JPH0945276A - 質量分析計 - Google Patents
質量分析計Info
- Publication number
- JPH0945276A JPH0945276A JP7191432A JP19143295A JPH0945276A JP H0945276 A JPH0945276 A JP H0945276A JP 7191432 A JP7191432 A JP 7191432A JP 19143295 A JP19143295 A JP 19143295A JP H0945276 A JPH0945276 A JP H0945276A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- ion
- ions
- laser beam
- mass spectrometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】レーザー６を備え、試料２に正対するように配
置した対物レンズ２２及びイオンを引き出すイオン加速
電極４０を備える質量分析計。 【効果】集光径を小さくし、分解能の高い像が得られ
る。
置した対物レンズ２２及びイオンを引き出すイオン加速
電極４０を備える質量分析計。 【効果】集光径を小さくし、分解能の高い像が得られ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は質量分析計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の質量分析計は特開平４−３０６５
４９号公報に記載のように、図３に示すようになってい
た。１は質量分析部、２は試料、６はレーザ光源、８は
観察照明用光源、１８は真空室、２１ｂはイオンビー
ム、２２は集光レンズ、２４は光反射ミラー、２６は試
料台、３０はイオンリフレクタ、３４はイオン検出器で
ある。レーザ光源６から発生したレーザ光は、集光レン
ズ２２と光反射ミラー２４により、試料２上に集光され
る。このレーザ光で励起されたイオンは質量分析部１で
質量分析される。
４９号公報に記載のように、図３に示すようになってい
た。１は質量分析部、２は試料、６はレーザ光源、８は
観察照明用光源、１８は真空室、２１ｂはイオンビー
ム、２２は集光レンズ、２４は光反射ミラー、２６は試
料台、３０はイオンリフレクタ、３４はイオン検出器で
ある。レーザ光源６から発生したレーザ光は、集光レン
ズ２２と光反射ミラー２４により、試料２上に集光され
る。このレーザ光で励起されたイオンは質量分析部１で
質量分析される。
【０００３】図３に示す従来装置では、レーザ光斜め方
向から入射するため、レーザ光の集光径を小さくするこ
とが著しく困難である。また、試料を斜め方向から観察
するため、観察像の分解能を向上させることも困難であ
る。
向から入射するため、レーザ光の集光径を小さくするこ
とが著しく困難である。また、試料を斜め方向から観察
するため、観察像の分解能を向上させることも困難であ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来装置では、レ
ーザ集光用対物レンズがイオン加速方向側に存在するの
で、イオンのレンズへの衝突をさけるためレンズを傾斜
させる必要がある。そのためレーザ光の集光径を小さく
することが困難である。
ーザ集光用対物レンズがイオン加速方向側に存在するの
で、イオンのレンズへの衝突をさけるためレンズを傾斜
させる必要がある。そのためレーザ光の集光径を小さく
することが困難である。
【０００５】本発明では顕微鏡と試料を正対させ、イオ
ン加速電極により、イオンをレーザ光入射方向に対し垂
直方向に飛行させることにより、この課題の解決をはか
る。
ン加速電極により、イオンをレーザ光入射方向に対し垂
直方向に飛行させることにより、この課題の解決をはか
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を解決するため
に、図1に示す様に、顕微鏡の対物レンズを試料に正対
させレーザによって脱離したイオンを加速電極により横
方向に引き出した。これによって試料に対して垂直方向
から照射できるので、集光径を小さくすることができ
る。
に、図1に示す様に、顕微鏡の対物レンズを試料に正対
させレーザによって脱離したイオンを加速電極により横
方向に引き出した。これによって試料に対して垂直方向
から照射できるので、集光径を小さくすることができ
る。
【０００７】
【作用】従来の装置では、レーザを斜め方向から照射す
るためレーザ集光スポットも楕円状になり、集光径を小
さくすることができない。また試料観察の場合でも斜め
方向から観察するため像分解能も悪くなる。
るためレーザ集光スポットも楕円状になり、集光径を小
さくすることができない。また試料観察の場合でも斜め
方向から観察するため像分解能も悪くなる。
【０００８】本発明では、は顕微鏡と試料を正対させ、
イオン加速電極により、イオンを横方向に飛行させるの
で、レーザを垂直方向から照射でき、集光径を小さくす
ることができる。また試料観察もやはり図１のように正
対する位置から行うため、像分解能もよくなる。
イオン加速電極により、イオンを横方向に飛行させるの
で、レーザを垂直方向から照射でき、集光径を小さくす
ることができる。また試料観察もやはり図１のように正
対する位置から行うため、像分解能もよくなる。
【０００９】
［実施例１］図１に本発明の実施例の系統図を示す。６
ａ，６ｂはレーザ光源、７ａ，７ｂはレーザ光、９は試
料照明光、１０はＴＶカメラ、１１はハーフミラー、１
５はカメラレンズ、１６ａ，１６ｂは光反射ミラー、１
７は光路、１９は真空容器、２１ａは分子ビームであ
る。４０は加速電極である。
ａ，６ｂはレーザ光源、７ａ，７ｂはレーザ光、９は試
料照明光、１０はＴＶカメラ、１１はハーフミラー、１
５はカメラレンズ、１６ａ，１６ｂは光反射ミラー、１
７は光路、１９は真空容器、２１ａは分子ビームであ
る。４０は加速電極である。
【００１０】まず試料２を加速電極間２２に挿入する。
質量分析時にはレーザ光源６ａからのレーザ光７ａは集
光レンズ２２により試料２上にに集光される。これによ
り励起されたイオンビーム２１ｂは、加速電極４０によ
って、レーザ光入射方向に対しほぼ垂直方向に加速され
質量分析部１に入射する。イオンビーム２１ｂはイオン
リフレクタ３０で反射され、イオン検出器３４に入射す
る。レーザ光７ｂを照射してから、イオンがイオン検出
器３４に到着するまでの時間を測定することによって、
イオン飛行時間がわかる。これにより、イオンの質量分
析ができる。
質量分析時にはレーザ光源６ａからのレーザ光７ａは集
光レンズ２２により試料２上にに集光される。これによ
り励起されたイオンビーム２１ｂは、加速電極４０によ
って、レーザ光入射方向に対しほぼ垂直方向に加速され
質量分析部１に入射する。イオンビーム２１ｂはイオン
リフレクタ３０で反射され、イオン検出器３４に入射す
る。レーザ光７ｂを照射してから、イオンがイオン検出
器３４に到着するまでの時間を測定することによって、
イオン飛行時間がわかる。これにより、イオンの質量分
析ができる。
【００１１】試料観察時には、試料照明用光源８からの
光を、集光レンズ２２から試料上に入射させる。これに
よる試料の像をＴＶカメラ１０により観察する。
光を、集光レンズ２２から試料上に入射させる。これに
よる試料の像をＴＶカメラ１０により観察する。
【００１２】本実施例では集光レンズ２２を試料に正対
させるためレーザ集光径を小さくできる。また観察も正
対した位置で行うため、分解能の高い鮮明な像を得るこ
とができる。
させるためレーザ集光径を小さくできる。また観察も正
対した位置で行うため、分解能の高い鮮明な像を得るこ
とができる。
【００１３】［実施例２］図２に本発明の実施例２にお
ける電極部の説明図を示す。４１はＸ軸偏向板、４２は
Ｙ軸偏向板、４３はイオンリフレクタである。また４４
は静電レンズ、４５はＩＴＯをコーティングした透明電
極である、４６は静電レンズである。本実施例では、シ
リコンウェハのような加速電極間に挿入できない試料の
測定に用いる。
ける電極部の説明図を示す。４１はＸ軸偏向板、４２は
Ｙ軸偏向板、４３はイオンリフレクタである。また４４
は静電レンズ、４５はＩＴＯをコーティングした透明電
極である、４６は静電レンズである。本実施例では、シ
リコンウェハのような加速電極間に挿入できない試料の
測定に用いる。
【００１４】レーザを試料表面に集光し、励起されたイ
オンビーム２１ｂを加速電極４０、透明電極４５の電圧
を調整し、静電レンズ４４に入射させる。入射したイオ
ンビームは静電レンズで、拡がり少ないビームとなり、
イオンリフレクタ４３で反射され、Ｘ軸偏向板４１、Ｙ
軸偏向板４２で軌道を修正され質量分析計に入射する。
この場合やはり試料と対物レンズが正対しているので、
実施例１と同じ効果が得られ、また加速電極間に試料を
挿入する必要がないので、測定試料の大きさに制限がな
い。
オンビーム２１ｂを加速電極４０、透明電極４５の電圧
を調整し、静電レンズ４４に入射させる。入射したイオ
ンビームは静電レンズで、拡がり少ないビームとなり、
イオンリフレクタ４３で反射され、Ｘ軸偏向板４１、Ｙ
軸偏向板４２で軌道を修正され質量分析計に入射する。
この場合やはり試料と対物レンズが正対しているので、
実施例１と同じ効果が得られ、また加速電極間に試料を
挿入する必要がないので、測定試料の大きさに制限がな
い。
【００１５】
【発明の効果】本発明では顕微鏡用対物レンズを試料に
正対させ、イオンをレーザ光入射方向に対しほぼ垂直方
向に引き出す構造にすることにより、試料面の垂直方向
からレーザ光を照射できるため、集光径を小さくするこ
とが可能である。
正対させ、イオンをレーザ光入射方向に対しほぼ垂直方
向に引き出す構造にすることにより、試料面の垂直方向
からレーザ光を照射できるため、集光径を小さくするこ
とが可能である。
【００１６】また試料に正対した方向から試料表面を観
察するので、分解能の高い像が得られる。
察するので、分解能の高い像が得られる。
【図１】本発明の実施例１の系統図。
【図２】実施例２の加速電極部の説明図。
【図３】従来装置の系統図。
１…質量分析部、 ２…試料、 ６…レーザ光源、 ７…レーザ光、 ８…試料照明用光源、 ９…試料照明光、 １０…ＴＶカメラ、 １１…ハーフミラー、 １５…カメラレンズ、 １６…光反射ミラー、 １７…光路、 １８…真空室、 １９…真空容器、 ２１ｂ…イオンビーム、 ２２…集光用対物レンズ、 ３０…イオンリフレクタ。
Claims (4)
- 【請求項１】試料を励起するレーザ光源と、試料観察用
の照明光源と、前記各照明光源からの光を前記試料に導
く光反射ミラーと、レーザ光を集光し前記試料を観察用
顕微鏡と、前記試料が配置される試料台と、前記試料か
ら放出されたイオンを加速する加速電極と、加速された
イオンを反射するイオンリフレクタと、前記イオンリフ
レクタで反射されたイオンを検出するイオン検出器を備
えた質量分析計において、前記顕微鏡を、前記試料に正
対する位置におき、加速電極によりイオンを、レーザ光
入射方向に対して垂直方向に飛行させることを特徴とす
る質量分析計。 - 【請求項２】請求項1において、前記レーザ光の入射方
向に対し前記試料を垂直に設置する質量分析計。 - 【請求項３】請求項１において、前記試料を前記加速電
極間に挿入する質量分析計。 - 【請求項４】請求項１において、前記加速電極として網
状電極を用いた質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7191432A JPH0945276A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7191432A JPH0945276A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 質量分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0945276A true JPH0945276A (ja) | 1997-02-14 |
Family
ID=16274525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7191432A Pending JPH0945276A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0945276A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007127653A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Agilent Technol Inc | Ｍａｌｄｉのためのレーザ集束及びスポット撮像を一体に組み込むための装置 |
| JP2015506537A (ja) * | 2011-12-23 | 2015-03-02 | マイクロマス ユーケー リミテッド | イメージング質量分析計および質量分析法の方法 |
| WO2018092271A1 (ja) * | 2016-11-18 | 2018-05-24 | 株式会社島津製作所 | イオン分析装置 |
| CN109712862A (zh) * | 2019-01-28 | 2019-05-03 | 安图实验仪器(郑州)有限公司 | 适于基质辅助激光解析电离飞行时间质谱仪的光路系统 |
-
1995
- 1995-07-27 JP JP7191432A patent/JPH0945276A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007127653A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Agilent Technol Inc | Ｍａｌｄｉのためのレーザ集束及びスポット撮像を一体に組み込むための装置 |
| JP2015506537A (ja) * | 2011-12-23 | 2015-03-02 | マイクロマス ユーケー リミテッド | イメージング質量分析計および質量分析法の方法 |
| WO2018092271A1 (ja) * | 2016-11-18 | 2018-05-24 | 株式会社島津製作所 | イオン分析装置 |
| CN109923408A (zh) * | 2016-11-18 | 2019-06-21 | 株式会社岛津制作所 | 离子分析装置 |
| JPWO2018092271A1 (ja) * | 2016-11-18 | 2019-06-24 | 株式会社島津製作所 | イオン分析装置 |
| US10971349B2 (en) | 2016-11-18 | 2021-04-06 | Shimadzu Corporation | Ion analyzer |
| CN109712862A (zh) * | 2019-01-28 | 2019-05-03 | 安图实验仪器(郑州)有限公司 | 适于基质辅助激光解析电离飞行时间质谱仪的光路系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100280164B1 (ko) | 전자 빔을 이용한 검사방법 및 그 장치 | |
| US8283641B2 (en) | Positioning device for a particle beam apparatus | |
| US7078712B2 (en) | In-situ monitoring on an ion implanter | |
| CN1992143B (zh) | 用于maldi的激光聚焦和斑点成像的组合装置 | |
| JP6666627B2 (ja) | 荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置の調整方法 | |
| KR101764122B1 (ko) | 질량분석기 전극 오염물 제거를 위한 레이저 클리닝 장치 및 방법 | |
| WO2015050201A1 (ja) | 荷電粒子線の傾斜補正方法および荷電粒子線装置 | |
| US6552341B1 (en) | Installation and method for microscopic observation of a semiconductor electronic circuit | |
| US4208585A (en) | Apparatus for focusing electromagnetic radiation on a sample | |
| JPH08148116A (ja) | 顕微レーザ飛行時間型質量分析計 | |
| US11959735B2 (en) | Height measuring device and beam irradiation device | |
| JP3123850B2 (ja) | 直接写像型反射電子顕微鏡 | |
| JP7580803B2 (ja) | １つ以上の走査荷電粒子ビームを検出するための装置及び方法 | |
| US7351971B2 (en) | Charged-particle beam instrument and method of detection | |
| JP4192290B2 (ja) | 荷電粒子線写像投影光学系及びその調整方法 | |
| JP2001006605A (ja) | 集束イオンビーム加工装置及び集束イオンビームを用いる試料の加工方法 | |
| JP2000003692A (ja) | 荷電粒子線写像投影光学系 | |
| JPH0589823A (ja) | 質量分析計 | |
| JPH07226184A (ja) | 質量分析計 | |
| JP2000215842A (ja) | 複合放出電子顕微鏡におけるその場観察システム | |
| JPH05225950A (ja) | 質量分析計 | |
| JPS63102152A (ja) | レ−ザ・マイクロプロ−ブ分析装置 | |
| JPH04306549A (ja) | 顕微レーザ質量分析計 | |
| JPH06111761A (ja) | 質量分析計 | |
| JP2004247321A (ja) | 走査形電子顕微鏡 |