JPH0954824A

JPH0954824A - 画像処理方法及び装置

Info

Publication number: JPH0954824A
Application number: JP21061195A
Authority: JP
Inventors: Naomi Yokoyama; 直美横山; Yasushi Tsuchiya; 泰土屋
Original assignee: Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd; Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd; Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1995-08-18
Filing date: 1995-08-18
Publication date: 1997-02-25

Abstract

(57)【要約】【課題】複数の対象物の形状を正確に反映した二値化
データを得ることができる画像処理方法及び装置を得
る。【解決手段】スレッショールドレベル算出手段１５
は、ビデオＲＡＭ１１に格納された濃淡画像データを、
ＩＣチップ２の各リードを含み、且つ隣接したリードを
含まない領域に対応する第１〜第ｎ（ｎ≧２）の部分濃
淡画像データに分類し、第１〜第ｎの部分濃淡画像デー
タそれぞれにおける画素の濃淡輝度の最大値及び最小値
に基づき、第１〜第ｎ部分濃淡画像データそれぞれに対
応する第１〜第ｎのスレッショールドレベルを算出す
る。二値化手段１６は、第１〜第ｎの部分濃淡画像デー
タをそれぞれ前記第１〜第ｎのスレッショールドレベル
に基づき二値化して第１〜第ｎの二値化データをワーク
ＲＡＭ１７に出力する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば半導体装
置のリード認識用に用いられる画像処理方法及び装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】図７は、従来のリード認識装置の構成を
示す説明図である。同図に示すように、ＩＣチップ２お
よびリードフレーム３からなるワークは台１上に載置固
定される。ＩＣチップ２上にはパッド４を形成される。
ＩＣチップ２，リードフレーム３に光を照射するために
照明５が設けられる。また、６はＸＹテーブルで、カメ
ラ７およびボンディングツール８を搭載する。

【０００３】カメラ７はリードフレーム３のリード部分
を撮像して複数の画素信号からなる画像データを二値化
変換手段３１に出力する。二値化変換手段３１は、カメ
ラ７により撮像された画像データを画像処理用の二値化
データに変換してモニタＴＶ１０及びビデオＲＡＭ３２
に出力する。モニタＴＶ１０は二値化変換手段３１から
得た二値化データに基づく画像を表示する。ビデオＲＡ
Ｍ１１は二値化変換手段９より得た二値化データをワー
クＲＡＭ１７に転送し、ワークＲＡＭ１７は二値化デー
タをストアする。サーチ手段１２は、基準被写体情報メ
モリ１３の内容とワークＲＡＭ１７の内容とを比較し、
リードの位置をサーチする。基準被写体情報メモリ１３
にはサーチすべきリードの幅、位置情報等が記憶されて
いる。ボンディング制御手段１４はサーチ手段１２によ
り算出された被写体補正量に基づきボンディングツール
８およびＸＹテーブル６を制御する。

【０００４】図８は、従来のリード認識装置の動作を示
すフローチャートである。同図を参照して、テーブル移
動画像取込み二値化処理を開始すると、ステップＳ１で
ブロック番号ｋを“１”に初期設定する。半導体装置の
リード（部）の画像は数本のリードからなるリード群単
位に順次取り込まれる。このリード群のまとまりを１つ
のブロックと定義し、ブロック番号を付す。

【０００５】ステップＳ２で、ブロック番号ｋのリード
群がモニタＴＶ１０の中央に表示されるためのＸＹテー
ブル６の位置を算出し、ステップＳ３で、ステップＳ２
で算出された位置にＸＹテーブル６を移動させる。

【０００６】そして、ステップＳ４で、二値化変換手段
３１は、スレッショールドレベルを設定する。

【０００７】ステップＳ５で、画像取込み完了信号がブ
ロック番号ｋのリード群の画像データの取り込み完了を
指示するＯＦＦ信号になったか否かをチェックし、ＯＦ
Ｆ信号になるとはじめてステップＳ６に移行する。

【０００８】ステップＳ６で、カメラ７は、照明５によ
り照らされたＩＣチップ２上のリード群を撮像し、ブロ
ック番号ｋのリード群の画像データを生成し、二値化変
換手段３１はカメラ７より画像データを受け、ステップ
Ｓ４で設定されたスレッショールドレベルに基づき二値
化することにより、画像データをデジタル信号である二
値化データに変換する。

【０００９】ステップＳ６で二値化データをビデオＲＡ
Ｍ３２を取り込み、さらにワークＲＡＭ１７を転送後、
ステップＳ７で画像取込み完了信号をＯＮ信号に設定す
る。画像取込み完了信号はＯＦＦのとき、ビデオＲＡＭ
１１に格納されたブロック番号（ｋ−１）の二値化デー
タがワークＲＡＭ１７に転送され用済みであることを意
味し、ＯＮのとき、ビデオＲＡＭ１１に格納されたブロ
ック番号（ｋ−１）の二値化データの格納中であること
を意味する。

【００１０】ステップＳ８で、半導体装置のリードの全
ブロックの画像取り込みが終了したか否かをチェック
し、取り込み済であれば処理を終了し、取り込み済でな
ければステップＳ９でブロック番号ｋをインクリメント
してステップＳ２に戻る。

【００１１】以降、ステップＳ８で画像取り込み済と判
定されるまで、ステップＳ２〜Ｓ７の処理が繰り返され
る。

【００１２】画像取り込み二値化処理と並行して、サー
チ手段１２は、ワークＲＡＭ１７に取り込まれた二値化
データに基づき、図９に示すように、サーチすべきリー
ド２１をサーチし、その中心の座標Ｐ１２を算出する。
次に、基準被写体情報メモリ１３の情報より本来配置さ
れるべきリード２０の中心座標Ｐ０２とサーチすべきリ
ード２１の中心の座標Ｐ１２との差、すなわち、ズレ量
（Ｐ０２−Ｐ１２）を算出する。さらに、このズレ量
（Ｐ０２−Ｐ１２）とボンディングすべき座標Ｐ０１と
を加算し、実際に配置されたリード２１上でのボンディ
ングすべき座標Ｐ１１を算出しボンディング制御手段１
４に通知する。ボンディング制御手段１４はこの座標Ｐ
１１にボンディングツール８を移動させ正確にボンディ
ング処理を行う。

【００１３】通常、このリードは１つのＩＣチップに十
数本〜数百本の割合で存在し、これら全てのリードを前
述した複数のブロックに分割し、各ブロックごとに全て
のリードに対し図９で示したサーチを行いボンディング
すべき座標を算出しボンディングを行う。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】従来のリード認識装置
による半導体装置のリードの画像処理は以上のように行
われており、固定したスレッショールドレベルによって
二値化されている。

【００１５】図１０は、ブロック番号ｋのリード群の各
リードの濃淡輝度が均一な場合の画像データ及び二値化
データを示す説明図である。この場合、同図(a)に示す
ように、リード２１ａ〜２１ｃが多少傾いた状況下に水
平走査方向Ｌ１で撮像されても、同図(c)に示すような
画像データを得ることができる。その結果、画像データ
をスレッショールドレベルＴＨで二値化すると、同図
(b)に示すように、均一な幅Ｗ０で“１”を示す二値化
データを得ることができる。

【００１６】図１１は、ブロック番号ｋのリード群の各
リードの濃淡輝度がリード間で異なる場合の画像データ
及び二値化データを示す説明図である。この場合、同図
(a)に示すように、濃淡画像がそれぞれ明るすぎる、適
正、暗すぎるリード２１ａ〜２１ｃが多少傾いた状況下
に水平走査方向Ｌ１で撮像されると、同図(c)に示すよ
うな各リードの撮像部分で異なる画像データを得ること
になる。その結果、画像データをスレッショールドレベ
ルＴＨで二値化すると、同図(b)に示すように、それぞ
れが異なる幅Ｗ１，Ｗ２及びＷ３で“１”を示すリード
２１ａ、２１ｂ及び２１ｃの二値化データを得ることに
なる。

【００１７】実際には、リードはワークに登載される際
に水平度あるいは製造過程のバラツキにより、ブロック
番号ｋのリード群の各リードの濃淡輝度がリード間で異
なる場合が殆どであるため、従来のリード認識装置によ
るリードの画像処理方法で得られる二値化データから正
確にリード幅を認識できない、すなわち、複数の対象物
の形状を正確に反映した二値化データを得ることができ
ないという問題点があった。

【００１８】この発明は上記問題点を解決するためにな
されたもので、複数の対象物の形状を正確に反映した二
値化データを得ることができる画像処理方法及び装置を
得ることを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】この発明に係る請求項１
記載の画像処理方法は、(a)第１〜第ｎ（ｎ≧２）の対
象物を被写体として撮像し、複数の画素からなる濃淡画
像データを得るステップと、(b)前記濃淡画像データを
前記第１〜第ｎの対象物それぞれに対応する第１〜第ｎ
の部分濃淡画像データに分類するステップと、(c)前記
第１〜第ｎの部分濃淡画像データそれぞれに基づき、各
々独立して第１〜第ｎのスレッショールドレベルをそれ
ぞれ算出するステップと、(d)前記第１〜第ｎの部分濃
淡画像データをそれぞれ前記第１〜第ｎのスレッショー
ルドレベルに基づき二値化して第１〜第ｎの二値化デー
タを生成するステップとを備えて構成される。

【００２０】また、請求項２記載の画像処理方法のよう
に、前記ステップ(c)は、第１〜第ｎの部分濃淡画像デ
ータそれぞれにおける画素の濃淡輝度の最大値及び最小
値に基づき第１〜第ｎのスレッショールドレベルをそれ
ぞれ算出するようにしてもよい。

【００２１】また、請求項３記載の画像処理方法のよう
に、前記ステップ(c)は、第１〜第ｎの部分濃淡画像デ
ータそれぞれにおいて、所定の方向に隣接する画素の濃
淡輝度の差分値に基づき第１〜第ｎのスレッショールド
レベルをそれぞれ算出するようにしてもよい。

【００２２】さらに、請求項４記載の画像処理方法のよ
うに、前記ステップ(c)は、以下のステップ(c-1)及び(c
-2)のうち、いずれか一のステップを選択的に行うよう
にしてもよい。(c-1)第１〜第ｎの部分濃淡画像データ
それぞれにおける画素の濃淡輝度の最大値及び最小値に
基づき第１〜第ｎのスレッショールドレベルをそれぞれ
算出するステップ、(c-2)第１〜第ｎの部分濃淡画像デ
ータにおいて、所定方向に隣接する画素の濃淡輝度の差
分値に基づき第１〜第ｎのスレッショールドレベルそれ
ぞれを算出するステップ、加えて、請求項５記載の画像
処理方法のように、前記第１〜第ｎの対象物はそれぞ
れ、予想される位置ずれ距離以上の距離を隔てて、各々
が所定の形成幅で所定の方向に延びて形成される半導体
装置における第１〜第ｎのリードであってもよい。

【００２３】この発明に係る請求項６記載の画像処理装
置は、第１〜第ｎ（ｎ≧２）の対象物を被写体として撮
像し、複数の画素からなる濃淡画像データを生成する濃
淡画像生成手段と、前記濃淡画像データを前記第１〜第
ｎの対象物に対応する第１〜第ｎの部分濃淡画像データ
に分類し、前記第１〜第ｎの部分濃淡画像データそれぞ
れに基づき、各々独立して第１〜第ｎのスレッショール
ドレベルをそれぞれ算出するスレッショールドレベル算
出手段と、前記第１〜第ｎの部分濃淡画像データをそれ
ぞれ前記第１〜第ｎのスレッショールドレベルで二値化
して二値化データを生成する二値化手段とを備えて構成
される。

【００２４】また、請求項７記載の画像処理装置のよう
に、前記スレッショールドレベル算出手段は、第１〜第
ｎの部分濃淡画像データにおける画素の濃淡輝度の最大
値及び最小値に基づき第１〜第ｎのスレッショールドレ
ベルを算出してもよい。

【００２５】また、請求項８記載の画像処理装置のよう
に、前記スレッショールドレベル算出手段は、第１〜第
ｎの部分濃淡画像データにおいて、隣接する画素の濃淡
輝度の差分値に基づき第１〜第ｎのスレッショールドレ
ベルを算出してもよい。

【００２６】さらに、請求項９記載の画像処理装置のよ
うに、前記スレッショールドレベル算出手段は、第１及
び第２の算出手段を有しこのうち一方の手段を選択的に
用いて第１〜第ｎのスレッショールドレベルを算出し、
前記第１の算出手段は第１〜第ｎの部分濃淡画像データ
それぞれにおける画素の濃淡輝度の最大値及び最小値に
基づき第１〜第ｎのスレッショールドレベルをそれぞれ
算出する手段であり、前記第２の算出手段は第１〜第ｎ
の部分濃淡画像データそれぞれにおいて隣接する画素の
濃淡輝度の差分値に基づき第１〜第ｎのスレッショール
ドレベルをそれぞれ算出する手段であってもよい。

【００２７】加えて、請求項１０記載の画像処理装置の
ように、前記第１〜第ｎの対象物はそれぞれ、予想され
る位置ずれ距離以上の距離を隔てて各々が形成される半
導体装置のリードであってもよい。

【００２８】

【発明の実施の形態】

＜実施の形態１＞図１はこの発明の実施の形態１である
リード認識装置の構成を示す説明図である。同図に示す
ように、ＩＣチップ２およびリードフレーム３からなる
ワークは台１上に載置固定される。ＩＣチップ２上には
パッド４を形成される。ＩＣチップ２，リードフレーム
３に光を照射するために照明５が設けられる。また、６
はＸＹテーブルで、カメラ７およびボンディングツール
８を搭載する。

【００２９】カメラ７はリードフレーム３のリード部分
を被写体として撮像して複数の画素信号からなる画像デ
ータを濃淡画像変換手段９に出力する。濃淡画像変換手
段９は、カメラ７により撮像された画像データを画像処
理用の濃淡画像データに変換してモニタＴＶ１０及びビ
デオＲＡＭ１１に出力する。モニタＴＶ１０は濃淡画像
変換手段９より得た濃淡画像データを表示する。ビデオ
ＲＡＭ１１は濃淡画像変換手段９より得た濃淡画像デー
タをストアする。

【００３０】スレッショールドレベル算出手段１５は、
ビデオＲＡＭ１１に格納された濃淡画像データを、ＩＣ
チップ２の各リードを含み、且つ隣接したリードを含ま
ない領域に対応する第１〜第ｎ（ｎ≧２）の部分濃淡画
像データに分類する。そして、第１〜第ｎの部分濃淡画
像データそれぞれにおける画素の濃淡輝度の最大値及び
最小値に基づき、第１〜第ｎ部分濃淡画像データそれぞ
れに対応する第１〜第ｎのスレッショールドレベルを算
出して、第１〜第ｎの部分濃淡画像データ及び第１〜第
ｎのスレッショールドレベルを二値化手段１６に出力す
る。

【００３１】二値化手段１６は、第１〜第ｎの部分濃淡
画像データをそれぞれ前記第１〜第ｎのスレッショール
ドレベルに基づき二値化して第１〜第ｎの二値化データ
をワークＲＡＭ１７に出力する。

【００３２】サーチ手段１２は、二値化手段１６による
二値化処理を並行して、基準被写体情報メモリ１３の内
容とワークＲＡＭ１７の内容とを比較し、ＩＣチップ２
におけるリードの位置をサーチする。基準被写体情報メ
モリ１３にはサーチすべきリードの幅、位置情報等が記
憶されている。ボンディング制御手段１４はサーチ手段
１２により算出された被写体補正量に基づきボンディン
グツール８およびＸＹテーブル６を制御する。

【００３３】図２は、実施の形態１のリード認識装置の
動作を示すフローチャートである。同図を参照して、テ
ーブル移動画像取込み二値化処理を開始すると、ステッ
プＳ１１でブロック番号ｋを“１”に初期設定する。半
導体装置のリード（部）の画像は第１〜第ｎのリードか
らなるリード群単位に順次取り込まれる。このリード群
のまとまりを１つのブロックと定義し、ブロック番号を
付す。

【００３４】ステップＳ１２で、ブロック番号ｋのリー
ド群がモニタＴＶ１０の中央に表示されるためのＸＹテ
ーブル６の位置を算出し、ステップＳ１３で、ステップ
Ｓ１２で算出された位置にＸＹテーブル６を移動させ
る。

【００３５】ステップＳ１４で、画像取込み完了信号が
ＯＦＦになったか否かをチェックし、ＯＦＦになるとは
じめてステップＳ１５に移行する。画像取込み完了信号
はＯＦＦのとき、ビデオＲＡＭ１１に格納されたブロッ
ク番号（ｋ−１）の濃淡画像データがすべて二値化デー
タに変換されてワークＲＡＭ１７に転送され用済みであ
ることを意味し、ＯＮのとき、ビデオＲＡＭ１１に格納
されたブロック番号（ｋ−１）の濃淡画像データが利用
中であることを意味する。

【００３６】そして、ステップＳ１５で、カメラ７は、
照明５により照らされたＩＣチップ２上のブロック番号
ｋのリード群を撮像し、ブロック番号ｋのリード群の画
像データを生成し、濃淡画像変換手段９はカメラ７より
濃淡画像データを受け、この濃淡画像データをビデオＲ
ＡＭ１１を取り込む。

【００３７】次に、ステップＳ１６で、スレッショール
ドレベル算出手段１５は、ビデオＲＡＭ１１に格納され
た濃淡画像データを、第１〜第ｎリードのうち一のリー
ドを含み、且つ隣接した他のリードを含まない領域に対
応する第１〜第ｎ（ｎ≧２）の部分濃淡画像データに分
類する。このとき、ブロック番号ｋ内の第１〜第ｎのリ
ードはそれぞれ、予想される位置ずれ距離以上の距離を
隔てて、所定の形成幅で同一の方向に延びて形成されて
いるため、リードに多少の位置ずれが生じても、正確に
第１〜第ｎのリードを分類した第１〜第ｎの部分濃淡画
像データを得ることができる。

【００３８】そして、ステップＳ１７で、スレッショー
ルドレベル算出手段１５は、第１〜第ｎの部分濃淡画像
データそれぞれにおける画素の濃淡輝度の最大値及び最
小値に基づき第１〜第ｎのスレッショールドレベルをそ
れぞれ算出して二値化手段１６に出力する。

【００３９】以下、その詳細を説明する。

【００４０】第ｉ（ｉ＝１〜ｎのいずれか）の部分濃
淡画像データにおいて、画素信号の指示する濃淡輝度の
最大値ＭＡＸｉ及び最小値ＭＩＮｉとを算出する。

【００４１】第ｉの部分濃淡画像データに対するスレ
ッショールドレベルＴＨｉを下記の式(I)により算出す
る。 THi=(MAXi-MINi)・R+MINi…(I) ここで、Ｒはスレッショールドレベル比率でＲ＝０．５
であれば中心値となる。スレッショールドレベル比率Ｒ
は、オペレータによって設定してもよく、リード認識装
置が自動的に設定するようにしてもよい。

【００４２】また、サーチ手段１２によりサーチ失敗と
判断されリードの認識を再び行う（リトライする）場合
に、スレッショールドレベル比率Ｒを適切に変更するこ
とにより、正確なリードに認識を行いサーチ成功に導く
ことができる。

【００４３】スレッショールドレベル算出手段１５及び
二値化手段１６による二値化処理に並行して行うサーチ
手段１２によるサーチの成功／失敗の判断は、ビデオＲ
ＡＭ１１に次のブロックの濃淡画像データが取り込まれ
るまでに下されるため、リトライ時には、既にビデオＲ
ＡＭ１１に取り込まれている濃淡画像データを再利用で
き、再度、濃淡画像データを取り込むことなくスレッシ
ョールドレベルの変更のみで二値化データを再生成し
て、サーチ動作を実行することができる。

【００４４】次に、ステップＳ１８で、二値化手段１６
は、ビデオＲＡＭ１１より得た濃淡画像データにおける
第１〜第ｎの部分濃淡画像データをそれぞれ前記第１〜
第ｎのスレッショールドレベルに基づき二値化して第１
〜第ｎの二値化データをワークＲＡＭ１７に出力する。
ワークＲＡＭ１７に取り込まれた第１〜第ｎの二値化デ
ータに基づきサーチ手段１２はサーチ動作を並行して行
う。

【００４５】サーチ手段１２は、従来同様、ワークＲＡ
Ｍ１７に取り込まれた二値化データに基づき、基準被写
体情報メモリ１３の情報を参照しながら、サーチ動作を
行い、実際に配置されたリードでのボンディングすべき
座標を算出することによりリードの位置を認識してボン
ディング制御手段１４に通知する。ボンディング制御手
段１４はこの座標にボンディングツール８を移動させ正
確にボンディング処理を行う。

【００４６】通常、半導体装置リードは１つのＩＣチッ
プに十数本〜数百本の割合で存在し、これら全てのリー
ドをｎ本単位に複数のブロックに分割し、各ブロックご
とに全てのリードに対したサーチを行いボンディングす
べき座標を算出しボンディングを行う。

【００４７】その後、ステップＳ１９で画像取込み完了
信号をＯＮ信号に設定する。そして、ステップＳ２０
で、半導体装置のリードの全ブロックの画像取り込みが
終了したか否かをチェックし、取り込み済であれば処理
を終了し、取り込み済でなければステップＳ２１でブロ
ック番号ｋをインクリメントしてステップＳ１２に戻
る。

【００４８】以降、ステップＳ２０で画像取り込み済と
判定されるまで、ステップＳ１２〜Ｓ１９の処理が繰り
返される。

【００４９】このように、実施の形態１のリード認識装
置よる画像処理方法によれば、ブロック番号ｋにおける
第１〜第ｎのリードそれぞれに対して各々独立して第１
〜第ｎのスレッショールドレベルをそれぞれ算出するた
め、第１〜第ｎのリードそれぞれの撮像状況に応じた適
切なスレッショールドレベルを算出することができる。

【００５０】さらに加えて、実施の形態１のリード認識
装置のスレッショールドレベル算出手段１５によってス
テップＳ１７で実行されるスレッショールドレベル算出
処理は、第１〜第ｎの部分濃淡画像データそれぞれにお
ける画素の濃淡輝度の最大値及び最小値に基づき第１〜
第ｎのスレッショールドレベルをそれぞれ算出するた
め、カメラ７で撮像される際に第１〜第ｎのリードで濃
淡輝度が異なっていても、二値化手段１６によってステ
ップＳ１８で実行される二値化データ生成処理で、精度
の高い第１〜第ｎの二値化データを得ることができる。

【００５１】図３は、ブロック番号ｋのリード群の各リ
ードの濃淡輝度がリード間で異なる場合の画像データ及
び二値化データを示す説明図である。この場合、同図
(a)に示すように、濃淡画像がそれぞれ明るすぎる、適
正、暗すぎる第１〜第３のリード２１ａ〜２１ｃが多少
傾いた状態下に水平走査方向Ｌ１で撮像されると、同図
(c)に示すように、第１〜第３のリードに対応する第１
〜第３の部分濃淡画像データＰＳ１〜ＰＳ３の輝度が異
なってしまう。

【００５２】しかしながら、実施の形態１では、第１〜
第３の部分濃淡画像データそれぞれに対して独立したス
レッショールドレベルＴＨ１〜ＴＨ３を設け、第１〜第
３の部分濃淡画像データそれぞれをスレッショールドレ
ベルＴＨ１〜ＴＨ３それぞれに基づき二値化すると、同
図(b)に示すように、それぞれが同一の幅Ｗ０で“１”
を示す第１、第２及び第３のリード２１ａ、２１ｂ及び
２１ｃに対応する二値化データを得ることができる。

【００５３】したがって、ワークに登載される際に水平
度あるいは製造過程のバラツキにより、ブロック番号ｋ
のリード群の各リードの濃淡輝度がリード間で異なって
も、実施の形態１のリード認識装置によるリードの画像
処理方法で得られる二値化データから正確にリード幅を
認識できる。すなわち、複数の対象物の形状を正確に反
映した二値化データを得ることができるという効果を奏
する。

【００５４】＜実施の形態２＞図４は、この発明の実施
の形態２のリード認識装置による画像処理方法を示すフ
ローチャートである。なお、リード認識装置の構成はス
レッショールドレベル算出手段１５のスレッショールド
レベル算出処理内容を除き、図１で示した実施の形態１
と同様である。

【００５５】図４において、ステップＳ３１〜Ｓ３６の
動作は、図２で示した実施の形態１のステップＳ１１〜
Ｓ１６の動作と同様であるため説明を省略する。

【００５６】ステップＳ３７において、スレッショール
ドレベル算出手段１５は、第１〜第ｎの部分濃淡画像デ
ータそれぞれにおける水平走査方向（リードの幅方向に
沿った方向）に隣接する画素の濃淡輝度の差分値の変化
量に基づき第１〜第ｎのスレッショールドレベルをそれ
ぞれ算出して二値化手段１６に出力する。

【００５７】以下、その詳細を説明する。

【００５８】第ｉ（ｉ＝１〜ｎのいずれか）の部分濃
淡画像データにおいて、リードの幅方向に沿った方向に
隣接する画素の濃淡輝度の差分値を順次算出し、１番目
のピーク値ＤＰ１ｉと、２番目のピーク値ＤＰ２ｉ（≦
ＤＰ１ｉ）とを得る。

【００５９】第ｉの部分濃淡画像データに対するスレ
ッショールドレベルＴＨｉを下記の式(II)により算出す
る。 THi=(DP1i-DP2i)・R+DP2i…(II) ここで、Ｒはスレッショールドレベル比率でＲ＝０．５
であれば中心値となる。スレッショールドレベル比率Ｒ
は、実施の形態１同様、オペレータによって設定しても
よく、リード認識装置が自動的に設定するようにしても
よい。

【００６０】以降、ステップＳ３８〜Ｓ４１の処理は、
図２で示した実施の形態１のステップＳ１８〜Ｓ２１の
動作と同様であるため説明を省略する。

【００６１】このように、実施の形態２のリード認識装
置よる画像処理方法によれば、ブロック番号ｋにおける
第１〜第ｎのリードそれぞれに対して各々独立して第１
〜第ｎのスレッショールドレベルをそれぞれ算出するた
め、第１〜第ｎのリードそれぞれの撮像状況に応じた適
切なスレッショールドレベルを算出することができる。

【００６２】さらに加えて、実施の形態２のリード認識
装置のスレッショールドレベル算出手段１５によってス
テップＳ３７で実行されるスレッショールドレベル算出
処理は、第１〜第ｎの部分濃淡画像データそれぞれにお
ける水平走査方向に隣接する画素の濃淡輝度の差分値の
第１及び第２のピーク値に基づき第１〜第ｎのスレッシ
ョールドレベルをそれぞれ算出するため、カメラ７で撮
像される際に第１〜第ｎのリードで濃淡輝度が異なって
いても、二値化手段１６によってステップＳ３８で実行
される二値化データ生成処理で、精度の高い第１〜第ｎ
の二値化データを得ることができる。

【００６３】図５は、ブロック番号ｋのリード群の各リ
ードの濃淡輝度がリード間で異なる場合の画像データ及
び二値化データを示す説明図である。この場合、同図
(a)に示すように、濃淡画像がそれぞれ明るすぎる、適
正、暗すぎる第１〜第３のリード２１ａ〜２１ｃが多少
傾いた状況下に水平走査方向Ｌ１で撮像されると、同図
(c)に示すように、第１〜第３のリードに対応する第１
〜第３の部分濃淡画像データＰＳ１〜ＰＳ３の濃淡輝度
が異なってしまう。

【００６４】しかしながら、実施の形態２では、第１〜
第３の部分濃淡画像データそれぞれに対して、同図(d)
に示すように、差分値の第１及び第２のピーク値ＤＰ１
ｉ及びＤＰ２ｉに基づき、独立したスレッショールドレ
ベルＴＨ１〜ＴＨ３を設け、第１〜第３の部分濃淡画像
データそれぞれをスレッショールドレベルＴＨ１〜ＴＨ
３それぞれに基づき二値化すると、同図(b)に示すよう
に、それぞれが同一の幅Ｗ０で“１”を示す第１、第２
及び第３のリード２１ａ、２１ｂ及び２１ｃに対応する
二値化データを得ることができる。

【００６５】したがって、ワークに登載される際に水平
度あるいは製造過程のバラツキにより、ブロック番号ｋ
のリード群の各リードの濃淡輝度がリード間で異なって
も、実施の形態２のリード認識装置によるリードの画像
処理方法で得られる二値化データから正確にリード幅を
認識できる。すなわち、複数の対象物の形状を正確に反
映した二値化データを得ることができるという効果を奏
する。

【００６６】＜実施の形態３＞図６は、この発明の実施
の形態３のリード認識装置による画像処理方法を示すフ
ローチャートである。なお、リード認識装置の構成はス
レッショールドレベル算出手段１５のスレッショールド
レベル算出処理を行う構成を除き、図１で示した実施の
形態１と同様である。スレッショールドレベル算出手段
１５は、第１の算出手段及び第２の手段を内部に有し
（図示せず）、このうち一方の手段を選択的に用いて、
第１〜第ｎの部分濃淡画像データに基づき第１〜第ｎの
スレッショールドレベルをそれぞれ独立に算出して二値
化手段１６に出力する。

【００６７】図６において、ステップＳ５１〜Ｓ５６の
動作は、図２で示した実施の形態１のステップＳ１１〜
Ｓ１６の動作と同様であるため説明を省略する。

【００６８】ステップＳ５７において、スレッショール
ドレベル算出手段１５は、第１の算出手段及び第２の手
段を有し、このうち一方の手段を選択的に用いて、第１
〜第ｎの部分濃淡画像データに基づき第１〜第ｎのスレ
ッショールドレベルをそれぞれ独立に算出して二値化手
段１６に出力する。以下に第１及び第２の算出手段によ
るスレッショールドレベル算出方法を説明する。

【００６９】・第１の算出手段実施の形態１のステップＳ１７の処理同様、第１〜第ｎ
の部分濃淡画像データそれぞれにおける画素の濃淡輝度
の最大値及び最小値に基づき、(I)式を用いて第１〜第
ｎのスレッショールドレベルを算出する。

【００７０】・第２の算出手段実施の形態２のステップＳ３７の処理同様、第１〜第ｎ
の部分濃淡画像データそれぞれにおける水平走査方向に
隣接する画素の濃淡輝度の差分値の変化量に基づき、(I
I)式を用いて第１〜第ｎのスレッショールドレベルを算
出する。

【００７１】なお、第１の方法あるいは第２の算出手段
の選択は、オペレータが外部の入力装置を用いて行うよ
うにしてもよく、リード認識装置が自動的に選択するよ
うにしてもよい。

【００７２】また、第１及び第２の算出手段の選択は、
１回の画像取り込み二値化処理ごとに行うようにしても
よく、１つのリードの二値化処理ごとに適宜行うように
してもよく、初回サーチ時とリトライサーチ時において
適宜行うようにしてもよい。

【００７３】このように、実施の形態３のリード認識装
置よる画像処理方法によれば、ブロック番号ｋにおける
第１〜第ｎのリードそれぞれに対して各々独立して第１
〜第ｎのスレッショールドレベルをそれぞれ算出するた
め、第１〜第ｎのリードそれぞれの撮像状況に応じた適
切なスレッショールドレベルを算出することができる。

【００７４】さらに加えて、実施の形態３のリード認識
装置は、第１の算出手段による算出処理（実施の形態１
のステップＳ１７で実行されるスレッショールドレベル
算出処理）あるいは第２の算出手段による算出処理（実
施の形態２のステップＳ３７で実行されるスレッショー
ルドレベル算出処理）を選択的にスレッショールドレベ
ル算出手段１５によってステップＳ５７で実行すること
ができるため、第１あるいは第２の算出手段を適切に選
択することにより、カメラ７で撮像される際に第１〜第
ｎのリードで濃淡輝度が異なっていても、二値化手段１
６によってステップＳ５８で実行される二値化データ生
成処理で、実施の形態１及び２以上に精度の高い第１〜
第ｎの二値化データを得ることができる。

【００７５】＜その他＞なお、実施の形態１〜３では画
像処理の対象物としてＩＣチップ２のリードを取り上げ
たが、これに限定されず、ＩＣチップ２上に形成される
複数のパッド等、複数の対象物における各対象物の形状
を反映した正確な二値化データの生成を所望する場合に
本発明を適用することができる。

【００７６】

【発明の効果】この発明に係る請求項１記載の画像処理
方法のステップ(c)は、第１〜第ｎの部分濃淡画像デー
タそれぞれに基づき、各々独立して第１〜第ｎのスレッ
ショールドレベルをそれぞれ算出するため、第１〜第ｎ
の対象物それぞれの撮像状況に応じた適切なスレッショ
ールドレベルを算出することができる。

【００７７】したがって、ステップ(d)で精度の高い第
１〜第ｎの二値化データを得ることができる。

【００７８】また、請求項２記載の画像処理方法のステ
ップ(c)は、第１〜第ｎの部分濃淡画像データそれぞれ
における画素の濃淡輝度の最大値及び最小値に基づき第
１〜第ｎのスレッショールドレベルをそれぞれ算出する
ため、ステップ(a)で撮像される際に第１〜第ｎの対象
物間で濃淡輝度が異なっていても、ステップ(d)で精度
の高い第１〜第ｎの二値化データを得ることができる。

【００７９】また、請求項３記載の画像処理方法のステ
ップ(c)は、第１〜第ｎの部分濃淡画像データそれぞれ
において、所定の方向に隣接する画素の濃淡輝度の差分
値に基づき第１〜第ｎのスレッショールドレベルをそれ
ぞれ算出するため、ステップ(a)で撮像される際に第１
〜第ｎの対象物間で濃淡輝度が異なっていても、所定の
方向にそった第１〜第ｎの対象物それぞれの境界を正確
に検出した精度の高い第１〜第ｎの二値化データをステ
ップ(d)で得ることができる。

【００８０】また、請求項４記載の画像処理方法のステ
ップ(c)は、第１〜第ｎの部分濃淡画像データそれぞれ
における画素の濃淡輝度の最大値及び最小値に基づき第
１〜第ｎのスレッショールドレベルをそれぞれ算出する
ステップ(c-1)と、第１〜第ｎの部分濃淡画像データそ
れぞれにおいて、所定方向に隣接する画素の濃淡輝度の
差分値に基づき第１〜第ｎのスレッショールドレベルを
算出するステップ(cー2)とのうち、いずれか一のステッ
プを選択的に行うため、適切にステップ(c-1)あるいは
ステップ(c-2)を選択することにより、ステップ(a)で撮
像される際に第１〜第ｎの対象物間で濃淡輝度が異なっ
ていても、より精度の高い第１〜第ｎの二値化データを
ステップ(d)で得ることができる。

【００８１】また、請求項５記載の画像処理方法におい
て、第１〜第ｎの対象物はそれぞれ、予想される位置ず
れ距離以上の距離を隔てて、各々が所定の形成幅で所定
の方向に延びて形成される半導体装置における第１〜第
ｎのリードであるため、第１の第ｎのリードの位置が多
少ズレた場合でも、正確に第１〜第ｎの部分濃淡画像デ
ータを得ることができる。第１〜第ｎの二値化データの
精度を悪化させることもない。

【００８２】この発明に係る請求項６記載の画像処理装
置のスレッショールドレベル算出手段は、濃淡画像デー
タを第１〜第ｎの対象物に対応する第１〜第ｎの部分濃
淡画像データに分類し、第１〜第ｎの部分濃淡画像デー
タそれぞれに基づき、各々独立して第１〜第ｎのスレッ
ショールドレベルをそれぞれ算出するため、第１〜第ｎ
の対象物それぞれの撮像状況に応じた適切なスレッショ
ールドレベルを算出することができる。

【００８３】したがって、二値化手段により、精度の高
い第１〜第ｎの二値化データを得ることができる。

【００８４】また、請求項７記載の画像処理装置のスレ
ッショールドレベル算出手段は、第１〜第ｎの部分濃淡
画像データそれぞれにおける画素の濃淡輝度の最大値及
び最小値に基づき第１〜第ｎのスレッショールドレベル
をそれぞれ算出するため、濃淡画像生成手段で生成され
る際に第１〜第ｎの対象物間で濃淡輝度が異なっていて
も、二値化手段により、精度の高い第１〜第ｎの二値化
データを得ることができる。

【００８５】また、請求項８記載の画像処理装置のスレ
ッショールドレベル算出手段は、第１〜第ｎの部分濃淡
画像データそれぞれにおいて、所定の方向に隣接する画
素の濃淡輝度の差分値に基づき第１〜第ｎのスレッショ
ールドレベルをそれぞれ算出するため、濃淡画像生成手
段で生成される際に第１〜第ｎの対象物間で濃淡輝度が
異なっていても、所定の方向にそった第１〜第ｎの対象
物それぞれの境界を正確に検出した精度の高い第１〜第
ｎの二値化データを二値化手段により得ることができ
る。

【００８６】また、請求項９記載の画像処理装置のスレ
ッショールドレベル算出手段は、第１〜第ｎの部分濃淡
画像データにおける画素の濃淡輝度の最大値及び最小値
に基づき第１〜第ｎのスレッショールドレベルをそれぞ
れ算出する第１の算出と、第１〜第ｎの部分濃淡画像デ
ータそれぞれにおいて、所定方向に隣接する画素の濃淡
輝度の差分値に基づき第１〜第ｎのスレッショールドレ
ベルをそれぞれ算出する第２の算出手段とのうち、いず
れか一の手段を選択するため、適切に第１あるいは第２
の算出手段を選択することにより、濃淡画像生成手段で
生成される際に第１〜第ｎの対象物間で濃淡輝度が異な
っていても、より精度の高い第１〜第ｎの二値化データ
を二値化手段により得ることができる。

【００８７】また、請求項１０記載の画像処理装置にお
いて、第１〜第ｎの対象物はそれぞれ、予想される位置
ずれ距離以上の距離を隔てて、各々が所定の形成幅で所
定の方向に延びて形成される半導体装置における第１〜
第ｎのリードであるため、第１の第ｎのリードの位置が
多少ズレた場合でも、スレッショールドレベル算出手段
は正確に第１〜第ｎの部分濃淡画像データを得ることが
でき、二値化手段により得られる第１〜第ｎの二値化デ
ータの精度を悪化させることもない。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態１であるリード認識装
置の構成を示す説明図である。

【図２】実施の形態１の画像処理方法を示すフローチ
ャートである。

【図３】実施の形態１の効果を示す説明図である。

【図４】この発明の実施の形態２である画像処理方法
を示すフローチャートである。

【図５】実施の形態１の効果を示す説明図である。

【図６】この発明の実施の形態３である画像処理方法
を示すフローチャートである。

【図７】従来のリード認識装置の構成を示す説明図で
ある。

【図８】従来のリード認識装置による画像処理方法を
示すフローチャートである。

【図９】リード認識方法を示す説明図である。

【図１０】正常な濃淡輝度で撮像された場合の二値化
データを示す説明図である。

【図１１】異常な濃淡輝度で撮像された場合の二値化
データを示す説明図である。

【符号の説明】

７カメラ、９濃淡画像変換手段、１１ビデオＲＡ
Ｍ、１２サーチ手段、１４ボンディング制御手段、
１５スレッショールドレベル算出手段、１６二値化手
段、１７ワークＲＡＭ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所 9061−5ＨＧ０６Ｆ 15/70 ３２０

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】 (a) 第１〜第ｎ（ｎ≧２）の対象物を被
写体として撮像し、複数の画素からなる濃淡画像データ
を得るステップと、 (b) 前記濃淡画像データを前記第１〜第ｎの対象物それ
ぞれに対応する第１〜第ｎの部分濃淡画像データに分類
するステップと、 (c) 前記第１〜第ｎの部分濃淡画像データそれぞれに基
づき、各々独立して第１〜第ｎのスレッショールドレベ
ルをそれぞれ算出するステップと、 (d) 前記第１〜第ｎの部分濃淡画像データをそれぞれ前
記第１〜第ｎのスレッショールドレベルに基づき二値化
して第１〜第ｎの二値化データを生成するステップと、
を備える画像処理方法。
【請求項２】前記ステップ(c)は、第１〜第ｎの部分
濃淡画像データそれぞれにおける画素の濃淡輝度の最大
値及び最小値に基づき第１〜第ｎのスレッショールドレ
ベルをそれぞれ算出する、請求項１記載の画像処理方
法。
【請求項３】前記ステップ(c)は、第１〜第ｎの部分
濃淡画像データそれぞれにおいて、所定の方向に隣接す
る画素の濃淡輝度の差分値に基づき第１〜第ｎのスレッ
ショールドレベルをそれぞれ算出する、請求項１記載の
画像処理方法。
【請求項４】前記ステップ(c)は、以下のステップ(c-
1)及び(c-2)のうち、いずれか一のステップを選択的に
行う、 (c-1) 第１〜第ｎの部分濃淡画像データそれぞれにおけ
る画素の濃淡輝度の最大値及び最小値に基づき第１〜第
ｎのスレッショールドレベルをそれぞれ算出する、 (c-2) 第１〜第ｎの部分濃淡画像データにおいて、所定
方向に隣接する画素の濃淡輝度の差分値に基づき第１〜
第ｎのスレッショールドレベルそれぞれを算出する、請求項１記載の画像処理方法。
【請求項５】前記第１〜第ｎの対象物はそれぞれ、予
想される位置ずれ距離以上の距離を隔てて、各々が所定
の形成幅で所定の方向に延びて形成される半導体装置に
おける第１〜第ｎのリードである、請求項１〜請求項４
のうちいずれか１項に記載の画像処理方法。
【請求項６】第１〜第ｎ（ｎ≧２）の対象物を被写体
として撮像し、複数の画素からなる濃淡画像データを生
成する濃淡画像生成手段と、前記濃淡画像データを前記第１〜第ｎの対象物に対応す
る第１〜第ｎの部分濃淡画像データに分類し、前記第１
〜第ｎの部分濃淡画像データそれぞれに基づき、各々独
立して第１〜第ｎのスレッショールドレベルをそれぞれ
算出するスレッショールドレベル算出手段と、前記第１〜第ｎの部分濃淡画像データをそれぞれ前記第
１〜第ｎのスレッショールドレベルで二値化して二値化
データを生成する二値化手段と、を備える画像処理装
置。
【請求項７】前記スレッショールドレベル算出手段
は、第１〜第ｎの部分濃淡画像データにおける画素の濃淡輝
度の最大値及び最小値に基づき第１〜第ｎのスレッショ
ールドレベルを算出する、請求項６記載の画像処理装
置。
【請求項８】前記スレッショールドレベル算出手段
は、第１〜第ｎの部分濃淡画像データにおいて、隣接する画
素の濃淡輝度の差分値に基づき第１〜第ｎのスレッショ
ールドレベルを算出する、請求項６記載の画像処理装
置。
【請求項９】前記スレッショールドレベル算出手段
は、第１及び第２の算出手段を有しこのうち一方の手段を選
択的に用いて第１〜第ｎのスレッショールドレベルを算
出し、前記第１の算出手段は第１〜第ｎの部分濃淡画像
データそれぞれにおける画素の濃淡輝度の最大値及び最
小値に基づき第１〜第ｎのスレッショールドレベルをそ
れぞれ算出する手段であり、前記第２の算出手段は第１
〜第ｎの部分濃淡画像データそれぞれにおいて隣接する
画素の濃淡輝度の差分値に基づき第１〜第ｎのスレッシ
ョールドレベルをそれぞれ算出する手段である、請求項
６記載の画像処理装置。
【請求項１０】前記第１〜第ｎの対象物はそれぞれ、
予想される位置ずれ距離以上の距離を隔てて各々が形成
される半導体装置のリードである、請求項６ないし請求
項９のうちいずれか１項に記載の画像処理装置。