JPH0936097A - 温度調整装置 - Google Patents
温度調整装置Info
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- JPH0936097A JPH0936097A JP20279695A JP20279695A JPH0936097A JP H0936097 A JPH0936097 A JP H0936097A JP 20279695 A JP20279695 A JP 20279695A JP 20279695 A JP20279695 A JP 20279695A JP H0936097 A JPH0936097 A JP H0936097A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 設備本体の設定温度の変更に要する時間を短
縮することができる温度調整装置を提供する。 【構成】 設備本体１１に対して並列接続された２台の
温度調整器１２、１３は、それぞれ互いに異なる温度に
設定された熱交換媒体（例えば水）を保有する。これら
の温度調整器のうちのいずれか一方の熱交換媒体が設備
本体１１内を循環することにより設備本体１１の所定部
分の温度をそれぞれ対応する温度に保持する。温度調整
器１２または１３のいずれかを使用するかの切替えは、
バルブ１４〜１７の開閉により行う。従来と異なり温度
調整器による熱交換媒体の加熱時間および冷却時間はゼ
ロであり、バルブの切替えのみによって設備本体１１内
部を循環する熱交換媒体の温度を速やかに変更すること
ができるため、設備本体１１の温度変更を極めて迅速に
行うことができる。
縮することができる温度調整装置を提供する。 【構成】 設備本体１１に対して並列接続された２台の
温度調整器１２、１３は、それぞれ互いに異なる温度に
設定された熱交換媒体（例えば水）を保有する。これら
の温度調整器のうちのいずれか一方の熱交換媒体が設備
本体１１内を循環することにより設備本体１１の所定部
分の温度をそれぞれ対応する温度に保持する。温度調整
器１２または１３のいずれかを使用するかの切替えは、
バルブ１４〜１７の開閉により行う。従来と異なり温度
調整器による熱交換媒体の加熱時間および冷却時間はゼ
ロであり、バルブの切替えのみによって設備本体１１内
部を循環する熱交換媒体の温度を速やかに変更すること
ができるため、設備本体１１の温度変更を極めて迅速に
行うことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は各種設備の温度調整を行
うための温度調整装置に係り、例えば、半導体製造装置
等のチャンバ内の温度調整を行う温度調整装置に関す
る。
うための温度調整装置に係り、例えば、半導体製造装置
等のチャンバ内の温度調整を行う温度調整装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置をはじめとする各種の設
備においては、その一部を、プロセス上必要とされる温
度に保持することを要求されることが多い。例えば、半
導体製造装置であるドライエッチング装置やＣＶＤ装置
等では、チャンバ内、あるいは電極等を所定温度に保持
する必要がある。
備においては、その一部を、プロセス上必要とされる温
度に保持することを要求されることが多い。例えば、半
導体製造装置であるドライエッチング装置やＣＶＤ装置
等では、チャンバ内、あるいは電極等を所定温度に保持
する必要がある。
【０００３】このような要求に応えるべく、従来より、
温度調整の対象である設備本体の外部に専用の温度調整
器（チラー等）を設け、これによって冷却または加熱し
た温度調整媒体としての水を設備本体に循環させて温度
調整を行うようになっている。この場合、温度調整器は
１台の設備本体に対して１台設けられていた。
温度調整の対象である設備本体の外部に専用の温度調整
器（チラー等）を設け、これによって冷却または加熱し
た温度調整媒体としての水を設備本体に循環させて温度
調整を行うようになっている。この場合、温度調整器は
１台の設備本体に対して１台設けられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来、温
度調整器は１台の設備本体に対して１台設けられていた
ので、プロセス対象物の変更に伴って設備本体の設定温
度（プロセス温度）を変更する必要がある場合、温度調
整器から流出する循環水の温度の変更には所定の時間を
要することから、設備本体の設定温度変更の完了までに
長時間を要するという問題点があった。
度調整器は１台の設備本体に対して１台設けられていた
ので、プロセス対象物の変更に伴って設備本体の設定温
度（プロセス温度）を変更する必要がある場合、温度調
整器から流出する循環水の温度の変更には所定の時間を
要することから、設備本体の設定温度変更の完了までに
長時間を要するという問題点があった。
【０００５】例えば、図４に示すように、プロセス温度
を２５°Ｃから５０°Ｃに変更すべく時刻ｔ1 において
温度調整器によって循環水の加熱を開始した場合、これ
が設備本体内を循環して設備温度を上昇させるまでには
タイムラグがあり、時刻ｔ2で設定温度５０°Ｃに達す
る。同様に、プロセス温度を５０°Ｃから２５°Ｃに変
更すべく時刻ｔ3 において温度調整器によって循環水の
冷却を開始した場合、これが設備内を循環して設備温度
を下降させるまでにはタイムラグがあり、時刻ｔ4 で設
定温度２５°Ｃに達する。この場合、温度の上昇または
下降に要する時間は、設備の熱容量や温度調整器の加熱
・冷却能力にもよるが、例えば数十分に達することもあ
った。
を２５°Ｃから５０°Ｃに変更すべく時刻ｔ1 において
温度調整器によって循環水の加熱を開始した場合、これ
が設備本体内を循環して設備温度を上昇させるまでには
タイムラグがあり、時刻ｔ2で設定温度５０°Ｃに達す
る。同様に、プロセス温度を５０°Ｃから２５°Ｃに変
更すべく時刻ｔ3 において温度調整器によって循環水の
冷却を開始した場合、これが設備内を循環して設備温度
を下降させるまでにはタイムラグがあり、時刻ｔ4 で設
定温度２５°Ｃに達する。この場合、温度の上昇または
下降に要する時間は、設備の熱容量や温度調整器の加熱
・冷却能力にもよるが、例えば数十分に達することもあ
った。
【０００６】このように、従来の温度調整装置では、設
備本体のプロセス温度変更に多大の時間を要していたた
め、同一の設備で多品種の製造等を行う場合に、工程条
件の切り替えを円滑・迅速に行うことができず、時間ロ
スが大きいという問題点があった。
備本体のプロセス温度変更に多大の時間を要していたた
め、同一の設備で多品種の製造等を行う場合に、工程条
件の切り替えを円滑・迅速に行うことができず、時間ロ
スが大きいという問題点があった。
【０００７】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その課題は、設備本体の設定温度の変更に要する
時間を短縮することができる温度調整装置を提供するこ
とにある。
ので、その課題は、設備本体の設定温度の変更に要する
時間を短縮することができる温度調整装置を提供するこ
とにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の温度調整
装置は、温度調整の対象である設備本体に対して並列接
続可能に配置され、各々保有する熱交換媒体をそれぞれ
異なる温度に維持する複数の温度調整器と、前記設備本
体と各温度調整器との間にそれぞれ設けられ、その選択
的な開閉によっていずれかの温度調整器が保有する熱交
換媒体を前記設備本体に循環させるバルブとを備えてい
る。
装置は、温度調整の対象である設備本体に対して並列接
続可能に配置され、各々保有する熱交換媒体をそれぞれ
異なる温度に維持する複数の温度調整器と、前記設備本
体と各温度調整器との間にそれぞれ設けられ、その選択
的な開閉によっていずれかの温度調整器が保有する熱交
換媒体を前記設備本体に循環させるバルブとを備えてい
る。
【０００９】請求項２記載の温度調整装置は、請求項１
記載の温度調整装置において、さらに、前記設備本体内
に流入する熱交換媒体の温度を検出する温度検出センサ
と、この温度検出センサによる検出温度に応じて前記各
バルブを開閉させ、設備本体内に流入する熱交換媒体の
温度が所定温度になるように制御するバルブ制御手段と
を備えている。
記載の温度調整装置において、さらに、前記設備本体内
に流入する熱交換媒体の温度を検出する温度検出センサ
と、この温度検出センサによる検出温度に応じて前記各
バルブを開閉させ、設備本体内に流入する熱交換媒体の
温度が所定温度になるように制御するバルブ制御手段と
を備えている。
【００１０】
【作用】請求項１記載の温度調整装置では、各バルブの
選択的な開閉により、いずれかの温度調整器が保有する
熱交換媒体が設備本体に循環し、設備本体がこの熱交換
媒体の温度によって定まる所定の温度に保持される。
選択的な開閉により、いずれかの温度調整器が保有する
熱交換媒体が設備本体に循環し、設備本体がこの熱交換
媒体の温度によって定まる所定の温度に保持される。
【００１１】請求項２記載の温度調整装置では、温度検
出センサの出力に応じて各バルブの開度制御が行われ、
各温度調整器からの熱交換媒体の流量が調節される。こ
れにより、設備本体内に流入する熱交換媒体の温度が所
定温度になるように制御され、設備本体は、熱交換媒体
の温度に対応した所定の温度に保持される。
出センサの出力に応じて各バルブの開度制御が行われ、
各温度調整器からの熱交換媒体の流量が調節される。こ
れにより、設備本体内に流入する熱交換媒体の温度が所
定温度になるように制御され、設備本体は、熱交換媒体
の温度に対応した所定の温度に保持される。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００１３】図１は本発明の一実施例に係る温度調整装
置の概略構成を表すものである。本装置は、ドライエッ
チング装置やＣＶＤ装置等の半導体製造装置としての設
備本体１１の所定部分（例えば、チャンバ内または電極
等）の温度を一定に調整するためのもので、設備本体１
１に対して並列接続された２台の温度調整器１２、１３
を備えている。温度調整器１２、１３は、それぞれ互い
に異なる温度に設定された熱交換媒体（例えば水）を保
有しており、この熱交換媒体が設備本体１１内を循環す
ることにより設備本体１１の所定部分の温度を一定に保
持できるようになっている。ここでは、温度調整器１２
が保有する熱交換媒体は設備本体１１の所定部分を２５
°Ｃに保持するのに必要な温度（２５°Ｃ＋α）に設定
され、温度調整器１３が保有する熱交換媒体は設備本体
１１の所定部分を５０°Ｃに保持するのに必要な温度
（５０°Ｃ＋β）に設定されているものとする。ここ
で、α、βは、周囲温度や設備本体１１の温度調整対象
部の熱容量等を考慮して適宜定められる。
置の概略構成を表すものである。本装置は、ドライエッ
チング装置やＣＶＤ装置等の半導体製造装置としての設
備本体１１の所定部分（例えば、チャンバ内または電極
等）の温度を一定に調整するためのもので、設備本体１
１に対して並列接続された２台の温度調整器１２、１３
を備えている。温度調整器１２、１３は、それぞれ互い
に異なる温度に設定された熱交換媒体（例えば水）を保
有しており、この熱交換媒体が設備本体１１内を循環す
ることにより設備本体１１の所定部分の温度を一定に保
持できるようになっている。ここでは、温度調整器１２
が保有する熱交換媒体は設備本体１１の所定部分を２５
°Ｃに保持するのに必要な温度（２５°Ｃ＋α）に設定
され、温度調整器１３が保有する熱交換媒体は設備本体
１１の所定部分を５０°Ｃに保持するのに必要な温度
（５０°Ｃ＋β）に設定されているものとする。ここ
で、α、βは、周囲温度や設備本体１１の温度調整対象
部の熱容量等を考慮して適宜定められる。
【００１４】温度調整器１２の出力口（ＯＵＴ）と温度
調整器１３の出力口（ＯＵＴ）は、それぞれバルブ１
４、１６を介して共に設備本体１１の入力口（ＩＮ）に
接続され、温度調整器１２の帰還口（ＩＮ）と温度調整
器１３の帰還口（ＩＮ）は、それぞれバルブ１５、１７
を介して共に設備本体１１の出力口（ＯＵＴ）に接続さ
れている。バルブ１４〜１７は、手動または自動によっ
て、全閉または全開状態にすることができるようになっ
ている。
調整器１３の出力口（ＯＵＴ）は、それぞれバルブ１
４、１６を介して共に設備本体１１の入力口（ＩＮ）に
接続され、温度調整器１２の帰還口（ＩＮ）と温度調整
器１３の帰還口（ＩＮ）は、それぞれバルブ１５、１７
を介して共に設備本体１１の出力口（ＯＵＴ）に接続さ
れている。バルブ１４〜１７は、手動または自動によっ
て、全閉または全開状態にすることができるようになっ
ている。
【００１５】以上のような構成の温度調整装置の動作を
説明する。ここでは、設備本体１１の所定部分（以下、
単に設備本体１１という。）の温度を２５°Ｃと５０°
Ｃとの間で相互に変更する場合について説明する。
説明する。ここでは、設備本体１１の所定部分（以下、
単に設備本体１１という。）の温度を２５°Ｃと５０°
Ｃとの間で相互に変更する場合について説明する。
【００１６】まず、当初の設備本体１１の設定温度が２
５°Ｃである場合において、これを５０°Ｃに変更する
場合について説明する。時刻ｔ1 以前は、温度調整器１
２のバルブ１４、１５が共に全開状態、温度調整器１３
のバルブ１６、１７が共に全閉状態になっている。この
ため、設備本体１１には温度調整器１２からの熱交換媒
体のみが循環し、設備本体１１は２５°Ｃに保持されて
いる。
５°Ｃである場合において、これを５０°Ｃに変更する
場合について説明する。時刻ｔ1 以前は、温度調整器１
２のバルブ１４、１５が共に全開状態、温度調整器１３
のバルブ１６、１７が共に全閉状態になっている。この
ため、設備本体１１には温度調整器１２からの熱交換媒
体のみが循環し、設備本体１１は２５°Ｃに保持されて
いる。
【００１７】この状態で、時刻ｔ1 において、温度調整
器１２のバルブ１４、１５を共に全閉状態にすると共
に、温度調整器１３のバルブ１６、１７を共に全開状態
にすると、温度調整器１２からの熱交換媒体の循環が停
止し、設備本体１１には温度調整器１３からの熱交換媒
体のみが循環するようになる。この場合、設備本体１１
には必要な温度（５０°Ｃ＋β）の熱交換媒体が直ちに
流入して循環するため、設備本体１１の温度は図２に示
すように速やかに上昇し、時刻ｔ2 ′において目標温度
（５０°Ｃ）に達する。ここで設備本体１１の温度上昇
所要時間（ｔ2 ′−ｔ1 ）は、熱交換媒体の流速、配管
の長さ、あるいは設備本体１１の熱容量等に依存する
が、これらのパラメータを最適化することにより、温度
上昇所要時間を数分程度にすることが可能である。
器１２のバルブ１４、１５を共に全閉状態にすると共
に、温度調整器１３のバルブ１６、１７を共に全開状態
にすると、温度調整器１２からの熱交換媒体の循環が停
止し、設備本体１１には温度調整器１３からの熱交換媒
体のみが循環するようになる。この場合、設備本体１１
には必要な温度（５０°Ｃ＋β）の熱交換媒体が直ちに
流入して循環するため、設備本体１１の温度は図２に示
すように速やかに上昇し、時刻ｔ2 ′において目標温度
（５０°Ｃ）に達する。ここで設備本体１１の温度上昇
所要時間（ｔ2 ′−ｔ1 ）は、熱交換媒体の流速、配管
の長さ、あるいは設備本体１１の熱容量等に依存する
が、これらのパラメータを最適化することにより、温度
上昇所要時間を数分程度にすることが可能である。
【００１８】一方、設備本体１１の温度が５０°Ｃに保
持されている場合に、時刻ｔ3 において、温度調整器１
３のバルブ１６、１７を共に全閉状態にすると共に、温
度調整器１２のバルブ１４、１５を共に全開状態にする
と、温度調整器１３からの熱交換媒体の循環が停止し、
設備本体１１には温度調整器１２からの熱交換媒体のみ
が循環するようになる。この場合も、設備本体１１には
必要な温度（２５°Ｃ＋α）の熱交換媒体が直ちに流入
して循環するため、設備本体１１の温度は図２に示すよ
うに速やかに下降し、時刻ｔ4 ′において目標温度（２
５°Ｃ）に達する。ここでも、設備本体１１の温度下降
所要時間（ｔ3 ′−ｔ4 ）は、熱交換媒体の流速、配管
の長さ、あるいは設備本体１１の熱容量等のパラメータ
を最適化することにより、温度下降所要時間を数分程度
にすることが可能である。
持されている場合に、時刻ｔ3 において、温度調整器１
３のバルブ１６、１７を共に全閉状態にすると共に、温
度調整器１２のバルブ１４、１５を共に全開状態にする
と、温度調整器１３からの熱交換媒体の循環が停止し、
設備本体１１には温度調整器１２からの熱交換媒体のみ
が循環するようになる。この場合も、設備本体１１には
必要な温度（２５°Ｃ＋α）の熱交換媒体が直ちに流入
して循環するため、設備本体１１の温度は図２に示すよ
うに速やかに下降し、時刻ｔ4 ′において目標温度（２
５°Ｃ）に達する。ここでも、設備本体１１の温度下降
所要時間（ｔ3 ′−ｔ4 ）は、熱交換媒体の流速、配管
の長さ、あるいは設備本体１１の熱容量等のパラメータ
を最適化することにより、温度下降所要時間を数分程度
にすることが可能である。
【００１９】このように、本実施例では、従来と異なり
温度調整器による熱交換媒体の加熱時間および冷却時間
がゼロであって、バルブの切り替えのみによって設備本
体１１内部を循環する熱交換媒体の温度を速やかに変更
することができるため、設備本体１１の温度変更を極め
て迅速に行うことができる。なお、本実施例では、２台
の温度調整装置を設ける場合について説明したが、３台
以上の温度調整装置を用意してそれぞれ異なる温度の熱
交換媒体を選択的に循環させるようにしてもよく、これ
によってより多くの品種の製造を１台の設備で行う場合
にも迅速に対応することができる。
温度調整器による熱交換媒体の加熱時間および冷却時間
がゼロであって、バルブの切り替えのみによって設備本
体１１内部を循環する熱交換媒体の温度を速やかに変更
することができるため、設備本体１１の温度変更を極め
て迅速に行うことができる。なお、本実施例では、２台
の温度調整装置を設ける場合について説明したが、３台
以上の温度調整装置を用意してそれぞれ異なる温度の熱
交換媒体を選択的に循環させるようにしてもよく、これ
によってより多くの品種の製造を１台の設備で行う場合
にも迅速に対応することができる。
【００２０】図３は本発明の他の実施例に係る温度調整
装置の概略構成を表すものである。ここで、上記実施例
（図１）と同一の構成要素には同一の符号を付すものと
する。
装置の概略構成を表すものである。ここで、上記実施例
（図１）と同一の構成要素には同一の符号を付すものと
する。
【００２１】この温度調整装置は、図１の装置に加え
て、設備本体１１の入力口付近に温度センサ２１と、こ
の温度センサ２１から出力される検出信号２４に応じ、
開度制御信号２５によってバルブ１４〜１７の開度制御
を行うバルブ制御部２２とを備えている。バルブ制御部
２２には、外部から、２５°Ｃと５０°Ｃの間の任意の
温度設定が可能となっている。バルブ１４〜１７は、全
開状態と全閉状態のほか、任意の開度状態を維持できる
構造を有している。その他は図１と同一構成である。
て、設備本体１１の入力口付近に温度センサ２１と、こ
の温度センサ２１から出力される検出信号２４に応じ、
開度制御信号２５によってバルブ１４〜１７の開度制御
を行うバルブ制御部２２とを備えている。バルブ制御部
２２には、外部から、２５°Ｃと５０°Ｃの間の任意の
温度設定が可能となっている。バルブ１４〜１７は、全
開状態と全閉状態のほか、任意の開度状態を維持できる
構造を有している。その他は図１と同一構成である。
【００２２】以上のような構成の温度調整装置の動作を
説明する。まず、バルブ制御部２２に対し、外部から温
度設定を行う。入力された温度は、バルブ制御部２２内
の図示しないメモリに記憶され、その後の処理において
適宜参照される。この場合に設定可能な温度は、温度調
整器１２が保有する熱交換媒体のみを設備本体１１に循
環させた場合に設定可能な温度（２５°Ｃ）と、温度調
整器１３が保有する熱交換媒体のみを設備本体１１に循
環させた場合に設定可能な温度（５０°Ｃ）との間の温
度である。
説明する。まず、バルブ制御部２２に対し、外部から温
度設定を行う。入力された温度は、バルブ制御部２２内
の図示しないメモリに記憶され、その後の処理において
適宜参照される。この場合に設定可能な温度は、温度調
整器１２が保有する熱交換媒体のみを設備本体１１に循
環させた場合に設定可能な温度（２５°Ｃ）と、温度調
整器１３が保有する熱交換媒体のみを設備本体１１に循
環させた場合に設定可能な温度（５０°Ｃ）との間の温
度である。
【００２３】温度設定が完了すると、バルブ制御部２２
は、温度センサ２１からの検出信号２４が示す温度とメ
モリに設定された設定温度とを比較し、両者が等しくな
るようにバルブ１４〜１７の開閉を制御する。具体的に
は、温度センサ２１から得られた温度が設定温度以上の
ときは、温度調整器１３のバルブ１６、１７の開度を小
さくして高温（５０°Ｃ＋β）の熱交換媒体の流量を絞
ると共に、温度調整器１２のバルブ１４、１５の開度を
大きくして低温（２５°Ｃ＋α）の熱交換媒体の流量を
増加させる。一方、温度センサ２１から得られた温度が
設定温度以下の１きは、温度調整器１２のバルブ１４、
１５の開度を小さくして低温（２５°Ｃ＋α）の熱交換
媒体の流量を絞ると共に、温度調整器１３のバルブ１
６、１７の開度を大きくして高温（５０°Ｃ＋β）の熱
交換媒体の流量を増加させる。このような制御を繰り返
し行うことにより、設備本体１１の入力口（ＩＮ）から
流入する熱交換媒体の温度が設定温度に保持され、設備
本体１１はこれに対応した温度に保持されることとな
る。この場合、バルブの開度制御を短い周期で行うこと
により、熱交換媒体の設備本体１１への流入温度が設定
温度に達するまでの時間を十分短くすることが可能であ
る。
は、温度センサ２１からの検出信号２４が示す温度とメ
モリに設定された設定温度とを比較し、両者が等しくな
るようにバルブ１４〜１７の開閉を制御する。具体的に
は、温度センサ２１から得られた温度が設定温度以上の
ときは、温度調整器１３のバルブ１６、１７の開度を小
さくして高温（５０°Ｃ＋β）の熱交換媒体の流量を絞
ると共に、温度調整器１２のバルブ１４、１５の開度を
大きくして低温（２５°Ｃ＋α）の熱交換媒体の流量を
増加させる。一方、温度センサ２１から得られた温度が
設定温度以下の１きは、温度調整器１２のバルブ１４、
１５の開度を小さくして低温（２５°Ｃ＋α）の熱交換
媒体の流量を絞ると共に、温度調整器１３のバルブ１
６、１７の開度を大きくして高温（５０°Ｃ＋β）の熱
交換媒体の流量を増加させる。このような制御を繰り返
し行うことにより、設備本体１１の入力口（ＩＮ）から
流入する熱交換媒体の温度が設定温度に保持され、設備
本体１１はこれに対応した温度に保持されることとな
る。この場合、バルブの開度制御を短い周期で行うこと
により、熱交換媒体の設備本体１１への流入温度が設定
温度に達するまでの時間を十分短くすることが可能であ
る。
【００２４】なお、温度センサ２１を配置した配管部分
の温度と設備本体１１の温度との間には、配管の長さや
設備本体１１の熱容量等に依存する温度差が生ずること
が考えられるので、この差分を予め実験等によって求め
ておき、この差分を考慮した温度設定を行うようにする
ことでより正確な温度管理が可能となる。また、温度セ
ンサ２１を設備本体１１内に配置するようにすれば、よ
り直接的かつ正確に温度管理を行うことができる。
の温度と設備本体１１の温度との間には、配管の長さや
設備本体１１の熱容量等に依存する温度差が生ずること
が考えられるので、この差分を予め実験等によって求め
ておき、この差分を考慮した温度設定を行うようにする
ことでより正確な温度管理が可能となる。また、温度セ
ンサ２１を設備本体１１内に配置するようにすれば、よ
り直接的かつ正確に温度管理を行うことができる。
【００２５】なお、本実施例では、２台の温度調整器に
よって２５°Ｃと５０°Ｃの間の温度を任意に設定でき
るようにしたが、これには限られず、それぞれ異なる温
度の熱交換媒体を保有する３台以上の温度調整器を用意
して、これらを適宜組合せて使用することにより、より
広い温度範囲での温度設定が可能となる。例えば、単独
で使用した場合に設備本体１１をそれぞれ２５°Ｃ、５
０°Ｃ、７５°Ｃに設定することができるような温度調
整器を３台（Ａ，Ｂ，Ｃとする）用意し、２５°Ｃ〜５
０°Ｃの範囲ではＡおよびＢを使用し、５０°Ｃ〜７５
°Ｃの場合ではＢおよびＣを使用するようにすれば、２
５°Ｃ〜７５°Ｃという広い範囲での任意の温度設定が
可能となる。
よって２５°Ｃと５０°Ｃの間の温度を任意に設定でき
るようにしたが、これには限られず、それぞれ異なる温
度の熱交換媒体を保有する３台以上の温度調整器を用意
して、これらを適宜組合せて使用することにより、より
広い温度範囲での温度設定が可能となる。例えば、単独
で使用した場合に設備本体１１をそれぞれ２５°Ｃ、５
０°Ｃ、７５°Ｃに設定することができるような温度調
整器を３台（Ａ，Ｂ，Ｃとする）用意し、２５°Ｃ〜５
０°Ｃの範囲ではＡおよびＢを使用し、５０°Ｃ〜７５
°Ｃの場合ではＢおよびＣを使用するようにすれば、２
５°Ｃ〜７５°Ｃという広い範囲での任意の温度設定が
可能となる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の温
度調整装置によれば、それぞれ異なる温度の熱交換媒体
を保有する複数の温度調整器を設備本体に並列接続可能
に配置すると共に、バルブの選択的な開閉により、いず
れかの温度調整器が保有する熱交換媒体を設備本体に循
環させるようにしたので、従来と異なり温度調整器によ
る熱交換媒体の加熱時間および冷却時間がゼロとなる。
したがって、バルブの切り替えのみによって設備本体内
部を循環する熱交換媒体の温度を速やかに変更すること
ができ、設備本体の温度変更を極めて迅速に行うことが
できる。特に、１台の設備で多品種の製品を製造する場
合のように、工程条件を頻繁に変更する必要がある場
合、変更に要するロスタイムを効果的に低減することが
できる。
度調整装置によれば、それぞれ異なる温度の熱交換媒体
を保有する複数の温度調整器を設備本体に並列接続可能
に配置すると共に、バルブの選択的な開閉により、いず
れかの温度調整器が保有する熱交換媒体を設備本体に循
環させるようにしたので、従来と異なり温度調整器によ
る熱交換媒体の加熱時間および冷却時間がゼロとなる。
したがって、バルブの切り替えのみによって設備本体内
部を循環する熱交換媒体の温度を速やかに変更すること
ができ、設備本体の温度変更を極めて迅速に行うことが
できる。特に、１台の設備で多品種の製品を製造する場
合のように、工程条件を頻繁に変更する必要がある場
合、変更に要するロスタイムを効果的に低減することが
できる。
【００２７】請求項２記載の温度調整装置によれば、そ
れぞれ異なる温度の熱交換媒体を保有する複数の温度調
整器を設備本体に並列接続可能に配置すると共に、温度
検出センサの出力に応じた各バルブの開度制御によって
各温度調整器からの熱交換媒体の流量を調節するように
したので、設備本体内に流入する熱交換媒体の温度を迅
速に任意の温度に設定できる。このため、設備本体の設
定温度を迅速かつ任意に変更することが可能となる。
れぞれ異なる温度の熱交換媒体を保有する複数の温度調
整器を設備本体に並列接続可能に配置すると共に、温度
検出センサの出力に応じた各バルブの開度制御によって
各温度調整器からの熱交換媒体の流量を調節するように
したので、設備本体内に流入する熱交換媒体の温度を迅
速に任意の温度に設定できる。このため、設備本体の設
定温度を迅速かつ任意に変更することが可能となる。
【図１】本発明の一実施例に係る温度調整装置の概略構
成を表すブロック図である。
成を表すブロック図である。
【図２】この温度調整装置により設備本体を温度調整す
る場合の様子を表す特性図である。
る場合の様子を表す特性図である。
【図３】本発明の他の実施例に係る温度調整装置の概略
構成を表すブロック図である。
構成を表すブロック図である。
【図４】従来の温度調整装置により設備本体を温度調整
する場合の様子を表す特性図である。
する場合の様子を表す特性図である。
１１ 設備本体 １２ 温度調整器（低温側） １３ 温度調整器（高温側） １４，１５ バルブ（低温側） １６，１７ バルブ（高温側） ２１ 温度センサ ２２ バルブ制御部 ２５ 開度制御信号
Claims (2)
- 【請求項１】 温度調整の対象である設備本体に対して
並列接続可能に配置され、各々保有する熱交換媒体をそ
れぞれ異なる温度に維持する複数の温度調整器と、 前記設備本体と各温度調整器との間にそれぞれ設けら
れ、その選択的な開閉によっていずれかの温度調整器が
保有する熱交換媒体を前記設備本体に循環させるバルブ
とを備えたことを特徴とする温度調整装置。 - 【請求項２】 さらに、前記設備本体内に流入する熱交
換媒体の温度を検出する温度検出センサと、 この温度検出センサによる検出温度に応じて前記各バル
ブを開閉させ、設備本体内に流入する熱交換媒体の温度
が所定温度になるように制御するバルブ制御手段とを備
えたことを特徴とする請求項１記載の温度調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20279695A JPH0936097A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 温度調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20279695A JPH0936097A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 温度調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0936097A true JPH0936097A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16463340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20279695A Pending JPH0936097A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 温度調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0936097A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1995
- 1995-07-18 JP JP20279695A patent/JPH0936097A/ja active Pending
Cited By (12)
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