JPH0954143A - 半導体試験装置における並列接続する電圧発生器及びコンタクト試験方法 - Google Patents
半導体試験装置における並列接続する電圧発生器及びコンタクト試験方法Info
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- JPH0954143A JPH0954143A JP7230735A JP23073595A JPH0954143A JP H0954143 A JPH0954143 A JP H0954143A JP 7230735 A JP7230735 A JP 7230735A JP 23073595 A JP23073595 A JP 23073595A JP H0954143 A JPH0954143 A JP H0954143A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、ＤＵＴ電源ピンに供給する電圧発
生器を複数台分並列接続して使用する場合において、各
電圧発生器からＤＵＴ電源ピンに正常に供給されている
ことを確認するコンタクト試験装置、試験方法を実現す
る。 【構成】 電圧発生器個々に、出力端を切り離す開閉手
段（８、９〜ｎ）を設け、コンタクトチェック時にこの
開閉手段を順次開閉制御してコンタクトチェックするコ
ントローラ３３を設ける。
生器を複数台分並列接続して使用する場合において、各
電圧発生器からＤＵＴ電源ピンに正常に供給されている
ことを確認するコンタクト試験装置、試験方法を実現す
る。 【構成】 電圧発生器個々に、出力端を切り離す開閉手
段（８、９〜ｎ）を設け、コンタクトチェック時にこの
開閉手段を順次開閉制御してコンタクトチェックするコ
ントローラ３３を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣテスタにおいて複
数の電圧発生器を並列に接続したときの電気的接続を確
保するコンタクト試験装置に関する。
数の電圧発生器を並列に接続したときの電気的接続を確
保するコンタクト試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣテスタによって被測定対象ＩＣデバ
イス（以下ＤＵＴと称す）の電気的特性を試験する場合
に、時として必要とする電源の電流容量（例えば５００
ｍＡ）が１台の電圧発生器のみでは不足するデバイスの
場合がある。その場合には、複数の電圧発生器をＤＵＴ
電源ピン端で並列に接続して電源を供給する。この電源
供給に対して、並列運転されている電圧発生器から確実
にＤＵＴに供給されていることをチェック確認する必要
がある。
イス（以下ＤＵＴと称す）の電気的特性を試験する場合
に、時として必要とする電源の電流容量（例えば５００
ｍＡ）が１台の電圧発生器のみでは不足するデバイスの
場合がある。その場合には、複数の電圧発生器をＤＵＴ
電源ピン端で並列に接続して電源を供給する。この電源
供給に対して、並列運転されている電圧発生器から確実
にＤＵＴに供給されていることをチェック確認する必要
がある。
【０００３】図３に示したのは、従来技術によって複数
である２台の電圧発生器ＶＳ１、ＶＳ２とをＤＵＴ１７
に並列接続して使用する回路構成である。上記回路の構
成は、それぞれにコンタクトチェック回路２５、２６を
内蔵し並列接続された電圧発生器ＶＳ１、ＶＳ２とコン
トローラ３３並びにＤＵＴ１７と、その出入力配線端子
他から成る。またコンタクトチェック回路２５、２６
は、リードリレー等の接点であるスイッチ５、６とＡ／
Ｄコンバータ２７、２８で構成される。デバイス試験時
にスイッチ５、６は、両接点をクローズして本来の電圧
発生器としてＤＵＴに電源を供給する。他方コンタクト
チェック時にはこれをオープンし、抵抗Ｒ４１、Ｒ４２
を介して微少電流を印加し、これをＡ／Ｄコンバータ２
７、２８でＤＵＴ電源ピン端の電圧を測定することでコ
ンタクトチェックを行う。
である２台の電圧発生器ＶＳ１、ＶＳ２とをＤＵＴ１７
に並列接続して使用する回路構成である。上記回路の構
成は、それぞれにコンタクトチェック回路２５、２６を
内蔵し並列接続された電圧発生器ＶＳ１、ＶＳ２とコン
トローラ３３並びにＤＵＴ１７と、その出入力配線端子
他から成る。またコンタクトチェック回路２５、２６
は、リードリレー等の接点であるスイッチ５、６とＡ／
Ｄコンバータ２７、２８で構成される。デバイス試験時
にスイッチ５、６は、両接点をクローズして本来の電圧
発生器としてＤＵＴに電源を供給する。他方コンタクト
チェック時にはこれをオープンし、抵抗Ｒ４１、Ｒ４２
を介して微少電流を印加し、これをＡ／Ｄコンバータ２
７、２８でＤＵＴ電源ピン端の電圧を測定することでコ
ンタクトチェックを行う。
【０００４】この図３の例では、電圧発生器ＶＳ１、Ｖ
Ｓ２の出力端子としては、４つの端子台（差し込みある
いは圧着端子台）があり、４箇所の接続点Ａ、Ｂ、Ｃ、
Ｄがある。この端子からＤＵＴ迄ケーブルで途中の中継
コネクタを経由してＤＵＴ電源ピンのコンタクト端部で
この４本が接続されている。
Ｓ２の出力端子としては、４つの端子台（差し込みある
いは圧着端子台）があり、４箇所の接続点Ａ、Ｂ、Ｃ、
Ｄがある。この端子からＤＵＴ迄ケーブルで途中の中継
コネクタを経由してＤＵＴ電源ピンのコンタクト端部で
この４本が接続されている。
【０００５】コントローラ３３は、Ｄ／Ａコンバータ３
１、３２で出力電圧を制御し、スイッチ５、６を開閉制
御して、帰還信号である電圧測定値ＶＭ２０、ＶＭ２１
をＡ／Ｄコンバータ２７、２８で測定し、これによって
ＤＵＴ１７との接続状態が正常であるかをチェック実施
する。
１、３２で出力電圧を制御し、スイッチ５、６を開閉制
御して、帰還信号である電圧測定値ＶＭ２０、ＶＭ２１
をＡ／Ｄコンバータ２７、２８で測定し、これによって
ＤＵＴ１７との接続状態が正常であるかをチェック実施
する。
【０００６】ところで、デバイス試験にあたり、予めＤ
ＵＴとデバイスソケットとの全ピンコンタクトチェック
が実施される。このとき、電源ピン以外の入力ピンや、
Ｉ／Ｏピンは、ＤＣテスト・ユニットのＩＳＶＭ（curr
ent I source voltage measure）を順次リレー切り替え
してＤＵＴピンに割り込ませ、この電流印加電圧測定機
能によりコンタクトチェックを実施している。コンタク
トチェック（contact check）とは、通常、ＤＵＴが実
装された試験の最初に行われ、ＤＵＴ各ピンのＩＣソケ
ットやコンタクタが電気的接続がされているか否かを検
出確認する機能である。
ＵＴとデバイスソケットとの全ピンコンタクトチェック
が実施される。このとき、電源ピン以外の入力ピンや、
Ｉ／Ｏピンは、ＤＣテスト・ユニットのＩＳＶＭ（curr
ent I source voltage measure）を順次リレー切り替え
してＤＵＴピンに割り込ませ、この電流印加電圧測定機
能によりコンタクトチェックを実施している。コンタク
トチェック（contact check）とは、通常、ＤＵＴが実
装された試験の最初に行われ、ＤＵＴ各ピンのＩＣソケ
ットやコンタクタが電気的接続がされているか否かを検
出確認する機能である。
【０００７】他方、ＤＵＴ電源ピンに対しては、このＩ
ＳＶＭを割り込ませる切り替え回路を有していない半導
体試験装置がある。この為、電圧発生器ＶＳ１、ＶＳ２
がコンタクトチェック機能を搭載して、電源ピンのコン
タクトチェックを実施している。
ＳＶＭを割り込ませる切り替え回路を有していない半導
体試験装置がある。この為、電圧発生器ＶＳ１、ＶＳ２
がコンタクトチェック機能を搭載して、電源ピンのコン
タクトチェックを実施している。
【０００８】図３を示して、電圧発生器ＶＳ１の一台の
場合でのコンタクトチェックの動作を説明する。ＤＵＴ
であるＴＴＬやＣＭＯＳデバイスでは、通常、ＰＮ接合
によるダイオード特性を示し、電源ピンに負の電圧を印
加すると、０．６Ｖ程度にクランプされる。このことを
利用して電圧発生器ＶＳ１の出力端からＤＵＴ電源ピン
迄の電気的接続状態のコンタクトチェックを行う。この
為、電源供給ケーブルの接続状態も含めて正常であるか
否かのチェックを行なう。
場合でのコンタクトチェックの動作を説明する。ＤＵＴ
であるＴＴＬやＣＭＯＳデバイスでは、通常、ＰＮ接合
によるダイオード特性を示し、電源ピンに負の電圧を印
加すると、０．６Ｖ程度にクランプされる。このことを
利用して電圧発生器ＶＳ１の出力端からＤＵＴ電源ピン
迄の電気的接続状態のコンタクトチェックを行う。この
為、電源供給ケーブルの接続状態も含めて正常であるか
否かのチェックを行なう。
【０００９】この為に、スイッチ５をオープンしてＤＵ
Ｔへ直列に保護用の抵抗Ｒ４１を介し、Ｄ／Ａコンバー
タ３１で−１Ｖ程度の電圧設定でＤＵＴに印加する。こ
の状態でＡ／Ｄコンバータ２７で測定する。第１に、Ｄ
ＵＴ電源ピンが接触不良の場合は−１Ｖの電圧値として
測定され、コンタクトが不良であることが判る。第２
に、−０．５Ｖ前後の電圧値として測定される場合は、
ＤＵＴのダイオード特性を検出したことになり、ＤＵＴ
電源ピンが電気的に正常接続状態であることが判る。第
３に、０〜−０．２Ｖ前後の電圧値として測定される場
合は、出力端子１２、１１の接続不良か、この出力端子
からＤＵＴ電源ピン迄に至る途中の中継コネクタ等の接
続系の接触不良や脱落状態やケーブル断線状態であるこ
とが判る。このようにしてコンタクトチェックの判定を
可能にしている。
Ｔへ直列に保護用の抵抗Ｒ４１を介し、Ｄ／Ａコンバー
タ３１で−１Ｖ程度の電圧設定でＤＵＴに印加する。こ
の状態でＡ／Ｄコンバータ２７で測定する。第１に、Ｄ
ＵＴ電源ピンが接触不良の場合は−１Ｖの電圧値として
測定され、コンタクトが不良であることが判る。第２
に、−０．５Ｖ前後の電圧値として測定される場合は、
ＤＵＴのダイオード特性を検出したことになり、ＤＵＴ
電源ピンが電気的に正常接続状態であることが判る。第
３に、０〜−０．２Ｖ前後の電圧値として測定される場
合は、出力端子１２、１１の接続不良か、この出力端子
からＤＵＴ電源ピン迄に至る途中の中継コネクタ等の接
続系の接触不良や脱落状態やケーブル断線状態であるこ
とが判る。このようにしてコンタクトチェックの判定を
可能にしている。
【００１０】次に、図３を示して、電圧発生器ＶＳ１、
ＶＳ２の２台並列接続の場合でのコンタクトチェックの
動作を説明する。２台の電圧発生器を並列接続されてい
ると、コントローラ３３は、ケーブル等の接続状態が正
常であるかを検出出来ない為に、コンタクトチェックを
正常に判定が出来ない場合がある。即ち、スイッチ５、
６をオープンしてＤＵＴへ直列に保護用の抵抗Ｒ４１、
Ｒ４２を介し、Ｄ／Ａコンバータ３１、３２で−１Ｖ程
度の電圧設定でＤＵＴに印加する。この状態でＡ／Ｄコ
ンバータ２７、２８で同様にして測定する。
ＶＳ２の２台並列接続の場合でのコンタクトチェックの
動作を説明する。２台の電圧発生器を並列接続されてい
ると、コントローラ３３は、ケーブル等の接続状態が正
常であるかを検出出来ない為に、コンタクトチェックを
正常に判定が出来ない場合がある。即ち、スイッチ５、
６をオープンしてＤＵＴへ直列に保護用の抵抗Ｒ４１、
Ｒ４２を介し、Ｄ／Ａコンバータ３１、３２で−１Ｖ程
度の電圧設定でＤＵＴに印加する。この状態でＡ／Ｄコ
ンバータ２７、２８で同様にして測定する。
【００１１】Ａ／Ｄコンバータ２７、２８での測定値が
各々−１Ｖ、０Ｖ、−０．５Ｖの３つの場合の組み合わ
せと仮定して以下に説明する。第１に、Ａ／Ｄコンバー
タ２７、２８の測定値が共に−１Ｖあるいは０Ｖと−１
Ｖの場合は、ＤＵＴ電源ピンのコンタクト状態の不良が
検出される。第２に、Ａ／Ｄコンバータ２７、２８の測
定値が共に０Ｖの場合は、ＤＵＴ電源ピンのコンタクト
状態は不定であり、電圧発生器ＶＳ１、ＶＳ２の供給系
の不良が検出される。第３に、Ａ／Ｄコンバータ２７、
２８の測定値が０Ｖと−０．５Ｖあるいは共に−０．５
Ｖの場合は、ＤＵＴ電源ピンの正常なコンタクト状態を
検出出来る。しかし、センシングケーブル系の一方の不
良は検出できるが、電圧発生器ＶＳ１、ＶＳ２の供給側
が両方とも接続状態にあるかは特定出来ず不明である。
各々−１Ｖ、０Ｖ、−０．５Ｖの３つの場合の組み合わ
せと仮定して以下に説明する。第１に、Ａ／Ｄコンバー
タ２７、２８の測定値が共に−１Ｖあるいは０Ｖと−１
Ｖの場合は、ＤＵＴ電源ピンのコンタクト状態の不良が
検出される。第２に、Ａ／Ｄコンバータ２７、２８の測
定値が共に０Ｖの場合は、ＤＵＴ電源ピンのコンタクト
状態は不定であり、電圧発生器ＶＳ１、ＶＳ２の供給系
の不良が検出される。第３に、Ａ／Ｄコンバータ２７、
２８の測定値が０Ｖと−０．５Ｖあるいは共に−０．５
Ｖの場合は、ＤＵＴ電源ピンの正常なコンタクト状態を
検出出来る。しかし、センシングケーブル系の一方の不
良は検出できるが、電圧発生器ＶＳ１、ＶＳ２の供給側
が両方とも接続状態にあるかは特定出来ず不明である。
【００１２】上記説明のように、２台の電圧発生器を並
列接続されていると、コントローラ３３は、ケーブル等
の接続状態が正常であるかを検出出来ない為に、コンタ
クトチェックを正常に判定が出来ない不具合を生じ、Ｄ
ＵＴ供給電流に支障を来して電源電圧が低下して正常な
デバイス試験が出来なくなる場合がある。このように２
台以上の並列運転では、各電圧発生器を含めたコンタク
トチェックが正常に検出出来ないことになってしまう。
列接続されていると、コントローラ３３は、ケーブル等
の接続状態が正常であるかを検出出来ない為に、コンタ
クトチェックを正常に判定が出来ない不具合を生じ、Ｄ
ＵＴ供給電流に支障を来して電源電圧が低下して正常な
デバイス試験が出来なくなる場合がある。このように２
台以上の並列運転では、各電圧発生器を含めたコンタク
トチェックが正常に検出出来ないことになってしまう。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、複
数台の電圧発生器を並列接続すると、ケーブル等の接続
状態が正常であるかを含めたコンタクトチェックが正常
に出来ない不具合を生じ、誤った電源をＤＵＴに供給す
るケースもあり、半導体試験装置としては測定品質の低
下要因になる為、利用上の難点があった。
数台の電圧発生器を並列接続すると、ケーブル等の接続
状態が正常であるかを含めたコンタクトチェックが正常
に出来ない不具合を生じ、誤った電源をＤＵＴに供給す
るケースもあり、半導体試験装置としては測定品質の低
下要因になる為、利用上の難点があった。
【００１４】そこで本発明が解決しようとする課題は、
ＤＵＴ電源ピンに供給する電圧発生器を複数台分並列接
続して使用する場合において、各電圧発生器からＤＵＴ
電源ピンに正常に供給されていることを確認するコンタ
クト試験装置、試験方法を実現することを目的とする。
ＤＵＴ電源ピンに供給する電圧発生器を複数台分並列接
続して使用する場合において、各電圧発生器からＤＵＴ
電源ピンに正常に供給されていることを確認するコンタ
クト試験装置、試験方法を実現することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、電圧発生器個々に、出力端を切
り離す開閉手段（スイッチ）８、９〜ｎを設け、コンタ
クトチェック時にこのスイッチを順次開閉制御してコン
タクトチェックするコントローラ３３を設ける構成手段
にする。これにより、コンタクトチェック回路４を有し
て、複数台並列接続してＤＵＴ１７に供給する電圧発生
器において、各電圧発生器からＤＵＴ電源ピンに正常に
供給されていることを確認するコンタクト試験を実現す
る。
に、本発明の構成では、電圧発生器個々に、出力端を切
り離す開閉手段（スイッチ）８、９〜ｎを設け、コンタ
クトチェック時にこのスイッチを順次開閉制御してコン
タクトチェックするコントローラ３３を設ける構成手段
にする。これにより、コンタクトチェック回路４を有し
て、複数台並列接続してＤＵＴ１７に供給する電圧発生
器において、各電圧発生器からＤＵＴ電源ピンに正常に
供給されていることを確認するコンタクト試験を実現す
る。
【００１６】また上記課題を解決するために、本発明の
構成では、電圧発生器個々に、出力端を切り離す開閉手
段８、９〜ｎを設け、電圧発生器個々にコンタクトチェ
ックを行うコントローラ３３を設け、コンタクトチェッ
ク時に、この開閉手段を全部オープンし、その後、順次
一台ずつ開閉手段をクローズし、Ｄ／Ａコンバータ３１
〜３４で試験電圧をＤＵＴに供給し、ＤＵＴ端の電圧を
センシングするＡ／Ｄコンバータ２７、２８〜ｎで電圧
を測定し、測定した電圧値により、供給ケーブル及びセ
ンシングケーブルの接続系を含むＤＵＴ電源ピンとの電
気的接続状態の良否を判定る方法がある。開閉手段８、
９〜ｎとしては、電圧供給出力端と、ＤＵＴピンの電圧
をセンシングするセンシング入力端とを開閉する半導体
スイッチあるいはリードリレーを用いる構成手段があ
る。
構成では、電圧発生器個々に、出力端を切り離す開閉手
段８、９〜ｎを設け、電圧発生器個々にコンタクトチェ
ックを行うコントローラ３３を設け、コンタクトチェッ
ク時に、この開閉手段を全部オープンし、その後、順次
一台ずつ開閉手段をクローズし、Ｄ／Ａコンバータ３１
〜３４で試験電圧をＤＵＴに供給し、ＤＵＴ端の電圧を
センシングするＡ／Ｄコンバータ２７、２８〜ｎで電圧
を測定し、測定した電圧値により、供給ケーブル及びセ
ンシングケーブルの接続系を含むＤＵＴ電源ピンとの電
気的接続状態の良否を判定る方法がある。開閉手段８、
９〜ｎとしては、電圧供給出力端と、ＤＵＴピンの電圧
をセンシングするセンシング入力端とを開閉する半導体
スイッチあるいはリードリレーを用いる構成手段があ
る。
【作用】出力端を切り離す開閉手段であるスイッチ８、
９〜ｎは、電圧発生器個々に、出力端を切り離す開閉手
段であって、他の電圧発生器の影響を受ける事無くセン
シングケーブル系からのセンシング信号を検出可能にな
る。これによりコントローラ２３は、従来の制御に加え
て、非コンタクトチェック時には全スイッチ８〜ｎはク
ローズ状態にし、コンタクトチェック時にはスイッチ８
〜ｎを全部オープンにした後、順次開閉制御して、独立
してＤＵＴ電源ピンとの間で電圧発生器個別のコンタク
トチェックが実施可能になる。
９〜ｎは、電圧発生器個々に、出力端を切り離す開閉手
段であって、他の電圧発生器の影響を受ける事無くセン
シングケーブル系からのセンシング信号を検出可能にな
る。これによりコントローラ２３は、従来の制御に加え
て、非コンタクトチェック時には全スイッチ８〜ｎはク
ローズ状態にし、コンタクトチェック時にはスイッチ８
〜ｎを全部オープンにした後、順次開閉制御して、独立
してＤＵＴ電源ピンとの間で電圧発生器個別のコンタク
トチェックが実施可能になる。
【００１７】
【実施例】図１（Ａ）は、本発明による実施例の複数ｎ
台の電圧発生器を並列運転する構成図である。構成は、
従来構成要素に加えてスイッチ８、９〜ｎを追加し、こ
れに対応したコントローラ２３とで成る。
台の電圧発生器を並列運転する構成図である。構成は、
従来構成要素に加えてスイッチ８、９〜ｎを追加し、こ
れに対応したコントローラ２３とで成る。
【００１８】スイッチ８、９〜ｎは、電圧発生器個々
に、出力端を切り離す開閉手段であって、コントローラ
２３から個別に制御可能なリードリレーあるいは半導体
スイッチの接点であり、一台ずつこのスイッチを接続
し、個々に独立したコンタクトチェックを行えるように
する為の開閉スイッチである。これにより電源供給ケー
ブル系を含む各電圧発生器のコンタクトチェックを確実
に実施できる。
に、出力端を切り離す開閉手段であって、コントローラ
２３から個別に制御可能なリードリレーあるいは半導体
スイッチの接点であり、一台ずつこのスイッチを接続
し、個々に独立したコンタクトチェックを行えるように
する為の開閉スイッチである。これにより電源供給ケー
ブル系を含む各電圧発生器のコンタクトチェックを確実
に実施できる。
【００１９】コントローラ２３は、従来の制御に加え
て、非コンタクトチェック時には全スイッチ８〜ｎはク
ローズ状態にし、コンタクトチェック時にはスイッチ８
〜ｎを全部オープンにした後、順次開閉制御して、電圧
発生器個別のコンタクトチェックを行うよことにより測
定実施する。
て、非コンタクトチェック時には全スイッチ８〜ｎはク
ローズ状態にし、コンタクトチェック時にはスイッチ８
〜ｎを全部オープンにした後、順次開閉制御して、電圧
発生器個別のコンタクトチェックを行うよことにより測
定実施する。
【００２０】即ち、図１（Ｂ）に示すスイッチのＯＮ／
ＯＦＦ制御シーケンスのように、最初は、スイッチ８の
みＯＮして、従来同様にしてコンタクトチェックを実施
する。次に、スイッチ９のみＯＮして、従来同様にして
コンタクトチェックを実施する。これを繰り返し、最後
のスイッチｎのみＯＮして、従来同様にしてコンタクト
チェックを実施する。これらによりよってコンタクトチ
ェック結果の全てが正常であれば並列接続された全ての
電圧発生器の供給ケーブル系とセンシングケーブル系の
接続状態と、ＤＵＴ電源ピンとのコンタクトチェックが
正常であることが明確に確認できることとなる。
ＯＦＦ制御シーケンスのように、最初は、スイッチ８の
みＯＮして、従来同様にしてコンタクトチェックを実施
する。次に、スイッチ９のみＯＮして、従来同様にして
コンタクトチェックを実施する。これを繰り返し、最後
のスイッチｎのみＯＮして、従来同様にしてコンタクト
チェックを実施する。これらによりよってコンタクトチ
ェック結果の全てが正常であれば並列接続された全ての
電圧発生器の供給ケーブル系とセンシングケーブル系の
接続状態と、ＤＵＴ電源ピンとのコンタクトチェックが
正常であることが明確に確認できることとなる。
【００２１】図２には、上記個別のコンタクトチェック
の実施結果の一例を示す電圧発生器ＶＳ１、ＶＳ２の電
圧測定値ＶＭ２０、ＶＭ２１についての判定判定図表で
あり、Ｖｄ（−０．５Ｖ）と０Ｖ電圧検出の例である。
この図表から供給ケーブル系Ａ点出力端子１１とセンシ
ングケーブル系Ｂ点出力端子１２の接続状態と、供給ケ
ーブル系Ｂ点出力端子１３とセンシングケーブル系Ｄ点
出力端子１４の接続状態とが個別に判定できることが判
る。
の実施結果の一例を示す電圧発生器ＶＳ１、ＶＳ２の電
圧測定値ＶＭ２０、ＶＭ２１についての判定判定図表で
あり、Ｖｄ（−０．５Ｖ）と０Ｖ電圧検出の例である。
この図表から供給ケーブル系Ａ点出力端子１１とセンシ
ングケーブル系Ｂ点出力端子１２の接続状態と、供給ケ
ーブル系Ｂ点出力端子１３とセンシングケーブル系Ｄ点
出力端子１４の接続状態とが個別に判定できることが判
る。
【００２２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。複
数台並列運転する電圧発生器の出力端を切り離す開閉手
段を設けることにより、コンタクトチェックを一台ずつ
独立にコンタクトチェック出来る。これにより、他の電
圧発生器の影響を受ける事無くセンシングケーブル系か
らのセンシング信号を検出測定出来ることになり、電圧
発生器を確実に検出できる効果が得られる。これにより
電源供給ケーブル系を含む各電圧発生器のコンタクトチ
ェックを確実に実施可能になる。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。複
数台並列運転する電圧発生器の出力端を切り離す開閉手
段を設けることにより、コンタクトチェックを一台ずつ
独立にコンタクトチェック出来る。これにより、他の電
圧発生器の影響を受ける事無くセンシングケーブル系か
らのセンシング信号を検出測定出来ることになり、電圧
発生器を確実に検出できる効果が得られる。これにより
電源供給ケーブル系を含む各電圧発生器のコンタクトチ
ェックを確実に実施可能になる。
【図１】（Ａ）本発明による実施例の並列接続電圧発生
器のコンタクト試験装置の構成例と、（Ｂ）スイッチの
ＯＮ／ＯＦＦ制御シーケンスを説明する図である。
器のコンタクト試験装置の構成例と、（Ｂ）スイッチの
ＯＮ／ＯＦＦ制御シーケンスを説明する図である。
【図２】本発明の、個別のコンタクトチェックの実施結
果の一例を示す判定図表である。
果の一例を示す判定図表である。
【図３】従来技術によって２台の電圧発生器をＤＵＴに
並列接続して電圧供給する回路構成例である。
並列接続して電圧供給する回路構成例である。
ＶＳ１、ＶＳ２、ＶＳｎ 電圧発生器 ４、２５、２６ コンタクトチェック回路 ５、６、８、９ スイッチ １１、１２、１３、１４ 出力端子 １７ ＤＵＴ ＶＭ２０、ＶＭ２１ 電圧測定値 ２３、３３ コントローラ ２７、２８ Ａ／Ｄコンバータ ３１、３２ Ｄ／Ａコンバータ Ｒ４１、Ｒ４２ 抵抗
Claims (3)
- 【請求項１】 コンタクト・チェック回路を有して、複
数台並列接続してＤＵＴに供給する電圧発生器におい
て、 電圧発生器個々に、出力端を切り離す開閉手段を設け、 コンタクトチェック時にこの開閉手段を順次開閉制御し
てコンタクトチェックするコントローラを設け、 以上を具備することを特徴とする半導体試験装置におけ
る並列接続する電圧発生器。 - 【請求項２】 コンタクトチェック回路を有して、複数
台並列接続してＤＵＴに供給する電圧発生器のコンタク
トチェックにおいて、 電圧発生器個々に、出力端を切り離す開閉手段を設け、 電圧発生器個々にコンタクトチェックを行うコントロー
ラを設け、 コンタクトチェック時に、この開閉手段を全部オープン
し、 その後、順次一台ずつ開閉手段をクローズし、 Ｄ／Ａコンバータで試験電圧をＤＵＴに供給し、 ＤＵＴ端の電圧をセンシングするＡ／Ｄコンバータで電
圧を測定し、 測定した電圧値により、供給ケーブル及びセンシングケ
ーブルの接続系を含むＤＵＴ電源ピンとの電気的接続状
態の良否を判定し、 以上を具備することを特徴とする半導体試験装置におけ
る並列接続するコンタクト試験方法。 - 【請求項３】 請求項１記載の開閉手段は、 電圧供給出力端と、ＤＵＴピンの電圧をセンシングする
センシング入力端とを開閉する半導体スイッチあるいは
リードリレーを用いた半導体試験装置における並列接続
する電圧発生器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7230735A JPH0954143A (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | 半導体試験装置における並列接続する電圧発生器及びコンタクト試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7230735A JPH0954143A (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | 半導体試験装置における並列接続する電圧発生器及びコンタクト試験方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0954143A true JPH0954143A (ja) | 1997-02-25 |
Family
ID=16912486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7230735A Pending JPH0954143A (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | 半導体試験装置における並列接続する電圧発生器及びコンタクト試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0954143A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100499624B1 (ko) * | 1998-12-31 | 2005-09-02 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 메모리 소자의 볼티지 제너레이터(voltage generator)테스트 장치 |
| JP2005274402A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Advantest Corp | スイッチ制御装置、半導体試験装置、及び生成プログラム |
| JP2007127527A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Fujitsu Access Ltd | レンジ切替制御装置 |
| JP2015190788A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-11-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板検査装置 |
-
1995
- 1995-08-11 JP JP7230735A patent/JPH0954143A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100499624B1 (ko) * | 1998-12-31 | 2005-09-02 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 메모리 소자의 볼티지 제너레이터(voltage generator)테스트 장치 |
| JP2005274402A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Advantest Corp | スイッチ制御装置、半導体試験装置、及び生成プログラム |
| JP2007127527A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Fujitsu Access Ltd | レンジ切替制御装置 |
| JP2015190788A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-11-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板検査装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040608 |