば、被測定対象と
なる基板をＸＹステージ上に載置し、ＸＹステージを順
次移動させることによって光学的にパターン位置を計測
する。一般に、レチクル等の基板は軽量であるため、Ｘ
Ｙステージを移動させる時に、急激に加速又は減速させ
ると、ステージ上で基板がずれてしまう。従って、ＸＹ
ステージの移動速度は精密に制御される必要がある。
【０００３】一般に、ステージの移動という動作は、静
止状態からある一定の目標速度に達するまでの加速工程
と、目標速度から目標位置に停止させるまでの減速工程
とに分けることが出来る。加速工程においては、ステー
ジの速度と時間の関係を示す加速用速度テーブルを用い
てステージの移動を制御する。また、減速工程において
はステージの速度と位置との関係を示す減速用速度テー
ブルを用いてステージの移動を制御する。このような加
速用速度テーブル及び減速用速度テーブルは、被測定対
象である基板毎に作成し、パターン位置計測前に予め記
憶装置に記憶しておく。被測定対象である基板を交換す
る場合には、従来は、直前に記憶されていた加速用速度
テーブル及び減速用速度テーブルの両方をその都度書き
換えていた。
止状態からある一定の目標速度に達するまでの加速工程
と、目標速度から目標位置に停止させるまでの減速工程
とに分けることが出来る。加速工程においては、ステー
ジの速度と時間の関係を示す加速用速度テーブルを用い
てステージの移動を制御する。また、減速工程において
はステージの速度と位置との関係を示す減速用速度テー
ブルを用いてステージの移動を制御する。このような加
速用速度テーブル及び減速用速度テーブルは、被測定対
象である基板毎に作成し、パターン位置計測前に予め記
憶装置に記憶しておく。被測定対象である基板を交換す
る場合には、従来は、直前に記憶されていた加速用速度
テーブル及び減速用速度テーブルの両方をその都度書き
換えていた。
【０００４】最近では、加速及び減速用速度テーブルの
書き換え作業を効率化するために、基板交換時に加速用
速度テーブルのみを書き換え、減速用速度テーブルは加
速用速度テーブルに準じて作成する方式が採用されてい
る。詳細については、特開平６−１３１０２８号公報を
参照されたい。この方法によると、書き換えられた加速
用速度テーブルに基づいてステージを移動させる加速工
程において、ステージ移動速度を更新させる所定時間毎
に、その時のステージの位置を例えば干渉計を用いて検
出する。そして、更新されたステージ移動速度と、その
時のステージ位置のデータを用いて減速用速度テーブル
を作成している。このように、減速用速度テーブルをス
テージの加速工程中に並行して作成しているため、基板
交換時には、加速用速度テーブルのみを書き換え、減速
用速度テーブルを書き換える必要が無い。
書き換え作業を効率化するために、基板交換時に加速用
速度テーブルのみを書き換え、減速用速度テーブルは加
速用速度テーブルに準じて作成する方式が採用されてい
る。詳細については、特開平６−１３１０２８号公報を
参照されたい。この方法によると、書き換えられた加速
用速度テーブルに基づいてステージを移動させる加速工
程において、ステージ移動速度を更新させる所定時間毎
に、その時のステージの位置を例えば干渉計を用いて検
出する。そして、更新されたステージ移動速度と、その
時のステージ位置のデータを用いて減速用速度テーブル
を作成している。このように、減速用速度テーブルをス
テージの加速工程中に並行して作成しているため、基板
交換時には、加速用速度テーブルのみを書き換え、減速
用速度テーブルを書き換える必要が無い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の方
法では、加速工程において、ステージの移動速度を更新
する度に、その時のステージの位置を干渉計等によって
物理的に計測しているため、速度の読み込みと位置検出
の間に時間遅れが生じてしまう。この遅れは、減速用速
度テーブルに書き込まれる速度と距離との関係に誤差を
生じさせる。その結果、減速工程における速度、位置制
御にも誤差が生じてしまう。減速工程における誤差は、
ステージの位置決め精度にも影響する。そこで、本発明
は、移動速度と位置の関係を示す減速用速度テーブルを
正確に作成できる方法及び装置を提供することを課題と
して成された。
法では、加速工程において、ステージの移動速度を更新
する度に、その時のステージの位置を干渉計等によって
物理的に計測しているため、速度の読み込みと位置検出
の間に時間遅れが生じてしまう。この遅れは、減速用速
度テーブルに書き込まれる速度と距離との関係に誤差を
生じさせる。その結果、減速工程における速度、位置制
御にも誤差が生じてしまう。減速工程における誤差は、
ステージの位置決め精度にも影響する。そこで、本発明
は、移動速度と位置の関係を示す減速用速度テーブルを
正確に作成できる方法及び装置を提供することを課題と
して成された。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び作用】上記のような課
題を解決するために、本発明においては、減速工程で使
用される速度と距離の関係を示す減速用速度テーブルを
加速工程中に作成するに際し、加速工程中の移動対象物
の速度と時間から当該移動対象物の初期静止位置からの
距離を算出する。具体的には、先ず、移動対象物を目標
速度まで加速移動させる際の速度と時間との関係を示し
た第１の情報を予め作成、記憶しておく。次に、第１の
情報に基づいて移動対象物を静止位置から段階的に加速
させて目標速度に到達させる。これと同時に、第１の情
報から読み出される速度データとその時の時間データに
基づき、移動対象物の初期静止位置からの移動距離を算
出し、これに基づき、移動対象物の速度と距離との関係
を示す第２の情報を作成、記憶する。この際、移動対象
物の位置を直接検出しないため、位置検出による時間遅
れが生じることがない。その後、移動対象物が目標速度
に達したら、当該移動対象物を第２の情報に従い段階的
に減速させて目標位置に停止させる。
題を解決するために、本発明においては、減速工程で使
用される速度と距離の関係を示す減速用速度テーブルを
加速工程中に作成するに際し、加速工程中の移動対象物
の速度と時間から当該移動対象物の初期静止位置からの
距離を算出する。具体的には、先ず、移動対象物を目標
速度まで加速移動させる際の速度と時間との関係を示し
た第１の情報を予め作成、記憶しておく。次に、第１の
情報に基づいて移動対象物を静止位置から段階的に加速
させて目標速度に到達させる。これと同時に、第１の情
報から読み出される速度データとその時の時間データに
基づき、移動対象物の初期静止位置からの移動距離を算
出し、これに基づき、移動対象物の速度と距離との関係
を示す第２の情報を作成、記憶する。この際、移動対象
物の位置を直接検出しないため、位置検出による時間遅
れが生じることがない。その後、移動対象物が目標速度
に達したら、当該移動対象物を第２の情報に従い段階的
に減速させて目標位置に停止させる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明を実施例を用いて詳細に説明す
る。図１は、本発明を適用したパターン位置測定装置の
全体構成を示し、図２は、同装置の制御部分の構成を示
す。本実施例のパターン位置測定装置は、レチクル等の
基板１０上に形成された微細パターン（図示せず）の位
置を検出するもので、光学装置１２と、基板１０が載置
されたＸＹステージ１５と、基板１０の上部に配置され
た対物レンズ１１と、ＸＹステージ１５の上面端部に配
置された移動鏡１３ａ、１３ｂと、ＸＹステージ１５の
Ｘ、Ｙ方向の位置を各々検出する干渉計１４ａ、１４ｂ
と、対物レンズ１１の周囲に配置された受光素子５０
ａ、５０ｂ、５１ａ、５１ｂと、計測されたパターン位
置を表示する表示装置２１と、ＸＹステージ１５を駆動
する駆動装置１５０と、装置全体の総括的な制御を行う
制御装置２０とを備えている。
る。図１は、本発明を適用したパターン位置測定装置の
全体構成を示し、図２は、同装置の制御部分の構成を示
す。本実施例のパターン位置測定装置は、レチクル等の
基板１０上に形成された微細パターン（図示せず）の位
置を検出するもので、光学装置１２と、基板１０が載置
されたＸＹステージ１５と、基板１０の上部に配置され
た対物レンズ１１と、ＸＹステージ１５の上面端部に配
置された移動鏡１３ａ、１３ｂと、ＸＹステージ１５の
Ｘ、Ｙ方向の位置を各々検出する干渉計１４ａ、１４ｂ
と、対物レンズ１１の周囲に配置された受光素子５０
ａ、５０ｂ、５１ａ、５１ｂと、計測されたパターン位
置を表示する表示装置２１と、ＸＹステージ１５を駆動
する駆動装置１５０と、装置全体の総括的な制御を行う
制御装置２０とを備えている。
【０００８】光学装置１２は、対物レンズ１１を介して
基板１０にレーザスポットを照射する。基板１０上に形
成されたパターンは、対物レンズ１１によって拡大さ
れ、光学装置１２内の所定の位置に結像される。駆動装
置１５０はモータ（図示せず）を備え、これによってＸ
Ｙステージ１５をＸＹの二次元方向に移動させる。干渉
計１４ａ、１４ｂは、移動鏡１３ａ、１３ｂの反射面に
対して測長用のレーザビームを照射すると共に、その反
射光を受光することによってＸＹステージ１５の位置を
検出し、その位置情報を制御装置２０に送出する。４つ
の受光素子５０ａ、５０ｂ、５１ａ、５１ｂは、基板１
０上のパターンの凸凹のエッジ部分で生じる散乱光又は
回折光を受光し、その検出信号を制御装置２０に送る。
このエッジ検出信号に基づき、制御装置２０がパターン
のエッジ位置を検出する。なお、このようなエッジ検出
の方法の詳細に関しては、特公昭５６ー２５９６４号公
報に開示されている。
基板１０にレーザスポットを照射する。基板１０上に形
成されたパターンは、対物レンズ１１によって拡大さ
れ、光学装置１２内の所定の位置に結像される。駆動装
置１５０はモータ（図示せず）を備え、これによってＸ
Ｙステージ１５をＸＹの二次元方向に移動させる。干渉
計１４ａ、１４ｂは、移動鏡１３ａ、１３ｂの反射面に
対して測長用のレーザビームを照射すると共に、その反
射光を受光することによってＸＹステージ１５の位置を
検出し、その位置情報を制御装置２０に送出する。４つ
の受光素子５０ａ、５０ｂ、５１ａ、５１ｂは、基板１
０上のパターンの凸凹のエッジ部分で生じる散乱光又は
回折光を受光し、その検出信号を制御装置２０に送る。
このエッジ検出信号に基づき、制御装置２０がパターン
のエッジ位置を検出する。なお、このようなエッジ検出
の方法の詳細に関しては、特公昭５６ー２５９６４号公
報に開示されている。
【０００９】制御装置２０は、図２に示すように中央処
理装置（ＣＰＵ）２６と、後に説明する加速用速度テー
ブル２８ａと減速用速度テーブル２８ｂを記憶するメモ
リ２８と、一定タイミングで割り込み信号を出力するタ
イマー３０と、駆動装置１５０に接続されたディジタル
・アナログ（Ｄ／Ａ）変換回路３２と、干渉計１４ａ、
１４ｂに接続された入出力（Ｉ／Ｏ）回路とを備えてい
る。ＣＰＵ２６は、メモリ２８の加速用速度テーブル２
８ａに記憶されている速度データをタイマー３０からの
割り込み信号に応じて読み出す。ＣＰＵ２６は、また、
干渉計１４ａ、１４ｂからの位置検出信号を入力すると
共に、Ｄ／Ａ変換回路３２を介して駆動装置１５０を制
御する。
理装置（ＣＰＵ）２６と、後に説明する加速用速度テー
ブル２８ａと減速用速度テーブル２８ｂを記憶するメモ
リ２８と、一定タイミングで割り込み信号を出力するタ
イマー３０と、駆動装置１５０に接続されたディジタル
・アナログ（Ｄ／Ａ）変換回路３２と、干渉計１４ａ、
１４ｂに接続された入出力（Ｉ／Ｏ）回路とを備えてい
る。ＣＰＵ２６は、メモリ２８の加速用速度テーブル２
８ａに記憶されている速度データをタイマー３０からの
割り込み信号に応じて読み出す。ＣＰＵ２６は、また、
干渉計１４ａ、１４ｂからの位置検出信号を入力すると
共に、Ｄ／Ａ変換回路３２を介して駆動装置１５０を制
御する。
【００１０】この実施例においては、ＸＹステージ１５
の移動動作を、図３に示すように、初期静止位置から目
標速度に達するまでの加速領域と、一定の目標速度で移
動する定速移動領域と、ＸＹステージ１５が目標速度か
ら目標位置に停止するまでの減速領域とに分けて考え
る。ここで、ＸＹステージ１５の加速領域の速度制御
は、時間に基づいて行われ、定速移動領域と減速領域で
の速度制御は、ステージの位置に基づいて行われる。
の移動動作を、図３に示すように、初期静止位置から目
標速度に達するまでの加速領域と、一定の目標速度で移
動する定速移動領域と、ＸＹステージ１５が目標速度か
ら目標位置に停止するまでの減速領域とに分けて考え
る。ここで、ＸＹステージ１５の加速領域の速度制御
は、時間に基づいて行われ、定速移動領域と減速領域で
の速度制御は、ステージの位置に基づいて行われる。
【００１１】メモリ２８には、基板の種類（大きさ、重
さ等）に応じ、図４（Ｂ）に示すような時間と速度との
関係を示す加速用速度テーブル２８ａを記憶しておく。
この加速用速度テーブル２８ａは、図３に示す加速領域
で使用される情報であり、図４（Ａ）に示すように、速
度ゼロから目標速度までを時間に対して段階的に分割し
て構成される。
さ等）に応じ、図４（Ｂ）に示すような時間と速度との
関係を示す加速用速度テーブル２８ａを記憶しておく。
この加速用速度テーブル２８ａは、図３に示す加速領域
で使用される情報であり、図４（Ａ）に示すように、速
度ゼロから目標速度までを時間に対して段階的に分割し
て構成される。
【００１２】次に、上記のように構成されたパターン位
置測定装置の全体の動作について簡単に説明する。被測
定基板（基板１０）をＸＹステージ１５上にセットし、
図示しない入力装置からの測定開始命令が制御装置２０
に入力されると、駆動装置１５０によりＸＹステージ１
５が初期位置にくるように制御される。次に、ＸＹステ
ージ１５を初期位置から順次移動させ、光学装置１２か
らのスポット光を基板表面で相対走査させる。基板表面
のパターンエッジにスポット光が当たると、そこで散乱
光が生じ、これを受光素子５０ａ、５０ｂ、５１ａ、５
１ｂによって検出する。受光素子５０ａ、５０ｂ、５１
ａ、５１ｂは、散乱光を検出すると、これに応じたエッ
ジ検出信号を制御装置２０に対して出力する。制御装置
２０は、エッジ検出信号を入力すると、その時のパター
ンエッジの位置を干渉計１４ａ、１４ｂから読み取り、
これに基づいてパターンエッジの間隔を求め、これを表
示装置２１に表示する。
置測定装置の全体の動作について簡単に説明する。被測
定基板（基板１０）をＸＹステージ１５上にセットし、
図示しない入力装置からの測定開始命令が制御装置２０
に入力されると、駆動装置１５０によりＸＹステージ１
５が初期位置にくるように制御される。次に、ＸＹステ
ージ１５を初期位置から順次移動させ、光学装置１２か
らのスポット光を基板表面で相対走査させる。基板表面
のパターンエッジにスポット光が当たると、そこで散乱
光が生じ、これを受光素子５０ａ、５０ｂ、５１ａ、５
１ｂによって検出する。受光素子５０ａ、５０ｂ、５１
ａ、５１ｂは、散乱光を検出すると、これに応じたエッ
ジ検出信号を制御装置２０に対して出力する。制御装置
２０は、エッジ検出信号を入力すると、その時のパター
ンエッジの位置を干渉計１４ａ、１４ｂから読み取り、
これに基づいてパターンエッジの間隔を求め、これを表
示装置２１に表示する。
【００１３】次に、上記パターン位置測定装置における
ＸＹステージ１５の位置決め方法、すなわち初期静止位
置から目標位置までの移動方法について、加速領域と減
速領域に分け、各々図５及び図７のフローチャートを参
照して説明する。
ＸＹステージ１５の位置決め方法、すなわち初期静止位
置から目標位置までの移動方法について、加速領域と減
速領域に分け、各々図５及び図７のフローチャートを参
照して説明する。
【００１４】図５に示すように、ＸＹステージ１５の加
速が開始すると、ＣＰＵ２６は加速用速度テーブル２８
ａからｔ０−ｔ１の速度データＶ１を読み出し、この速
度Ｖ１で駆動装置１５０を介してＸＹステージ１５を駆
動する。これと同時に、ＣＰＵ２６では、速度Ｖ１で時
間ｔ０−ｔ１の間にＸＹステージ１５が移動する距離Ｌ
１を算出する。そして、データＶ１とＬ１を減速用速度
テーブル２８ｂ（図６参照）に書き込む。
速が開始すると、ＣＰＵ２６は加速用速度テーブル２８
ａからｔ０−ｔ１の速度データＶ１を読み出し、この速
度Ｖ１で駆動装置１５０を介してＸＹステージ１５を駆
動する。これと同時に、ＣＰＵ２６では、速度Ｖ１で時
間ｔ０−ｔ１の間にＸＹステージ１５が移動する距離Ｌ
１を算出する。そして、データＶ１とＬ１を減速用速度
テーブル２８ｂ（図６参照）に書き込む。
【００１５】次に、タイマー３０に予め設定されている
時間ｔが経過すると、割り込みが発生し、ＣＰＵ２６は
次に採るべき速度Ｖ２を加速用速度テーブル２８ａから
読み出し、速度データを更新する。この時にも、先の場
合と同様にして、更新された速度Ｖ２によって時間ｔ１
−ｔ２の間にＸＹステージ１５が移動する距離△Ｌ１２
を求め、これに基づいて時間ｔ０−ｔ２の間にＸＹステ
ージ１５が移動する総距離Ｌ２を算出する。そして、こ
のデータＶ２とＬ２を減速用速度テーブル２８ｂに書き
込む。以上のような動作を繰り返し、ＸＹステージ１５
の速度が目標速度（Ｖ１２）に達すると、加速動作を終
了する。この時点で、減速用速度テーブルには、図５
（Ｂ）−（Ｃ）−（Ｄ）に示すように全ての必要なデー
タが書き込まれる。その後は、速度制御が定速移動領域
に移行し、目標速度（Ｖ１２）でＸＹステージ１５が定
速駆動される。
時間ｔが経過すると、割り込みが発生し、ＣＰＵ２６は
次に採るべき速度Ｖ２を加速用速度テーブル２８ａから
読み出し、速度データを更新する。この時にも、先の場
合と同様にして、更新された速度Ｖ２によって時間ｔ１
−ｔ２の間にＸＹステージ１５が移動する距離△Ｌ１２
を求め、これに基づいて時間ｔ０−ｔ２の間にＸＹステ
ージ１５が移動する総距離Ｌ２を算出する。そして、こ
のデータＶ２とＬ２を減速用速度テーブル２８ｂに書き
込む。以上のような動作を繰り返し、ＸＹステージ１５
の速度が目標速度（Ｖ１２）に達すると、加速動作を終
了する。この時点で、減速用速度テーブルには、図５
（Ｂ）−（Ｃ）−（Ｄ）に示すように全ての必要なデー
タが書き込まれる。その後は、速度制御が定速移動領域
に移行し、目標速度（Ｖ１２）でＸＹステージ１５が定
速駆動される。
【００１６】定速移動領域内では、ＣＰＵ２６は、図７
に示すように、タイマー２８から一定タイミングで割り
込みがかかる度に、干渉計１４ａ、１４ｂによって測定
されたＸＹステージ１５の現在位置をＩ／Ｏポート３４
を介して読み込む。ＣＰＵ２６は、読み出されたＸＹス
テージ１５の現在位置から停止目標位置までの距離を算
出し、この距離に対応する速度指令値が減速用速度テー
ブル２８ｂに書き込まれているかを検索する。そして、
該当する距離Ｌ１１を検出すると、移動速度を目標速度
（Ｖ１２）からＶ１１に更新し、速度Ｖ１１でＸＹステ
ージ１５を駆動する。すなわち、定速移動領域から減速
領域に制御が移行する。
に示すように、タイマー２８から一定タイミングで割り
込みがかかる度に、干渉計１４ａ、１４ｂによって測定
されたＸＹステージ１５の現在位置をＩ／Ｏポート３４
を介して読み込む。ＣＰＵ２６は、読み出されたＸＹス
テージ１５の現在位置から停止目標位置までの距離を算
出し、この距離に対応する速度指令値が減速用速度テー
ブル２８ｂに書き込まれているかを検索する。そして、
該当する距離Ｌ１１を検出すると、移動速度を目標速度
（Ｖ１２）からＶ１１に更新し、速度Ｖ１１でＸＹステ
ージ１５を駆動する。すなわち、定速移動領域から減速
領域に制御が移行する。
【００１７】減速領域において、ＸＹステージ１５が次
の速度設定区間を示す距離Ｌ１０に達すると、速度デー
タをＶ１１からＶ１０に更新し、駆動装置１５０によっ
てＸＹステージ１５を減速する。その後、同様の動作を
繰り返し、干渉計１４ａ、１４ｂによって検出されたＸ
Ｙステージ１５の位置が目標停止位置に達した時点で減
速処理を終了する。
の速度設定区間を示す距離Ｌ１０に達すると、速度デー
タをＶ１１からＶ１０に更新し、駆動装置１５０によっ
てＸＹステージ１５を減速する。その後、同様の動作を
繰り返し、干渉計１４ａ、１４ｂによって検出されたＸ
Ｙステージ１５の位置が目標停止位置に達した時点で減
速処理を終了する。
【００１８】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、特
許請求の範囲に記載された技術的思想の範囲で種々の変
更が可能である。
が、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、特
許請求の範囲に記載された技術的思想の範囲で種々の変
更が可能である。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、減速領域で使用される速度と距離の関係を示す減速
用速度テーブルを加速領域中に作成するに際し、加速領
域中のステージの速度データと時間データから当該ステ
ージの初期静止位置からの距離を算出している。このた
め、位置（距離）データの検出と速度データの読み込み
との間の時間差が略ゼロになり、減速用速度テーブルを
正確に作成できることになる。
は、減速領域で使用される速度と距離の関係を示す減速
用速度テーブルを加速領域中に作成するに際し、加速領
域中のステージの速度データと時間データから当該ステ
ージの初期静止位置からの距離を算出している。このた
め、位置（距離）データの検出と速度データの読み込み
との間の時間差が略ゼロになり、減速用速度テーブルを
正確に作成できることになる。
【図１】本発明によるパターン位置計測装置の構成を示
す概略斜視図。
す概略斜視図。
【図２】本発明のパターン位置計測装置の制御部分の構
成を示すブロック図。
成を示すブロック図。
【図３】本発明の動作を説明するために用いられるグラ
フ。
フ。
【図４】本発明の加速領域での作用を説明するために用
いられるグラフ（Ａ）、及び表（Ｂ）。
いられるグラフ（Ａ）、及び表（Ｂ）。
【図５】本発明の加速領域での動作を示すフローチャー
ト。
ト。
【図６】本発明の減速領域での作用を説明するために用
いられるグラフ（Ａ）、（Ｃ）、（Ｄ）、及び表
（Ｂ）。
いられるグラフ（Ａ）、（Ｃ）、（Ｄ）、及び表
（Ｂ）。
【図７】本発明の減速領域での動作を示すフローチャー
ト。
ト。
１０・・・基板 １２・・・光学装置 １４ａ、１４ｂ・・・干渉計 １５・・・ＸＹステージ ２０・・・制御装置 ２１・・・表示装置 ２６・・・ＣＰＵ ２８・・・メモリ ２８ａ・・・加速用速度テーブル ２８ｂ・・・減速用速度テーブル ３０・・・タイマー ５０ａ、５０ｂ、５１ａ、５１ｂ・・・受光素子 １５０・・・駆動装置
Claims (6)
- 【請求項１】 移動対象物を初期静止位置から移動させ
て目標位置に停止させる位置決め方法において、 前記移動対象物を目標速度まで加速移動させる際の、速
度と時間との関係を示した第１の情報を記憶する第１記
憶工程と；前記第１の情報に基づき、前記移動対象物を
前記初期静止位置から段階的に加速させて前記目標速度
に到達させる加速工程と；前記加速工程において、前記
第１の情報から読み出される速度データとその時の時間
データに基づき、前記移動対象物の前記初期静止位置か
らの移動距離を算出する距離算出工程と；前記加速工程
において読み出された速度データと前記算出された移動
距離とに基づき、前記移動対象物の速度と距離との関係
を示す第２の情報を記憶する第２記憶工程と；前記移動
対象物が前記目標速度に達した後、当該移動対象物を前
記第２の情報に基づき、段階的に減速させて前記目標位
置に停止させる減速工程とを含むことを特徴とする位置
決め方法。 - 【請求項２】 前記加速工程が、一定の間隔で前記第１
の情報からの速度データを読み出し、当該速度データを
段階的に更新する工程を含むことを特徴とする請求項１
記載の位置決め方法。 - 【請求項３】 前記減速工程が、前記移動対象物の前記
目標位置までの残り距離を検出する工程と；検出された
残り距離に対応する速度データが前記第２の情報内に記
憶されているか検索する工程と；前記検索の結果、対応
する速度データが記憶されている場合には、当該速度デ
ータで前記移動対象物を駆動する工程とを含むことを特
徴とする請求項１記載の位置決め方法。 - 【請求項４】 ステージ上に載置された被測定基板を初
期静止位置から移動させて目標位置に停止させ、当該基
板上に形成されたパターンの位置を計測する位置計測方
法において；前記ステージを目標速度まで加速移動させ
る際の、速度と時間との関係を示した第１の情報を記憶
する第１記憶工程と；前記第１の情報に従い、前記ステ
ージを前記初期静止位置から段階的に加速させて前記目
標速度に到達させる加速工程と；前記加速工程におい
て、前記第１の情報から読み出される速度データとその
時の時間データに基づき、前記ステージの前記初期静止
位置からの移動距離を算出する距離算出工程と；前記加
速工程において読み出された速度データと前記算出され
た移動距離とに基づき、前記ステージの速度と距離との
関係を示す第２の情報を記憶する第２記憶工程と；前記
ステージが前記目標速度に達した後、当該ステージを前
記第２の情報に従い段階的に減速させて目標位置に停止
させる減速工程と；前記ステージが前記目標位置に停止
した状態で、前記被測定基板上のパターンの位置を検出
する位置検出工程とを含むことを特徴とする位置測定方
法。 - 【請求項５】 移動対象物を初期静止位置から移動させ
て目標位置に停止させる位置決め装置において、 前記移動対象物を目標速度まで加速移動させる際の、速
度と時間との関係を示した第１の情報を記憶する第１記
憶手段と；前記第１の情報に従い、前記移動対象物を前
記初期静止位置から段階的に加速させて目標速度に到達
させる駆動手段と；前記移動対象物を加速移動させてい
る間に、前記第１の情報から読み出される速度データと
その時の時間データに基づき、前記移動対象物の前記初
期静止位置からの移動距離を算出する距離算出手段と；
前記読み出された速度データと前記算出された移動距離
とに基づき、前記移動対象物の速度と距離との関係を示
す第２の情報を記憶する第２記憶手段と；前記移動対象
物が前記目標速度に達した後、当該移動対象物を前記第
２の情報に従い段階的に減速させて目標位置に停止させ
る停止手段とを含むことを特徴とする位置決め装置。 - 【請求項６】 ステージ上に載置された被測定基板を初
期静止位置から移動させて目標位置に停止させ、当該基
板上に形成されたパターンの位置を計測する位置計測装
置において；前記ステージを目標速度まで加速移動させ
る際の、速度と時間との関係を示した第１の情報を記憶
する第１記憶手段と；前記第１の情報に従い、前記ステ
ージを前記初期静止位置から段階的に加速させて目標速
度に到達させる駆動手段と；前記移動対象物を加速移動
させている間に、前記第１の情報から読み出される速度
データとその時の時間データに基づき、前記移動対象物
の前記初期静止位置からの移動距離を算出する距離算出
手段と；前記読み出された速度データと前記算出された
移動距離とに基づき、前記移動対象物の速度と距離との
関係を示す第２の情報を記憶する第２記憶手段と；前記
移動対象物が前記目標速度に達した後、当該移動対象物
を前記第２の情報に従い段階的に減速させて目標位置に
停止させる停止手段と；前記ステージが前記目標位置に
停止した状態で、前記被測定基板上のパターンの位置を
検出する位置検出手段とを含むことを特徴とする位置測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20377195A JPH0934530A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 位置決め方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20377195A JPH0934530A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 位置決め方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0934530A true JPH0934530A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16479540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20377195A Pending JPH0934530A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 位置決め方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0934530A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007181379A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Brother Ind Ltd | モータ制御方法及びモータ制御装置 |
| CN120033132A (zh) * | 2023-11-23 | 2025-05-23 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 校准方法、顶针装置及调平方法 |
-
1995
- 1995-07-18 JP JP20377195A patent/JPH0934530A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007181379A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Brother Ind Ltd | モータ制御方法及びモータ制御装置 |
| CN120033132A (zh) * | 2023-11-23 | 2025-05-23 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 校准方法、顶针装置及调平方法 |
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