JPH0944837A - Magnetic recording media - Google Patents

Magnetic recording media

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Publication number
JPH0944837A
JPH0944837A JP19757995A JP19757995A JPH0944837A JP H0944837 A JPH0944837 A JP H0944837A JP 19757995 A JP19757995 A JP 19757995A JP 19757995 A JP19757995 A JP 19757995A JP H0944837 A JPH0944837 A JP H0944837A
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JP
Japan
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magnetic
alloy
substrate
recording medium
magnetic layer
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JP19757995A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Isao Kobayashi
功 小林
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Kao Corp
Original Assignee
Kao Corp
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Publication date
Application filed by Kao Corp filed Critical Kao Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 保磁力を低下させること無く耐食性が改善さ
れた磁気記録媒体の提供。 【解決手段】 非磁性基板12と該非磁性基板12上に
設けられた磁性層14とを有する本発明の磁気記録媒体
10は、該磁性層14が下記式(1)で表される合金か
らなることを特徴とする。 Coa Smb c (1) (式中、RはSm以外の希土類金属を表し、b及びcは
その合計が5〜25at%であり且つb/cが3〜50
であり、aは95〜75at%である。)
(57) Abstract: To provide a magnetic recording medium having improved corrosion resistance without lowering the coercive force. In a magnetic recording medium 10 of the present invention having a non-magnetic substrate 12 and a magnetic layer 14 provided on the non-magnetic substrate 12, the magnetic layer 14 is made of an alloy represented by the following formula (1). It is characterized by Co a Sm b R c (1) (In the formula, R represents a rare earth metal other than Sm, b and c are 5 to 25 at% in total, and b / c is 3 to 50.
And a is 95 to 75 at%. )

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に関
するものであり、更に詳しくは、磁性層の耐食性が改善
された磁気記録媒体に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium, and more particularly to a magnetic recording medium having an improved corrosion resistance of a magnetic layer.

【0002】[0002]

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】近年の
磁気記録媒体の高記録密度化に伴い、金属磁性薄膜を磁
性層として用い、磁性層の保磁力を一層高める手法が広
く用いられている。そして、かかる金属磁性薄膜として
は、例えば、真空蒸着やスパッタリング等の真空製膜技
術を用いて形成された、Co−Pt、Co−Ni、Co
−Sm等のコバルト系合金薄膜が用いられている。
2. Description of the Related Art With the recent increase in recording density of magnetic recording media, a method of using a metal magnetic thin film as a magnetic layer to further increase the coercive force of the magnetic layer is widely used. . And, as such a metal magnetic thin film, for example, Co-Pt, Co-Ni, Co formed using a vacuum film forming technique such as vacuum deposition or sputtering.
A cobalt-based alloy thin film such as -Sm is used.

【0003】例えば、特開平2−103717号公報に
は、保磁力の向上した磁気記録媒体として、非磁性基板
上に非磁性金属下地層を介してCo−Sm二元系合金か
らなる磁性層を形成してなる磁気記録媒体が記載されて
いる。また、特開平5−54358号公報には、磁性層
としてCo及び/又はFeとSm等の少なくとも一種の
希土類金属とからなるアモルファス磁性合金層を用いる
ことにより、高S/N比を有する有する磁気記録媒体が
得られることが示唆されている。特開平7−7496号
公報には、磁性層としてCo、Ni又はFeに添加金属
としてSm等の希土類元素を一種以上添加した薄膜合金
を用いることにより、磁性層の耐酸化性と硬度とが向上
することが示唆されている。
For example, Japanese Patent Laid-Open No. 2-103717 discloses a magnetic recording medium having an improved coercive force in which a magnetic layer made of a Co--Sm binary alloy is formed on a non-magnetic substrate via a non-magnetic metal underlayer. The magnetic recording medium formed is described. Further, in JP-A-5-54358, a magnetic layer having a high S / N ratio is obtained by using an amorphous magnetic alloy layer composed of Co and / or Fe and at least one rare earth metal such as Sm as the magnetic layer. It is suggested that a recording medium be obtained. In JP-A-7-7496, by using a thin film alloy in which one or more rare earth elements such as Sm are added as an additive metal to Co, Ni or Fe for the magnetic layer, the oxidation resistance and hardness of the magnetic layer are improved. It has been suggested to do so.

【0004】しかしながら、上記各公報に記載のCo−
Sm系合金薄膜からなる磁性層は、Smを含有している
が故に耐食性に劣るという欠点を有する。一方、Co−
Sm系合金薄膜の耐食性を高めるためにSmの濃度を下
げると磁性層の保磁力が低下してしまう。また、上記各
公報には、Co−Sm系合金に希土類金属を添加せしめ
て磁性層の耐食性を改善させること、並びにSmとSm
以外の希土類金属との濃度比及び合金全体中に占める希
土類金属の濃度については具体的に明記されていない。
However, the Co-
The magnetic layer made of an Sm-based alloy thin film has a drawback that it is inferior in corrosion resistance because it contains Sm. On the other hand, Co-
If the concentration of Sm is reduced in order to improve the corrosion resistance of the Sm-based alloy thin film, the coercive force of the magnetic layer will decrease. Further, in each of the above publications, a rare earth metal is added to a Co—Sm alloy to improve the corrosion resistance of the magnetic layer, and Sm and Sm.
Concentration ratios of rare earth metals other than the above and concentrations of rare earth metals in the entire alloy are not specified.

【0005】従って、本発明の目的は、保磁力を低下さ
せること無く耐食性が改善された磁気記録媒体を提供す
ることにある。
Accordingly, it is an object of the present invention to provide a magnetic recording medium having improved corrosion resistance without lowering the coercive force.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者らはCo−Sm
系合金の耐食性について鋭意検討したところ、Co−S
m系合金にSm以外の希土類合金Rを更に添加すると共
に、Sm/Rの濃度を特定の範囲とし、且つ合金全体中
の希土類金属(Sm+R)の濃度を少なくさせることに
より、保磁力の低下を伴うこと無く良好な耐食性を有す
る磁性層が得られることを知見した。
The present inventors have developed Co-Sm.
As a result of diligent studies on the corrosion resistance of the Al-based alloy, Co-S
By further adding a rare earth alloy R other than Sm to the m-based alloy, setting the concentration of Sm / R within a specific range, and reducing the concentration of rare earth metal (Sm + R) in the entire alloy, the coercive force is reduced. It was found that a magnetic layer having good corrosion resistance can be obtained without this.

【0007】本発明は上記知見に基づきなされたもので
あり、非磁性基板と該非磁性基板上に設けられた磁性層
とを有する磁気記録媒体において、該磁性層が下記式
(1)で表される合金からなることを特徴とする磁気記
録媒体を提供することにより、上記目的を達成したもの
である。 Coa Smb c (1) (式中、RはSm以外の希土類金属1種又は2種以上を
表し、b及びcはその合計が5〜25at%であり且つ
b/cが3〜50であり、aは95〜75at%であ
る。)
The present invention has been made based on the above findings, and in a magnetic recording medium having a non-magnetic substrate and a magnetic layer provided on the non-magnetic substrate, the magnetic layer is represented by the following formula (1). The present invention has achieved the above object by providing a magnetic recording medium characterized by comprising an alloy. Co a Sm b R c (1) (In the formula, R represents one or more rare earth metals other than Sm, b and c are 5 to 25 at% in total, and b / c is 3 to 50. And a is 95 to 75 at%.)

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、本発明の磁気記録媒体を図
面を参照して詳細に説明する。ここで、図1は、本発明
の磁気記録媒体の第一の実施形態の構成を示す概略図で
あり、図2は、本発明の磁気記録媒体の第二の実施形態
の構成を示す概略図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The magnetic recording medium of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. Here, FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of the first embodiment of the magnetic recording medium of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration of the second embodiment of the magnetic recording medium of the present invention. Is.

【0009】図1に示す本発明の磁気記録媒体の第一の
実施形態においては、磁気記録媒体10は、非磁性基板
12と、該非磁性基板12上に設けられた磁性層14と
からなる。
In the first embodiment of the magnetic recording medium of the present invention shown in FIG. 1, the magnetic recording medium 10 comprises a non-magnetic substrate 12 and a magnetic layer 14 provided on the non-magnetic substrate 12.

【0010】上記非磁性基板12としては、例えば、A
l基板、NiPめっきAl合金基板、強化ガラス基板、
結晶化ガラス基板、セラミックス基板、Si合金基板、
Ti基板、Ti合金基板、プラスチック基板、カーボン
基板、及びこれらの複合材料から成る基板等が使用でき
る。特に、カーボン基板、就中ガラス状カーボン基板
は、小径/薄板化に有利であり、耐熱性に優れ、しかも
導電性も有しているので、本発明において好ましく用い
られる。
As the non-magnetic substrate 12, for example, A
l substrate, NiP plated Al alloy substrate, tempered glass substrate,
Crystallized glass substrate, ceramics substrate, Si alloy substrate,
A Ti substrate, a Ti alloy substrate, a plastic substrate, a carbon substrate, a substrate made of a composite material of these, or the like can be used. In particular, the carbon substrate, especially the glassy carbon substrate is advantageous in reducing the diameter / thin plate, has excellent heat resistance, and has electrical conductivity, and thus is preferably used in the present invention.

【0011】而して、本発明の特徴である、上記磁性層
14について説明すると、該磁性層14は、下記式
(1)で表される合金からなる。 Coa Smb c (1) (式中、RはSm以外の希土類金属1種又は2種以上を
表し、b及びcはその合計が5〜25at%であり且つ
b/cが3〜50であり、aは95〜75at%であ
る。)
The magnetic layer 14, which is a feature of the present invention, will now be described. The magnetic layer 14 is made of an alloy represented by the following formula (1). Co a Sm b R c (1) (In the formula, R represents one or more rare earth metals other than Sm, b and c are 5 to 25 at% in total, and b / c is 3 to 50. And a is 95 to 75 at%.)

【0012】上記式(1)中、Rは、Sm以外の希土類
金属であればその種類に特に制限は無い。Rで表される
希土類金属のうち好ましいものは、ランタノイド系金属
であり、特に好ましいものは、Ce、Pr、Gd、H
o、Nd、Tb及びDyである。また、RはSm以外の
希土類金属であれば1種でもよく又は2種以上の組み合
せでもよい。
In the above formula (1), R is not particularly limited as long as it is a rare earth metal other than Sm. Among the rare earth metals represented by R, preferred are lanthanoid metals, and particularly preferred are Ce, Pr, Gd and H.
o, Nd, Tb and Dy. Further, R may be one kind or a combination of two or more kinds as long as it is a rare earth metal other than Sm.

【0013】本発明の磁気記録媒体においては、上記磁
性層14が、Co、Sm及びSm以外の希土類金属Rか
らなる合金から形成されていることに加えて、該合金中
に占める希土類金属(Sm+R)の濃度(=b+c)、
及び該合金中におけるSmとRとの濃度比(=b/c)
を特定の範囲とすることが重要である。
In the magnetic recording medium of the present invention, the magnetic layer 14 is made of an alloy of Co, Sm and a rare earth metal R other than Sm, and in addition, the rare earth metal (Sm + R) in the alloy. ) Concentration (= b + c),
And the concentration ratio of Sm and R in the alloy (= b / c)
Is important to be within a specific range.

【0014】即ち、上記式(1)で表される合金中に占
める希土類金属(Sm+R)の濃度(=b+c)は、5
〜25at%である。(b+c)が5at%に満たない
と高い保磁力が得られず、(b+c)が25at%を超
えると耐食性が劣化する。かかる(b+c)は10〜2
5at%であることが好ましい。
That is, the concentration (= b + c) of the rare earth metal (Sm + R) in the alloy represented by the above formula (1) is 5
Is about 25 at%. When (b + c) is less than 5 at%, a high coercive force cannot be obtained, and when (b + c) exceeds 25 at%, corrosion resistance deteriorates. Such (b + c) is 10-2
It is preferably 5 at%.

【0015】また、上記式(1)で表される合金中にお
けるSmとRとの濃度比(=b/c)は、3〜50であ
る。(b/c)が3に満たないと高い保磁力が得られ
ず、(b/c)が50を超えても高い保磁力が得られな
い。かかる(b/c)は3〜20であることが好まし
い。
The concentration ratio (= b / c) of Sm and R in the alloy represented by the above formula (1) is 3 to 50. If (b / c) is less than 3, high coercive force cannot be obtained, and even if (b / c) exceeds 50, high coercive force cannot be obtained. Such (b / c) is preferably 3 to 20.

【0016】上記磁性層14は、一般にその厚さが5〜
40nmであることが好ましい。かかる磁性層は、例え
ば、真空蒸着、スパッタリング及びイオンプレーティン
グ等の物理的気相成長法(PVD)のような薄膜形成手
段によって好ましく形成される。
The magnetic layer 14 generally has a thickness of 5 to 5.
It is preferably 40 nm. Such a magnetic layer is preferably formed by a thin film forming means such as physical vapor deposition (PVD) such as vacuum deposition, sputtering and ion plating.

【0017】次に、図2に示す本発明の磁気記録媒体の
第二の実施形態について説明する。なお、図2におい
て、図1と同じ点については特に詳述しないが、図1に
関して詳述した説明が適宜適用される。また、図2にお
いて図1と同じ部材については同じ符号を付した。
Next, a second embodiment of the magnetic recording medium of the present invention shown in FIG. 2 will be described. Note that, in FIG. 2, the same points as in FIG. 1 will not be described in detail, but the description in detail with respect to FIG. 1 is appropriately applied. In FIG. 2, the same members as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.

【0018】図2に示す磁気記録媒体10においては、
非磁性基板12上に、第1下地層20が設けられてお
り、その上に第2下地層22が設けられており、そして
その上に上記合金からなる磁性層14が設けられてい
る。該磁性層14の上には、保護層24及び潤滑剤層2
6が順次設けられている。
In the magnetic recording medium 10 shown in FIG.
A first underlayer 20 is provided on a non-magnetic substrate 12, a second underlayer 22 is provided thereon, and a magnetic layer 14 made of the above alloy is provided thereon. A protective layer 24 and a lubricant layer 2 are formed on the magnetic layer 14.
6 are sequentially provided.

【0019】図2に示す磁気記録媒体10における上記
第1下地層20は、媒体ノイズを一層低減化せしめる目
的で設けられるものであり、Ti又はTi合金から構成
されるものであることが好ましい。一方、該第1下地層
20上に設けられる上記第2下地層22は、上記磁性層
14の静磁気特性の向上を目的として設けられるもので
あり、この目的のために、その材質としては該磁性層1
4を構成する物質の格子定数に近いものを用いることが
好ましい。特に、該第2下地層22は、Cr又はCrを
含む二元合金からなることが静磁気特性の向上と共に媒
体ノイズの低減化の点から好ましい。該Crを含む二元
合金の例としては、CrTi、CrMo、CrW、Cr
Nb、CrSi、CrCo、CrTa等を挙げるこがで
きる。上記第1下地層20及び第2下地層22の厚さ
は、それぞれ5〜200nm及び5〜150nmである
ことが好ましい。
The first underlayer 20 in the magnetic recording medium 10 shown in FIG. 2 is provided for the purpose of further reducing medium noise, and is preferably made of Ti or a Ti alloy. On the other hand, the second underlayer 22 provided on the first underlayer 20 is provided for the purpose of improving the magnetostatic characteristics of the magnetic layer 14, and for this purpose, its material is Magnetic layer 1
It is preferable to use a material having a lattice constant close to that of the substance forming No. 4. In particular, it is preferable that the second underlayer 22 is made of Cr or a binary alloy containing Cr from the viewpoints of improving magnetostatic characteristics and reducing medium noise. Examples of the binary alloy containing Cr include CrTi, CrMo, CrW and Cr.
Nb, CrSi, CrCo, CrTa, etc. can be mentioned. The thicknesses of the first underlayer 20 and the second underlayer 22 are preferably 5 to 200 nm and 5 to 150 nm, respectively.

【0020】次に、上記磁性層14上に設けられる上記
保護層24について説明すると、該保護層は、上記磁性
層14を保護するために用いられるものである。上記保
護層は、耐摩耗性の観点から力学的強度の高い材料で形
成されていることが好ましく、例えば、Al、Si、T
i、Cr、Zr、Nb、Mo、Ta、W等の金属の酸化
物(酸化ケイ素、酸化ジルコニウム等);該金属の窒化
物(窒化ホウ素等);該金属の炭化物(炭化ケイ素、炭
化タングステン等);ダイヤモンドライクカーボン等の
カーボン(炭素)及びボロンナイトライド等からなる群
より選択される一種以上が用いられることが好ましい。
また、上記材料の中でも、カーボン、炭化ケイ素、炭化
タングステン、酸化ケイ素、酸化ジルコニウム、窒化ホ
ウ素又はこれらの複合材料が好ましく、更に好ましくは
カーボンであり、中でも特にダイヤモンドライクカーボ
ン及びガラス状カーボンが好ましい。上記保護膜の厚さ
は、一般に5〜25nmであることが好ましい。
Next, the protective layer 24 provided on the magnetic layer 14 will be described. The protective layer is used to protect the magnetic layer 14. The protective layer is preferably formed of a material having high mechanical strength from the viewpoint of wear resistance, and for example, Al, Si, T
Oxides of metals such as i, Cr, Zr, Nb, Mo, Ta, W (silicon oxide, zirconium oxide, etc.); nitrides of the metal (boron nitride, etc.); carbides of the metal (silicon carbide, tungsten carbide, etc.) ); It is preferable to use one or more selected from the group consisting of carbon such as diamond-like carbon and boron nitride.
Among the above materials, carbon, silicon carbide, tungsten carbide, silicon oxide, zirconium oxide, boron nitride or a composite material thereof is preferable, carbon is more preferable, and diamond-like carbon and glassy carbon are particularly preferable. Generally, the thickness of the protective film is preferably 5 to 25 nm.

【0021】上記保護層24上に設けられる上記潤滑剤
層26について説明すると、上記潤滑剤層は、磁気記録
媒体の走行性及び耐久性を向上させるために用いられる
ものであり、例えば厚さが5〜100Å程度になるよう
に潤滑剤を塗布する方法や、フッ化炭素系化合物と酸素
とを気相重合(特に光CVD)する方法(例えば、特願
平6−286940号記載の方法等)により形成するこ
とができる。該潤滑剤としては、フッ素系高分子を好適
に用いることができる。該フッ素系高分子としては、分
子中に極性基を有するもの及び極性基を有しないものの
双方を単独で又は組み合わせて用いることができる。分
子中に極性基を有する上記フッ素系高分子としては、−
(CF2 CF2 O)n−(CF2 O)m−骨格を有し、
末端に芳香族環又はOH基を有し、且つ分子量が200
0〜4000であるものが好ましい。一方、分子中に極
性基を有しない上記フッ素系高分子としては、CF3
(CF2 CF2 O)n−(CF2 O)m−CF3 で表わ
され、分子量が2000〜10000であるものが好ま
しい。
The lubricant layer 26 provided on the protective layer 24 will be described. The lubricant layer is used for improving the running property and durability of the magnetic recording medium, and has a thickness of, for example. A method of applying a lubricant so as to be about 5 to 100Å, or a method of vapor phase polymerization of a fluorocarbon compound and oxygen (especially photo-CVD) (for example, the method described in Japanese Patent Application No. 6-286940). Can be formed by. As the lubricant, a fluoropolymer can be preferably used. As the fluorine-based polymer, both those having a polar group in the molecule and those not having a polar group can be used alone or in combination. Examples of the fluoropolymer having a polar group in the molecule include-
Has a (CF 2 CF 2 O) n- (CF 2 O) m- skeleton,
It has an aromatic ring or OH group at the terminal and has a molecular weight of 200.
It is preferably 0 to 4000. On the other hand, as the fluorine-based polymer having no polar group in the molecule, CF 3-
A compound represented by (CF 2 CF 2 O) n- (CF 2 O) m-CF 3 and having a molecular weight of 2,000 to 10,000 is preferable.

【0022】以上、本発明の磁気記録媒体について詳細
に説明したが、上記の説明以外に特に詳述しなかった点
については、従来の磁気記録媒体に関する説明が適宜適
用される。
Although the magnetic recording medium of the present invention has been described above in detail, the description of the conventional magnetic recording medium can be applied to the points not particularly described in detail other than the above description.

【0023】本発明の磁気記録媒体は、本発明の磁気記
録媒体は、例えば、磁気ドラム、磁気テープ、磁気カー
ド及び磁気ディスク等として有用であり、特に固定ディ
スク等の磁気ディスクとして有用である。
The magnetic recording medium of the present invention is useful as, for example, a magnetic drum, a magnetic tape, a magnetic card and a magnetic disk, and particularly useful as a magnetic disk such as a fixed disk.

【0024】[0024]

【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳細に説明
するが、本発明は、かかる実施例に限定されるものでは
ない。
The present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but the present invention is not limited to such examples.

【0025】〔実施例1〕密度1.5g/cm3 のアモ
ルファスカーボン基板(サイズ2.5”)を研磨し、そ
の平均表面粗さRaを0.5〜1.0nmにした。該カ
ーボン基板を精密洗浄した後、4カソードを有するバッ
チ式スパッタリング装置内にセットし、下記の条件下に
て順次各層の形成を行った。なお、磁性層の形成には5
×5×1mm厚のSm及び希土類金属のチップを付けた
Coターゲットを用い、該チップの数を増減させること
により磁性層を形成する合金の濃度を制御した。また、
磁性層の組成は、磁性層のみをスライドガラス上に成膜
し、これをICPにより測定した。
Example 1 An amorphous carbon substrate (size 2.5 ″) having a density of 1.5 g / cm 3 was polished to have an average surface roughness Ra of 0.5 to 1.0 nm. Was precisely cleaned, and then set in a batch type sputtering apparatus having 4 cathodes, and each layer was sequentially formed under the following conditions.
A Co target having chips of Sm and rare earth metal having a thickness of × 5 × 1 mm was used, and the concentration of the alloy forming the magnetic layer was controlled by increasing or decreasing the number of the chips. Also,
The composition of the magnetic layer was measured by ICP by depositing only the magnetic layer on a slide glass.

【0026】(1)第1下地層 ・材料 :Ti ・基板温度 :室温 ・Arガス圧 :5mTorr ・基板バイアス電圧:0V ・膜厚 :50nm (2)第2下地層 ・材料 :Cr ・基板温度 :室温 ・Arガス圧 :5mTorr ・基板バイアス電圧:0V ・膜厚 :50nm (3)磁性層 ・材料 :Co78.7Sm18.1Ce3.2 at% ・基板温度 :室温 ・Arガス圧 :5mTorr ・基板バイアス電圧:0V ・膜厚 :30nm(1) First underlayer-Material: Ti-Substrate temperature: room temperature-Ar gas pressure: 5 mTorr-Substrate bias voltage: 0 V-Film thickness: 50 nm (2) Second underlayer-Material: Cr-Substrate temperature : Room temperature-Ar gas pressure: 5 mTorr-Substrate bias voltage: 0 V-Film thickness: 50 nm (3) Magnetic layer-Material: Co 78.7 Sm 18.1 Ce 3.2 at% -Substrate temperature: Room temperature-Ar gas pressure: 5 mTorr-Substrate bias voltage : 0V ・ Film thickness: 30nm

【0027】(4)中間層 ・材料 :Cr ・基板温度 :室温 ・Arガス圧 :5mTorr ・基板バイアス電圧:0V ・膜厚 :7nm (5)保護層 ・材料 :アモルファスカーボン ・基板温度 :室温 ・Arガス圧 :5mTorr ・基板バイアス電圧:0V ・膜厚 :10nm(4) Intermediate layer-Material: Cr-Substrate temperature: room temperature-Ar gas pressure: 5 mTorr-Substrate bias voltage: 0 V-Film thickness: 7 nm (5) Protective layer-Material: Amorphous carbon-Substrate temperature: Room temperature- Ar gas pressure: 5 mTorr-Substrate bias voltage: 0 V-Film thickness: 10 nm

【0028】上記保護層形成後、Arガスを止め、上記
スパッタチャンバー内をN2 リークし、上記保護層まで
が形成されたカーボン基板を取り出した。更に、テープ
バーニッシュ、続いて潤滑剤フォンブリンAM2001
(アオジモント社製)を2nmの膜厚になるように塗布
し、磁気ディスクを得た。
After forming the protective layer, the Ar gas was stopped, the inside of the sputtering chamber was leaked with N 2 and the carbon substrate having the protective layer formed was taken out. In addition, tape burnish, followed by the lubricant Fomblin AM2001
(Manufactured by Aojimont Co., Ltd.) was applied to a film thickness of 2 nm to obtain a magnetic disk.

【0029】得られた磁気ディスクについて、VSM
(振動試料型磁力計)にて静磁気特性(保磁力Hc)の
評価を行った。また、得られた磁気ディスクを80℃、
80%RHの雰囲気下に2週間放置した後、VSMにて
Hc-afterを測定し、初期状態でのHc-before との比
(Hc-after/Hc-before)を耐食性の指標とした。そ
の結果を表1に示す。
For the obtained magnetic disk, VSM
The magnetostatic characteristic (coercive force Hc) was evaluated with a (vibrating sample magnetometer). In addition, the obtained magnetic disk is
After leaving it in an atmosphere of 80% RH for 2 weeks, measure Hc-after with VSM, and compare it with the Hc-before in the initial state.
(Hc-after / Hc-before) was used as an index of corrosion resistance. Table 1 shows the results.

【0030】〔実施例2〜4及び比較例1〜3〕実施例
1の磁気ディスクにおける磁性層に用いた合金に代え
て、表1に示す合金を用いて磁性層を形成する以外は実
施例1と同様の手順で磁気ディスクを得た。得られた磁
気ディスクについて実施例1と同様の測定を行った。そ
の結果を表1に示す。
Examples 2 to 4 and Comparative Examples 1 to 3 Examples other than forming the magnetic layer by using the alloys shown in Table 1 in place of the alloy used for the magnetic layer in the magnetic disk of Example 1. A magnetic disk was obtained by the same procedure as in 1. The same measurement as in Example 1 was performed on the obtained magnetic disk. Table 1 shows the results.

【0031】[0031]

【表1】 [Table 1]

【0032】表1に示す結果から明らかなように、C
o、Sm及びSm以外の希土類金属からなり、且つ特定
の濃度を有する合金から形成された磁性層を有する実施
例1〜4で得られた磁気ディスクでは、高い保磁力を維
持したままで耐食性が改善されていることが分かる。こ
れに対して、Co−Sm二元系合金からなる磁性層を有
する磁気ディスク(比較例1)では比較的高い保磁力が
得られるものの、耐食性に劣ってしまう。また、比較例
1と同じくCo−Sm二元系合金からなり、Smの濃度
が比較例1よりも低い合金からなる磁性層を有する磁気
ディスク(比較例2)では、耐食性は改善されるもの
の、高い保磁力は得られない。また、Co、Sm及びS
m以外の希土類金属(Ce)からなる合金ではあるもの
の、Smの濃度の高い合金からなる磁性層を有する磁気
ディスク(比較例3)も、耐食性は改善されるが、高い
保磁力は得られない。
As is clear from the results shown in Table 1, C
The magnetic disks obtained in Examples 1 to 4 having a magnetic layer made of an alloy of o, Sm, and a rare earth metal other than Sm and having a specific concentration have corrosion resistance while maintaining a high coercive force. You can see that it has been improved. On the other hand, in the magnetic disk having the magnetic layer made of a Co-Sm binary alloy (Comparative Example 1), a relatively high coercive force can be obtained, but the corrosion resistance is poor. Further, in the same manner as in Comparative Example 1, in the magnetic disk (Comparative Example 2) having the magnetic layer made of the Co—Sm binary alloy and having the Sm concentration lower than that of Comparative Example 1, the corrosion resistance is improved, High coercive force cannot be obtained. Also, Co, Sm and S
A magnetic disk (Comparative Example 3) having a magnetic layer made of an alloy having a high Sm concentration, although it is an alloy made of a rare earth metal (Ce) other than m, has improved corrosion resistance but does not have high coercive force. .

【0033】[0033]

【発明の効果】以上、詳述した通り、本発明によれば、
Co−Sm系合金にSm以外の希土類合金Rを更に添加
すると共に、Sm/Rの濃度を特定の範囲とし、且つ合
金全体中の希土類金属(Sm+R)の濃度を少なくさせ
ることにより、保磁力の低下を伴うこと無く良好な耐食
性を有する磁気記録媒体が得られる。
As described above in detail, according to the present invention,
By further adding a rare earth alloy R other than Sm to the Co-Sm alloy and setting the concentration of Sm / R within a specific range and reducing the concentration of rare earth metal (Sm + R) in the entire alloy, the coercive force A magnetic recording medium having good corrosion resistance without deterioration is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の磁気記録媒体の第一の実施形態の構成
を示す概略図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a first embodiment of a magnetic recording medium of the present invention.

【図2】本発明の磁気記録媒体の第二の実施形態の構成
を示す概略図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration of a second embodiment of the magnetic recording medium of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 磁気記録媒体 12 非磁性基板 14 磁性層 10 magnetic recording medium 12 non-magnetic substrate 14 magnetic layer

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非磁性基板と該非磁性基板上に設けられ
た磁性層とを有する磁気記録媒体において、該磁性層が
下記式(1)で表される合金からなることを特徴とする
磁気記録媒体。 Coa Smb c (1) (式中、RはSm以外の希土類金属1種又は2種以上を
表し、b及びcはその合計が5〜25at%であり且つ
b/cが3〜50であり、aは95〜75at%であ
る。)
1. A magnetic recording medium having a non-magnetic substrate and a magnetic layer provided on the non-magnetic substrate, wherein the magnetic layer is made of an alloy represented by the following formula (1). Medium. Co a Sm b R c (1) (In the formula, R represents one or more rare earth metals other than Sm, b and c are 5 to 25 at% in total, and b / c is 3 to 50. And a is 95 to 75 at%.)
【請求項2】 上記式(1)におけるRが、Ce、P
r、Gd、Ho、Nd、Tb又はDyである、請求項1
記載の磁気記録媒体。
2. R in the above formula (1) is Ce, P
r, Gd, Ho, Nd, Tb or Dy.
The magnetic recording medium described.
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