JPH0964602A - 伝送線路 - Google Patents

伝送線路

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JPH0964602A
JPH0964602A JP7214963A JP21496395A JPH0964602A JP H0964602 A JPH0964602 A JP H0964602A JP 7214963 A JP7214963 A JP 7214963A JP 21496395 A JP21496395 A JP 21496395A JP H0964602 A JPH0964602 A JP H0964602A
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microstrip
microstrip line
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JP7214963A
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English (en)
Inventor
Shinji Aono
眞司 青野
Shin Chagi
伸 茶木
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 RF/DCマイクロストリップ線路交差部で
の特性インピーダンスの変化による反射損を低減するこ
とができる伝送線路を得ることを目的とする。 【解決手段】 基板1の面に設けられたRFマイクロス
トリップ線路2AとDCマイクロストリップ線路3Aの
交差部において、前記DCマイクロストリップ線路3A
を下部線路とし、前記RFマイクロストリップ線路2A
を上部線路であるエアブリッジ4とした。 【効果】 交差部での特性インピーダンスの変化による
反射損を低減することが可能となり、積極的な回路の小
型化、高機能化が実現できるという効果を奏する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、マイクロ波帯以
上の周波数で用いる平面回路(MMIC)等に使用され
る伝送線路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の伝送線路について図20及び図2
1を参照しながら説明する。図20は、従来のスイッチ
回路の平面を示す図である。また、図21は、図20の
RF/DCマイクロストリップ線路交差部を示す斜視図
である。
【0003】図20及び図21において、1はGaAs
基板、2はRFマイクロストリップ線路、3はDCマイ
クロストリップ線路、4はエアブリッジ部である。ま
た、5はRF信号入力パッド、6及び7はRF信号出力
パッド、8及び9はDC印加用パッド、10及び11は
FETゲート電極である。
【0004】DC印加用パッド8、9から電圧を例えば
0/−5Vと切替えることで、RF信号入力パッド5か
ら入力されるRF信号をRF信号出力パッド6あるいは
7に出力させる。
【0005】回路パターン内でのDC印加用パッド8、
9の位置は回路の実装あるいはシステム側から制限され
るため、RFマイクロストリップ線路2と、DCマイク
ロストリップ線路3とを交差させる必要が生じる。
【0006】このRFマイクロストリップ線路2と、D
Cマイクロストリップ線路3の交差部において、従来
は、図21に示すように、DCマイクロストリップ線路
3側をエアブリッジとしていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
伝送線路では、RF/DCマイクロストリップ線路交差
部での特性インピーダンスの変化による反射損が大きい
という問題点があった。
【0008】この発明は、前述した問題点を解決するた
めになされたもので、RF/DC、RF/RFマイクロ
ストリップ線路交差部での特性インピーダンスの変化に
よる反射損を低減することができる伝送線路を得ること
を目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明に係る伝送線路
は、基板面に設けられたRFマイクロストリップ線路と
DCマイクロストリップ線路の交差部において、前記D
Cマイクロストリップ線路を下部線路とし、前記RFマ
イクロストリップ線路を上部線路であるエアブリッジと
したものである。
【0010】また、この発明に係る伝送線路は、前記D
Cマイクロストリップ線路の線路幅と前記RFマイクロ
ストリップ線路の線路幅とを同じにしたものである。
【0011】また、この発明に係る伝送線路は、前記D
Cマイクロストリップ線路の線路幅を前記RFマイクロ
ストリップ線路の線路幅よりも狭くしたものである。
【0012】また、この発明に係る伝送線路は、前記D
Cマイクロストリップ線路の線路幅を前記RFマイクロ
ストリップ線路の線路幅の約半分にしたものである。
【0013】また、この発明に係る伝送線路は、前記D
Cマイクロストリップ線路の線路幅を前記RFマイクロ
ストリップ線路の線路幅の半分以下にしたものである。
【0014】また、この発明に係る伝送線路は、前記R
Fマイクロストリップ線路のエアブリッジ部分の線路幅
を前記RFマイクロストリップ線路の基板に接した部分
の線路幅よりも狭くしたものである。
【0015】また、この発明に係る伝送線路は、前記エ
アブリッジ部分の線路幅を前記DCマイクロストリップ
線路の線路幅とを同じにしたものである。
【0016】また、この発明に係る伝送線路は、前記エ
アブリッジ部分の線路幅を前記DCマイクロストリップ
線路の線路幅よりも狭くしたものである。
【0017】また、この発明に係る伝送線路は、前記エ
アブリッジ部分の線路幅を前記DCマイクロストリップ
線路の線路幅の約半分にしたものである。
【0018】また、この発明に係る伝送線路は、前記エ
アブリッジ部分の線路幅を前記DCマイクロストリップ
線路の線路幅の半分以下にしたものである。
【0019】また、この発明に係る伝送線路は、前記R
Fマイクロストリップ線路のエアブリッジ部分前後にイ
ンピーダンス変換部を設けたものである。
【0020】また、この発明に係る伝送線路は、前記エ
アブリッジ部分前後にインピーダンス変換部を設け、前
記エアブリッジ部分の線路幅を前記DCマイクロストリ
ップ線路の線路幅とを同じにしたものである。
【0021】また、この発明に係る伝送線路は、基板面
に設けられた第1のRFマイクロストリップ線路と第2
のRFマイクロストリップ線路の交差部において、前記
第2のRFマイクロストリップ線路を下部線路とし、前
記第1のRFマイクロストリップ線路を上部線路である
エアブリッジとしたものである。
【0022】また、この発明に係る伝送線路は、前記第
1のRFマイクロストリップ線路の線路幅と前記第2の
RFマイクロストリップ線路の線路幅とを同じにしたも
のである。
【0023】また、この発明に係る伝送線路は、前記第
1のRFマイクロストリップ線路の線路幅を前記第2の
RFマイクロストリップ線路の線路幅よりも狭くしたも
のである。
【0024】また、この発明に係る伝送線路は、前記第
1及び第2のRFマイクロストリップ線路の交差部の線
路幅を前記第1及び第2のRFマイクロストリップ線路
の基板に接した部分の線路幅よりも狭くしたものであ
る。
【0025】さらに、この発明に係る伝送線路は、前記
交差部の前記上部線路及び前記下部線路間に誘電体を挿
入したものである。
【0026】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.以下、この発明の実施の形態1について
図1から図7までを参照しながら説明する。図1は、こ
の実施の形態1のRF/DCマイクロストリップ線路交
差部を示す斜視図である。また、図2及び図3は、この
実施の形態1及び従来例のエアブリッジ部分の断面とそ
れぞれの電磁界解析に用いた線路モデルを示す図であ
る。さらに、図4から図7までは、この実施の形態1の
電磁界解析の計算結果であって、RF信号の通過損失を
示す図である。なお、各図中、同一符号は同一又は相当
部分を示す。
【0027】図1において、1は基板厚が100μmの
GaAs基板、2AはAu等からなり膜厚が2μm、線
路幅が70μmのRFマイクロストリップ線路、3Aは
Au等からなり膜厚が2μm、線路幅がw1(=70、
40、20、10μm)のDCマイクロストリップ線
路、4は高さが4μmのエアブリッジ部である。
【0028】なお、上記エアブリッジ部4の高さは、D
Cマイクロストリップ線路3Aの表(上)面からRFマ
イクロストリップ線路2Aの下面までの距離である。ま
た、ストリップ線路はTEM波を伝送させることができ
るのに対して、このマイクロストリップ線路は進行方向
にも電磁界分布を持った混成波を伝送させることができ
る。さらに、この実施の形態1は、下側に接地導体をも
つグラウンデッドコプレーナ線路(GCPW:Grounde
d Co-Planar Waveguide)に関するものである。下側
に接地導体をもたないコプレーナ線路に較べて、このグ
ラウンデッドコプレーナ線路はその電界が下側の接地導
体に向けて走っている割合が高い。その割合はグラウン
デッドコプレーナ線路の基板厚に依存する。
【0029】図1に示すように、RFマイクロストリッ
プ線路2A側をエアブリッジとすることにより、RF/
DCマイクロストリップ線路交差部での特性インピーダ
ンスの変化を最小とすることが可能となる。
【0030】図2及び図3において、それぞれの(a)
は交差部の断面、(b)はその線路モデルを示し、12
は空気、13はシールド導体を示す。
【0031】図4から図7までにおいて、横軸は周波数
(GHZ)、縦軸はRF信号の通過損失(Sパラメー
タ:│S21│)(dB10:10log10(mag(S
21)))である。
【0032】RF/DCマイクロストリップ線路交差部
について電磁界解析を行い、その計算(シミュレーショ
ン)結果を図4〜図7に示す。この実施の形態1のシミ
ュレーションについては、図2(a)に示す実施の形態
1のエアブリッジ部分の断面に対応させて、同図(b)
に示す線路モデルに基づいて行った。同様に、従来例の
シミュレーションについては、図3(a)に示す従来例
のエアブリッジ部分の断面に対応させて、同図(b)に
示す線路モデルに基づいて行った。
【0033】図4〜図7のグラフには、RFマイクロス
トリップ線路2Aをエアブリッジとした実施の形態1を
*印で、RFマイクロストリップ線路2を下部線路とし
た従来例を〇印でプロットしたものを示す。なお、従来
のRFマイクロストリップ線路2は、線路長が130μ
m、線路幅が70μmの場合の計算例である。また、略
直線状にプロットされているものは、線路長が130μ
m、線路幅が70μmであって、交差なしの通常のマイ
クロストリップスルー線路の通過損失を表わす。
【0034】図4は、RFマイクロストリップ線路2A
の線路幅が70μm、DCマイクロストリップ線路3A
の線路幅w1が70μmの場合のRF信号の通過損失を
表す。また、図5は、RFマイクロストリップ線路2A
の線路幅が70μm、DCマイクロストリップ線路3A
の線路幅w1が40μmの場合を表す。また、図6は、
RFマイクロストリップ線路2Aの線路幅が70μm、
DCマイクロストリップ線路3Aの線路幅w1が20μ
mの場合を表す。さらに、図7は、RFマイクロストリ
ップ線路2Aの線路幅が70μm、DCマイクロストリ
ップ線路3Aの線路幅w1が10μmの場合を表す。な
お、RFマイクロストリップ線路2A及びDCマイクロ
ストリップ線路3Aの線路長は130μmの場合であ
る。
【0035】これらの図より、従来のRFマイクロスト
リップ線路2が下部線路となる場合(〇印)よりも、こ
の実施の形態1によるRFマイクロストリップ線路2A
がエアブリッジとなる場合(×印)の方が低損失となる
ことがわかる。
【0036】RFマイクロストリップ線路の特性インピ
ーダンスは下記の式1によって表される。なお、式1に
おいて、Z0は特性インピーダンス、Lは単位長さ当た
りのインダクタンス、Cは単位長さ当たりの線路導体と
グランド導体間のキャパシタンスである。
【0037】Z0=√(L/C) ・・・ 式1
【0038】交差のあるRFマイクロストリップ線路の
場合は、単なるマイクロストリップスルー線路の場合と
比較して、式1のキャパシタンスCが大きくなるため、
特性インピーダンスは小さくなる。また、解析の結果、
キャパシタンスCの増加の程度が、図2及び図3に示す
ように、従来例よりもこの実施の形態1の方が小さいた
め、低損失となることが明らかとなった。
【0039】以上のように、この実施の形態1によれば
RF/DCマイクロストリップ線路交差部での特性イン
ピーダンスの変化による反射損(通過損失)を低減する
ことが可能となり、積極的な回路の小型化、高機能化が
実現できる。
【0040】実施の形態2.この発明の実施の形態2に
ついて図8から図10までを参照しながら説明する。図
8は、この実施の形態2のRF/DCマイクロストリッ
プ線路交差部を示す斜視図である。さらに、図9及び図
10は、この実施の形態2の電磁界解析の計算結果であ
って、RF信号の通過損失を示す図である。
【0041】図8において、1はGaAs基板、2Bは
RFマイクロストリップ線路、3AはDCマイクロスト
リップ線路、4はエアブリッジ部である。なお、RFマ
イクロストリップ線路2Bのエアブリッジ部4の線路幅
w2は、GaAs基板1に接した線路部分の線路幅より
も狭くなっている。また、基本的な構造、材質等は上記
実施の形態1と同様であり、各部の寸法は図8に示すと
おりである。
【0042】図9及び図10において、横軸は周波数
(GHZ)、縦軸はRF信号の通過損失(Sパラメー
タ:│S21│)(dB20:20log10(mag(S
21))、dB10:10log10(mag(S2
1)))である。なお、RF/DCマイクロストリップ
線路交差部についての電磁界解析(シミュレーション)
は上記実施の形態1と同様である。
【0043】図9及び図10のグラフには、RFマイク
ロストリップ線路2Bのエアブリッジ部4の線路幅w2
が70μmの場合を〇印で、線路幅w2が40μmの場
合を×印で、線路幅w2が20μmの場合を*印でプロ
ットしたものを示す。なお、図9及び図10は縦軸のス
ケールが相違するだけである。また、略直線状にプロッ
トされているものは、交差なしの通常のマイクロストリ
ップスルー線路の通過損失を表わす。
【0044】上記実施の形態1で、線路交差部における
損失の増大は、式1のキャパシタンスCの増大による特
性インピーダンスの変化に帰因することを示した。そこ
で、RFマイクロストリップ線路2Bのエアブリッジ部
4の特性インピーダンスをGaAs基板1に接した線路
部分の特性インピーダンスと一致させるために、この実
施の形態2のエアブリッジ部4の線路幅w2は、GaA
s基板1に接した線路部分の線路幅よりも狭くなってい
る。
【0045】このようにすることで、図9及び図10に
示すように、交差部でのキャパシタンスCの増大を最小
とし、一方で式1のインダクタンスLを増加させ、特性
インピーダンスの変化を抑制することができ、交差部で
の損失を低減できる。
【0046】実施の形態3.この発明の実施の形態3に
ついて図11から図13までを参照しながら説明する。
図11は、この実施の形態3のRF/DCマイクロスト
リップ線路交差部を示す斜視図である。さらに、図12
及び図13は、この実施の形態3の電磁界解析の計算結
果であって、RF信号の通過損失を示す図である。
【0047】図11において、1はGaAs基板、2C
はRFマイクロストリップ線路、3AはDCマイクロス
トリップ線路、4はエアブリッジ部である。なお、RF
マイクロストリップ線路2Cのエアブリッジ部4の前後
にインピーダンス変換部14を設け、交差部での反射の
影響を低減している。また、基本的な構造、材質等は上
記実施の形態1と同様であり、各部の寸法は図11に示
すとおりである。
【0048】図12及び図13において、横軸は周波数
(GHZ)、縦軸はRF信号の通過損失(Sパラメー
タ:│S21│)(dB20:20log10(mag(S
21))、dB10:10log10(mag(S2
1)))である。なお、RF/DCマイクロストリップ
線路交差部についての電磁界解析(シミュレーション)
は上記実施の形態1と同様である。
【0049】図12及び図13のグラフには、RFマイ
クロストリップ線路2Cのエアブリッジ部4の高さhが
2μmの場合を〇印で、高さhが15μmの場合を×印
でプロットしたものを示す。なお、図12及び図13は
縦軸のスケールが相違するだけである。また、略直線状
にプロットされているものは、交差なしの通常のマイク
ロストリップスルー線路の通過損失を表わす。
【0050】RFマイクロストリップ線路2Cのエアブ
リッジ部4の特性インピーダンスと、GaAs基板1に
接した線路部分の特性インピーダンスの違いによるエア
ブリッジ部4での反射を打ち消すため、エアブリッジ部
4前後の線路幅を調整するように、インピーダンス変換
部14を設け、交差部での反射の影響を低減できる。
【0051】実施の形態4.この発明の実施の形態4に
ついて図14から図18までを参照しながら説明する。
図14は、この実施の形態4のRF/RFマイクロスト
リップ線路交差部を示す斜視図である。さらに、図15
から図18までは、この実施の形態4の電磁界解析の計
算結果であって、RF信号の通過損失を示す図である。
【0052】図14において、1はGaAs基板、2B
及び2DはRFマイクロストリップ線路、4はエアブリ
ッジ部である。なお、RF/RFマイクロストリップ線
路交差部において、両方の線路幅が狭くなっている。ま
た、基本的な構造、材質等は上記実施の形態1と同様で
あり、各部の寸法は図14に示すとおりである。
【0053】図15から図18までにおいて、横軸は周
波数(GHZ)、縦軸はRF信号の通過損失(Sパラメ
ータ:│S21│)(dB20:20log10(mag
(S21))、dB10:10log10(mag(S2
1)))である。なお、RF/RFマイクロストリップ
線路交差部についての電磁界解析(シミュレーション)
は上記実施の形態1と同様である。
【0054】図15〜図18のグラフには、RFマイク
ロストリップ線路2Bのエアブリッジ部4の前後の線路
幅の変化がステップ状(例えば、エアブリッジ部4の線
路幅w4(=5、20μm)からその前後の線路幅が7
0μmへ変化した場合)の場合を〇印で、線路幅の変化
がテーパ状(例えば、エアブリッジ部4の線路幅w4
(=5、20μm)からその前後の線路幅が30→50
→70μmへ15μm線路長毎に変化した場合)の場合
を*印でプロットしたものを示す。なお、略直線状にプ
ロットされているものは、交差なしの通常のマイクロス
トリップスルー線路の通過損失を表わす。
【0055】図15及び図16は、RFマイクロストリ
ップ線路2Bのエアブリッジ部4の線路幅が5μmの場
合のRF信号の通過損失を表す。なお、図15及び図1
6は縦軸のスケールが相違するだけである。また、図1
7及び図18は、RFマイクロストリップ線路2Bのエ
アブリッジ部4の線路幅が20μmの場合のRF信号の
通過損失を表す。なお、図17及び図18は縦軸のスケ
ールが相違するだけである。これらの図からわかるよう
に、エアブリッジ部4の線路幅が5μmの場合は、ステ
ップ接続よりもテーパ接続した方が損失が少なくなって
いる。また、エアブリッジ部4の線路幅が20μmの場
合は、ステップ接続もテーパ接続もあまり変わらない。
【0056】RF/RFマイクロストリップ線路交差部
において、両RFマイクロストリップ線路2B、2Dの
特性インピーダンスの変化を最小化あるいは補償するた
めに、エアブリッジ部4とその下部線路共に交差しない
部分の線路幅よりも狭くした構造は、上記実施の形態1
で述べた式1のキャパシタンスCの増大を小さくするた
めの構造である。
【0057】以上のように、この実施の形態4によれ
ば、上記各実施の形態と同様に、交差部での特性インピ
ーダンスの変化による反射損(通過損失)を低減するこ
とが可能となり、積極的な回路の小型化、高機能化が実
現できる。
【0058】実施の形態5.この発明の実施の形態5に
ついて図19を参照しながら説明する。図19は、この
実施の形態5のRF/DC、RF/RFマイクロストリ
ップ線路交差部を示す斜視図である。
【0059】図19において、1はGaAs基板、2A
はRFマイクロストリップ線路、3BはDCマイクロス
トリップ線路、2EはRFマイクロストリップ線路、4
はエアブリッジ部、15は誘電体材料である。なお、基
本的な構造、材質等は上記実施の形態1と同様である。
【0060】この実施の形態5は、交差部で発生する容
量を回路要素として積極的に利用するための構造で、交
差部での両線路間に誘電体材料15を充填したものであ
る。なお、交差部面積を適当に調整することができる。
【0061】
【発明の効果】この発明に係る伝送線路は、以上説明し
たとおり、基板面に設けられたRFマイクロストリップ
線路とDCマイクロストリップ線路の交差部において、
前記DCマイクロストリップ線路を下部線路とし、前記
RFマイクロストリップ線路を上部線路であるエアブリ
ッジとしたので、交差部での特性インピーダンスの変化
による反射損を低減することが可能となり、積極的な回
路の小型化、高機能化が実現できるという効果を奏す
る。
【0062】また、この発明に係る伝送線路は、以上説
明したとおり、前記DCマイクロストリップ線路の線路
幅と前記RFマイクロストリップ線路の線路幅とを同じ
にしたので、交差部での特性インピーダンスの変化によ
る反射損を低減することができるという効果を奏する。
【0063】また、この発明に係る伝送線路は、以上説
明したとおり、前記DCマイクロストリップ線路の線路
幅を前記RFマイクロストリップ線路の線路幅よりも狭
くしたので、交差部での特性インピーダンスの変化によ
る反射損を低減することができるという効果を奏する。
【0064】また、この発明に係る伝送線路は、以上説
明したとおり、前記DCマイクロストリップ線路の線路
幅を前記RFマイクロストリップ線路の線路幅の約半分
にしたので、交差部での特性インピーダンスの変化によ
る反射損を低減することができるという効果を奏する。
【0065】また、この発明に係る伝送線路は、以上説
明したとおり、前記DCマイクロストリップ線路の線路
幅を前記RFマイクロストリップ線路の線路幅の半分以
下にしたので、交差部での特性インピーダンスの変化に
よる反射損を低減することができるという効果を奏す
る。
【0066】また、この発明に係る伝送線路は、以上説
明したとおり、前記RFマイクロストリップ線路のエア
ブリッジ部分の線路幅を前記RFマイクロストリップ線
路の基板に接した部分の線路幅よりも狭くしたので、交
差部での特性インピーダンスの変化による反射損を低減
することができるという効果を奏する。
【0067】また、この発明に係る伝送線路は、以上説
明したとおり、前記エアブリッジ部分の線路幅を前記D
Cマイクロストリップ線路の線路幅とを同じにしたの
で、交差部での特性インピーダンスの変化による反射損
を低減することができるという効果を奏する。
【0068】また、この発明に係る伝送線路は、以上説
明したとおり、前記エアブリッジ部分の線路幅を前記D
Cマイクロストリップ線路の線路幅よりも狭くしたの
で、交差部での特性インピーダンスの変化による反射損
を低減することができるという効果を奏する。
【0069】また、この発明に係る伝送線路は、以上説
明したとおり、前記エアブリッジ部分の線路幅を前記D
Cマイクロストリップ線路の線路幅の約半分にしたの
で、交差部での特性インピーダンスの変化による反射損
を低減することができるという効果を奏する。
【0070】また、この発明に係る伝送線路は、以上説
明したとおり、前記エアブリッジ部分の線路幅を前記D
Cマイクロストリップ線路の線路幅の半分以下にしたの
で、交差部での特性インピーダンスの変化による反射損
を低減することができるという効果を奏する。
【0071】また、この発明に係る伝送線路は、以上説
明したとおり、前記RFマイクロストリップ線路のエア
ブリッジ部分前後にインピーダンス変換部を設けたの
で、交差部での特性インピーダンスの変化による反射損
を低減することができるという効果を奏する。
【0072】また、この発明に係る伝送線路は、以上説
明したとおり、前記エアブリッジ部分前後にインピーダ
ンス変換部を設け、前記エアブリッジ部分の線路幅を前
記DCマイクロストリップ線路の線路幅とを同じにした
ので、交差部での特性インピーダンスの変化による反射
損を低減することができるという効果を奏する。
【0073】また、この発明に係る伝送線路は、以上説
明したとおり、基板面に設けられた第1のRFマイクロ
ストリップ線路と第2のRFマイクロストリップ線路の
交差部において、前記第2のRFマイクロストリップ線
路を下部線路とし、前記第1のRFマイクロストリップ
線路を上部線路であるエアブリッジとしたので、交差部
での特性インピーダンスの変化による反射損を低減する
ことが可能となり、積極的な回路の小型化、高機能化が
実現できるという効果を奏する。
【0074】また、この発明に係る伝送線路は、以上説
明したとおり、前記第1のRFマイクロストリップ線路
の線路幅と前記第2のRFマイクロストリップ線路の線
路幅とを同じにしたので、交差部での特性インピーダン
スの変化による反射損を低減することができるという効
果を奏する。
【0075】また、この発明に係る伝送線路は、以上説
明したとおり、前記第1のRFマイクロストリップ線路
の線路幅を前記第2のRFマイクロストリップ線路の線
路幅よりも狭くしたので、交差部での特性インピーダン
スの変化による反射損を低減することができるという効
果を奏する。
【0076】また、この発明に係る伝送線路は、以上説
明したとおり、前記第1及び第2のRFマイクロストリ
ップ線路の交差部の線路幅を前記第1及び第2のRFマ
イクロストリップ線路の基板に接した部分の線路幅より
も狭くしたので、交差部での特性インピーダンスの変化
による反射損を低減することができるという効果を奏す
る。
【0077】さらに、この発明に係る伝送線路は、以上
説明したとおり、前記交差部の前記上部線路及び前記下
部線路間に誘電体を挿入したので、交差部で発生する容
量を回路要素として利用することができるという効果を
奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1に係るRF/DC線
路交差部を示す斜視図である。
【図2】 この発明の実施の形態1に係るエアブリッジ
部分の断面とその電磁界解析に用いた線路モデルを示す
図である。
【図3】 従来例に係るエアブリッジ部分の断面とその
電磁界解析に用いた線路モデルを示す図である。
【図4】 この発明の実施の形態1のRF信号の通過損
失を示す図である。
【図5】 この発明の実施の形態1のRF信号の通過損
失を示す図である。
【図6】 この発明の実施の形態1のRF信号の通過損
失を示す図である。
【図7】 この発明の実施の形態1のRF信号の通過損
失を示す図である。
【図8】 この発明の実施の形態2に係るRF/DC線
路交差部を示す斜視図である。
【図9】 この発明の実施の形態2のRF信号の通過損
失を示す図である。
【図10】 この発明の実施の形態2のRF信号の通過
損失を示す図である。
【図11】 この発明の実施の形態3に係るRF/DC
線路交差部を示す斜視図である。
【図12】 この発明の実施の形態3のRF信号の通過
損失を示す図である。
【図13】 この発明の実施の形態3のRF信号の通過
損失を示す図である。
【図14】 この発明の実施の形態4に係るRF/RF
線路交差部を示す斜視図である。
【図15】 この発明の実施の形態4のRF信号の通過
損失を示す図である。
【図16】 この発明の実施の形態4のRF信号の通過
損失を示す図である。
【図17】 この発明の実施の形態4のRF信号の通過
損失を示す図である。
【図18】 この発明の実施の形態4のRF信号の通過
損失を示す図である。
【図19】 この発明の実施の形態5に係るRF/D
C、RF/RF線路交差部を示す斜視図である。
【図20】 従来のスイッチ回路を示す平面図である。
【図21】 図20の線路交差部を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 GaAs基板、2A、2B、2C、2D、2E R
Fマイクロストリップ線路、3A、3B DCマイクロ
ストリップ線路、4 エアブリッジ部、15誘電体材
料。

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板面に設けられたRFマイクロストリ
    ップ線路とDCマイクロストリップ線路の交差部におい
    て、前記DCマイクロストリップ線路を下部線路とし、
    前記RFマイクロストリップ線路を上部線路であるエア
    ブリッジとする構造を特徴とする伝送線路。
  2. 【請求項2】 前記DCマイクロストリップ線路の線路
    幅と前記RFマイクロストリップ線路の線路幅とを同じ
    にしたことを特徴とする請求項1記載の伝送線路。
  3. 【請求項3】 前記DCマイクロストリップ線路の線路
    幅を前記RFマイクロストリップ線路の線路幅よりも狭
    くしたことを特徴とする請求項1記載の伝送線路。
  4. 【請求項4】 前記DCマイクロストリップ線路の線路
    幅を前記RFマイクロストリップ線路の線路幅の約半分
    にしたことを特徴とする請求項3記載の伝送線路。
  5. 【請求項5】 前記DCマイクロストリップ線路の線路
    幅を前記RFマイクロストリップ線路の線路幅の半分以
    下にしたことを特徴とする請求項3記載の伝送線路。
  6. 【請求項6】 前記RFマイクロストリップ線路のエア
    ブリッジ部分の線路幅を前記RFマイクロストリップ線
    路の基板に接した部分の線路幅よりも狭くしたことを特
    徴とする請求項1記載の伝送線路。
  7. 【請求項7】 前記エアブリッジ部分の線路幅を前記D
    Cマイクロストリップ線路の線路幅とを同じにしたこと
    を特徴とする請求項6記載の伝送線路。
  8. 【請求項8】 前記エアブリッジ部分の線路幅を前記D
    Cマイクロストリップ線路の線路幅よりも狭くしたこと
    を特徴とする請求項6記載の伝送線路。
  9. 【請求項9】 前記エアブリッジ部分の線路幅を前記D
    Cマイクロストリップ線路の線路幅の約半分にしたこと
    を特徴とする請求項8記載の伝送線路。
  10. 【請求項10】 前記エアブリッジ部分の線路幅を前記
    DCマイクロストリップ線路の線路幅の半分以下にした
    ことを特徴とする請求項8記載の伝送線路。
  11. 【請求項11】 前記RFマイクロストリップ線路のエ
    アブリッジ部分前後にインピーダンス変換部を設けたこ
    とを特徴とする請求項6記載の伝送線路。
  12. 【請求項12】 前記エアブリッジ部分の線路幅を前記
    DCマイクロストリップ線路の線路幅とを同じにしたこ
    とを特徴とする請求項11記載の伝送線路。
  13. 【請求項13】 基板面に設けられた第1のRFマイク
    ロストリップ線路と第2のRFマイクロストリップ線路
    の交差部において、前記第2のRFマイクロストリップ
    線路を下部線路とし、前記第1のRFマイクロストリッ
    プ線路を上部線路であるエアブリッジとする構造を特徴
    とする伝送線路。
  14. 【請求項14】 前記第1のRFマイクロストリップ線
    路の線路幅と前記第2のRFマイクロストリップ線路の
    線路幅とを同じにしたことを特徴とする請求項13記載
    の伝送線路。
  15. 【請求項15】 前記第1のRFマイクロストリップ線
    路の線路幅を前記第2のRFマイクロストリップ線路の
    線路幅よりも狭くしたことを特徴とする請求項13記載
    の伝送線路。
  16. 【請求項16】 前記第1及び第2のRFマイクロスト
    リップ線路の交差部の線路幅を前記第1及び第2のRF
    マイクロストリップ線路の基板に接した部分の線路幅よ
    りも狭くしたことを特徴とする請求項14又は15記載
    の伝送線路。
  17. 【請求項17】 前記交差部の前記上部線路及び前記下
    部線路間に誘電体を挿入したことを特徴とする請求項1
    又は13記載の伝送線路。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010187220A (ja) * 2009-02-12 2010-08-26 New Japan Radio Co Ltd 高周波回路調整機構及び方法
JP2011101327A (ja) * 2009-11-09 2011-05-19 Canon Inc 信号伝送路
JP2014187653A (ja) * 2013-03-25 2014-10-02 Fujitsu Ltd 半導体装置
JP2015133660A (ja) * 2014-01-15 2015-07-23 富士通株式会社 集積回路及び送受信装置

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