JPH0964682A - 共振子装置およびその周波数調整方法 - Google Patents

共振子装置およびその周波数調整方法

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JPH0964682A
JPH0964682A JP24375795A JP24375795A JPH0964682A JP H0964682 A JPH0964682 A JP H0964682A JP 24375795 A JP24375795 A JP 24375795A JP 24375795 A JP24375795 A JP 24375795A JP H0964682 A JPH0964682 A JP H0964682A
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JP
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resonator
frequency
electrode
capacitor
oscillation frequency
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JP24375795A
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English (en)
Inventor
Akihiko Shibata
明彦 柴田
Masaki Takeuchi
雅樹 竹内
Hidekazu Takada
英一 高田
Yoji Yamamoto
洋司 山本
Toshio Nishikawa
敏夫 西川
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 Ｑ値や温度特性等の共振特性を変化させずに
共振子の発振周波数を調整することができる共振子装置
およびその周波数調整方法を提供する。 【解決手段】 基板２に薄肉ダイアフラム３を形成し、
その上側に、下部電極５、圧電体４、上部電極６を積層
形成して共振子７を設ける。共振子７の隣り側には、基
板２の上側に下部電極５、誘電体10、上部電極11を積層
形成して周波数調整用コンデンサ８を設ける。共振子７
と周波数調整用コンデンサ８の下部電極は共通の下部電
極５で形成されており、共振子７と周波数調整用コンデ
ンサ８とは共通の下部電極５と配線材18とによって並列
接続している。共振子７の発振周波数が設定の周波数よ
りも高・低にずれているときには、そのずれ量に応じ上
部電極11の電極面積の増・減加工を行い、共振子７の共
振特性を変化させずに発振周波数を設定の周波数に合わ
せる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は共振子装置およびそ
の周波数調整方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、共振子を作製する場合、
共振振動部等の全ての加工形成部分を設定の寸法通りに
加工するのは加工精度のばらつきの問題から殆ど不可能
であり、加工形成部分が設定の寸法からずれて加工され
てしまうと、共振子の発振周波数が設定の発振周波数か
らずれてしまう。そのため、通常、共振振動部等の加工
形成後、共振子の発振周波数を設定の発振周波数に合わ
せる周波数の調整が行われる。この周波数調整の手法に
は従来から様々な手法が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、提案さ
れているどの発振周波数調整手法も、共振振動部に共振
周波数調整のための加工を施し、共振周波数を可変調整
することで発振周波数の調整を行うことから、発振周波
数の調整を行うことにより、共振周波数が変化してＱ値
の低下や温度特性の悪化等の好ましくない事態を招いて
しまう。
【０００４】本発明は上記課題を解決するためになされ
たものであり、その目的は、発振周波数を調整するため
に共振周波数を変化させることなく、Ｑ値や温度特性等
の共振特性を悪化させずに発振周波数の調整を行うこと
ができる共振子装置およびその周波数調整方法を提供す
ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のような手段を講じている。すなわち、
共振子装置の第１の発明では、基板の面上に、圧電体へ
の電圧駆動によって振動を行う共振子と、この共振子に
電気的に接続され誘電体を介して対向する電極面積の増
減加工若しくは電極配線材の断続加工によって前記共振
子の発振周波数を調整するための周波数調整用コンデン
サとが配設されている構成をもって前記課題を解決する
手段としている。
【０００６】また、共振子装置の第２の発明では、上記
共振子装置の第１の発明を構成する共振子は基板表面側
に形成された薄肉ダイアフラムの上側に下部電極を設
け、その下部電極の上側に圧電体を、さらに圧電体の上
側に上部電極を設けて形成され、周波数調整用コンデン
サは基板の表面に下部電極を、その下部電極の上側に誘
電体を、さらにその誘電体の上側に上部電極を設けて形
成されており、前記共振子の下部電極と周波数調整用コ
ンデンサの下部電極は兼用の共通電極によって形成され
ている構成を有して前記課題を解決する手段としてい
る。
【０００７】また、共振子装置の周波数調整方法の第１
の発明では、共振子に周波数調整用コンデンサを接続
し、周波数調整用コンデンサの対向電極の面積を増減加
工するか、若しくは共振子に接続する周波数調整用コン
デンサの配線材を接続加工して共振子の発振周波数を調
整する構成をもって前記課題を解決する手段としてい
る。
【０００８】さらに、共振子装置の周波数調整方法の第
２の発明では、上記共振子装置の周波数調整方法の第１
の発明を構成する周波数調整用コンデンサは配線材を用
いて共振子に並列に接続した構成をもって、また、共振
子装置の周波数調整方法の第３の発明では、上記共振子
装置の周波数調整方法の第１の発明を構成する共振子に
複数の周波数調整用コンデンサを接続しておき、そのう
ちの１個以上の周波数調整用コンデンサの並列接続の配
線材を切断加工して共振子の発振周波数を調整する構成
をもって、前記課題を解決する手段としている。
【０００９】さらにまた、共振子装置の周波数調整方法
の第４の発明では、上記共振子装置の周波数調整方法の
第２又は第３の発明を構成する共振子に１個以上の周波
数調整用コンデンサを配線途中に切断部を設けた配線材
を用いて共振子に並列に接続しておき、そのうちの１個
以上の配線材の切断部を導通加工して共振子の発振周波
数を調整する構成をもって前記課題を解決するための手
段としている。
【００１０】上記構成の本発明において、例えば、共振
子に該共振子の発振周波数調整用のコンデンサを並列に
接続しておき、共振子の発振周波数が設定の周波数より
も低い方向にずれている場合には、周波数調整用コンデ
ンサに電極対向面積の減少加工を施したり、あるいは、
周波数調整用コンデンサの電極配線材の切断加工を施し
て、共振子の発振周波数を高める方向に調整し、共振子
の発振周波数を設定の発振周波数に合わせる。
【００１１】また、共振子の発振周波数が設定の周波数
よりも高い方向にずれている場合には、周波数調整用コ
ンデンサに電極対向面積の増加加工を施したり、あるい
は、周波数調整用コンデンサの電極配線材の接続加工を
施して、共振子の発振周波数を下げる方向に調整し、共
振子の発振周波数を設定の発振周波数に合わせる。
【００１２】本発明では、共振子の発振周波数が設定の
周波数からずれている場合に、従来例で述べたように共
振子に発振周波数を調整するための加工を施すのではな
く、つまり、共振子の共振周波数を調整するための加工
を施すのではなく、周波数調整用コンデンサを設けてお
き、そのコンデンサに共振子の発振周波数を調整するた
めの加工を施して共振子の発振周波数を設定の周波数に
合わせるので、共振周波数は変化せず、Ｑ値や温度特性
等の共振特性を悪化させることなく、共振子の発振周波
数を設定の周波数に合わせる調整を行うことができ、前
記従来の課題が解決される。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に本発明に係る実施の形態例
を図面に基づいて説明する。
【００１４】本発明者は、以下に述べる点に気付き、前
記従来の課題を解決するための手段を考え出した。図６
には共振子の等価回路13が示されており、この回路13
は、コンデンサＣとコイルＬと抵抗体Ｒとの直列接続体
と、コンデンサＣ0 とが並列に接続された回路構成を有
している。また、図５には共振子（13）を組み込んだ発
振回路14の一例が示されており、この回路14は、上記共
振子の等価回路13と、抵抗体Ｒ1 と、増幅器（オペアン
プ）ＯＰとが並列に接続された回路構成を有している。
なお、図５に示すコンデンサＣL1とＣL2は、発振回路14
とグランドとの間に生じる静電容量を表すために、便宜
上、図示したものである。
【００１５】図６に示す共振子の等価回路13から、共振
子の共振周波数ｆr は次式（１）のように導かれる。
【００１６】 ｆr ＝１／｛２π・（Ｌ・Ｃ）1/2 ｝・・・・・（１）
【００１７】ただし、式（１）のＬはコイルＬのインダ
クタンス、ＣはコンデンサＣの静電容量である。
【００１８】また、図５に示す発振回路14から、発振周
波数ｆ0 は次式（２）のように導かれる。
【００１９】 ｆ0 ＝ｆr ・［１＋｛Ｃ／（Ｃ0 ＋ＣL ）｝］1/2 ・・・・・（２）
【００２０】ただし、ＣはコンデンサＣの静電容量、Ｃ
0 はコンデンサＣ0 の静電容量、ＣL は発振回路14とグ
ランドの間の静電容量であり、通常、ＣL は上記Ｃ0 よ
りも非常に小さい値で無視できる。
【００２１】また、共振子のＱ値（Ｑm ）は次式（３）
のように表される。
【００２２】 Ｑm ＝１／（２π・ｆr ・Ｃ・Ｒ）・・・・・（３）
【００２３】ただし、Ｒは抵抗体Ｒの抵抗値である。
【００２４】上記式（２）から、本発明者は、共振子
（13）のコンデンサ成分Ｃ0 を増・減させると発振周波
数ｆ0 が低・高に変化することに気付き、また、式
（１）および式（３）から、Ｃ0 を増・減させても、共
振子の共振周波数ｆr およびＱ値は変化しないことに気
付いた。その点に着目し、本発明者は、共振子の発振周
波数が設定の周波数からずれているときに、共振子の共
振周波数ｆr を変化させずに、つまり、Ｑ値や温度特性
等の共振特性を変化させずに発振周波数を設定の周波数
に合わせることができる共振子装置およびその周波数調
整方法を考え出した。
【００２５】図１には第１の実施の形態例における共振
子装置の主要構造構成が、また、図２には図１の共振子
装置の等価回路が示されている。この実施の形態例の共
振子装置は、共振子７と、周波数調整用コンデンサ８と
を有して構成されている。なお、図２に示す共振子７の
等価回路13は前記図６に示す回路と同一構成であるの
で、図６に示す回路構成部分と同一構成部分には同一符
号を付し、その重複説明は省略する。
【００２６】図１において、石英やシリコンやセラミッ
クス（例えば、商標パイレックスの指定商品のセラミッ
クス）等の基板２の裏面側にはエッチング等により薄肉
ダイアフラム３が形成され、そのダイアフラム３の上側
に下部電極５としての金属薄膜体が蒸着やスパッタ等に
より設けられ、下部電極５の上側には圧電体４が、さら
にその圧電体４の上側には蒸着やスパッタ等で形成され
る金属薄膜体の上部電極６が設けられて共振子７が形成
されている。また、共振子７の隣り側には、基板２の上
側に下部電極５を、その上側に誘電体を、さらにその上
側に金属薄膜体の上部電極11を積層して形成される周波
数調整用コンデンサ８が設けられている。
【００２７】前記共振子７と周波数調整用コンデンサ８
の下部電極は共通の下部電極５によって形成され、ま
た、共振子７の上部電極６と周波数調整用コンデンサ８
の上部電極11とは配線材18を用いて接続されており、共
振子７と周波数調整用コンデンサ８とは、前記共通の下
部電極５と、配線材18とによって、図２に示すように、
並列に接続されている。なお、図示されていないが、必
要に応じ、基板２の表面（共振子７等の素子が形成され
る面）上には酸化膜等の絶縁膜や、パッシベーション膜
等が形成される。
【００２８】ところで、上記構成の共振子装置では、共
振子７のコンデンサ成分Ｃ0 と周波数調整用コンデンサ
８とが並列接続されている関係にあることから、発振周
波数ｆ0 と、周波数調整用コンデンサ８の静電容量Ｃ1
と、周波数調整用コンデンサ８の上部電極11の面積（上
部電極11と下部電極５との対向面積）Ｓとの間に、次の
式（４）と式（５）に示す関係がある。
【００２９】 ｆ0 ＝ｆr ・［１＋｛Ｃ／（Ｃ0 ＋Ｃ1 ）｝］1/2 ・・・・・（４）
【００３０】Ｃ1 ＝ε・Ｓ／ｄ・・・・・（５）
【００３１】なお、ｆr は共振子７の共振周波数、Ｃは
コンデンサＣの静電容量、Ｃ0 はコンデンサＣ0 の静電
容量、εは誘電体10の誘電率、ｄは周波数調整用コンデ
ンサ８の下部電極５と上部電極11との間の距離である。
【００３２】このことから、上記構成の共振子装置にお
いて、共振子装置の加工形成後、共振子７の発振周波数
ｆ0 を測定し、発振周波数ｆ0 が設定の周波数からずれ
ているときには、次のようにして発振周波数ｆ0 を設定
の周波数に合わせる調整を行う。
【００３３】共振子７の発振周波数ｆ0 が設定の周波数
よりも低い方にずれている場合には、そのずれ量に応
じ、周波数調整用コンデンサ８の上部電極11の電極面を
レーザー加工等により切断したり、あるいは、ＲＩＥ
（Reactive Ion Etching）等のエッチングにより上記ず
れ量に対応する分だけ電極面を除去し、上部電極11の電
極面積Ｓを減少させ、つまり、上部電極11と下部電極５
との対向面積Ｓを減少させる。このことにより、上式
（５）から明らかな如く、周波数調整用コンデンサ８の
静電容量Ｃ1 がＳの減少量に応じ減少し、上式（４）に
示す共振子７の発振周波数ｆ0 と上記Ｃ1 との関係か
ら、発振周波数ｆ0 がＣ1 の減少量に対応して高くなる
方向に変化する。すなわち、設定の周波数に対する発振
周波数ｆ0 のずれ量（低い方へのずれ量）を修正する分
だけ、周波数調整用コンデンサ８の電極対向面積Ｓの減
少加工、つまり、上部電極11の電極面積の減少加工を行
い、発振周波数ｆ0 を高めて設定の周波数に合わせる調
整を行う。
【００３４】また、共振子７の発振周波数ｆ0 が設定の
周波数よりも高い方にずれている場合には、そのずれ量
に応じ、誘電体10の上側に、周波数調整用コンデンサ８
の上部電極11の電極面積Ｓを金属薄膜体の蒸着やスパッ
タ等により増加形成し、このことにより、周波数調整用
コンデンサ８の静電容量Ｃ1 がＳの増加量に応じ増加
し、発振周波数ｆ0 がＣ1 の増加量（Ｓの増加量）に対
応して下がる。すなわち、設定の周波数に対する発振周
波数ｆ0 のずれ量（高い方へのずれ量）を修正する分だ
け周波数調整用コンデンサ８の電極対向面積Ｓを増加さ
せ、つまり、上部電極11の電極面積Ｓを増加させ、発振
周波数ｆ0 を下げて設定の周波数に合わせる調整を行
う。
【００３５】この実施の形態例によれば、共振子７の発
振周波数ｆ0 の調整用コンデンサ８を設け、発振周波数
ｆ0 が設定の周波数からずれているときには、周波数調
整用コンデンサ８の電極対向面積Ｓの増減加工、すなわ
ち、上部電極11における電極面積Ｓの増減加工を行って
発振周波数ｆ0 を設定の周波数に合わせる構成としたの
で、発振周波数ｆ0 が設定の周波数からずれているとき
に、共振子７自体の周波数調整用の加工を行わずに、つ
まり、共振子７の共振周波数ｆr を変化させずに、上記
の如く、周波数調整用コンデンサ８の上部電極11におけ
る電極面積Ｓの増減加工を行って、共振子７の発振周波
数ｆ0 の調整が行われる。したがって、発振周波数ｆ0
の調整を行っても、共振子７の共振周波数ｆr は変化せ
ず、Ｑ値が低下する等の共振子７の共振特性の悪化を防
止することができる。
【００３６】また、共振子７と周波数調整用コンデンサ
８の下部電極を共通の下部電極５によって形成したの
で、共振子７と周波数調整用コンデンサ８とにそれぞれ
別個の下部電極を設けるよりも、その作製は容易とな
る。
【００３７】さらに、上記の如く、共振子７と周波数調
整用コンデンサ８の下部電極を共通の下部電極５によっ
て形成したので、つまり、下部電極５は周波数調整用コ
ンデンサ８の上部電極11との対向面積よりも十分に広く
形成されているので、共振子７の発振周波数ｆ0 の調整
を行う際に、上部電極11の電極面積Ｓの増減加工を行う
だけで、上部電極11と下部電極５との電極対向面積Ｓの
増減を行うことが可能であり、発振周波数ｆ0 の調整を
容易に行うことができる。
【００３８】次に、第２の実施の形態例を図３に基づき
説明する。なお、この実施の形態例の説明において、前
記第１の実施の形態例と同一名称部分には同一符号を付
し、その重複説明は省略する。
【００３９】本実施の形態例では、図３に示すように、
周波数調整用コンデンサ８が複数個（図３に示す例では
ｎ個（ｎ≧２））設けられている。それら周波数調整用
コンデンサ８の上部電極11は配線材18を用いて共振子７
の上部電極６に接続され、また、共振子７の下部電極と
ｎ個の周波数調整用コンデンサ８の下部電極は共通の下
部電極５によって形成されており、ｎ個の周波数調整用
コンデンサ８は、同図に示すように、共通の下部電極５
と配線材18とによって共振子７に並列に接続されてい
る。上記以外の共振子装置の構造構成は前記第１の実施
の形態例とほぼ同様である。
【００４０】上記のように並列接続されたｎ個の周波数
調整用コンデンサ８のトータルの静電容量Ｔは、各周波
数調整用コンデンサ８の静電容量がそれぞれＣ1 ，
Ｃ2 ，・・・・・Ｃn であるとき、Ｔ＝Ｃ1 ＋Ｃ2 ＋・
・・・・＋Ｃn であり、また、共振子７の発振周波数ｆ
0 と上記Ｔとの関係は、
【００４１】 ｆ0 ＝ｆr ・［１＋｛Ｃ／（Ｃ0 ＋Ｔ）｝］1/2 ・・・・・（６）
【００４２】と表される。そこで、第２の実施の形態例
では次のようにして共振子７の発振周波数ｆ0 の調整を
行う。
【００４３】共振子装置の加工形成後、共振子７の発振
周波数ｆ0 を測定して発振周波数ｆ0 が設定の周波数よ
りも低い方にずれていたときには、設定の周波数に対す
る発振周波数ｆ0 のずれ量に応じ、図３に示す配線材18
における点Ｘ1 〜点Ｘn のうちの１箇所以上をレーザー
加工等により切断し、例えば、点Ｘ1 を切断したときに
は静電容量Ｃ1 分だけ周波数調整用コンデンサ８のトー
タルの静電容量Ｔを減少させ、発振周波数ｆ0 を高め設
定の周波数に合わせる調整を行う。なお、予め、発振周
波数ｆ0 が設定の周波数よりも低くなるようにトータル
静電容量Ｔを加工形成し、その後、上記のように発振周
波数ｆ0 を高める調整を行うことで、生産される全ての
共振子装置の発振周波数ｆ0 を設定の周波数に合わせる
ことができる。
【００４４】もちろん、発振周波数ｆ0 の調整を行う際
に、前記第１の実施の形態例同様に、周波数調整用コン
デンサ８の電極対向面積Ｓの増・減加工、つまり、上部
電極11の電極面積Ｓの増・減加工を行って、周波数調整
用コンデンサ８のトータルの静電容量Ｔを増・減させ発
振周波数ｆ0 を低・高させ設定の周波数に合わせてもよ
い。また、周波数調整用コンデンサ８の電極対向面積Ｓ
の増・減加工と、前記配線材18の切断加工とを組み合わ
せて発振周波数ｆ0 を設定の周波数に合わせる調整を行
ってもよい。上記のような場合には、発振周波数ｆ0 の
調整をより精度良く行うことができ、また、予め、発振
周波数ｆ0 が設定の周波数よりも低くなるようにトータ
ル静電容量Ｔを加工形成しなくても、全ての共振子装置
の発振周波数ｆ0 を設定の周波数に合わせることができ
る。
【００４５】第２の実施の形態例によれば、前記第１の
実施の形態例と同様の優れた効果を得ることができる。
【００４６】以下に第３の実施の形態例を説明する。な
お、この実施の形態例の説明において、前記第１および
第２の実施の形態例と同一名称部分には同一符号を付
し、その重複説明は省略する。
【００４７】本実施の形態例において特徴的なことは、
図３に示すように、共振子７に複数（ｎ個（ｎ≧２））
の周波数調整用コンデンサ８が、点Ｘ1 〜点Ｘn に切断
部を設けた配線材18を用いて、並列に接続されているこ
とであり、上記以外の装置構成は前記第２の実施の形態
例とほぼ同様である。
【００４８】本実施の形態例では、共振子装置の加工形
成後、共振子７の発振周波数ｆ0 を測定し、発振周波数
ｆ0 が設定の周波数よりも高い方にずれているときに
は、そのずれ量に応じ、上記配線材18の切断部Ｘ1 〜Ｘ
n のうちの１箇所以上に蒸着やスパッタ等により導体金
属を設けて配線材18を導通接続させ、周波数調整用コン
デンサ８のトータルの静電容量Ｔを増加させ（例えば、
切断部Ｘ1 ，Ｘn を導通接続したときには、Ｔ＝０から
Ｔ＝Ｃ1 ＋Ｃn に増加させ）、共振子７の発振周波数ｆ
0 を下げて設定の周波数に合わせる調整を行う。なお、
予め、発振周波数ｆ0 が設定の周波数よりも高くなるよ
うに周波数調整用コンデンサ８のトータルの静電容量Ｔ
を加工形成し、その後、上記のように、発振周波数ｆ0
を下げる調整を行い、全ての共振子装置の発振周波数ｆ
0 を設定の周波数に合わせることができる。
【００４９】もちろん、発振周波数ｆ0 の調整を行う際
に、上記配線材18の接続加工と、前記第１の実施の形態
例同様に周波数調整用コンデンサ８の電極対向面積Ｓの
増減加工、つまり、上部電極11の電極面積Ｓの増減加工
とを組み合わせて、発振周波数ｆ0 を設定の周波数に合
わせる調整を行ってもよい。この場合には、発振周波数
ｆ0 をより精度良く設定の周波数に合わせることができ
る。
【００５０】この第３の実施の形態例によれば、前記第
１の実施の形態例同様の優れた効果を得ることができ
る。
【００５１】以下に第４の実施の形態例を説明する。本
実施の形態例における共振子装置の構成が前記第２の実
施の形態例の装置構成と異なる特徴的なことは、図３に
示すｎ個の周波数調整用コンデンサ８の並列接続におけ
る配線材18の点Ｘ1 〜点Ｘnのうちの１箇所以上ｎ箇所
未満（例えばｎ／２箇所）に切断部を設けたことであ
り、上記以外の構成は前記第２の実施の形態例とほぼ同
様である。
【００５２】本実施の形態例では、共振子７の発振周波
数ｆ0 が設定の周波数よりも低い方向にずれているとき
には、前記第２の実施の形態例同様に、そのずれ量に応
じ、配線材18における切断部でない点Ｘ1 〜Ｘn のうち
の１箇所以上をレーザー加工等により切断し、周波数調
整用コンデンサ８のトータルの静電容量Ｔを減少させ、
発振周波数ｆ0 を高め設定の周波数に合わせる調整を行
う。
【００５３】また、発振周波数ｆ0 が設定の周波数より
も高い方にずれているときには、そのずれ量に応じ、配
線材18の切断部のうちの１箇所以上に蒸着やスパッタ等
により導体金属を形成し、配線材18を導通接続させて周
波数調整用コンデンサ８のトータルの静電容量Ｔを増加
させ、発振周波数ｆ0 を下げ設定の周波数に合わせる調
整を行う。
【００５４】もちろん、上記装置構成の場合にも、発振
周波数ｆ0 の調整を行う際に、前記第１の実施の形態例
同様に、周波数調整用コンデンサ８の電極対向面積Ｓの
増・減加工、つまり、上部電極11の電極面積Ｓの増・減
加工を行って、周波数調整用コンデンサ８のトータルの
静電容量を増・減させ発振周波数ｆ0 を低・高させ設定
の周波数に合わせてもよい。また、周波数調整用コンデ
ンサ８の電極対向面積Ｓの増減加工と、前記配線材18の
断続加工とを組み合わせて発振周波数ｆ0 を設定の周波
数に合わせるようにしてもよい。上記のような場合に
は、発振周波数ｆ0 を設定の周波数により精度良く合わ
せることができる。
【００５５】本実施の形態例によれば、前記第１の実施
の形態例同様の優れた効果を得ることができる。
【００５６】なお、前記複数（ｎ個）の周波数調整用コ
ンデンサ８を設けた第２、第３、第４の実施の形態例に
おいて、ｎ個の周波数調整用コンデンサ８の静電容量は
全て等しくしても、また、そうでなくても（例えば、静
電容量が互いに異なっても）よい。どのような場合にお
いても、前記第２〜第４の実施の形態例で示したよう
に、共通の下部電極５と配線材18とを用いｎ個の周波数
調整用コンデンサ８を共振子７に並列接続して発振周波
数ｆ0 を設定の周波数に合わせることができる。ただ、
ｎ個の周波数調整用コンデンサ８の静電容量が互いに異
なる場合には、設定の周波数に対する発振周波数ｆ0 の
ずれ量を修正するために最適な周波数調整用コンデンサ
８を選択することが可能となる。
【００５７】また、本発明は上記各実施の形態例に限定
されるものではなく、様々な実施の態様を採り得る。例
えば、図１に示す周波数調整用コンデンサ８は下部電極
５と上部電極11との間に誘電体10が形成されていたが、
もちろん、図４に示すように、下部電極５と上部電極11
との間に空隙16を設けてもよい。
【００５８】また、上記各実施の形態例では、周波数調
整用コンデンサ８が共振子７に並列に接続されている例
を示したが、周波数調整用コンデンサ８を共振子７に直
列に接続してもよく、この場合には、上記各実施の形態
例同様に周波数調整用コンデンサ８の電極対向面積Ｓの
増減加工を行って、共振子７の発振周波数ｆ0 を設定の
周波数に合わせることができる。
【００５９】さらに、上記各実施の形態例における共振
子装置の構成では、共振子７と周波数調整用コンデンサ
８とに共通の下部電極５が設けられていたが、共振子７
と周波数調整用コンデンサ８とにそれぞれ別個の下部電
極を設け、それら下部電極を導体パターン等の接続手段
により接続するようにしてもよい。
【００６０】
【発明の効果】本発明によれば、共振子に該共振子の発
振周波数調整用コンデンサを電気的に接続し、共振子の
発振周波数を調整するときには周波数調整用コンデンサ
の電極対向面積の増減加工、あるいは、電極配線材の断
続加工を行って、発振周波数を調整する構成としたの
で、共振子の共振周波数を変化させずに、つまり、Ｑ値
や温度特性等の共振子の特性を変化させずに、共振子の
発振周波数を調整することができる。
【００６１】また、共振子を組み込んだ発振回路をウエ
ハー等の同一基板内に複数形成する場合には、個々の発
振回路のチップに分割する前に各発振回路の発振周波数
の調整を一括的に行うことができ、発振周波数調整作業
の大幅な効率化を達成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態例における共振子装置の主要
構成を示す説明図である。
【図２】図１の共振子装置における等価回路を示す回路
構成図である。
【図３】複数の周波数調整用コンデンサを共振子に並列
接続した共振子装置の等価回路の一例を示す説明図であ
る。
【図４】その他の実施の形態例を示す説明図である。
【図５】共振子を組み込んだ発振回路の構成例を示す説
明図である。
【図６】共振子の等価回路を示す説明図である。
【符号の説明】
２ 基板 ３ ダイアフラム ４ 圧電体 ５ 下部電極 ６，11 上部電極 ７ 共振子 ８ 周波数調整用コンデンサ 10 誘電体 18 配線材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 洋司 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 西川 敏夫 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基板の面上に、圧電体への電圧駆動によ
    って振動を行う共振子と、この共振子に電気的に接続さ
    れ誘電体を介して対向する電極面積の増減加工若しくは
    電極配線材の断続加工によって前記共振子の発振周波数
    を調整するための周波数調整用コンデンサとが配設され
    ている共振子装置。
  2. 【請求項２】 共振子は基板表面側に形成された薄肉ダ
    イアフラムの上側に下部電極を設け、その下部電極の上
    側に圧電体を、さらに圧電体の上側に上部電極を設けて
    形成され、周波数調整用コンデンサは基板の表面に下部
    電極を、その下部電極の上側に誘電体を、さらにその誘
    電体の上側に上部電極を設けて形成されており、前記共
    振子の下部電極と周波数調整用コンデンサの下部電極は
    兼用の共通電極によって形成されている請求項１記載の
    共振子装置。
  3. 【請求項３】 共振子に周波数調整用コンデンサを接続
    し、周波数調整用コンデンサの対向電極の面積を増減加
    工するか、若しくは共振子に接続する周波数調整用コン
    デンサの配線材を接続加工して共振子の発振周波数を調
    整することを特徴とする共振子装置の周波数調整方法。
  4. 【請求項４】 周波数調整用コンデンサは配線材を用い
    て共振子に並列に接続したことを特徴とする請求項３記
    載の共振子装置の周波数調整方法。
  5. 【請求項５】 共振子に複数の周波数調整用コンデンサ
    を接続しておき、そのうちの１個以上の周波数調整用コ
    ンデンサの並列接続の配線材を切断加工して共振子の発
    振周波数を調整することを特徴とする請求項３記載の共
    振子装置の周波数調整方法。
  6. 【請求項６】 共振子に１個以上の周波数調整用コンデ
    ンサを配線途中に切断部を設けた配線材を用いて共振子
    に並列に接続しておき、そのうちの１個以上の配線材の
    切断部を導通加工して共振子の発振周波数を調整するこ
    とを特徴とする請求項４又は請求項５記載の共振子装置
    の周波数調整方法。
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Cited By (7)

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