JPH0968433A

JPH0968433A - 圧電振動角速度計

Info

Publication number: JPH0968433A
Application number: JP7222962A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Muramatsu; 研一村松; Hisamitsu Fujio; 尚光藤生
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1995-08-31
Filing date: 1995-08-31
Publication date: 1997-03-11

Abstract

(57)【要約】【課題】圧電振動角速度計の電極構造を簡単にし、角
速度の検出能力を大きくする。【解決手段】シリコン基板上に下部電極４、ＰＺＴ圧
電薄膜５及び上部電極６が積層されてなる振動子１をシ
リコン基体２で支持し、基体２に窒化珪素膜３及び駆動
用電極９を介して励振子としてのセラミックスチップ８
を固定し、セラミックスチップ８の両面に形成された駆
動用電極９，１０に電界を印加して振動子１をＶ方向に
振動させ、振動子１に回転角速度Ωが加わったときのコ
リオリ力Ｆ_cを検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電振動角速度
計、特に小型で安価に量産できる圧電振動角速度計に関
する。

【０００２】

【従来の技術】正、逆の圧電効果を利用して角速度を測
定する圧電振動角速度計としては、従来からＧＥタイプ
とワトソンタイプの２種類が主流となっていた。ＧＥタ
イプの圧電振動角速度計は、図１３に示すように、金属
で角棒状に形成された振動子５１の隣接する２面に、そ
れぞれ駆動用圧電セラミックス板５２と検出用圧電セラ
ミックス板５３とを接着して構成されている。

【０００３】上記の構成において、駆動用圧電セラミッ
クス板５２に通電して振動子５１を振動させ、振動子５
１のＺ軸を中心とする回転にともなって生ずるコリオリ
力を検出用圧電セラミックス板５２で検出する。このと
き使われる振動のモードは無拘束の横振動であり、通常
振動の節点で振動子５１を基体に固定する。

【０００４】ワトソンタイプの圧電振動角速度計は、図
１４に示すように、４枚の圧電セラミックバイモルフを
２枚ずつ互いに直交するように重ねて音叉形状としたも
のである。そして、図中下部の２枚の平行に配置され下
端が連結されたバイモルフ６１，６２を駆動用バイモル
フとし、バイモルフ６１，６２の上部にそれぞれ直交し
て配置された２枚のバイモルフ６３，６４を検出用バイ
モルフとしている。

【０００５】上記の構成において、駆動用バイモルフ６
１，６２に通電して音叉形状の素子６５の全体を振動さ
せ、素子６５のＺ軸を中心とする回転にともなって生ず
るコリオリ力を検出用バイモルフ６３，６４で検出す
る。このように構成された素子６５は、角度センサや手
振れセンサなどとして実用化されている。

【０００６】しかしながら、上記のように構成された従
来の圧電振動角速度計は、振動子５１や素子６５の構成
や固定の方法が複雑であり、セラミックス板５２，５３
やバイモルフ６１乃至６４の接着、通電、及び検知用の
リード線の取付などの複雑な工程が必要であった。この
結果、小型化、低コスト化を行うことが困難であるとい
う問題があった。

【０００７】これらの問題を解決するため、本出願人
は、特願平５−３０１６６８号により、薄膜を利用した
圧電振動角速度計を提案している。この提案は、シリコ
ン加工プロセスで作製する振動子及びその基体となるシ
リコン基板上に、シリコン加工プロセスと整合する方法
で圧電あるいは電歪材料からなる薄膜を形成したもの
で、薄膜の持つ逆圧電効果により振動子を励振させると
共に、素子の回転によって発生するコリオリ力を同じ薄
膜の圧電効果により検知するものである。この振動子は
非常に小型でしかも安価に量産できるという特徴を持
つ。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この圧
電あるいは電歪材料からなる薄膜を利用した圧電振動角
速度計は、振動子の励振とコリオリ力による誘起電荷の
検出を共に薄膜で行うため、電極の構成が複雑になる。
また、振動子の振幅が小さいために、発生するコリオリ
力も小さく、素子の検出能力が小さい等の問題点があっ
た。

【０００９】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
もので、検出能力が大きく、電極構造が簡単な圧電振動
角速度計を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、シリコン基板上に下部電極、圧電薄膜及び上部電極
が積層されてなる振動子と、前記振動子の一端を支持す
るシリコン基板とを備え、前記圧電薄膜の正逆の圧電効
果により前記振動子を振動させ、前記振動子が回転した
ときに生じるコリオリ力により回転角速度を検出する圧
電振動角速度計において、前記基体に対して圧電あるい
は電歪材料からなる励振子を接合し、前記圧電薄膜と前
記励振子の圧電効果を利用して前記振動子を振動させる
ようにしたことを特徴とする。

【００１１】請求項１に記載の圧電振動角速度計は、振
動子の一端を支持するシリコン基体に圧電あるいは電歪
材料からなる励振子を接合したので、励振子に振動子の
固有振動数に近い周波数の電界を印加することにより、
圧電効果により振動子に振動が誘起される。この振動の
大きさは薄膜で励振する場合に比べて大きいので、振動
子の回転によって発生するコリオリ力も大きくなり、回
転角速度の検出能力を大きくすることができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の圧電振動角速度計
の実施例を図面を参照して説明する。

【００１３】図１及び図２に本発明の第１の実施例の構
成を示す。図１において、シリコンで片持ち梁型に形成
された振動子１の一端は、同じシリコンで直方体状に形
成された基体２に固定されている。一体に固定された振
動子１及び基体２の上面には、窒化珪素膜３が形成され
ており、窒化珪素膜３の上には白金下部電極４、チタン
酸ジルコニウム酸鉛（ＰＺＴ）圧電薄膜５及び白金上部
電極６が順次積層されている。また、基体２の振動子１
に対して反対側の側面には窒化珪素膜７が形成されてい
る。

【００１４】基体２の側面に平行に配置され、ＰＺＴ圧
電体で板状に形成された励振子としてのセラミックスチ
ップ８の両面には駆動用電極９，１０が形成されてお
り、基体２は、窒化珪素膜７及び駆動用電極９を介して
セラミックスチップ８の上端に固定されている。さら
に、セラミックスチップ８の下端は、駆動用電極９を介
して支持体１１に固定されている。この際に、固定はエ
ポキシ系接着剤を用いて行い、さらにその上からネジ止
めが施されている。

【００１５】図２に、振動子１に形成された白金下部電
極４の構成を示す。図２は、白金下部電極４の面で切断
した振動子１を上方から見た図である。下部電極４は、
平行に配置された１対の検出用電極４ａ，４ｂに分割さ
れている。上部電極６は、分割された１対の電極４ａ，
４ｂのグランドとして用いられる。

【００１６】次に、本実施例の作用を説明する。一般
に、振動子に、その振動子が固有振動する共振周波数付
近の振動を与えると、振動子は与えられた振動方向に大
きく振動する。そこで、前記の圧電効果をもつ励振子を
接合し、シリコン振動子の共振周波数付近の周波数の交
流電界を印加し、振動を与えると、振動子が圧電あるい
は電歪材料からなる薄膜の膜厚方向、すなわち、薄膜の
法線方向にシリコン振動子の固有振動で励起される。こ
の段階で振動子の軸方向の周りに回転が起こると、この
軸と振動方向の両方向に垂直な方向にコリオリ力が発生
する。

【００１７】この力は、接合した励振子の電界駆動によ
って起こる振動と垂直方向に励振子を変形させる。これ
により振動子に成膜された圧電あるいは電歪材料からな
る薄膜に圧電正効果による誘起電荷が生ずる。

【００１８】この誘起電荷を検出することにより、次に
示す式（１）から回転角速度を見積もることができる。Ｆ_c＝２ｍ［ｖ・Ω］・・・（１）ここで、Ｆ_cはコリオリ力、ｍは振動子の質量、ｖは振
動子の振動速度、Ωは回転角速度である。

【００１９】上式から、振動子の励振を大きくすること
によって、素子の検出能力を大きくすることが可能であ
ることがわかる。そこで、シリコン振動子の振動の振幅
を大きくするためには、印加する交流電界に対して大き
な変形を示す、圧電あるいは電歪材料からなる励振子を
用いれば良い。

【００２０】本実施例では、振動子１の励振のために、
圧電あるいは電歪材料からなるセラミックスチップ８を
振動子１にバルク接合し、コリオリ力を効率よく検出す
るために、振動子１に圧電あるいは電歪材料からなるＰ
ＺＴ圧電薄膜５を形成した。これにより、圧電あるいは
電歪材料の圧電効果を最大限に利用することが可能とな
った。

【００２１】振動子を振動させる手段として、薄膜では
なくバルクの圧電あるいは電歪材料を外づけの接合した
励振子とすることで、振動の大きさを稼ぐことができ
る。つまり、同じ大きさの回転角速度が加わった場合に
おいても、薄膜で励振する場合に比べて、より大きなコ
リオリ力が発生する。このため薄膜の圧電正効果による
誘起電荷も大きくなり、角速度量の検出能力が向上する
ことになる。また、これによりシリコン振動子上の薄膜
から励振用の電極を取り除くことができるため、電極構
造も簡略化することが可能になる。

【００２２】コリオリ力の検出においては、検出部と振
動子の励振を個別に分けたことにより、振動子の構成、
リード線の取付等の煩雑な工程が削除できた。

【００２３】振動子は、高性能かつ小型で安価に量産で
きるシリコン加工プロセスで作製し、その基体となるシ
リコン基板上に、シリコン加工プロセスと整合する方法
で、圧電あるいは電歪材料からなる薄膜を形成した。成
膜は、例えば、スパッタリング、真空蒸着、ＥＢ蒸着、
ＭＯＣＶＤ等の真空薄膜形成技術により行う。

【００２４】また、振動子はシリコン振動子上の薄膜の
法線方向に励振された振動において、振動子が軸方向の
周りで回転したときに生じるコリオリの力を薄膜の圧電
正効果によって検知する。このため、振動子の振動は電
極面に垂直な方向に起こるが、振動子の軸方向の周りで
回転したときに生じるコリオリ力より、振動子内に屈曲
が生じる。そこで、下部電極を２分割することにより振
動子の薄膜面内での屈曲を検出する。

【００２５】分割してある２つの下部電極に発生する信
号は、同じ周波数で、コリオリ力に起因する信号は２つ
の電極間で位相が反対となり、駆動に起因する信号は同
位相であるので、両者の差動信号を取れば、ほぼコリオ
リ力に起因する信号のみを得ることができる。また、振
動子を片持ち梁構造にすると、振動の固定が容易で、リ
ード線も振動しない固定部分に付けられるため、より理
想的な振動状態を達成し易い。

【００２６】振動子の形状は、フォトリソグラフィー及
び異方性ケミカルエッチングに代表されるシリコン加工
プロセスであり、基本的に２次元の加工プロセスである
ため、特に安価とするためには、２次元的に加工できる
振動子の形状とすることが望ましい。このためには、圧
電あるいは電歪材料からなる薄膜、さらにはこの薄膜か
ら圧電効果を取り出すための電極がシリコン基板面に平
行に形成されることが望ましい。

【００２７】また、この圧電効果を取り出すための電極
の最も単純で作製しやすい構成は、薄膜の両面に電極を
形成する構成である。圧電あるいは電歪材料は、薄膜ま
たは／および励振子として、効率良く正、逆の圧電効果
が利用できる鉛系強誘電体材料を利用することが望まし
い。

【００２８】鉛系強誘電体材料をシリコン上に成膜する
場合には、鉛系強誘電対材料とシリコンが成膜の過程で
反応するために、相互の原子拡散を抑制するためのバッ
ファ層を設ける必要がある。したがって、鉛系強誘電体
材料を圧縮材料として用いる場合は、電極以外にもう一
層形成する必要があった。この点に関して、白金は優れ
た材料であり、バッファ層の役割を果たすと同時に、電
極としても機能する。さらに、チタンあるいはタンタル
と白金を複合することで、白金とシリコン基板の密着性
を向上させることができる。

【００２９】次に、図１，２を参照して本実施例の具体
的な作用を説明する。振動子のＰＺＴのセラミックスチ
ップ８の駆動用電極９，１０に、振動子１の片持ち梁の
固有振動数に近い周波数の電界を印加すると、セラミッ
クスチップ８のｄ₃₁方向の圧電効果により、図中Ｖで示
した方向に片持ち梁振動が励起される。振動子１が速度
ＶでＶの方向に移動しているとき、片持ち梁の軸方向の
周りに回転角速度Ωが加わると、先に示した式（１）に
従いコリオリ力Ｆ_cが振動子に働く。この力は、振動の
方向と垂直方向に振動子をたわませる。図２に示すＦ_c
の方向に力が加わった場合、検出用電極４ａの側には圧
縮応力が、検出用電極４ｂの側には引張り応力が作用す
る。検出用電極４ａとグランドの間で検出される電圧を
ｖ_a、検出用電極４ｂとグランドの間で検出される電圧
をｖ_bとすると、ｖ_a，ｖ_b共にコリオリ力に伴う信号に
加えて片持ち梁振動に起因する信号が合成された形で検
出される。コリオリ力による信号はｖ_aとｖ_bとで符号が
異なるため、両者の差ｖ_a−ｖ_bを取れば、片持ち梁振動
に起因する信号が相殺され、コリオリ力による信号のみ
を読み取ることができる。

【００３０】本実施例によれば、励振子としてのセラミ
ックスチップ８により振動子１を振動させるようにした
ので、薄膜で励振させる場合に比べて大きなコリオリ力
を得ることができ、回転角速度の検出能力を向上するこ
とができる。また、振動子１上の薄膜から励振用の電極
を取り除くことができ、電極構造を簡略化することが可
能である。

【００３１】図３乃至図１２に本発明の他の実施例の構
成を示す。これらの図において、図１及び図２に示す第
１の実施例の部分と対応する部分には同一の符号を付し
てあり、その説明は適宜省略する。

【００３２】図３に本発明の第２の実施例の構成を示
す。本実施例は、励振子としてのセラミックスチップｄ
₃₃方向の圧電効果を利用した例である。図３において、
振動子１及び基体２の構成は、第１の実施例と同様であ
る。基体２の図中下面は、セラミックスチップ８に窒化
珪素膜７及び駆動用電極９を介して固定されており、さ
らにセラミックスチップ８の図中下面は、駆動用電極１
０を介して支持体１１に固定されている。

【００３３】本実施例によっても、第１の実施例と同様
の作用及び効果を得ることができる。

【００３４】図４及び図５に本発明の第３の実施例の構
成を示す。図４及び図５において、振動子１及び基体２
の構成は、第１の実施例と同様である。基体２の図中下
面は、振動子１の軸方向に平行に配置されたセラミック
スチップ８の一端に窒化珪素膜７及び駆動用電極９を介
して固定されており、さらにセラミックスチップ８の他
端は、基体２に平行に配置された支持体１１の図中下面
に、駆動用電極９を介して支持体１１に固定されてい
る。

【００３５】セラミックスチップ８の駆動用電極９，１
０に、振動子１の片持ち梁の固有振動数に近い周波数の
電界を印加すると、セラミックスチップ８のｄ₃₁方向の
圧電効果を利用し、図中Ｖで示した振動子１の軸方向に
片持ち梁振動が励起される。振動子１が速度ＶでＶの方
向に移動しているとき、振動子１のＰＺＴ薄膜５の法線
方向の周りに回転角速度Ωが加わると、先に示した式
（１）に従いコリオリ力Ｆ_cが振動子１に働く。この力
は、振動の方向と直角方向に振動子をたわませ、第１の
実施例の場合と同様に、コリオリ力Ｆ_cを読み取ること
ができる。

【００３６】本実施例によっても、第１の実施例と同様
の効果が得られる。

【００３７】図６に本発明の第４の実施例の構成を示
す。本実施例は、第３の実施例のセラミックスチップ８
のｄ₃₃方向の圧電効果を利用した例である。図６におい
て、基体２の振動子１の軸方向に対して直角方向の側面
は、窒化珪素膜７及び駆動用電極９を介してセラミック
スチップ８の一方の面に固定されており、さらにセラミ
ックスチップ８の他方の面は、駆動用電極１０を介して
支持体１１に固定されている。

【００３８】本実施例によっても、第３の実施例と同様
の作用及び効果を得ることができる。

【００３９】図７及び図８に本発明の第５の実施例の構
成を示す。図７及び図８において、振動子１及び基体２
の構成は、第１の実施例とほぼ同様であるが、白金下部
電極４の構造のみ異なる。基体２の図中下面は、振動子
１の軸方向に対して直角方向に配置されたセラミックス
チップ８の一端に窒化珪素膜７及び駆動用電極９を介し
て固定されており、さらにセラミックスチップ８の他端
は、駆動用電極９を介して支持体１１に固定されてい
る。また、下部電極４は、図８に示すように、分割され
ていない。

【００４０】セラミックスチップ８の駆動用電極９，１
０に、振動子１の片持ち梁の固有振動数に近い周波数の
電界を印加すると、図７，８のＶで示す振動子１の軸方
向及びＰＺＴ薄膜５の法線方向の両方に垂直な方向に片
持ち梁振動が励起される。振動子１が速度ＶでＶの方向
に移動しているとき、片持ち梁の軸方向の周りに回転角
速度Ωが加わると、先に示した式（１）に従いコリオリ
力Ｆ_cが振動子１に働く。この力は、振動の方向に対し
垂直の方向に振動子１をたわませる。

【００４１】図７，８に示すＦ_c方向に力が加わった場
合、検出用の下部電極４に引張り応力が作用する。下部
電極４とグランドとしての上部電極との間で検出される
電圧Ｖは、コリオリ力に伴う信号のみで、片持ち梁振動
に起因する信号は検出されず、１枚の電極でコリオリ力
による信号のみを読み取ることができる。励振は、図７
に示したように、振動子１と同じｄ₃₁方向の圧電逆効果
を利用する。

【００４２】本実施例によっても、第１の実施例と同様
の効果が得られる。

【００４３】図９に本発明の第６の実施例の構成を示
す。本実施例は、第５の実施例のセラミックスチップ８
のｄ₃₃方向の圧電効果を利用した例である。図９におい
て、基体２の振動子１の軸方向に対して平行方向の側面
は、窒化珪素膜７及び駆動用電極９を介してセラミック
スチップ８の一方の面に固定されており、さらにセラミ
ックスチップ８の他方の面は、駆動用電極１０を介して
支持体１１に固定されている。下部電極４の構造は、図
８に示す第５の実施例のものと同様である。

【００４４】本実施例によっても、第５の実施例と同様
の作用及び効果を得ることができる。

【００４５】図１０及び図１１に本発明の第７の実施例
の構成を示す。図１０及び図１１において、振動子１及
び基体２の構成は、第１の実施例とほぼ同様であり、白
金下部電極４の構成は、第５，６の実施例と同様であ
る。基体２の図中下面は、振動子１の軸方向に対して平
行方向に配置されたセラミックスチップ８の一端に、窒
化珪素膜７及び駆動用電極９を介して固定されており、
さらにセラミックスチップ８の他端は、駆動用電極９を
介して支持体１１に固定されている。

【００４６】セラミックスチップ８の駆動用電極９，１
０に、振動子１の片持ち梁の固有振動数に近い周波数の
電界を印加すると、セラミックスチップ８のｄ₃₁方向、
すなわち図１０，１１中のＶで示した振動子１の軸方向
に振動が励起される。振動子１が速度ＶでＶの方向に移
動しているとき、振動子１の軸方向と振動子１上のＰＺ
Ｔ圧電薄膜５の法線方向の両方に垂直な方向の周りに回
転角速度Ωが加わると、先に示した式（１）に従いコリ
オリ力Ｆ_cが振動子１に働く。この力は、振動の方向に
対し垂直方向に振動子１をたわませ、第５の実施例の場
合と同様に、コリオリ力による信号のみを読み取ること
ができる。

【００４７】本実施例によっても、第１の実施例と同様
の効果が得られる。

【００４８】図１２に本発明の第８の実施例の構成を示
す。本実施例は、第７の実施例のセラミックスチップ８
のｄ₃₃方向の圧電効果を利用した例である。図１２にお
いて、基体２の振動子１の軸方向に対して直角方向の側
面は、窒化珪素膜７及び駆動用電極９を介してセラミッ
クスチップ８の一方の面に固定されており、さらにセラ
ミックスチップ８の他方の面は、駆動用電極１０を介し
て支持体１１に固定されている。下部電極４の構造は、
図１１に示す第７の実施例のものと同様である。

【００４９】本実施例によっても、第７の実施例と同様
の作用及び効果を得ることができる。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の圧電振動
角速度計によれば、振動子を支持する基体に対し圧電あ
るいは電歪材料からなる励振子を接合し、励振子の圧電
効果を利用して振動子を振動させるようにしたので、簡
単な構造の電極を用い、回転角速度の検出能力を大きく
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の圧電振動角速度計の第１の実施例の構
成を示す斜視図である。

【図２】図１の下部電極の構成を示す横断面図である。

【図３】本発明の第２の実施例の構成を示す斜視図であ
る。

【図４】本発明の第３の実施例の構成を示す斜視図であ
る。

【図５】図４の下部電極の構成を示す横断面図である。

【図６】本発明の第４の実施例の構成を示す斜視図であ
る。

【図７】本発明の第５の実施例の構成を示す斜視図であ
る。

【図８】図７の下部電極の構成を示す横断面図である。

【図９】本発明の第６の実施例の構成を示す斜視図であ
る。

【図１０】本発明の第７の実施例の構成を示す斜視図で
ある。

【図１１】図１０の下部電極の構成を示す横断面図であ
る。

【図１２】本発明の第８の実施例の構成を示す斜視図で
ある。

【図１３】従来のＧＥタイプの圧電振動角速度計の一例
の構成を示す概念図である。

【図１４】従来のワトソンタイプの圧電振動角速度計の
一例の構成を示す概念図である。

【符号の説明】

１振動子２基体４下部電極５圧電薄膜６上部電極８セラミックスチップ（励振子）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】シリコン基板上に下部電極、圧電薄膜及
び上部電極が積層されてなる振動子と、前記振動子の一端を支持するシリコン基板とを備え、前記圧電薄膜の正逆の圧電効果により前記振動子を振動
させ、前記振動子が回転したときに生じるコリオリ力に
より回転角速度を検出する圧電振動角速度計において、前記基体に対して圧電あるいは電歪材料からなる励振子
を接合し、前記圧電薄膜と前記励振子の圧電効果を利用
して前記振動子を振動させるようにしたことを特徴とす
る圧電振動角速度計。
【請求項２】前記励振子の逆圧電効果により前記振動
子上の圧電薄膜の法線方向の振動を起こし、前記振動子
が軸方向の周りで回転したときに発生するコリオリ力を
前記圧電薄膜の圧電効果により検出するようにしたこと
を特徴とする請求項１に記載の圧電振動角速度計。
【請求項３】前記励振子の逆圧電効果により前記振動
子を軸方向に振動させ、前記振動子が前記圧電薄膜の法
線方向の周りで回転したときに発生するコリオリ力を前
記圧電薄膜の圧電効果により検出するようにしたことを
特徴とする請求項１に記載の圧電振動角速度計。
【請求項４】前記励振子の逆圧電効果により前記振動
子を軸方向及び前記圧電薄膜の法線方向の両方に垂直な
方向に振動させ、前記振動子が軸方向の周りで回転した
ときに発生するコリオリ力を前記圧電薄膜の圧電効果に
より検出するようにしたことを特徴とする請求項１に記
載の圧電振動角速度計。
【請求項５】前記励振子の逆圧電効果により前記振動
子を軸方向に振動させ、前記振動子が軸方向及び前記圧
電薄膜の法線方向の両方に垂直な方向の周りで回転した
ときに発生するコリオリ力を前記圧電薄膜の圧電効果に
より検出するようにしたことを特徴とする請求項１に記
載の圧電振動角速度計。
【請求項６】前記圧電薄膜を成膜する圧電または電歪
材料が鉛系強誘電体からなることを特徴とする請求項１
に記載の圧電振動角速度計。
【請求項７】前記励振子を構成する圧電または電歪材
料が鉛系強誘電体からなることを特徴とする請求項１に
記載の圧電振動角速度計。
【請求項８】前記電極が白金、あるいは白金とチタン
またはタンタルとの積層、さらにはこれらの合金で形成
されることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動角速
度計。