JPH0964004A - リンス機 - Google Patents
リンス機Info
- Publication number
- JPH0964004A JPH0964004A JP7240828A JP24082895A JPH0964004A JP H0964004 A JPH0964004 A JP H0964004A JP 7240828 A JP7240828 A JP 7240828A JP 24082895 A JP24082895 A JP 24082895A JP H0964004 A JPH0964004 A JP H0964004A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaned
- cleaning
- cleaning liquid
- ejection port
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体ウエハ，太陽電池セル等を洗浄する
ためのリンス機において、被洗浄物を両面同時に洗浄可
能として、別途下面洗浄をする必要をなくし、洗浄作業
の効率を大幅に向上させる。 【解決手段】被洗浄物(1)の下面をスピンチャック(2)で
保持し、被洗浄物(1)の表面の上方から洗浄液を噴出(4)
して被洗浄物(1)の上面を洗浄する。被洗浄物(1)の下方
から洗浄液を噴出して被洗浄物(1)の下面を洗浄するた
めの下方洗浄液噴出口(6)を備えている。被洗浄物(1)の
下面の内側から外周に向かうガス流を作り出すことので
きるガス噴出口(5)を備えている。ガス噴出口(5)は下方
洗浄液噴出口(6)より内側に設けられている。
ためのリンス機において、被洗浄物を両面同時に洗浄可
能として、別途下面洗浄をする必要をなくし、洗浄作業
の効率を大幅に向上させる。 【解決手段】被洗浄物(1)の下面をスピンチャック(2)で
保持し、被洗浄物(1)の表面の上方から洗浄液を噴出(4)
して被洗浄物(1)の上面を洗浄する。被洗浄物(1)の下方
から洗浄液を噴出して被洗浄物(1)の下面を洗浄するた
めの下方洗浄液噴出口(6)を備えている。被洗浄物(1)の
下面の内側から外周に向かうガス流を作り出すことので
きるガス噴出口(5)を備えている。ガス噴出口(5)は下方
洗浄液噴出口(6)より内側に設けられている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウエハ，太陽電池
セル等の洗浄に用いられるリンス機に関するものであ
る。
セル等の洗浄に用いられるリンス機に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造工程等において、半導体ウ
エハ等の被洗浄物の洗浄が必要となり、この作業にはリ
ンス機といわれる洗浄装置が用いられる。リンス機は高
速回転す被洗浄物の上方から洗浄液を吹き付けて洗浄す
る。
エハ等の被洗浄物の洗浄が必要となり、この作業にはリ
ンス機といわれる洗浄装置が用いられる。リンス機は高
速回転す被洗浄物の上方から洗浄液を吹き付けて洗浄す
る。
【０００３】図１は本発明を説明するための図面である
が、ガス噴出口以外の基本構成は従来のリンス機と同様
であるので、便宜上本図面を用いて従来例の説明を行
う。モーター(3)のシャフトにはスピンチャック(2)が取
り付けられている。モーター(3)の回転軸には吸引路(9)
が設けられており吸引ポンプに接続されている。この吸
引路(9)はスピンチャック(2)の中心の吸引口につながっ
ており、被処理物(1)を吸着している。洗浄液が周囲に
飛び散らないように上部カバー(8)で覆った後にモータ
ー(3)を稼働させ、スピンチャック(2)と共に被処理物
(1)を回転させる。そして、洗浄液噴出口(4)から洗浄液
を被処理物(1)の上面に噴出する。被処理物(1)は回転し
ているので、洗浄液は遠心力により被処理物(1)上面を
洗浄しつつ外周方向に流れて行き、被処理物(1)の外側
に飛ばされ、洗浄液排出口(7)より装置外に排出され
る。
が、ガス噴出口以外の基本構成は従来のリンス機と同様
であるので、便宜上本図面を用いて従来例の説明を行
う。モーター(3)のシャフトにはスピンチャック(2)が取
り付けられている。モーター(3)の回転軸には吸引路(9)
が設けられており吸引ポンプに接続されている。この吸
引路(9)はスピンチャック(2)の中心の吸引口につながっ
ており、被処理物(1)を吸着している。洗浄液が周囲に
飛び散らないように上部カバー(8)で覆った後にモータ
ー(3)を稼働させ、スピンチャック(2)と共に被処理物
(1)を回転させる。そして、洗浄液噴出口(4)から洗浄液
を被処理物(1)の上面に噴出する。被処理物(1)は回転し
ているので、洗浄液は遠心力により被処理物(1)上面を
洗浄しつつ外周方向に流れて行き、被処理物(1)の外側
に飛ばされ、洗浄液排出口(7)より装置外に排出され
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のリンス機では被
洗浄物(1)の上面のみの洗浄であり、下面（裏面）につ
いては同時に洗浄することができなかった。又、洗浄の
際に多くの洗浄液は、被処理物(1)の外側に飛ばされる
が、一部の洗浄液は被洗浄物(1)の表面から下面に回り
込み、下面に汚れた洗浄液による跡が残る。この洗浄跡
は細かい粉末やパーティクル等を含んでいるため、見栄
えがよくないだけでなく、次工程装置の汚染源となり、
それが被洗浄物(1)の表面側に回り込むとパターン配線
上の傷や短絡等の不良原因となるおそれもある。よっ
て、従来は下面を別途洗浄することが必要があり、手間
がかかった。そこで、別途下面洗浄を行う必要のないリ
ンス機が求められていた。
洗浄物(1)の上面のみの洗浄であり、下面（裏面）につ
いては同時に洗浄することができなかった。又、洗浄の
際に多くの洗浄液は、被処理物(1)の外側に飛ばされる
が、一部の洗浄液は被洗浄物(1)の表面から下面に回り
込み、下面に汚れた洗浄液による跡が残る。この洗浄跡
は細かい粉末やパーティクル等を含んでいるため、見栄
えがよくないだけでなく、次工程装置の汚染源となり、
それが被洗浄物(1)の表面側に回り込むとパターン配線
上の傷や短絡等の不良原因となるおそれもある。よっ
て、従来は下面を別途洗浄することが必要があり、手間
がかかった。そこで、別途下面洗浄を行う必要のないリ
ンス機が求められていた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のリンス機は、被
洗浄物(1)の下面をスピンチャック(2)で保持し、被洗浄
物(1)の上方から洗浄液を噴出(4)して被洗浄物(1)の上
面を洗浄するリンス機において、被洗浄物(1)の下方か
ら洗浄液を噴出して被洗浄物(1)の下面を洗浄するため
の下方洗浄液噴出口(6)を備えていることを特徴とす
る。さらには上記に加えて、被洗浄物(1)の下面の内側
から外周に向かうガス流を作り出すことのできるガス噴
出口(5)を備えており、ガス噴出口(5)は下方洗浄液噴出
口(6)より内側に設けられていることを特徴とする。
洗浄物(1)の下面をスピンチャック(2)で保持し、被洗浄
物(1)の上方から洗浄液を噴出(4)して被洗浄物(1)の上
面を洗浄するリンス機において、被洗浄物(1)の下方か
ら洗浄液を噴出して被洗浄物(1)の下面を洗浄するため
の下方洗浄液噴出口(6)を備えていることを特徴とす
る。さらには上記に加えて、被洗浄物(1)の下面の内側
から外周に向かうガス流を作り出すことのできるガス噴
出口(5)を備えており、ガス噴出口(5)は下方洗浄液噴出
口(6)より内側に設けられていることを特徴とする。
【０００６】
【実施例】以下、本発明を好適な実施例を用いて説明す
る。図１に実施例の要部断面図を示す。下方洗浄液噴出
口(6)とガス噴出口(5)以外の構成，機能は従来のリンス
機と同様であるので省略する。
る。図１に実施例の要部断面図を示す。下方洗浄液噴出
口(6)とガス噴出口(5)以外の構成，機能は従来のリンス
機と同様であるので省略する。
【０００７】洗浄作業中には下方洗浄液噴出口(6)から
も洗浄液が噴出され、洗浄液は遠心力により被洗浄物
(1)の下面を外周方向に流れて行き、被洗浄物(1)下面が
洗浄される。これにより、下面の洗浄を別途行う必要も
なくなるので作業効率が大幅に向上する。
も洗浄液が噴出され、洗浄液は遠心力により被洗浄物
(1)の下面を外周方向に流れて行き、被洗浄物(1)下面が
洗浄される。これにより、下面の洗浄を別途行う必要も
なくなるので作業効率が大幅に向上する。
【０００８】又、ガス噴出口(5)からＮ2ガスが噴出さ
れ、このガスはスピンチャック(2)の周囲(5a)から被洗
浄物(1)の下面（裏面）に勢いよく放出される。ガス噴
出口(5)は下方洗浄液噴出口(6)より内側（スピンチャッ
ク(2)側）に設けられており、ガスは被洗浄物(1)の下面
を外周側に向かって流れるため、下方洗浄液噴出口(6)
から噴出した洗浄液や、被洗浄物(1)の上面より下面に
回り込もうとする洗浄液は、ガス流によりガス噴出口
(5)より内側に入り込むことができない。したがって下
面中心部に洗浄液の跡が残ることもない。
れ、このガスはスピンチャック(2)の周囲(5a)から被洗
浄物(1)の下面（裏面）に勢いよく放出される。ガス噴
出口(5)は下方洗浄液噴出口(6)より内側（スピンチャッ
ク(2)側）に設けられており、ガスは被洗浄物(1)の下面
を外周側に向かって流れるため、下方洗浄液噴出口(6)
から噴出した洗浄液や、被洗浄物(1)の上面より下面に
回り込もうとする洗浄液は、ガス流によりガス噴出口
(5)より内側に入り込むことができない。したがって下
面中心部に洗浄液の跡が残ることもない。
【０００９】尚、本実施例では噴出ガスとしてＮ2ガス
を用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、
被洗浄物に悪影響を与えないガスであれば他の種類のガ
スや混合ガスを用いてもよい。
を用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、
被洗浄物に悪影響を与えないガスであれば他の種類のガ
スや混合ガスを用いてもよい。
【００１０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明により被洗浄
物を両面同時に洗浄することができ、別途下面洗浄を必
要としないので、洗浄作業の効率を大幅に向上させるこ
とができる。
物を両面同時に洗浄することができ、別途下面洗浄を必
要としないので、洗浄作業の効率を大幅に向上させるこ
とができる。
【図１】実施例の要部断面図。
【符号の説明】 (1) 被洗浄物（半導体ウエハ） (2) スピンチャック (3) モーター (4) 洗浄液噴出口 (5) ガス噴出口 (6) 下方洗浄液噴出口 (7) 洗浄液排出口 (8) 上部カバー (9) 吸引路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小中 敏典 東京都台東区谷中３丁目６番16号 エム・ セテック株式会社内 (72)発明者 村井 剛 東京都台東区谷中３丁目６番16号 エム・ セテック株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 被洗浄物の下面をスピンチャックで保持
し、被洗浄物の上方から洗浄液を噴出して被洗浄物を洗
浄するリンス機において、 被洗浄物の下方から洗浄液を噴出して被洗浄物の下面を
洗浄するための下方洗浄液噴出口を備えていることを特
徴とするリンス機。 - 【請求項２】 被洗浄物の下面をスピンチャックで保持
し、被洗浄物の上方から洗浄液を噴出して被洗浄物を洗
浄するリンス機において、 被洗浄物の下方から洗浄液を噴出して被洗浄物の下面を
洗浄するための下方洗浄液噴出口と、 被洗浄物の下面の内側から外周に向かうガス流を作り出
すことのできるガス噴出口を備えており、 ガス噴出口は下方洗浄液噴出口より内側に設けられてい
ることを特徴とするリンス機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7240828A JPH0964004A (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | リンス機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7240828A JPH0964004A (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | リンス機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0964004A true JPH0964004A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=17065304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7240828A Pending JPH0964004A (ja) | 1995-08-25 | 1995-08-25 | リンス機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0964004A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102588860A (zh) * | 2011-01-07 | 2012-07-18 | 北京联合大学 | 一种太阳能路灯光伏板的清洁方法 |
| KR20140031109A (ko) * | 2012-09-03 | 2014-03-12 | 가부시키가이샤 소쿠도 | 처리 컵 및 기판 처리 장치 |
-
1995
- 1995-08-25 JP JP7240828A patent/JPH0964004A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102588860A (zh) * | 2011-01-07 | 2012-07-18 | 北京联合大学 | 一种太阳能路灯光伏板的清洁方法 |
| KR20140031109A (ko) * | 2012-09-03 | 2014-03-12 | 가부시키가이샤 소쿠도 | 처리 컵 및 기판 처리 장치 |
| JP2014049679A (ja) * | 2012-09-03 | 2014-03-17 | Sokudo Co Ltd | カップおよび基板処理装置 |
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