JPH0950248A

JPH0950248A - 表示パネルの吸着テーブル

Info

Publication number: JPH0950248A
Application number: JP7222760A
Authority: JP
Inventors: Hideki Ikeuchi; 秀樹池内; Tsukasa Kudo; 司工藤; Yoshinobu Hasegawa; 吉伸長谷川
Original assignee: NIPPON MAIKURONIKUSU KK; Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: NIPPON MAIKURONIKUSU KK; Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 1995-08-09
Filing date: 1995-08-09
Publication date: 1997-02-18
Anticipated expiration: 2015-08-09
Also published as: JP3493081B2

Abstract

(57)【要約】【課題】吸着テーブルの載置面に、大気に常に連通す
る空気溝を形成して、表示パネルを載置面から持ち上げ
るときに負荷が小さくなるようにし、また、その際の静
電気発生を少なくする。【解決手段】吸着テーブル２２の載置面２４に、液晶
表示パネルを吸着保持するための吸着溝２６と、常に大
気に連通している空気溝２８とが形成されている。空気
溝２８は、同心の多数の矩形の溝からなり、吸着溝２６
が形成されていない載置面領域のほぼ全てをカバーする
ように形成されている。空気溝２８を構成するそれぞれ
の矩形の溝の４個の頂点に相当する部分には、それぞれ
空気流入通路３２が連通している。空気流入通路３２の
他端は大気に連通している。載置面２４の対角線上には
４本の突き上げピン３４が昇降可能に挿入されている。
この突き上げピン３４で液晶表示パネルを載置面２４か
ら持ち上げるときには、空気溝２８から載置面２４上に
空気が流入する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、電気回路が形成
された表示パネルを負圧によって吸着保持する吸着テー
ブルに関する。この吸着テーブルは、例えば、表示パネ
ルを検査するためのプローバに組み込まれて使用され
る。吸着する表示パネルの例としては、液晶表示パネル
が代表的であるが、プラズマ・ディスプレイ・パネルな
どのその他の表示パネルであってもよい。

【０００２】

【従来の技術】図８は、液晶表示パネルのプローバで用
いられる従来の吸着テーブル１０の載置面１１を示す平
面図である。この載置面１１には吸着溝１２が形成され
ていて、この吸着溝１２に負圧を供給することにより、
載置面１１の上に液晶表示パネルを吸着保持できる。吸
着溝１２は、三重に形成された矩形の溝１２ａ、１２
ｂ、１２ｃを互いに連通することによって構成してい
る。この吸着溝１２には、中央の負圧供給通路１４から
負圧が供給される。負圧供給通路１４は、吸着テーブル
１０の内部に形成されていて、負圧源につながってい
る。液晶表示パネルを載置面１１から持ち上げるときに
は、まず負圧を遮断して、負圧供給通路１４を大気に開
放してから、４本の突き上げピン１６を上昇させてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】図９は、上述した従来
の吸着テーブルから液晶表示パネルを持ち上げるときの
側面図である。吸着溝１２への負圧を遮断して、負圧供
給通路を経由して吸着溝１２を大気に開放してから、突
き上げピン１６を上昇させると、液晶表示パネル１８が
上昇する。この場合に、液晶表示パネルの大型化（例え
ば６５０ｍｍ×５５０ｍｍ）に伴って、次のような問題
が生じている。第１に上昇時の負荷が大きくなる。第２
に静電気の影響が無視できなくなる。

【０００４】まず、上昇時の負荷の問題を説明する。液
晶表示パネル１８を持ち上げる前の状態は、液晶表示パ
ネル１８の下面の大部分が、載置面１１に接触した状態
にある。この接触部分のところでは、液晶表示パネル１
８が持ち上がる瞬間に液晶表示パネル１８の下面と載置
面１１との間に新たに空間２０が形成されることにな
り、この空間２０が瞬間的に負圧状態となる。すると、
この空間２０に向かって、液晶表示パネル１８の側面近
傍から矢印２２に示すように空気が流入する。もちろ
ん、大気に開放された吸着溝１２からも空間２０に向か
って空気が流入するが、側面からの流入断面積の方が大
きいので、側面からの空気流入が主体となる。液晶表示
パネル１８が大型化すると、空間２０の負圧が空気流入
によって解消されるまでに時間がかかり、その間は、突
き上げピン１６にかかる負荷が大きくなる。また、これ
により、液晶表示パネル１８にも大きな曲げモーメント
が作用する。

【０００５】次に、静電気の影響を説明する。液晶表示
パネル１８の下面（ガラス基板）が載置面１１（金属）
に接触している状態から持ち上がるときには、液晶表示
パネル１８に静電気が発生する。液晶表示パネル１８が
大型化して接触面積が大きくなると、離れるときに発生
する静電気の容量も大きくなる。さらに、上述のように
狭い空間２０に空気が流入するときに、空気摩擦による
静電気も発生する。液晶表示パネル１８が大型化する
と、この空気摩擦による静電気量も大きくなる。このよ
うな静電気は、液晶表示パネル内に形成されたトランジ
スタ回路を破壊する恐れがある。

【０００６】なお、液晶表示パネルを非常にゆっくりと
上昇させれば、突き上げピンにかかる負荷もそれほど大
きくならず、また空気摩擦による静電気発生も少なくな
るが、液晶表示パネルを検査するサイクルタイムが長く
なり、好ましくない。

【０００７】この発明は上述の問題点を解決するために
なされたものであり、その目的は、表示パネルを吸着テ
ーブルから持ち上げるときに負荷が小さくなるような吸
着テーブルを提供することにある。また、この発明の別
の目的は、表示パネルを吸着テーブルから持ち上げると
きに静電気の発生が少ない吸着テーブルを提供すること
にある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明の吸着テーブル
の載置面には、表示パネルを吸着保持するための負圧供
給通路が開口しているほかに、空気溝が形成されてい
る。この空気溝は空気流入通路を介して大気に連通して
いる。したがって、表示パネルを載置面から持ち上げる
ときに、表示パネルと載置面との間に形成された新たな
空間に空気溝から空気が流入する。これにより、表示パ
ネルを突き上げるときの突き上げピンに大きな負荷がか
からず、表示パネルを迅速に持ち上げることができる。
また、空気溝のおかげで空気摩擦が小さくなり、空気摩
擦による静電気発生が少なくなる。さらに、載置面に空
気溝が形成されているために、表示パネルと載置面との
接触面積が小さくなり、表示パネルが載置面から離れる
瞬間に発生する静電気量も少なくなる。

【０００９】空気の流入抵抗を少なくするためにも、ま
た、表示パネルと載置面との接触面積を小さくするため
にも、空気溝が載置面に開口する部分の全面積は、載置
面の面積に対して、ある程度の割合を確保するのが好ま
しい。例えば、負圧を供給する部分の開口部と空気溝の
開口部との合計面積は載置面の面積の半分程度が好まし
い。少なくとも、空気溝の開口部の全面積は、載置面の
面積の４分の１以上とするのが適当である。

【００１０】本発明の吸着テーブルで吸着保持する表示
パネルは、完成した表示パネルに限らず、製造途中のパ
ネル基板の状態のものも含む。液晶表示パネルを例にと
ると、液晶を注入する前の、配線パターンやトランジス
タが形成された状態のガラス基板の状態であってもよい
し、また、液晶を注入した後のガラス基板の状態であっ
てもよい。また、表示パネルとしては、液晶表示パネル
のほかに、プラズマ・ディスプレイ・パネルなどのその
他の表示パネルを吸着保持するものであってもよい。本
発明の吸着テーブルは、どのような装置で使用されても
よいが、典型的には、表示パネルを検査するためのプロ
ーバで使用される。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１は、この発明の吸着テーブル
の一実施形態を示しており、吸着テーブルの載置面の平
面図である。この吸着テーブル２２の載置面２４は、一
辺が６７０ｍｍの概略正方形をしており、その載置面２
４には、液晶表示パネルを吸着保持するための吸着溝２
６と、常に大気に連通している空気溝２８とが形成され
ている。

【００１２】図３は吸着溝２６だけにクロスハッチング
を施して分かりやすくしたものである。吸着溝２６は、
互いに同心の三重の矩形の溝２６ａ、２６ｂ、２６ｃ
と、これらを互いに連通させるための溝２６ｄからな
る。「矩形」の溝の意味は、載置面２４に沿って延びた
形状が矩形であることを意味している。これらの溝の幅
はいずれも３ｍｍである。この吸着溝２６は、図１に示
す負圧供給通路３０に連通していて、この負圧供給通路
３０から負圧が供給される。

【００１３】図４は空気溝２８だけにクロスハッチング
を施して分かりやすくしたものである。空気溝２８は、
矩形の形状となるように載置面２４に沿って延びている
互いに同心の多数の溝２８ａ、２８ｂ、…からなる。空
気溝２８は、上述の吸着溝２６が形成されていない載置
面領域のほぼ全てをカバーするように形成されている。
これらの溝２８ａ、２８ｂ、…は、図１に示すように、
載置面２４の対角線上に配置された空気流入通路３２
ａ、３２ｂ、…にそれぞれ連通している。一つの矩形の
溝２８ａごとに、その矩形の４個の頂点に相当する部分
にそれぞれ空気流入通路３２ａが連通している。空気流
入通路３２ａの他端は後述するように大気に連通してい
る。空気溝２８の幅は３ｍｍである。載置面２４上にお
いて、隣り合う空気溝２８同志の間隔、及び空気溝２８
と吸着溝２６との間隔も同様に３ｍｍである。したがっ
て、載置面２４の表面積のうち、溝が形成されていない
部分の面積（液晶表示パネルと接触できる面積）は、載
置面２４の面積の約半分である。残りの約半分の面積は
溝領域となる。

【００１４】図１に戻って、載置面２４の対角線上には
４本の突き上げピン３４が昇降可能に挿入されている。
この突き上げピン３４は、液晶表示パネルを載置面２４
から持ち上げるのに用いられる。

【００１５】図２は吸着テーブル２２の底面図である。
底面３６にはその対角線上にＸ字形の底面溝３８が形成
されている。この底面溝３８の幅は２０ｍｍである。こ
の底面溝３８には、多数の空気流入通路３２が開口して
いる。これらの空気流入通路３２は、吸着テーブルの厚
さ方向に貫通しており、載置面側の空気溝２８と底面側
の底面溝３８とを連通する役割を果たしている。４本の
突き上げピン３４は、Ｘ字形の底面溝３８の部分で、吸
着テーブルの厚さ方向に貫通している。なお、突き上げ
ピン３４の挿入箇所は、この底面溝３８の部分に限る必
要はなく、その他の部分に挿入しても構わない。また、
底面３６には負圧供給通路３０が開口しており、この負
圧供給通路３０は負圧源に連通可能である。

【００１６】図６（Ａ）は吸着テーブルの載置面の４分
の１だけを示す平面図であり、図６（Ｂ）は図６（Ａ）
の６Ｂ−６Ｂ断面図、図６（Ｃ）は図６（Ａ）の６Ｃ−
６Ｃ断面図、図６（Ｄ）は図６（Ａ）の６Ｄ−６Ｄ断面
図である。

【００１７】図６（Ｂ）において、載置面２４側の吸着
溝２６の深さは０．５ｍｍであり、空気溝２８の深さは
１ｍｍである。吸着溝２６の深さを浅くしたのは、吸着
時の応答性を考慮して吸着溝の容積を小さくするためで
ある。負圧供給通路３０は吸着テーブルを厚さ方向に貫
通しており、この負圧供給通路３０の一端は載置面側の
吸着溝２６に連通しており、他端は負圧源に連通可能で
ある。負圧供給通路３０の内径は３ｍｍである。

【００１８】図６（Ｃ）において、空気流入通路３２は
吸着テーブルを厚さ方向に貫通しており、この空気流入
通路３２の一端は載置面側の空気溝２８に連通してお
り、他端は底面溝３８に連通している。空気流入通路３
２の内径は３ｍｍである。

【００１９】図６（Ｄ）は底面溝３８の長手方向に沿っ
た断面図であり、底面溝３８と空気溝２８とをつなぐ多
数の空気流入通路３２が示されている。また、吸着テー
ブルを貫通して昇降する突き上げピン３４も示されてい
る。

【００２０】図５はこの吸着テーブルの使用方法を示す
側面図である。図５（Ａ）において、吸着テーブル２２
は支持台４０の上に載っている。搬送アーム４２によっ
て右から左に搬送されてきた液晶表示パネル４４は、上
昇してきた４本の突き上げピン３４で支持される。搬送
アーム４２が右方向に後退すると、図５（Ｂ）の状態に
なる。この状態から突き上げピン３４が下降して液晶表
示パネル４４が吸着テーブル２２の載置面２４に載せら
れ、図５（Ｃ）の状態になる。それから、吸着溝に負圧
を供給することにより、液晶表示パネル４４は吸着テー
ブル２２の載置面に吸着保持される。

【００２１】この吸着テーブルは液晶表示パネルのプロ
ーバに組み込まれており、吸着テーブル２２に液晶パネ
ル４４が吸着保持された状態で、液晶表示パネル４４の
電極にプローブ針を接触させて、液晶表示パネル４４の
検査が実施される。検査が終了したら、負圧供給通路と
負圧源との間の連通を遮断して、代わりに、負圧供給通
路に０．５秒間だけ圧縮空気を供給し、これにより吸着
溝の負圧を短時間で解消している。その後、負圧供給通
路を大気に連通させている。次に、突き上げピン３４で
液晶表示パネル４４を持ち上げてから、搬送アーム４２
で液晶表示パネルを搬送する。

【００２２】図７は、液晶表示パネル４４を吸着テーブ
ル２２の載置面２４から持ち上げる瞬間を示した側面図
である。吸着溝は上述のように圧縮空気の導入により負
圧が解消されている。しかし、液晶表示パネル４４の下
面と載置面２４とが離れる瞬間に、その接触部分のとこ
ろに新しい空間４６が形成されるので、この空間４６が
一時的な負圧状態となる。この負圧となった空間４６に
向かって、底面溝３８と空気流入通路３２と空気溝２８
とを経由して、吸着テーブルの側面から大気が導入さ
れ、空間４６の負圧状態は早期に解消される。この実施
例では、０．５秒の間に液晶表示パネル４４が１５ｍｍ
だけ上昇するように上昇速度が設定されているが、この
ような比較的速い速度で上昇しても、空間４６に空気溝
２８から空気が供給されて負圧が早期に解消されるの
で、突き上げピン３４に大きな負荷がかからない。した
がって、液晶表示パネル４４にも大きな負荷がかからな
い。また、載置面全体にくまなく配置された空気溝２８
から空気が供給されるので、液晶表示パネルの側面近傍
から空気供給される従来例と比較すれば、空気摩擦によ
る静電気発生は格段に少なくなる。さらに、空気溝２８
の存在により、液晶表示パネル４４と載置面２４との接
触面積は、液晶表示パネル４４の表面積の半分程度にな
っているので、液晶表示パネル４４が載置面２４から離
れる際の静電気発生も少なくなる。

【００２３】

【発明の効果】この発明の吸着テーブルは、載置面に空
気溝が形成されていて、この空気溝が大気に連通してい
るので、表示パネルを載置面から持ち上げるときに、突
き上げピンに大きな負荷がかからず、表示パネルを迅速
に持ち上げることができる。また、空気流入摩擦が小さ
くなり、静電気発生が少なくなる。さらに、表示パネル
と載置面との接触面積が小さくなり、表示パネルが載置
面から離れる瞬間に発生する静電気量も少なくなる。こ
のように静電気の発生が少なくなるので、表示パネルに
形成されたトランジスタなどの回路が破壊される恐れが
ない。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の吸着テーブルの一実施形態の平面図
である。

【図２】吸着テーブルの底面図である。

【図３】吸着溝だけにクロスハッチングを施した平面図
である。

【図４】空気溝だけをクロスハッチングを施した平面図
である。

【図５】吸着テーブルの使用方法を示す側面図である。

【図６】吸着テーブルの載置面の一部を示す平面図と各
部の断面図である。

【図７】液晶表示パネルを吸着テーブルの載置面から持
ち上げるときの側面図である。

【図８】従来の吸着テーブルの載置面を示す平面図であ
る。

【図９】従来の吸着テーブルから液晶表示パネルを持ち
上げるときの側面図である。

【符号の説明】

２２吸着テーブル２４載置面２６吸着溝２８空気溝３０負圧供給通路３２空気流入通路３４突き上げピン３６底面３８底面溝４０支持台４２搬送アーム４４液晶表示パネル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電気回路が形成された表示パネルを負圧
によって吸着保持する吸着テーブルにおいて、次の構成
を備える吸着テーブル。（イ）表示パネルを吸着保持する載置面。（ロ）吸着テーブルの内部に形成されていて、一端が負
圧源に連通可能であり、他端が前記載置面に開口してい
る負圧供給通路。（ハ）前記載置面に開口していて、載置面に沿って延び
ている空気溝。（ニ）吸着テーブルの内部に形成されていて、一端が大
気に連通しており、他端が前記空気溝に連通している空
気流入通路。
【請求項２】前記空気溝の開口部の全面積は、前記載
置面の表面積の４分の１以上であることを特徴とする請
求項１記載の吸着テーブル。
【請求項３】吸着テーブルの裏面に沿って底面溝が形
成され、この底面溝の一端が前記空気流入通路に連通
し、他端が吸着テーブルの側面に開口していることを特
徴とする請求項１記載の吸着テーブル。
【請求項４】吸着テーブルの載置面は矩形をしてお
り、前記空気溝は同心の複数の矩形溝からなることを特
徴とする請求項３記載の吸着テーブル。
【請求項５】前記底面溝はＸ字形をしており、前記複
数の矩形溝の頂点部分と前記Ｘ字形の底面溝との間に前
記空気流入通路が形成されていることを特徴とする請求
項４記載の吸着テーブル。
【請求項６】前記載置面に沿って吸着溝が延びてい
て、この吸着溝に前記負圧供給通路が連通していること
を特徴とする請求項１記載の吸着テーブル。
【請求項７】液晶表示パネルを吸着保持することを特
徴とする請求項１記載の吸着テーブル。
【請求項８】表示パネルのプローバに組み込まれたこ
とを特徴とする請求項１記載の吸着テーブル。