JPH0957840A - 中空容器の製造方法 - Google Patents

中空容器の製造方法

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JPH0957840A
JPH0957840A JP21599695A JP21599695A JPH0957840A JP H0957840 A JPH0957840 A JP H0957840A JP 21599695 A JP21599695 A JP 21599695A JP 21599695 A JP21599695 A JP 21599695A JP H0957840 A JPH0957840 A JP H0957840A
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JP21599695A
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Inventor
Koichi Kawachi
浩一 河内
Norihiro Shimizu
紀弘 清水
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Denka Co Ltd
Original Assignee
Denki Kagaku Kogyo KK
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  • Blow-Moulding Or Thermoforming Of Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐圧耐熱性自立中空容器の製造方法を提供す
る。 【解決手段】 口頸部、肩部、胴部、および底部中心部
の周りに複数の脚部を放射状に膨出し、これらの脚部と
脚部との間に谷線部を形成した自立可能な構造を有する
底部からなる二軸延伸ブロー成形された飽和ポリエステ
ル樹脂製の二軸延伸ブロー容器において、この容器底部
と加熱装置との間に、容器底部と嵌合し、かつ、容器の
特定部分に対応する部分が開口した遮蔽板を設置し、容
器底部の特定部分から選ばれた部分を結晶化し、これ以
外の底部を結晶化しない耐圧耐熱性自立中空容器の製造
方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、耐圧耐熱性自立中空容
器の製造方法に関し、より詳細には内容物の加熱殺菌時
の耐圧及び耐熱性を高め、耐衝撃性にも優れた中空容器
の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、耐圧耐熱性自立中空容器として
は、容器本体の耐内圧性を高めるため底部を半球殻状に
膨出成形し、これに有底筒状に成形されたベ−スカップ
を装着して、容器に自立性を付与したものが主流であっ
た。しかしながら、ベ−スカップの使用は、別途ベ−ス
カップを成形し装着固定を行わなければならないこと、
容器の重量が大きくなり、形状も大型化すること、加熱
殺菌工程で温水が容器底部に十分に達しないため内容物
の加熱殺菌をスム−ズに行うことができないこと、ま
た、このとき、ベ−スカップ内に水が溜まり、速やかに
排水されにくいこと、など様々な問題があった。
【0003】さらに、省資源や環境問題の観点から使用
済みの空容器を有効再利用することが望まれているが、
ベ−スカップを装着した容器では通常、容器本体とベ−
スカップや接着剤の材料が異なるため、再利用する場合
にはこれらを分離しなければならず、プロセス的にコス
ト高となるという問題も抱えている。
【0004】このような問題から、ベ−スカップを必要
としない耐圧耐熱性容器が望まれていた。ベ−スカップ
を必要としない耐圧性容器としては、いくつかの提案が
なされており、一般的には底部中心部の周りに複数の脚
部を放射状に膨出し、これらの脚部の間に谷線部を形成
した構造か、あるいはシャンペンタイプの構造かのいず
れかである。例えば、特公昭48−5708号公報、特
公昭59−40693号公報、特公昭61−9170号
公報、特開昭63−202424号公報及び特開平3ー
43342号公報に記載されている。
【0005】しかしながら、これら各号に記載された容
器は、耐圧性容器としては満足する性能を得ることがで
きるものの、加熱殺菌工程を行う耐圧耐熱性容器として
使用した場合には十分な性能を得ることができない。す
なわち、前記各号に記載された容器は、底部中心部およ
び該中心部周辺に未延伸領域及び低延伸領域が存在して
いるため、加熱殺菌時に内容物の温度が50℃から70
℃程度に上昇すると、内圧が増大すること、また容器材
料自体もクリ−プ変形を起こしやすくなることにより、
底部中心部および該中心部周辺の未延伸領域及び低延伸
領域やその周辺領域がクリ−プ変形を起こして突出し、
容器は自立安定性を失うことになる。
【0006】この問題を解決する方法として、例えば、
特開平5−85535号公報に記載された容器を使用す
ることが考えられる。この容器は、底部中心部を結晶化
し、中心部周辺部を十分に延伸した容器であるため、加
熱殺菌時に内圧が増大した場合底部のクリープ変形をあ
る程度抑えることができる。しかしながら、この容器の
場合においても、脚部と脚部との間に形成された谷線部
を十分に延伸することは困難で該部分に低延伸領域が残
るため、加熱殺菌時に該部分がクリープ変形を起こし底
部が突出して自立安定性を失う。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の研究者等は鋭
意研究の結果、底部中心部の周りに複数の脚部を放射状
に膨出し、これらの脚部と脚部との間に谷線部を形成し
た底部構造の場合、内圧による応力が特に底部中心部と
谷線部に集中することを見いだし、さらに実際の加熱殺
菌時の底部突出においては、底部の中心部とその周辺の
低延伸部領域、特には谷線部の底部中心部に近い部分の
クリープ変形が大きいことを見いだした。また谷線部以
外にも、脚部の底部中心部の周辺部の縁より接地部にい
たる部分が加熱殺菌時に該部分がクリープ変形を起こ
し、底部突出することを見いだした。さらに、谷線部に
おいては、その胴部側の端部は延伸配向が底部中心部に
近い部分に比べて高くなるが、クリープ変形が起こりや
すいことを見いだした。また谷線部の底部上側面部近く
の終端部と底部上側面部もクリープ変形しやすく底部の
変形に関与することを見いだした。
【0008】本発明は、このような欠点を解決したもの
であり、加熱殺菌時に内圧の増大によりクリープ変形を
起こしやすい底部中心部の低延伸部領域と谷線部の低延
伸領域及び高延伸領域及び底部上側面部等を効果的に結
晶化する容器の製造方法を提案するものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、口頸部、肩
部、胴部、および底部中心部の周りに複数の脚部を放射
状に膨出し、これらの脚部と脚部との間に谷線部を形成
した自立可能な構造を有する底部からなる二軸延伸ブロ
ー成形された飽和ポリエステル樹脂製の二軸延伸ブロー
容器において、この容器底部と加熱装置との間に、容器
底部と嵌合し、かつ、下記の(A)から(F)から選ば
れた少なくとも一つ以上の部分に対応する部分が開口し
た遮蔽板を設置し、容器底部の(A)から(F)から選
ばれた部分を結晶化し、これ以外の底部を結晶化しない
耐圧耐熱性自立中空容器の製造方法である。 (A)底部中心部 (B)底部中心部の周辺部 (C)谷線部 (D)脚部の前記周辺部の縁より接地部にいたる部分 (E)谷部 (F)脚部の外側面部及び底部の上側面部
【0010】以下、本発明を詳細に説明する。本発明に
おいて、加熱装置としては、熱を発生する装置を用いる
ことができ、具体的には、赤外線ヒーター、熱風、赤外
線ランプ、石英管ヒーター、高周波加熱装置などを用い
ることができる。また、これ以外の熱源を用いることが
できるのは、勿論のことである。またこれらの熱源を併
用して使用することができる。
【0011】また、本発明において、遮蔽板の材質は特
に限定されないが、具体的には、アルミニウム、鉄、銅
などの金属やその合金及び耐熱性樹脂、セラミック等を
用いることができる。容器の底部の特定部分への熱源の
遮蔽が可能であれば良い。
【0012】本発明の中空容器に用いる飽和ポリエステ
ル樹脂は、主たる繰り返し単位がエチレンテレフタレー
トである熱可塑性ポリエステル樹脂が好ましく、該熱可
塑性ポリエステル樹脂とは、ポリエチレンテレフタレー
トのホモポリマーを主たる成分とする。
【0013】またこの熱可塑性ポリエステル樹脂として
は、テレフタル酸成分の一部を例えば、イソフタル酸、
ナフタリンジカルボン酸、ジフェニルジカルボン酸、ジ
フェノキシエタンジカルボン酸、ジフェニルエーテルジ
カルボン酸、ジフェニルスルホンジカルボン酸等の芳香
族ジカルボン酸;ヘキサヒドロテレフタル酸、ヘキサヒ
ドロイソフタル酸等の脂環族ジカルボン酸;アジピン
酸、セバチン酸、アゼライン酸等の脂肪族ジカルボン
酸;P−β−ヒドロキシエトキシ安息香酸、ε−オキシ
カプロン酸等のオキシ酸等の他の二官能性カルボン酸の
1種以上を置換して共重合したものが使用できる。
【0014】また、熱可塑性ポリエステル樹脂は、エチ
レングリコール成分の一部を例えば、トリメチレングリ
コール、テトラメチレングリコール、ヘキサメチレング
リコール、デカメチレングリコール、ネオペンチレング
リコール、ジエチレングリコール、1,1−シクロヘキ
サンジメチロール、1,4−シクロヘキサンジメチロー
ル、2,2(4’−β−ヒドロキシエトキシフェニル)
スルホン酸等の他のグリコール及びこれらの機能的誘導
体の多官能化合物の1種以上で置換して共重合した共重
合体でもよい。
【0015】また、本発明の容器に使用する熱可塑性ポ
リエステル樹脂は、固有粘度が0.7〜1.0が好まし
く、特に好ましくは0.75〜0.9である。
【0016】更に、本発明に使用する飽和ポリエステル
樹脂には、着色剤、熱劣化防止剤、酸化防止剤、紫外線
吸収剤、帯電防止剤、抗菌剤、滑剤等の添加剤を適宜用
いることができる。
【0017】本発明の遮蔽板は、容器底部と嵌合し、か
つ、容器底部の(A)から(F)から選ばれた少なくと
も一つ以上の部分に対応する部分が開口した形状を有す
るものである。前記(A)〜(F)の組み合わせの中
で、(B)及び(C)の組み合わせや、(B)及び
(C)及び(E)を含む組み合わせや、(B)及び
(C)及び(F)を含む組み合わせが好ましく、(D)
は必要に応じて組み合わせることができる。遮蔽板は、
容器底部と嵌合する形状を有するものが好ましい。
(A)〜(F)は、それぞれの領域の少なくとも一部分
が開口されていれば良い。また開口部分の組み合わせが
異なる2種以上の遮蔽板を用いることもできる。複数の
遮蔽板を用いることで底部の(A)〜(F)の選ばれた
部分を、段階的に結晶化することができる。
【0018】本発明において、(A)〜(F)部分は、
容器底部の部分である。(A)底部中心部とは、例え
ば、図10の31Aで示される部分であり、(B)底部
中心部の周辺部は図10の31Bで示される部分であ
り、(C)谷線部は脚部間に形成された帯状部分であ
り、例えば図10の31Cで示される部分である。
(D)底部中心部の周辺部の縁より接地部に至る部分と
は例えば図10の31Dで示される部分を言う。(E)
谷部とは、脚部の接地部及び脚部の外側面部及び谷線部
によってはさまれた領域であり、例えば図10の31E
で示される部分をいう。(F)脚部の外側面部及び底部
の上側面部とは、例えば図10の31Fで示される部分
をいう。本発明の遮蔽板は、(A)〜(F)の部分の内
の少なくとも一部分が開口したものであればよい。
【0019】次に、本発明を具体的に製造装置により説
明する。図1において、その基本構成は、最下段に底板
7、底板7上に加熱装置3を設置し、さらに、その上方
に遮蔽板2を設置したものである。この遮蔽板は、二軸
延伸ブロー容器1の底部の形状と同じ彫り込みがあり二
軸延伸ブロー容器の底部の(A)底部中心部、(B)底
部中心部の周辺部、(C)谷線部、(D)脚部の前記周
辺部の縁より接地部にいたる部分、(E)谷部、(F)
脚部の外側面部及び底部の上側面部の部分から選ばれた
少なくとも一つの部分に対応する開口部を有したアルミ
ニウム合金製の遮蔽板である。さらに、遮蔽板2を支持
する遮蔽板支持板6、その上方に設置した二軸延伸ブロ
ー容器1をサポートリング22Aで支持する容器支持板
5、その上方に設置した上板4、上板4に支持されてい
る容器昇降兼荷重用シリンダー8、容器昇降兼荷重用シ
リンダー8と容器支持板5を接続する容器内圧負荷用キ
ャップ押板兼容器支持板10、および底板7と直立して
立てられ、遮蔽板支持板6、容器支持板5及び上板4を
支える支柱9とから構成されている。
【0020】容器底部の結晶化時において、遮蔽板の二
軸延伸ブロー容器に接する面の表面温度は、飽和ポリエ
ステル樹脂のガラス転移点以下の温度であることが好ま
しい。容器底部の結晶化時に、前記表面温度が飽和ポリ
エステル樹脂のガラス転移点以下の温度であればよく、
温調を行っても行わなくてもよい。例えば、結晶化前に
表面温度を室温程度にしておき、その後は冷却を行わな
いで結晶化する方法等も用いることができる。また、連
続して結晶化を行う場合は、遮蔽板の冷却は容器底部部
の加熱中に行わずに、容器を排出して、次の容器を結晶
化する間に行ってもよい。遮蔽板の温度が加熱と同時に
昇温しても飽和ポリエステル樹脂のガラス転移点の温度
以下であればよい。また、結晶化時に温調を行う場合
は、例えば、遮蔽板は、温度制御するために設けられた
温調用配管につながる温調媒体チューブ、温調配管が使
用できる。本発明においては、冷却水配管を容器の底部
の側部に設置することが簡便であり好ましいが、その他
の部分にも設置可能である。
【0021】遮蔽板の下方に設置された加熱装置から発
する熱は、遮蔽板の開口部から二軸延伸ブロー容器の底
部に伝わり、底部の特定部分を一定時間加熱することに
より、容器の底部の特定部分を結晶化することができ
る。この開口部の大きさは、所望の結晶化範囲が得られ
る様に設定する。この時、遮蔽板は温調媒体にて温調す
ることができる。前記開口部以外の容器の底部は、温調
により熱が伝わることを制御できるので結晶化を調整で
きる。この時、遮蔽板の、二軸延伸ブロー容器に接する
面の表面温度は、飽和ポリエステル樹脂のガラス転移点
以下の温度であることが好ましい。
【0022】遮蔽板は、容器底部と嵌合する形状を有す
ものである。嵌合する時、遮蔽板と容器底部は接触する
ことが好ましいが、所望の部分以外が結晶化されない程
度ならば、空隙があってもよい。又、密着度を向上する
ために、押圧して製造する方法も用いることができる。
容器は、遮蔽板にある彫り込みとほぼ一致するような位
置で容器支持板に設置すると、遮蔽板内に底部が挿入さ
れる際に、遮蔽板の形状に底部が合うように容器は回転
し、容器底部と遮蔽板は、うまく嵌合することができ
る。
【0023】容器の底部を結晶化する際には、二軸延伸
ブロー容器には、内圧をかけても、かけなくてもよい。
内圧をかけて製造する場合は、図2に示すとおり、その
装置は、容器の口頸部21に装着する容器内圧負荷キャ
ップ11と、容器に内圧を加える圧縮空気を送入する圧
縮空気送入チューブ12、および容器に送入された圧縮
空気が口頸部21から漏れることを防止するパッキン1
3で構成される。容器には、任意の圧力の圧縮空気を圧
縮空気送入チューブ12から送入して内圧をかけること
ができる。
【0024】また容器底部の結晶化に用いる遮蔽板の開
口部は(A)〜(F)の部分に対応する部分の組み合わ
せにより選択することができ、必要に応じて2種類以上
の遮蔽板を用いることができる。また遮蔽板の開口部は
対応する部分のすべてに対応せずに、少なくともその一
部分を結晶化することができれば良い。
【0025】また本発明での加熱時間は熱源により異な
るが、一般的に20秒から5分間である。好ましくは3
0秒から3分間である。2種類以上の遮蔽板を用いる場
合には一つの遮蔽板での加熱時間を20秒以下にするこ
とができる。
【0026】また本発明の製造装置での底部の結晶化
は、複数の遮蔽板を順次、使用することにより連続的に
底部加熱処理を行い、オンラインにて処理をすることが
できる。
【0027】本発明において、中空容器底部の特定部分
を結晶化させることにより、充填工場のコンベア−ライ
ンに使用される潤滑剤に対する耐薬品性も向上させるこ
とができ、ストレスクラックの発生を抑制することがで
きる。
【0028】
【実施例】以下、実施例により本発明を詳細に説明す
る。 実施例1 ポリエチレンテレフタレート(IV=0.85)を射出
成形して有底筒状プリフォームを得た。このプリフォー
ムの口頸部21、サポートリング22A及びサポートリ
ング下22Bを赤外線ヒーターにより加熱し、結晶化し
た。この有底筒状プリフォームを再加熱した後、ブロー
金型内に配置して、二軸延伸ブロー成形して中空容器を
得た。次に、この中空容器の底部と赤外線ヒーター(加
熱装置)との間に、(A)底部中心部、(B)底部中心
部の周辺部、(C)谷線部、(D)脚部の前記周辺部の
縁より接地部にいたる部分、及び(E)谷部の一部の領
域に対応する部分が開口し、容器底部と嵌合する形状を
有し、冷却水により冷却されたアルミニウム合金製の遮
蔽板(図4及び図5に示す)を設置し、容器底部を遮蔽
板と嵌合させ、前記(A)、(B)、(C)、(D)及
び(E)の部分を、加熱により結晶化し、図3に示す中
空容器1B(容積1.5リットル)を得た。中空容器1
Bの底部は、図6に示すように5個の脚部が中心部の周
りに放射状に等間隔に膨出すると共に、この脚部の間に
谷線部を形成した自立型の構造を有しており、(A)底
部中心部、(B)底部中心部の周辺部、(C)谷線部、
(D)脚部の前記周辺部の縁より接地部にいたる部分及
び(E)谷部の一部の領域が結晶化されていた。
【0029】この中空容器1Bに、5℃において、2.
5ガスボリュームの炭酸水を充填して、キャッピングし
た後、70℃の温水シャワーを30分間かけた。その
後、20℃の水により10分間シャワーをかけ冷却し、
ボトルの全高と胴径の変形率を測定した。その結果、中
空容器の全高の変形率は1.6%、胴径の変形率は、
0.9%であった。次に、この充填した容器12本を直
立状態で、1.0mの高さからコンクリート上に落下さ
せたところ、全てについて容器底部に破壊はなかった。
【0030】実施例2 実施例1おいて、プリフォームとしてサポートリング下
を赤外線ヒーターにより加熱して結晶化し、且つ、口頸
部が加熱により応力・歪が緩和されたものを用い、さら
に、図7及び図8に示す遮蔽板を用い、二軸延伸ブロー
容器容器の(A)底部中心部、(B)底部中心部の周辺
部、(C)谷線部、(D)脚部の前記周辺部の縁より接
地部にいたる部分、(E)谷部の一部、及び(F)脚部
の外側面部及び底部の上側面部の一部となる谷線部の終
端の周辺を加熱し、結晶化した。得られた容器の底部
は、図9、(a)及び(b)に示すとおり、5個の脚部
が中心部の周りに放射状に等間隔に膨出すると共に、こ
の脚部の間に谷線部を形成した自立型の構造を有してお
り、(A)底部中心部、(B)底部中心部の周辺部、
(C)谷線部、(D)脚部の前記周辺部の縁より接地部
にいたる部分、(E)谷部の一部、及び(F)脚部の外
側面部及び底部の上側面部の一部となる谷線部の終端の
周辺が結晶化されていた。中空容器は、容積1.5リッ
トルであった。
【0031】この中空容器に、5℃において、2.5ガ
スボリュームの炭酸水を充填して、キャッピングした
後、70℃の温水シャワーを30分間かけた。その後、
20℃の水により10分間シャワーをかけ冷却し、ボト
ルの全高と胴径の変形率を測定した。その結果、中空容
器の全高の変形率は2.0%であり、胴径の変形率は、
1.0%であった。次に、この充填した容器12本を直
立状態で、1.0mの高さからコンクリート上に落下さ
せたところ、全てについて容器底部に破壊はなかった。
【0032】実施例3 実施例1おいて、遮蔽板の加熱結晶化開始時の表面温度
を室温とし、加熱結晶化時に冷却水を流さず、遮蔽板を
冷却しなかった以外は同様に行った。この結晶化終了時
の遮蔽板の表面温度は、飽和ポリエステル樹脂のガラス
転移点以下の温度であった。この中空容器に、5℃にお
いて、2.5ガスボリュームの炭酸水を充填して、キャ
ッピングした後、70℃の温水シャワーを30分間かけ
た。その後、20℃の水により10分間シャワーをかけ
冷却し、ボトルの全高と胴径の変形率を測定した。その
結果、中空容器の全高の変形率は2.0%であり、胴径
の変形率は、1.0%であった。次に、この充填した容
器12本を直立状態で、1.0mの高さからコンクリー
ト上に落下させたところ、全てについて容器底部に破壊
はなかった。
【0033】比較例1 実施例1において、容器の底部の結晶化を行わない以外
は、同様におこなった。中空容器は、容積1.5リット
ルであった。この中空容器に、5℃において、2.5ガ
スボリュームの炭酸水を充填して、キャッピングした
後、70℃の温水シャワーを30分間かけた。その後、
20℃の水により10分間シャワーをかけ冷却した。ボ
トルは、容器底部が突出し、自立安定性がなかった。
【0034】
【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば、特定形
状の遮蔽板を用いて、容器の底部の特定部分を結晶化す
ることにより、内容物の加熱殺菌時の耐圧及び耐熱性を
高め、耐衝撃性が向上した耐圧耐熱性自立中空容器を得
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の装置の正面図である。
【図2】図1の要部(F部)付近の拡大図である。
【図3】本発明の中空容器の正面図である。
【図4】本発明の遮蔽板2Aの平面図である。
【図5】本発明の遮蔽板2AのA−A’断面図である。
【図6】本発明の中空容器の底面図である。
【図7】本発明の遮蔽板2Bの平面図である。
【図8】本発明の遮蔽板2BのB−B’断面図である。
【図9】本発明の中空容器の底面図及び側面図である。
【図10】本発明の中空容器底部の各部分を示す底面図
である。
【図11】本発明の中空容器底部の各部分を示す側面図
である。
【符号の説明】
1、1A 二軸延伸ブロー容器 1B 中空容器 2、2A、2B 遮蔽板 3 加熱装置 4 上板 5 容器支持板 6 遮蔽板支持板 7 底板 8 容器昇降兼荷重用シリンダー 9 支柱 10 容器内圧負荷キャップ押板兼容器支持板 11 容器内圧負荷キャップ 12 圧縮空気送入チューブ 13 パッキン 14 温調媒体チューブ 15 配管 16 開口部 21 口頸部 22A サポートリング 22B サポートリング下 23 肩部 24 胴部 25 底部 31A (A)底部中心部 31B (B)底部中心部の周辺部 31C (C)谷線部 31D (D)脚部の底部中心部の周辺部の縁より接地
部にいたる部分 31E (E)谷線部と脚部の外側面にはさまれた部分 31F (F)脚部の外側面部及び底部の上側面部 31a 遮蔽板の底部中心部に対応する開口部 31b 遮蔽板の底部中心部の周辺部対応する開口部 31c 遮蔽板の谷線部に対応する開口部 31d 遮蔽板の脚部の底部中心部の周辺部の縁より接
地部にいたる部分対応する開口部 31e 遮蔽板の谷線部と脚部の外側面にはさまれた部
分の一部分に対応した開口部 31f 遮蔽板の脚部の外側面部及び底部の上側面部の
一部分に対応した開口部 32 脚部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 口頸部、肩部、胴部、および底部中心部
    の周りに複数の脚部を放射状に膨出し、これらの脚部と
    脚部との間に谷線部を形成した自立可能な構造を有する
    底部からなる二軸延伸ブロー成形された飽和ポリエステ
    ル樹脂製の二軸延伸ブロー容器において、この容器底部
    と加熱装置との間に、容器底部と嵌合し、かつ、下記の
    (A)から(F)から選ばれた少なくとも一つ以上の部
    分に対応する部分が開口した遮蔽板を設置し、容器底部
    の(A)〜(F)から選ばれた部分を結晶化し、これ以
    外の底部を結晶化しないことを特徴とする耐圧耐熱性自
    立中空容器の製造方法。 (A)底部中心部 (B)底部中心部の周辺部 (C)谷線部 (D)脚部の前記周辺部の縁より接地部にいたる部分 (E)谷部 (F)脚部の外側面部及び底部の上側面部
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105383041A (zh) * 2014-08-20 2016-03-09 克朗斯股份公司 在容器处理单元中真空再循环用的装置和方法

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CN105383041A (zh) * 2014-08-20 2016-03-09 克朗斯股份公司 在容器处理单元中真空再循环用的装置和方法

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