JPH0936280A - Package structure for resin encapsulation - Google Patents

Package structure for resin encapsulation

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Publication number
JPH0936280A
JPH0936280A JP18370495A JP18370495A JPH0936280A JP H0936280 A JPH0936280 A JP H0936280A JP 18370495 A JP18370495 A JP 18370495A JP 18370495 A JP18370495 A JP 18370495A JP H0936280 A JPH0936280 A JP H0936280A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
package structure
cavity
chip
base frame
Prior art date
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Pending
Application number
JP18370495A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takayoshi Higuchi
孝良 樋口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Publication of JPH0936280A publication Critical patent/JPH0936280A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 樹脂封止時における空孔の発生を防止し、ま
た、熱伝導性、吸湿性を改善できる樹脂封止用パッケー
ジ構造を提供する。 【解決手段】 チップ33を収容するキャビティ37が
ベースフレーム21に設けられ、このキャビティ37に
樹脂39を注入してチップ33を樹脂封止する樹脂封止
用パッケージ構造において、チップアタッチ面25に対
して鈍角を有して形成されるテーパ状のキャビティ内壁
面23を、ベースフレーム21に形成する。
(57) Abstract: [PROBLEMS] To provide a package structure for resin encapsulation that can prevent the generation of voids during resin encapsulation and can improve heat conductivity and hygroscopicity. A cavity 37 for housing a chip 33 is provided in a base frame 21, and a resin 39 is injected into the cavity 37 to seal the chip 33 in a resin sealing package structure. A tapered cavity inner wall surface 23 formed with an obtuse angle is formed on the base frame 21.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂封止用パッケ
ージの構造に関し、詳しくは、チップ収容部のキャビテ
ィ形状の改良に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure of a resin encapsulation package, and more particularly to improvement of a cavity shape of a chip accommodating portion.

【0002】[0002]

【従来の技術】セラミックパッケージなどで樹脂封止を
行うものの一つに、リニアセンサに用いられるセラミッ
クDIP(dual in-line package)がある。従来のセラ
ミックDIPは、図3に示すように、Al23 などから
なるベースフレーム1が用いられ、ベースフレーム1に
はチップ3を収容する凹状のキャビティ5が形成され
る。キャビティ5は、底面がチップアタッチ面7とな
り、キャビティ内壁面9がこのチップアタッチ面7と垂
直に形成された起立面となる。ベースフレーム1にはN
i-Fe 合金などからなるリードウフレーム11、及びA
l23 などからなるウィンドウフレーム13が低融点ガ
ラス15によりろう接される。そして、チップマウント
後には、凹状のキャビティ5内にシリコーン系などの樹
脂17が注入され、チップ3が樹脂封止されることによ
り、パッケージングが完了されていた。
2. Description of the Related Art One of the ceramic packages that are resin-sealed is a ceramic DIP (dual in-line package) used for a linear sensor. As shown in FIG. 3, a conventional ceramic DIP uses a base frame 1 made of Al 2 O 3 or the like, and a concave cavity 5 for accommodating a chip 3 is formed in the base frame 1. The bottom surface of the cavity 5 serves as a chip attach surface 7, and the inner wall surface 9 of the cavity serves as an upright surface formed perpendicularly to the chip attach surface 7. N for base frame 1
Lead frame 11 made of i-Fe alloy or the like, and A
The window frame 13 made of l 2 O 3 or the like is brazed by the low melting point glass 15. Then, after the chip mounting, the resin 17 such as silicone resin is injected into the concave cavity 5 and the chip 3 is resin-sealed, thereby completing the packaging.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
パッケージ構造では、キャビティ5の内壁面9がチップ
アタッチ面7に対して垂直に形成されていたため、チッ
プアタッチ面7と内壁面9との隅部に樹脂17が完全に
充填されない空孔部19が生じる場合があった。このよ
うな状況下で、パッケージ20が熱ストレスを受ける
と、パッケージ20と樹脂17の熱応力差から空孔部1
9に応力が生じ、樹脂17にクラックが生じる虞れがあ
った。これに対し、注入時の樹脂17の粘性を小さくす
るために、樹脂に含有される充填材を減少させれば、空
孔部19は発生しにくくなるものの、樹脂17自体の熱
伝導性が低下し、且つ吸湿性も増加するため、チップの
放熱性及び信頼性を低下させることとなった。本発明は
上記状況に鑑みてなされたもので、樹脂封止時における
空孔の発生を防止できるとともに、熱伝導性、吸湿性も
良好なものとすることができる樹脂封止用パッケージ構
造を提供し、クラック発生の防止、及び信頼性の向上を
図ることを目的とする。
However, in the conventional package structure, since the inner wall surface 9 of the cavity 5 is formed perpendicular to the chip attach surface 7, the corner portion between the chip attach surface 7 and the inner wall surface 9 is formed. In some cases, there was a void portion 19 that was not completely filled with the resin 17. When the package 20 is subjected to thermal stress under such a condition, the hole portion 1 is affected by the thermal stress difference between the package 20 and the resin 17.
There was a risk that stress would occur in the resin 9 and the resin 17 would be cracked. On the other hand, if the filler contained in the resin is reduced in order to reduce the viscosity of the resin 17 at the time of injection, the pores 19 are less likely to occur, but the thermal conductivity of the resin 17 itself is reduced. In addition, since the hygroscopicity also increases, heat dissipation and reliability of the chip are reduced. The present invention has been made in view of the above situation, and provides a package structure for resin encapsulation that can prevent generation of holes during resin encapsulation, and can also have good thermal conductivity and hygroscopicity. However, the purpose is to prevent the occurrence of cracks and improve reliability.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る樹脂封止用パッケージ構造の構成は、チ
ップを収容するキャビティがベースフレームに設けら
れ、該キャビティに樹脂を注入して前記チップを樹脂封
止する樹脂封止用パッケージ構造において、前記ベース
フレームに形成されチップアタッチ面に対して鈍角を有
して形成されるテーパ状のキャビティ内壁面を具備した
ことを特徴とするものである。
In order to achieve the above object, the structure of a package structure for resin encapsulation according to the present invention is such that a cavity for housing a chip is provided in a base frame, and a resin is injected into the cavity. A package structure for resin encapsulation for encapsulating the chip, characterized by comprising a tapered cavity inner wall surface formed on the base frame and having an obtuse angle with respect to a chip attachment surface. Is.

【0005】キャビティ内に樹脂が注入されると、キャ
ビティ内の空気が、テーパ状のキャビティ内壁面に沿っ
て上方へ移動し易くなり、空孔の原因となっていた空気
溜まりの発生が抑止されることになる。また、このよう
な作用が生じることにより、従来よりも充填剤を多く含
んだ粘性の高い樹脂が使用可能となり、これによって、
熱伝導率、吸湿性の改善も可能となる。
When the resin is injected into the cavity, the air in the cavity is likely to move upward along the tapered inner wall surface of the cavity, and the generation of air pockets which are the cause of the holes is suppressed. Will be. In addition, by virtue of such an action, it becomes possible to use a resin having a higher viscosity that contains a larger amount of filler than in the past, and by this,
It is also possible to improve thermal conductivity and hygroscopicity.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る樹脂封止用パ
ッケージ構造の好適な実施の形態を図面を参照して詳細
に説明する。図1は本発明による樹脂封止用パッケージ
構造の断面図、図2は本発明と従来例の粘性・熱伝導
率、吸湿度を比較する説明図である。本実施の形態によ
る樹脂封止用パッケージ構造では、ベースフレーム21
のキャビティ内壁面23が、キャビティ底面であるチッ
プアタッチ面25に対して鈍角を有して形成されてい
る。即ち、キャビティ内壁面23は、チップアタッチ面
25から上部開口に向けて徐々に広がる方向のテーパ状
となっている。また、ベースフレーム21上にはリード
ウフレーム27を挟んでウィンドウフレーム29が配設
されることとなるが、このウィンドウフレーム29の内
壁面31も、上部開口に向けて徐々に広がる方向のテー
パ状となっている。なお、図中、33はチップ、35は
低融点ガラスを示す。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of a resin sealing package structure according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view of a resin sealing package structure according to the present invention, and FIG. 2 is an explanatory diagram comparing the present invention and a conventional example with respect to viscosity / heat conductivity and moisture absorption. In the resin sealing package structure according to the present embodiment, the base frame 21
The cavity inner wall surface 23 is formed with an obtuse angle with respect to the chip attachment surface 25 which is the bottom surface of the cavity. That is, the cavity inner wall surface 23 has a taper shape that gradually expands from the chip attachment surface 25 toward the upper opening. Further, the window frame 29 is arranged on the base frame 21 with the lead frame 27 interposed therebetween, and the inner wall surface 31 of the window frame 29 also has a taper shape that gradually expands toward the upper opening. Has become. In the figure, 33 is a chip and 35 is a low melting point glass.

【0007】このように構成される樹脂封止用パッケー
ジ構造では、キャビティ37内に樹脂39が注入される
と、キャビティ37内の空気が、テーパ状のキャビティ
内壁面23、31に沿って上方へ移動し易くなり、空孔
の原因となっていた空気溜まりの発生が抑止されること
になる。
In the resin sealing package structure thus constructed, when the resin 39 is injected into the cavity 37, the air in the cavity 37 moves upward along the tapered cavity inner wall surfaces 23 and 31. This facilitates the movement, and suppresses the generation of air pockets that have caused the holes.

【0008】従って、このような作用が生じることによ
り、本実施例のパッケージ構造では、従来よりも粘性の
高い樹脂39が使用できることにもなる。即ち、従来の
パッケージ構造では、空孔19(図3参照)の発生を防
止するため、樹脂39の粘性が高くならないように、樹
脂39に含有される充填剤の量を少なく抑えていた。こ
のため、図2に示すように、従来の構造で使用可能な樹
脂は、充填剤の量が少ない範囲Aのものに限られ、十分
な熱伝導率が得られず、また、吸湿性も良好なものとす
ることができなかった。これに対し、本実施例のパッケ
ージ構造では、充填剤を増加させても、空孔の発生を抑
えることが可能となるため、充填剤の量が多い範囲Bの
樹脂39が使用可能となり、充填剤の量が増えることに
より、熱伝導率、及び吸湿性が改善されることになる。
Therefore, due to such an action, in the package structure of this embodiment, the resin 39 having a higher viscosity than before can be used. That is, in the conventional package structure, in order to prevent the generation of the holes 19 (see FIG. 3), the amount of the filler contained in the resin 39 is kept small so that the viscosity of the resin 39 does not increase. Therefore, as shown in FIG. 2, the resin that can be used in the conventional structure is limited to the range A in which the amount of the filler is small, a sufficient thermal conductivity cannot be obtained, and the hygroscopicity is good. I couldn't do it. On the other hand, in the package structure of the present embodiment, it is possible to suppress the generation of voids even if the filler is increased, so that the resin 39 in the range B having a large amount of filler can be used, and Increasing the amount of agent will improve the thermal conductivity and hygroscopicity.

【0009】上述のパッケージ構造によれば、ベースフ
レーム21、ウィンドウフレーム29の内壁面23、3
1を空気が逃げやすいテーパ状としたので、空孔部が発
生しなくなり、この結果、空孔部によるクラックの発生
を防止することができる。また、充填剤を増加した樹脂
39の使用が可能となるため、熱伝導性を向上させるこ
とができるとともに、吸湿性を改善することができる。
更に、本実施例によれば、樹脂封止が支障なく実施でき
るようになるため、シールガラス品のものを実施した場
合に比べコストを低減することができる。
According to the above-mentioned package structure, the inner wall surfaces 23 and 3 of the base frame 21 and the window frame 29 are formed.
Since 1 has a tapered shape that allows air to easily escape, voids do not occur, and as a result, the occurrence of cracks due to voids can be prevented. In addition, since it is possible to use the resin 39 with an increased filler, it is possible to improve the thermal conductivity and the hygroscopicity.
Further, according to this embodiment, the resin sealing can be carried out without any trouble, so that the cost can be reduced as compared with the case where the sealing glass product is carried out.

【0010】なお、本実施の形態では、ベースフレーム
21、ウィンドウフレーム29の双方の内壁面23、3
1をテーパ状としたが、本発明のパッケージ構造は、ベ
ースフレーム21のみの内壁面23をテーパ状とするこ
とによっても、その効果を発揮させることができる。即
ち、本発明は、ウィンドウフレーム29の内壁面31を
チップアタッチ面25と垂直な面とし、ベースフレーム
21の内壁面23のみをテーパ状とする構造も含むもの
である。
In this embodiment, the inner wall surfaces 23 and 3 of both the base frame 21 and the window frame 29 are arranged.
Although 1 is tapered, the effect of the package structure of the present invention can also be exhibited by tapering the inner wall surface 23 of only the base frame 21. That is, the present invention also includes a structure in which the inner wall surface 31 of the window frame 29 is a surface perpendicular to the chip attachment surface 25 and only the inner wall surface 23 of the base frame 21 is tapered.

【0011】[0011]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る樹脂封止用パッケージ構造によれば、ベースフレーム
の内壁面を空気が逃げやすいテーパ状としたので、樹脂
注入時の空気溜まりがなくなり、空孔部が発生しなくな
る。また、空気が逃げやすくなるため、充填剤を増加し
た樹脂の使用が可能となり、熱伝導性を向上させること
ができるとともに、吸湿性を改善することができる。こ
の結果、空孔部を原因とするクラックの発生を防止でき
るとともに、パッケージの信頼性を向上させることがで
きる。
As described above in detail, according to the package structure for resin sealing according to the present invention, the inner wall surface of the base frame is tapered so that air can easily escape, so that the air trap at the time of resin injection is not generated. No holes are formed. In addition, since the air easily escapes, it is possible to use a resin with an increased filler, which can improve the thermal conductivity and the hygroscopicity. As a result, it is possible to prevent the occurrence of cracks due to the holes and improve the reliability of the package.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による樹脂封止用パッケージ構造の断面
図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a resin sealing package structure according to the present invention.

【図2】本発明と従来例の粘性・熱伝導率、吸湿度を比
較する説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram comparing the present invention and a conventional example with respect to viscosity / heat conductivity and moisture absorption.

【図3】従来の樹脂封止用パッケージ構造の断面図であ
る。
FIG. 3 is a cross-sectional view of a conventional resin sealing package structure.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21 ベースフレーム 23、31 内壁面 25 チップアタッチ面 29 ウィンドウフレーム 33 チップ 37 キャビティ 39 樹脂 21 Base Frame 23, 31 Inner Wall Surface 25 Chip Attached Surface 29 Window Frame 33 Chip 37 Cavity 39 Resin

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 チップを収容するキャビティがベースフ
レームに設けられ、該キャビティに樹脂を注入して前記
チップを樹脂封止する樹脂封止用パッケージ構造におい
て、 前記ベースフレームに形成されチップアタッチ面に対し
て鈍角を有して形成されるテーパ状のキャビティ内壁面
を具備したことを特徴とする樹脂封止用パッケージ構
造。
1. A resin-sealing package structure, wherein a cavity for housing a chip is provided in a base frame, and a resin is injected into the cavity to seal the chip with a resin. On the other hand, a package structure for resin encapsulation, comprising a tapered cavity inner wall surface formed with an obtuse angle.
【請求項2】 前記ベースフレーム上に配設されるウィ
ンドウフレームに形成されチップアタッチ面に対して鈍
角を有して形成されるテーパ状のキャビティ内壁面を具
備したことを特徴とする請求項1記載の樹脂封止用パッ
ケージ構造。
2. A tapered cavity inner wall surface formed on a window frame disposed on the base frame and having an obtuse angle with respect to a chip attachment surface. The package structure for resin sealing described.
JP18370495A 1995-07-20 1995-07-20 Package structure for resin encapsulation Pending JPH0936280A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113745133A (en) * 2021-09-06 2021-12-03 江苏富联通讯技术有限公司 Plastic packaging equipment for SIP packaging of 5G communication radio frequency chip and use method thereof

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113745133A (en) * 2021-09-06 2021-12-03 江苏富联通讯技术有限公司 Plastic packaging equipment for SIP packaging of 5G communication radio frequency chip and use method thereof
CN113745133B (en) * 2021-09-06 2023-10-13 江苏富联通讯技术股份有限公司 A plastic packaging equipment for SIP packaging of 5G communication radio frequency chips and its use method

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