JPH0959688A - メタルマスク用洗浄剤組成物 - Google Patents
メタルマスク用洗浄剤組成物Info
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- JPH0959688A JPH0959688A JP21485995A JP21485995A JPH0959688A JP H0959688 A JPH0959688 A JP H0959688A JP 21485995 A JP21485995 A JP 21485995A JP 21485995 A JP21485995 A JP 21485995A JP H0959688 A JPH0959688 A JP H0959688A
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Abstract
たは2種以上のグリコールエーテル系化合物25〜45
重量%、一定の沸点と一定量の水溶性を持つ1種または
2種以上のグリコールエーテル系化合物5〜25重量
%、アミン系化合物0.005〜1.0重量化合物及び
水を加えて100重量%となる組成物がメタルマスク用
洗浄剤として格別の効果を得る。 【効果】 本発明は、洗浄力に優れ、メタルマスクに対
する悪影響が極めて少なく、環境非汚染特性にすぐれ、
人に対しても低毒性のメタルマスク洗浄剤を提供する。
Description
刷時に使用するメタルマスクの洗浄に好適な洗浄剤に関
する。
けが最も一般的に行われている。基板に部品を接合する
のに適量のはんだを供給するために、はんだ粉とフラッ
クスを混合しペースト状にしたものを、印刷すべき模様
に孔の開いた金属板(メタルマスク)を通して印刷する
方法が行われているが、印刷終了時に保管、再使用のた
め、あるいは印刷精度を確保するため、このメタルマス
クを洗浄する必要がある。従来、このメタルマスクに付
着している汚れを除去するために、不燃性で毒性が低
く、優れた溶解性を示す等多くの特徴を有することか
ら、1,1,1−トリクロロエタン等の溶剤が広く使用
されてきた。しかし、これらの溶剤はオゾン層破壊の問
題から、近い将来全廃されることが、国際的に取り決め
られている。
体とした各種洗浄剤が、前述したハロゲン系溶剤の代替
洗浄剤として使用されているが、これらは汚れに対する
洗浄力は満足できるものの、乾燥しにくく、又メタルマ
スクに使用されている接着剤に影響を与えるため、数回
の洗浄で、以後の繰り返し利用ができなくなる。
ぐれ、乾燥がはやく、繰り返し洗浄を行ってもメタルマ
スクに対する悪影響が極めて少なく、しかも環境非汚染
特性に優れ、人に対しても低毒性である洗浄剤を提供す
ることを目的とする。
解決するために鋭意検討を重ねた結果、水溶性の異なる
2種類以上の特定のグリコールエーテル系溶剤の水溶液
に、特定のアミン系化合物を一定量添加した水性組成物
にする事により、上記目的を達成することができること
を見いだし、本発明を完成するに至った。
(1)で表される化合物の中で常圧における沸点が10
0℃以上200℃以下であり、かつ20℃の水に自由混
合する化合物より選ばれる1種または2種以上の化合物
を、25〜45重量%、 R1 O−(R2 O)n −R3 (1) (式中R1 は炭素数1〜4のアルキル基、R2 は炭素数
2〜5のアルキレン基で直鎖または分枝をもつものでも
よく、R3 は水素または炭素数1〜4のアルキル基また
はアシル基を示し、nは1〜2の整数で示される) (B)下記一般式(2)で表される化合物の中で常圧に
おける沸点が100℃以上200℃以下であり、かつ2
0℃における水への溶解度が20重量%以下である化合
物より選ばれる1種または2種以上の化合物を5〜25
重量%、 R1 O−(R2 O)n −R3 (2) (式中R1 は炭素数1〜4のアルキル基、R2 は炭素数
2〜5のアルキレン基で直鎖または分枝をもつものでも
よく、R3 は水素または炭素数1〜4のアルキル基また
はアシル基を示し、nは1〜2の整数で示される) (C)下記一般式(3)で表される含窒素化合物、0.
005〜1.0重量% (式中R4 は炭素数6〜20のアルキル基、m+nは2
〜20で示される) (D)水、残量(29〜69.995重量%)を、含有
することを特徴とするメタルマスク用洗浄メタルマスク
用洗浄剤組成物に関する。
浄力に優れ、乾燥が早く、オゾン層を破壊する環境汚染
の心配が無く、人に対しても低毒性である該組成物の性
質が、機密状況下の作業を要するメタルマスク用として
適正である。そして、メタルマスクの繰り返し洗浄に耐
える結果を得たので、以下にこの発明を詳細に説明す
る。
エーテル系化合物は、1種単独でまたは2種以上を組み
合わせて配合することができ、本発明の洗浄剤組成物中
に25〜45重量%配合される。25重量%未満の配合
では(B)成分であるグリコールエーテル系溶剤を均一
の組成にすることが困難となる。沸点範囲が、100〜
200℃の範囲であり、かつ20℃の水に自由混合する
一般式(1)で表される化合物の具体例としては、エチ
レングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコー
ルモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピ
ルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、
ジエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレング
リコールモノアリルエーテル、プロピレングリコールモ
ノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエ
ーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、
ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレン
グリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジ
メチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテ
ル、3−メチル−3−メトキシブタノール、エチレング
リコールモノメチルエーテルアセテート等が挙げられ
る。
分は常圧における沸点が100℃以上、200℃以下で
あり、かつ20℃での水への溶解量が20重量%以下で
ある、グリコールエーテル系化合物で1種単独でまたは
2種以上を組み合わせて配合することができ、本発明の
洗浄剤組成物中に5〜25重量%配合される。5重量%
未満の配合では洗浄性が充分ではなく、25重量%を超
えて配合すると組成が均一になりにくい、またはメタル
マスクを洗浄した場合に数%のクリームハンダ中のフラ
ックスが混した場合に洗浄剤が2相に分離したりする問
題を生ずる。
具体例としては、1,2−ジエトキシエタン、3−メト
キシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチ
ルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテ
ル、2−エトキシエチルアセテート、2−ブトキシエチ
ルアセテート等が挙げられる。また本発明に用いられる
(A)成分と(B)成分の合計は、組成物中30〜70
重量%であり、(A)成分と(B)成分の合計が30重
量%未満ではメタルマスクの洗浄性及び持続性が充分で
なく、また70重量%を超えて配合すると、従来よりメ
タルマスクに使用されているゴム系接着剤に影響を与
え、メタルマスクを破損する。特殊な耐溶剤性の接着剤
の使用が必要となる。(A)成分と(B)成分の合計の
好ましい量は、40〜60重量%である。
は、常圧における沸点を200℃以下のものを選択する
ことにより乾燥を比較的低温、短時間で行うことを可能
とし、乾燥不良によるメタルマスクへの影響をなくすこ
とができる。常圧における沸点が200℃を超えるグリ
コールエーテル系化合物を使用すると、別の溶剤による
すすぎが必要となる、または乾燥に比較的高温を必要と
し、乾燥に時間がかかるため実用的ではない。
テル系化合物を使用すると引火の危険性が著しく高くな
り水分管理が煩雑となる。本発明に用いられる一般式
(3)で示される含窒素化合物(C)成分は、本発明の
洗浄剤組成物中に0.005〜1.0重量%配合され
る。0.005重量%未満の添加では充分な洗浄効果が
得られず、1.0重量%を超える添加ではメタルマスク
を洗浄後乾燥した場合に、上述の成分が残留するため
に、クリームハンダの印刷性を損ねる等の問題を生じ
る。
としてはN,N−ジ(2−ヒドロキシエチル)シクロヘ
キシルアミン等のエタノールアミン類、エチレンオキシ
ドの付加モル数が1〜20であるポリオキシエチレンラ
ウリルアミン、ポリオキシエチレンステアリルアミン等
のアルキルアミンのエチレンオキシド付加物等が挙げら
れる。
が29〜69.995重量%配合される。好ましくは、
40〜60重量%である。更に本発明の洗浄剤組成物に
は、洗浄効果を高めるために界面活性剤を配合すること
ができる。本発明に使用できる界面活性剤は、公知のア
ニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、ノニオン
性界面活性剤、両イオン性界面活性剤のいずれも使用す
ることができる。より具体的には、脂肪酸塩類、高級ア
ルコール硫酸エステル塩類、液体脂肪油硫酸エステル塩
類、脂肪族アミン及び脂肪族アミドの硫酸塩類、脂肪ア
ルコールリン酸エステル塩類、二塩基性脂肪酸塩のスル
ホン酸塩類、脂肪酸アミドスルホン酸塩類、アルキルア
リルスルホン酸塩類、ホルマリン縮合のナフタリンスル
ホン酸塩類等のアニオン性界面活性剤、脂肪族アミン塩
類、第4級アンモニウム塩類、アルキルピリジニウム塩
類等のカチオン性界面活性剤、ポリオキシアルキレンア
ルキルエーテル類、ポリオキシアルキレンアルキルフェ
ノールエーテル類、ポリオキシアルキレンアルキルアミ
ン類、ポリオキシアルキレンアルキルエステル類、ソル
ビタンアルキルエステル類、ポリオキシアルキレンソル
ビタンアルキルエステル等の非イオン性界面活性剤、あ
るいはアルキルベタイン、アルキルジメチルアミンオキ
シド、アルキルアラニン等の両イオン性界面活性剤が主
だったものとして挙げられるが、これに限定されるもの
ではない。
スプレー洗浄法、ブラシ洗浄法、手拭き法等の物理力を
併用することで特に好ましい洗浄結果を得ることができ
る。本発明の洗浄剤を使用する一例としては、例えば、
クリームはんだの付着したメタルマスクを、本発明の洗
浄剤組成物を入れた超音波洗浄槽を用いて超音波洗浄
し、洗浄後エアブロー、又は遠心により液切りをした
後、直接乾燥すれば良い。また場合により、本発明の洗
浄剤でメタルマスクを洗浄後、水あるいは他の有機溶剤
で仕上げすすぎをする事も可能である。
に説明するが、本発明の範囲がこれらの実施例に限定さ
れるものではない。表1に示した実施例及び比較例の各
組成の洗浄剤を用いて、評価項目である均一性、クリー
ムはんだ洗浄性、引火点、乾燥性、接着剤への影響(メ
タルマスクへの影響)を試験した。夫々の評価方法を以
下に示す。
明均一であれば○、濁りあるいは相分離の起こるものに
ついては×とした。 洗浄性:全孔を50倍の顕微鏡で検査し、ハンダ粒の残
存のある孔を不良孔とし、不良率2%以下を○、不良率
2%を超えるものを×とした。この評価においてクリー
ムハンダは千住金属工業(株)製SPARKLE PA
STE OZ63−177F−50−9を使用した。
温風で5分間の乾燥した後、目検査及び触れてみて完全
に乾燥状態であるものを○、溶剤のシミ、触れた場合に
べたつきがある物を×とした。 メタルマスクへの影響:150mm角のフレームでテス
ト用の版を作製した(ポリエステル製の紗を使用、接着
剤はゴム系接着剤、接着面の幅30mm)。室温で各組
成物中に1分間浸漬後版を引き上げ、45℃の温風で5
分間の乾燥を行った。この浸漬、乾燥操作を20回繰り
返した後、2日間放置した。この試験中に接着部分に剥
離がみられた場合や版を破損した場合に×、影響がみら
れなかったものを○とした。
パターン切片の開孔部に、クリームはんだを詰め50℃
で1時間放置した。これを、表1の実施例1の各成分の
組成からなる調製液を入れた卓上型の超音波洗浄機(槽
容量2L、超音波周波数45kHz、出力60W)で、
該洗浄剤温度30℃で1分間超音波浸漬洗浄を行った。
洗浄後45℃の温風中で5分間乾燥を行った。結果は、
表1参照。
印刷パターン切片の開孔部に、クリームはんだを詰め、
50℃で1時間放置した。これを、表1の実施例2〜6
までの各成分の組成からなる調製液を用いて実施例1と
同様に実施した。結果は、表1参照。
ある20℃における溶解度が20重量%以下であるグリ
コール系化合物を含まない組成物で、実施例1と同様に
洗浄を行った。洗浄性は、洗浄不良となった。結果は、
表1参照。
ある20℃における溶解度が20重量%以下であるグリ
コール系化合物を過剰に配合をした組成物は、均一にな
らなかった。(以後の試験不可)
あるグリコールエーテル系化合物の含有量が少ない場合
では組成物は、均一にならなかった。(以後の試験不
可)
組成で、実施例1と同様に実施した場合では、洗浄性は
良好であるものの、ダメージ評価用の試験版を6回洗浄
した時点で試験版が破損した。結果は、表1参照。
で、実施例1と同様に実施した場合では、洗浄性は、洗
浄不良となった。結果は、表1参照。
ルエーテル系溶剤としてジエチレングリコールモノブチ
ルエーテル(沸点230.6℃)あるいはジエチレング
リコールモノヘキシルエーテル(沸点259.1℃)を
使用し、実施例1と同様に実施した場合、45℃、5分
間の乾燥条件では溶剤の残留があり、また20回洗浄を
繰り返した後、保存中に試験版を破損した。結果は、表
1参照。
あるアミン系化合物を含まない組成物で、実施例1と同
様に実施した。洗浄性は、洗浄不良となった。
あるアミン系化合物を過剰に含む組成で、実施例1と同
様に実施した場合、洗浄性には問題がみられなかった
が、乾燥後に試験版にふれた場合にべたつきがあった。
結果は、表1参照。表1の評価結果に示したように、実
施例ではメタルマスクに対する充分な洗浄力を有するの
みでなく、他溶媒によるすすぎを必要とせず、洗浄後直
接乾燥する事ができる。またメタルマスクを構成する接
着剤に対しても影響が極めて少ない。これに対して比較
例に挙げた組成では、組成の均一性、洗浄性、乾燥性、
接着剤に対する影響のいずれかに不満のある結果となっ
た。
なように、メタルマスクに対して充分な洗浄力を有する
と共に、乾燥性が良く、メタルマスクに対するダメージ
が極めて少ない。また、水分を多量に含むため引火の危
険性も少ない。しかもハロゲン原子を含まず、オゾン層
破壊の恐れがないため、1,1,1−トリクロロエタン
の代替洗浄剤として極めて有用である。
Claims (1)
- 【請求項1】 (A)下記一般式(1)で表される化合
物の中で、常圧における沸点が100℃以上200℃以
下であり、かつ20℃の水に自由混合する化合物より選
ばれる1種または2種以上の化合物を、25〜45重量
%、 R1 O−(R2 O)n −R3 (1) (式中R1 は炭素数1〜4のアルキル基、R2 は炭素数
2〜5のアルキレン基で直鎖または分枝をもつものでも
よく、R3 は水素または炭素数1〜4のアルキル基また
はアシル基を示し、nは1〜2の整数で示される) (B)下記一般式(2)で表される化合物の中で常圧に
おける沸点が100℃以上200℃以下であり、かつ2
0℃における水への溶解度が20重量%以下である化合
物より選ばれる1種または2種以上の化合物を、5〜2
5重量%、 R1 O−(R2 O)n −R3 (2) (式中R1 は炭素数1〜4のアルキル基、R2 は炭素数
2〜5のアルキレン基で直鎖又は分枝をもつものでもよ
く、R3 は水素または炭素数1〜4のアルキル基または
アシル基を示し、nは1〜2の整数で示される) (C)下記一般式(3)で表される含窒素化合物、0.
005〜1.0重量% (式中R4 は炭素数6〜20のアルキル基、m+nは2
〜20で示される) (D)水、残量(29〜69.995重量%)を、含有
することを特徴とするメタルマスク用洗浄剤組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21485995A JP4063344B2 (ja) | 1995-08-23 | 1995-08-23 | メタルマスク用洗浄剤組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21485995A JP4063344B2 (ja) | 1995-08-23 | 1995-08-23 | メタルマスク用洗浄剤組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0959688A true JPH0959688A (ja) | 1997-03-04 |
| JP4063344B2 JP4063344B2 (ja) | 2008-03-19 |
Family
ID=16662743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21485995A Expired - Lifetime JP4063344B2 (ja) | 1995-08-23 | 1995-08-23 | メタルマスク用洗浄剤組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4063344B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010138271A (ja) * | 2008-12-11 | 2010-06-24 | Sanyo Chem Ind Ltd | 電子材料用洗浄剤 |
| JP2016132737A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-25 | Jfeエンジニアリング株式会社 | 塗膜剥離剤用洗浄剤、及び、これを用いた塗膜剥離剤の洗浄方法 |
| KR20190025667A (ko) | 2016-08-01 | 2019-03-11 | 카오카부시키가이샤 | 스크린판용 세정제 조성물 |
-
1995
- 1995-08-23 JP JP21485995A patent/JP4063344B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010138271A (ja) * | 2008-12-11 | 2010-06-24 | Sanyo Chem Ind Ltd | 電子材料用洗浄剤 |
| JP2016132737A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-25 | Jfeエンジニアリング株式会社 | 塗膜剥離剤用洗浄剤、及び、これを用いた塗膜剥離剤の洗浄方法 |
| KR20190025667A (ko) | 2016-08-01 | 2019-03-11 | 카오카부시키가이샤 | 스크린판용 세정제 조성물 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4063344B2 (ja) | 2008-03-19 |
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