JPH0936080A - 加工済シリコンインゴットの洗浄方法 - Google Patents

加工済シリコンインゴットの洗浄方法

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JPH0936080A
JPH0936080A JP7201745A JP20174595A JPH0936080A JP H0936080 A JPH0936080 A JP H0936080A JP 7201745 A JP7201745 A JP 7201745A JP 20174595 A JP20174595 A JP 20174595A JP H0936080 A JPH0936080 A JP H0936080A
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cleaning
cutting
processed silicon
hot water
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Yoshihiro Suzuki
嘉裕 鈴木
Koichi Kato
晃一 加藤
Keiichi Takami
敬一 高見
Ryoichi Kawamura
良一 河村
Takehiro Watanabe
丈洋 渡辺
Masahiro Kosako
雅博 小迫
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Toray Engineering Co Ltd
MEMC Japan Ltd
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M II M C KK
Toray Engineering Co Ltd
MEMC Japan Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハを形成する為の切断工程を終えた加工
済シリコンインゴットを薬液洗浄工程に送って洗浄する
際、高価な洗浄液の短期間劣化を防止すると共に液管理
の容易化を図る。 【構成】 複数のウエハを形成する為の切断工程を終え
た加工済シリコンインゴット２に対してノズル１２ａ〜
１２ｇから加圧温水を噴射し、かかるインゴット２及び
カーボンブロック４に形成されている狭小の切断スリッ
ト内に付着しているスラリーを除去した後、薬液洗浄工
程に送って洗浄する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、加工済シリコンインゴ
ットの洗浄方法、更に詳しくは、複数のウエハを形成す
る為の切断工程を終えたシリコンインゴットの洗浄方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知の如く、ウエハは、一定長の円形棒
状体であるシリコンインゴットを、例えば、８８０μｍ
といった一定の厚さに切断して形成されるが、その際、
シリコンインゴットは、切断用取付治具及びカーボンブ
ロックを介して保持された姿（図１参照）で切断加工部
にセットされて一般にワイヤーソーで切断され、そし
て、この切断工程を終えた加工済シリコンインゴット
は、そのままの姿で後工程の薬液洗浄工程へ送られて洗
浄されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、かかる切断
工程において使用される切断研磨粉やオイル等が、例え
ば、２５０μｍといった狭小の切断スリットに付着し、
それが薬液洗浄工程へ運ばれて、ここの負荷を高めて高
価な洗浄液を短期間（又は短時間）で劣化させる為、洗
浄液の使用量が多くなってコストダウン化が妨げられて
いたと共に液管理が煩しかった。
【０００４】本発明は、このような欠点に鑑み、それを
解決すべく鋭意検討の結果、ウエハを形成する為の切断
工程を終えたシリコンインゴットを直接、薬液洗浄工程
へ送って洗浄しないで、温水吹き付け洗浄を行った上で
薬液洗浄工程へ送って洗浄するようにすることにより、
高価な洗浄液の短期間劣化を防止し得てコストダウン化
を図ることができると共に液管理の容易化も図ることが
できることを見い出したものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明に係る
加工済シリコンインゴットの洗浄方法は、複数のウエハ
を形成する為の切断工程を終えたシリコンインゴット
を、切断用取付治具に保持したままの姿で温水吹き付け
洗浄した後、薬液洗浄を行うことを特徴とするものであ
る。なお、切断工程においては、ワイヤーソーを用いる
のが好ましい。
【０００６】
【実施例】図１において、ウエハを形成する為の切断工
程を終えたシリコンインゴット、すなわち、一定長の円
形棒状体であるシリコンインゴットを、ワイヤーソーを
用いて一定の厚さ（例えば、８８０μｍ）に切断して複
数のウエハ１を形成した加工済シリコンインゴット２が
示されているが、このインゴット２は、切断用取付治具
３に接着されているカーボンブロック４に接着されて保
持されている。
【０００７】なお、切断用取付治具３は、切断加工しよ
うとするシリコンインゴットを、その加工部にセットす
る為のものであると共にカーボンブロック４は、ワイヤ
ーソーでシリコンインゴットを切断するに際に切断用取
付治具３の損傷を防止する為のものである。
【０００８】また、加工済シリコンインゴット２及びカ
ーボンブロック４に、狭小（例えば、２５０μｍ）の切
断スリット５が形成されているが、ここに、切断に際し
て使用された切断研磨粉やオイル等（以下、スラリーと
いう。）が付着されている。なお、このスラリーは、高
粘度性のものであって、これが狭小の切断スリット５の
奥深くまで付着している。
【０００９】その為、この付着スラリーが、後工程の薬
液洗浄工程に運ばれると、洗浄液が劣化され易い。そこ
で、本発明においては、これを前洗浄、すなわち、温水
吹き付け洗浄を行って薬液洗浄工程に送るようにしてい
る。
【００１０】図２，３において、かかる温水吹き付け洗
浄態様が示されているが、図２は正面図、図３は図２の
左側面図である。両図において、ウエハ１を形成する為
の切断断工程を終えた加工済シリコンインゴット２は、
そのままの姿で温水吹き付け洗浄装置の所に、作業員に
より運ばれて来る。そして、作業員が、加工済シリコン
インゴット２を、温水吹き付け洗浄装置に備えられてい
る移送テーブル７上に載置し、このテーブル７を押して
温水吹き付け洗浄部Ａに移動させる。
【００１１】次いで、加工済シリコンインゴット２を持
ち上げて、上方の左右のクランプ８に係止させる。な
お、加工済シリコンインゴット２は、切断用取付治具３
を介してクランプ８に係止されるが、クランプ８は、エ
アーシリンダー９により揺動し得るように装置フレーム
１０に装着されている。
【００１２】その為、図４において示されているよう
に、両クランプ８を水平に位置せしめた状態において、
それに加工済シリコンインゴット２を係止させ、次い
で、図５において示されているように、両クランプ８を
上方に突出させた状態に揺動せしめることにより、加工
済シリコンインゴット２を、その下端が移送テーブル７
の上方に位置されるようにセットすることができる。
【００１３】以下、このようにして、加工済シリコンイ
ンゴット２を温水吹き付け洗浄部Ａにセットし得ると、
移送テーブル７をここから元の位置にリターンさせた
後、続いて、切換弁１１を所定に制御して、ノズル１２
群から温水を加工済シリコンインゴット２に吹き付け
る。
【００１４】その際、温水は、高圧ポンプ１３を介して
温水タンク１４から供給されるが、このタンク１４は、
ヒーター、液温計、液面計等を備え、６０℃前後の温水
の一定量を貯えている。また、ノズル１２群が装着され
ているアーム１５が、図２において右側へ移動され、二
点鎖線で示されている位置１５ａまで移動されると、左
側へ移動され、このように洗浄中、左右に所定回数往復
動される。この移動制御は、移動装置１６により行われ
る。
【００１５】移動装置１６は、図６において拡大されて
示されているように、装置フレーム１０に装着されてい
る一対のレール２０に係合されたスライドベース２１を
備え、このベース２１をモータ２２で移動制御すること
により、それに懸装されているアーム１５を所定位置に
移動させることができる。
【００１６】なお、スライドベース２１は、モータ２２
が装着されている方の駆動側の鎖車２３ａと、それと反
対側の従動側の鎖車２３ｂとに掛け渡されているエンド
レスチェーン２４に係合されており、従って、モータ２
２の正逆回転制御により、図２において左右方向に往復
動され、かつ、その際、モータ２２の正逆回転制御がセ
ンサー２５ａ，２５ｂ等により所定の制御信号を得て行
われる。また、インゴットの長さに対応した洗浄ストロ
ークを選定することにより、使用水量の節約を図ること
ができる。
【００１７】一方、このようにして往復動されるアーム
１５に装着されているノズル１２群から温水が噴射され
る。この態様が図７，８において示されている。両図に
おいて、７個のノズル１２ａ〜１２ｇが示されている
が、最初に上方のノズル１２ａ，１２ｂから噴射され、
次いで、アーム１５の所定回数の左右往復動の後、その
下方の１２ｃから噴射される。
【００１８】以下、同様に、続いて、ノズル１２ｄ，１
２ｅから噴射された後、最後に、ノズル１２ｆ，１２ｇ
から噴射される。このような噴射により、上方の付着ス
ラリーから順次、除去して、それを流下させることがで
きるので、効果的に洗浄することができる。
【００１９】なお、切換弁１１を経て送られて来る温水
は加圧されているが、この高加圧温水は、耐圧ホース３
０ａ，３０ｂ，３０ｃから各ノズル１２ａ〜ｇに送られ
る。また、各ノズル１２ａ〜ｇが装着されている管路２
６ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂ及び２８は、取付具３
１，３２ａ，３２ｂ，３３，３４を介してアーム１５に
装着されている。
【００２０】また、加工済シリコンインゴット２から流
下する汚水は、トレー３５（図３参照）を介して廃水タ
ンク３６に貯えられるが、上述の前洗浄を終えると、空
荷の移送テーブル７を温水吹き付け洗浄部Ａに移動さ
せ、かつ、両クランプ８を水平に位置せしめた状態にお
いて加工済シリコンインゴット２を取り外して移送テー
ブル７上に載置し、それを、ここから元の位置へリター
ンさせる。これは作業員により行われる。
【００２１】次いで、前洗浄された加工済シリコンイン
ゴット２は、切断用取付治具３に保持されたままの姿で
後工程の薬液洗浄工程に送られて洗浄される。その際、
かかる前洗浄により、切断工程で付着したスラリーが十
分に除去されているので、薬液洗浄工程の負荷を小さく
することができ、従って、界面活性剤や特殊なオイル等
を含有の高価な洗浄液が短期間（又は短時間）で劣化さ
れてしまうのを防止し得てコストダウン化を図ることが
できると共に液管理の容易化も図ることができる。
【００２２】なお、前提となる切断工程としては、油分
汚れが激しく、かつ、狭い切断間隙が形成されるワイヤ
ーソーを用いる場合等が挙げられ、このような切断工程
を終えた加工済シリコンインゴット２を前洗浄、すなわ
ち、温水吹き付け洗浄するこの効果が顕著である。
【００２３】また、温水吹き付け洗浄に用いられるノズ
ル１２ａ〜１２ｇは、狭小の切断スリット５内に温水を
噴射せしめる関係上、コーン型のものよりも、扇型のも
のの方が好ましく、噴射角度は一般的には９０°にすれ
ばよいが、これに限定されず、ノズルの装着個数等を考
慮して６０°〜１２０°の範囲から適宜に選択される。
また、温水吹き付け面との距離については可能な限り接
近させるのが好ましく、この距離が長いと、噴射流が広
がると共に水勢が劣化して十分な洗浄効果を得るのが困
難になる。
【００２４】また、ノズル１２ａ〜１２ｇの装着角度
は、スラリーの流れを考慮して下向きに３０°〜６０°
の範囲において所定角度に調整し得るように装着するの
が好ましく、更に、加工済シリコンインゴット２等に対
して吹き付ける加圧温水は、１０〜３０ｋｇ／ｃｍ2 、
４０〜６０℃前後に制御するのが好ましく、その吹き付
け量は、ノズル１個当り５〜１０Ｌ／ｍｉｎが好まし
い。
【００２５】また、薬液洗浄工程を終えた加工済シリコ
ンインゴット２は、カーボンブロック４から離別される
が、これは、６０℃の３〜５％酢酸水溶液に浸漬して接
着剤を溶解することにより行われる。また、その後、別
工程において、切断用取付治具３からカーボンブロック
４から離別され、このブロック４は廃棄処分されると共
に切断用取付治具３は再使用される。
【００２６】
【発明の効果】上述の如く、請求項１，２に記載の発明
によると、ウエハを形成する為の切断工程においてシリ
コンインゴットに付着するスラリーを有効に除去し得
て、それが後工程の薬液洗浄工程に運ばれるのを防止す
ることができ、従って、薬液洗浄工程の負荷を小さくす
ることができて、界面活性剤や特殊なオイル等を含有の
高価な洗浄液が短期間（又は短時間）で劣化されてしま
うのを防止し得てコストダウン化を図ることができると
共に液管理の容易化も図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】加工済シリコンインゴットの保持態様を示す図
である。
【図２】前洗浄装置の正面図である。
【図３】図２の左側面図である。
【図４】加工済シリコンインゴットの支持態様を示す図
である。
【図５】加工済シリコンインゴットの洗浄中における支
持態様を示す図である。
【図６】ノズル群が装着されているアームを往復動させ
る移動装置の正面図である。
【図７】アームに対するノズル群の装着態様を示す正面
図である
【図８】図７の右側面図である。
【符号の説明】
１ ウエハ ２ 加工済シリコンインゴット ３ 切断用取付治具 ４ カーボンブロック ５ 切断スリット １２ａ〜１２ｇ ノズル １３ 高圧ポンプ １４ 温水タンク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高見 敬一 栃木県宇都宮市駅前通り二丁目２番20号駅 前通りハイツ507号 (72)発明者 河村 良一 静岡県三島市4845番地東レエンジニアリン グ株式会社内 (72)発明者 渡辺 丈洋 静岡県三島市4845番地東レエンジニアリン グ株式会社内 (72)発明者 小迫 雅博 静岡県三島市4845番地東レエンジニアリン グ株式会社内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数のウエハを形成する為の切断工程を
    終えたシリコンインゴットを、切断用取付治具に保持し
    たままの姿で温水吹き付け洗浄した後、薬液洗浄を行う
    ことを特徴とする加工済シリコンインゴットの洗浄方
    法。
  2. 【請求項２】 切断工程においてワイヤーソーを用いる
    ことを特徴とする請求項１に記載の加工済シリコンイン
    ゴットの洗浄方法。
JP7201745A 1995-07-12 1995-07-13 加工済シリコンインゴットの洗浄方法 Pending JPH0936080A (ja)

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