JPH0969476A

JPH0969476A - 物品識別装置

Info

Publication number: JPH0969476A
Application number: JP7245391A
Authority: JP
Inventors: Haruo Nagai; 晴夫長井; Kazuhiro Yamatani; 和弘山谷; Seiichiro Kobayashi; 誠一郎小林; Haruo Iizuka; 春雄飯塚
Original assignee: Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Priority date: 1995-08-30
Filing date: 1995-08-30
Publication date: 1997-03-11

Abstract

(57)【要約】【目的】占拠面積、タクトタイム、価格を抑制できる
物品識別装置の提供。【構成】ウエハ受渡し装置２１はウエハ識別コード読
取装置４０の読取エリア４７に配置され、旋回軸２４で
旋回される第１アーム２５と、第１アームに軸支されて
回転される第２アーム２６と、第２アームに軸支されて
回転されるハンド２９と、ハンドの一端部に突設された
位置合わせ凸部３０と、ハンドの他端部に突設されて凸
部の方向へ移動される位置合わせピン３２とを備えてい
る。【効果】ウエハがハンドに受け取られピンで凸部に押
し付けられてハンドに芯合わせされ、第１アームと第２
アームの短縮作動でハンドが旋回軸に芯合わせされて旋
回軸とウエハとが芯合わせされ、旋回軸でウエハが旋回
されると、識別コードが読取装置の読取位置に一致され
る。つまり、受渡し装置自体がアライメントステージを
構成するため、アライメントステーションを省略でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、物品識別技術、特に、
物品に付された識別コードを読み取って物品を識別する
技術に関し、例えば、半導体製造工程において、半導体
ウエハを識別するのに利用して有効な技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体製造工程において、ワー
クとしての半導体ウエハ（以下、ウエハという。）は複
数枚（例えば、２５枚）を１ロットに編成されて取り扱
われている。例えば、ＲＡＭ（ランダムアクセスメ
モリー）等の少品種大量生産向きの製品については、ウ
エハのライン投入時にロット編成が実施された後に、そ
のロットを再編成する必要が殆どない。ところが、マス
クＲＯＭ（リードオンリーメモリー）やＡＳＩＣ
（特別注文の半導体集積回路装置）等の多品種少量生産
が要求される製品については、ウエハのライン投入時に
編成されたロットをそのまま維持し続けたのでは、生産
性が低下してしまう場合が発生する。そこで、ウエハ投
入後にロットを編成し直す必要が発生する。

【０００３】このようにウエハ投入後にロットを編成す
る場合においては、各ウエハに固有の標識（以下、識別
コードという。）を予め付しておき、各ウエハの識別コ
ードを読み取って当該識別コードを利用することによ
り、所望の編成が実施されることになる。したがって、
ウエハのロット編成装置はウエハの識別コードを読み取
って個々のウエハを識別するためのウエハ識別装置を備
える必要がある。

【０００４】従来のこの種のウエハ識別装置は、ウエハ
に付された識別コードを読み取る読取装置と、読取装置
の読取ステージにウエハを受け渡す受渡し装置とを備え
ており、読み取り対象物品であるウエハが受渡し装置に
よって読取装置の読取ステージに移送された後に、読取
ステージに設けられたアライメント装置によって識別コ
ードの位置が読取装置の読取エリアに位置合わせされる
ように構成されている。

【０００５】なお、ウエハのロット編成技術を述べてあ
る例として、特開平４−２７３１１５号公報、特開平４
−２３９１５２号公報、特開平４−２６０３１８号公報
がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ウエハ識別装置においては、受渡し装置と読取装置とが
別の場所にそれぞれ配置され、読取ステージにアライメ
ント装置が付帯されているため、装置全体としての占有
床面積が大きくなるばかりでなく、タクトタイムも長く
なり、また、装置全体としての価格が高くなるという問
題点がある。

【０００７】本発明の目的は、占有床面積、タクトタイ
ムおよび価格を抑制することができる物品識別装置を提
供することにある。

【０００８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【００１０】すなわち、物品に付された識別コードを光
学的に読み取る読取装置と、この読取装置の読取ステー
ジに物品を受け渡す受渡し装置とを備えており、各物品
の識別コードを読み取ることにより物品を識別する物品
識別装置において、前記受渡し装置が前記読取装置の読
取ステージに配置されているとともに、物品の識別コー
ドが付された位置を前記読取装置の読取エリアに合致さ
せるように構成されていることを特徴とする。

【００１１】

【作用】前記した手段において、識別対象物品は受渡し
装置によって読取装置の読取ステージに移送される。物
品を受け取った受渡し装置はそれ自体が配置された読取
ステージにおいて物品の識別コードが付された位置を読
取装置の読取エリアに合致させる。つまり、受渡し装置
自体がアライメント装置を兼ねている。識別コードが読
取エリアに合致されると、読取装置は識別コードを読み
取る。識別コードが読み取られると、受渡し装置は物品
を読取ステージから他所に移送して受け渡す。

【００１２】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるウエハ識別装
置を備えたウエハ分類装置を示す一部省略斜視図であ
る。図２は同じく平面図である。図３はそのウエハ識別
装置を示しており、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）の
ｂ−ｂ線に沿う平面図である。図４はその位置合わせの
作用を説明するための各説明図である。図５はその持ち
替え作用を説明するための各説明図である。

【００１３】本実施例において、本発明に係る物品識別
装置は、各ウエハ固有の識別コードを読み取ることによ
り個々のウエハを識別するウエハ識別装置として構成さ
れており、ウエハ分類装置に設備されている。すなわ
ち、ウエハ識別装置は識別対象物品としてのウエハにそ
れぞれ予め付された識別コードを光学的手段によって読
み取ることにより個々のウエハとして順次識別するよう
に構成されている。また、ウエハ分類装置はウエハ識別
装置によって順次識別されたウエハを予め指定された通
りに分類するように構成されている。

【００１４】ウエハ１はシリコン等の半導体によって円
形の薄板形状に形成されており、円周の一部にオリエン
テーションフラット（以下、オリフラという。）３が直
線状に切設されている。ウエハ１の半導体素子が作り込
まれる側の主面（以下、第１主面という。）２における
オリフラ３と反対側の位置には、識別対象物品としての
ウエハを識別するための識別コード４が各ウエハに固有
のものとして付されている。識別コード４はエッチング
加工法やレーザ刻印法等のような手段が用いられて数字
および英文字により描画されている。個々のウエハを識
別するための識別コード４は、ウエハ１のロット番号を
表示するロットコードと、当該ロット中の個々のウエハ
番号を表示するウエハコードとにより構成されている。

【００１５】そして、ウエハ分類装置のワークとしての
ウエハ１は複数枚（例えば、１ロット分の２５枚）が、
カセット５に収納される。すなわち、カセット５には保
持溝（以下、スロットという。）が多数段（通例、２５
段）列設されており、このスロット内にウエハがそれぞ
れ挿入されることにより、複数枚のウエハが規則的に整
列された状態で収納される。

【００１６】本実施例に係るウエハ分類装置１１は大略
箱形状に形成されている機台（図示せず）を備えてお
り、この機台の上にはローディングステーションと、ア
ンローディングステーションと、ウエハ識別装置とが設
備されている。ローディングステーション１２およびア
ンローディングステーション１３は機台の上の片側（以
下、左側とする。）部分に前後対称形に配設されてい
る。ローディングステーション１２およびアンローディ
ングステーション１３はコントローラ（図示せず）によ
り制御されるエレベータ１４および１５をそれぞれ備え
ている。エレベータ１４、１５はその上に乗せられたカ
セット５を１ピッチずつ上昇または下降させるように構
成されている。

【００１７】ウエハ識別装置２０は物品としてのウエハ
を受け渡す受渡し装置２１を備えており、受渡し装置２
１は機台上の右側部分の中央位置に配設されている。受
渡し装置２１はエレベータ２２を備えており、エレベー
タ２２の上にはロータリーアクチュエータ２３が垂直方
向上向きに搭載されている。ロータリーアクチュエータ
２３の出力軸には旋回軸２４が垂直方向上向きに固定さ
れており、旋回軸２４は水平面内において３６０度以上
旋回されるようになっている。旋回軸２４の上端部には
水平に配置された第１アーム２５の一端部が一体回転す
るように固定されている。第１アーム２５の自由端部に
は平行に配置された第２アーム２６の一端部が回転自在
に軸支されており、第２アーム２６は内蔵されたベルト
伝動装置２７によって回転駆動されるようになってい
る。第２アーム２６の他端部には水平に配置されたハン
ド２９の一端部が回転自在に軸支されており、ハンド２
９は内蔵されたベルト伝動装置２８によって回転駆動さ
れるようになっている。

【００１８】ハンド２９は平面視が略長方形の平盤形状
に形成されており、その長手方向の寸法はウエハ１の直
径よりも大きくなるように、また、短手方向の寸法はウ
エハ１の直径よりも小さくなるように設定されている。
ハンド２９の上面における回動中心側の端部には固定側
位置合わせ部としての位置合わせ凸部３０が突設されて
おり、位置合わせ凸部３０の先端側を向いた側面はウエ
ハ１の外周の一部に当接し得る円周面に形成されてい
る。ハンド２９の自由端部には一対のガイド溝３１、３
１が、位置合わせ凸部３０の円周面の法線と平行にそれ
ぞれ敷設されており、両ガイド溝３１、３１には可動側
位置合わせ部としての各位置合わせピン３２がそれぞれ
摺動自在に挿入されている。両位置合わせピン３２、３
２は内蔵された運動変換伝動装置３３によって往復動さ
れるようになっている。以上のように構成された受渡し
装置２１はハンド２９の上面によって読取ステージ３４
を構成するとともに、ウエハ１の識別コード４を後記す
る読取装置の読取エリアに位置合わせするためのアライ
メント装置を構成している。

【００１９】受渡し装置２０の上方にはウエハ仮置き装
置３５が旋回軸２４の同軸上に配されて、機台の上にお
ける右端部分に立設されたスタンド（図示せず）によっ
て支持されている。すなわち、ウエハ仮置き装置３５は
旋回軸２４の中心の延長線に左右対称形に配置されてい
る一対の支持プレート３６、３６を備えており、両支持
プレート３６、３６は水平面内においてピン３７、３７
を中心にしてロータリーアクチュエータ３８、３８によ
って回転駆動されるように構成されている。そして、両
支持プレート３６、３６は互いに近接する位置に停止し
た状態において内側端の間隔がウエハ１の直径よりも小
さくなり、また、互いに離れる位置に停止した状態にお
いて内側端の間隔がウエハ１の直径よりも大きくなるよ
うに構成されている。

【００２０】なお、ウエハ１との接触面積を可及的に減
少させて異物の付着や金属汚染を防止するため、ハンド
２９の位置合わせ凸部３０および位置合わせピン３２、
また、ウエハ仮置き装置３５の支持プレート３６はウエ
ハ１を浮かせた状態で支持するように構成することが望
ましい。

【００２１】識別装置２０のウエハ仮置き装置３５のさ
らに上方には識別コード読取装置（以下、読取装置とい
う。）４０が、機台の右端部分に立設されたスタンド
（図示せず）によって支持されて設備されている。すな
わち、読取装置４０は照明装置および画像取り込み装置
としてのテレビカメラを備えている。照明装置４１はス
タンドに垂直方向下向きに支持されており、受渡し装置
２１の読取ステージ３４の一部に設定された読取エリア
４７を平行な可視光によって照明するように構成されて
いる。テレビカメラ４２はスタンドに垂直方向下向きに
支持されており、照明装置４１によって照明された読取
ステージ３４の上の読取エリア４７における識別コード
４を撮映するように構成されている。

【００２２】テレビカメラ４２には識別コード認識装置
（以下、認識装置という。）４３が電気的に接続されて
おり、この認識装置４３は画像処理装置等から構成さ
れ、テレビカメラ４２からの撮像信号に基づいてウエハ
１に付された識別コード４を認識し得るように構成され
ている。認識装置４３にはモニタ４４が接続されてお
り、このモニタ４４によりテレビカメラ４２の撮映状況
がモニタリングされるようになっている。さらに、認識
装置４３には識別コードを逐次記録するための記録手段
としてのメモリー４５が接続されており、このメモリー
４５は認識装置４３によって認識された識別コード４を
逐次記録するように構成されている。メモリー４５はコ
ンピュータ等から構築されているデータ処理装置４６に
接続されており、データ処理装置４６はメモリー４５に
記録されたデータを随時呼び出すことにより、ウエハ分
類のためのデータを作成するように構成されている。な
お、メモリー４５はデータ処理装置４６側に装備しても
よい。

【００２３】次に作用を説明する。まず、図２に示され
ているように、ローディングステーション１２のエレベ
ータ１４の上には、複数枚のウエハ１が収納された実カ
セット５Ａがセットされ、アンローディングステーショ
ン１３のエレベータ１５の上には空のカセット５がセッ
トされる。受渡し装置２１の第１アーム２５および第２
アーム２６がロータリーアクチュエータ２３、およびベ
ルト伝動装置２７、２８によって伸長作動されて、ハン
ド２９が実カセット５Ａに挿入される。この際、ローデ
ィングステーション１２のエレベータ１４がピッチ作動
されることにより、コントローラが指定したウエハ１が
ハンド２９の真上に対向される。

【００２４】図４（ａ）に示されているように、ハンド
２９がウエハ１の真下に対向された状態において、ハン
ド２９の中心Ｏ₂₉とウエハ１の中心Ｏ₁とは偏心した状
態になっている。そこで、図４（ｂ）に示されているよ
うに、両位置合わせピン３２、３２が運動変換伝動装置
３３によって位置合わせ凸部３０へ近づく方向へ平行移
動されると、ウエハ１は両位置合わせピン３２、３２に
よって押されて位置合わせ凸部３０の円周面に当接され
る。この位置合わせピン３２、３２および位置合わせ凸
部３０による当接によってウエハ１はハンド２９に位置
決めされるとともに、その中心Ｏ₁がハンド２９の中心
Ｏ₂₉に芯合わせされた状態になる。なお、この状態にお
いて、ウエハ１はその下面がハンド２９の上面から浮か
された状態で、両位置合わせピン３２、３２および位置
合わせ凸部３０によって保持された状態になっている。

【００２５】ハンド２９がウエハ１を保持すると、受渡
し装置２１の第１アーム２５および第２アーム２６がロ
ータリーアクチュエータ２３およびベルト伝動装置２
７、２８によって短縮作動されて、ウエハ１がハンド２
９によって実カセット５Ａから引き出され、図４（ｃ）
に示されているように、受渡し装置２１の旋回軸２４の
真上に移送される。この際、ハンド２９の中心Ｏ₂₉が旋
回軸２４の中心Ｏ₂₄に合致されることにより、ウエハ１
の中心Ｏ₁が旋回軸２４の中心Ｏ₂₄に合致される。

【００２６】ウエハ１の中心Ｏ₁が旋回軸２４の中心Ｏ
₂₄に合致されると、図４（ｃ）に示されているように、
ウエハ１の外周縁部は読取装置４０の読取位置としての
読取エリア４７に含まれた状態になる。すなわち、ウエ
ハ１は受渡し装置２１のハンド２９の上に設定された読
取ステージ３４に移送されたことになる。しかし、ウエ
ハ１に付された識別コード４は読取エリア４７から外れ
た状態になっている。すなわち、読取装置４０のテレビ
カメラ４２によって撮像された読取エリア４７の画像
は、図４（ｅ）に示されているように、識別コード４が
映し出されない状態になっている。

【００２７】そこで、図４（ｄ）に示されているよう
に、受渡し装置２１の旋回軸２４がロータリーアクチュ
エータ２３によって一方向に旋回されることにより、ウ
エハ１が中心Ｏ₁を中心に旋回されて、ウエハ１の識別
コード４が読取エリア４７に移動される。すなわち、図
４（ｆ）に示されているように、読取装置４０のテレビ
カメラ４２によって撮像された読取エリア４７の画像に
識別コード４が適正に映し出された状態になった時に旋
回軸２４の旋回が停止される。この際、ウエハ１のオリ
フラ３を認識装置４３によって認識した後に、旋回軸２
４を１８０度旋回させることにより、ウエハ１の識別コ
ード４を読取エリア４７に配置するように受渡し装置２
１を制御してもよい。

【００２８】以上の作動により、ハンド２９の上に設定
された読取ステージ３４においてウエハ１の識別コード
４の表示位置が読取装置４０の読取エリア４７に合致さ
れた状態になる。この状態において、ウエハ１の識別コ
ード４の読み取り作業が読取装置４０によって実行され
る。すなわち、テレビカメラ４２が撮影した識別コード
４の画像信号が認識装置４３に送信されて、認識装置４
３によって画像処理されることにより識別コード４が読
み取られる。

【００２９】読み取られた識別コード４は認識装置４３
に接続されているメモリー４５に記録される。そして、
データ処理装置４６は記録された識別コード４を呼び出
して空カセット５におけるアンローディングすべきスロ
ットの位置を指定して、受渡し装置２１のコントローラ
に所定の指令信号を送信する。ちなみに、テレビカメラ
４２による映像はモニタ４４に適宜に映し出すことがで
きるため、作業者は識別コード４を必要に応じて監視す
ることができる。

【００３０】次いで、識別コード４を読み取られたウエ
ハ１は受渡し装置２１によってアンローディングステー
ョン１３に移送されて、空カセット５の指定されたスロ
ットにアンローディングされる。ここで、ウエハ１が空
カセット５にアンローディングされるに際しては、以降
の作業の便宜を図るために、ウエハ１はオリフラ３の方
向を揃えられて空カセット５に収納させることが望まし
い。ところが、受渡し装置２１の旋回軸２４の旋回によ
ってウエハ１の識別コード４が読取エリア４７に位置合
わせされるため、ウエハ１のオリフラ３とハンド２９と
の位置関係は一定しない。

【００３１】そこで、ウエハ１を空カセット５にオリフ
ラ３の方向を揃えてアンローディングさせる必要がある
場合には、図５に示されているように、仮置き装置３５
を利用したウエハ１の持ち替え作業が実施される。ま
ず、旋回軸２４が９０度旋回されることにより、オリフ
ラ３が持ち替え指定位置に移動される。次いで、エレベ
ータ２２によって受渡し装置２１が上昇されて、ウエハ
１が仮置き装置３５の上方へ持ち上げられる。続いて、
仮置き装置３５の支持プレート３６、３６がロータリー
アクチュエータ３８、３８によってピン３７、３７を中
心にして１８０度回転された後に、エレベータ２２が下
降される。この作動により、図５（ａ）および（ｂ）に
示されているように、受渡し装置２１のウエハ１はオリ
フラ３が持ち替え位置に配置された状態で、仮置き装置
３５に移載される。

【００３２】次に、旋回軸２４が旋回されることによっ
て、ハンド２９の両位置合わせピン３２、３２が持ち替
え位置に移動される。次いで、エレベータ２２によって
受渡し装置２１が上昇され、ハンド２９がウエハ１を両
支持プレート３６、３６から持ち上げて受け取る。ウエ
ハ１がハンド２９によって受け取られると、仮置き装置
３５の支持プレート３６、３６がロータリーアクチュエ
ータ３８、３８によってピン３７、３７を中心にして１
８０度回転された後に、エレベータ２２が下降される。
次いで、両位置合わせピン３２、３２が位置合わせ凸部
３０に近づく方向に平行移動されると、図５（ｃ）およ
び（ｄ）に示されているように、ウエハ１はオリフラ３
を両位置合わせピン３２、３２によって押されて、位置
合わせ凸部３０に当接される。この作動により、ウエハ
１は受渡し装置２１のハンド２９にオリフラ３が両位置
合わせピン３２、３２に一致された状態に持ち替えられ
たことになる。

【００３３】以上のようにしてウエハ１が予め指定され
た向きにハンド２９によって持ち替えられると、ハンド
２９に保持されたウエハ１は第１アーム２５および第２
アーム２６の伸長作動によってアンローディングステー
ョン１３に移送されて、空カセット５の指定されたスロ
ットにアンローディングされる。この際、ウエハ１はハ
ンド２９に予め指定された向きで保持されているため、
ウエハ１は空カセット５のスロットに所定の向きで受け
渡されることになる。

【００３４】今、例えば、読取装置４０によって読み取
られた識別コード４のウエハコードの番号が「Ｎ０．
１」であった場合、アンローディングステーション１３
のコントローラの指令によりエレベータ１５が１ピッチ
送られ、空カセット５における第１スロットが挿入作動
位置にセットされる。そして、第１スロットが挿入作動
位置にセットされると、受渡し装置２１により搬送され
て来たＮＯ．１のウエハ１がこの第１スロットに挿入さ
れる。

【００３５】次のウエハ１の読取装置４０によって読み
取られた識別コード４のウエハコードの番号が「Ｎ０．
３」であった場合には、アンローディングステーション
１３のコントローラの指令によってエレベータ１５がさ
らに２ピッチ送られ、空カセット５における第３スロッ
トが挿入作動位置にセットされる。続いて、受渡し装置
２１により搬送されて来たＮ０．３のウエハ１がこの第
３スロットに挿入される。

【００３６】さらに、次のウエハ１のウエハコードの番
号が「ＮＯ．２」であった場合、アンローディングステ
ーション１３のコントローラの指令によりエレベータ１
５が１ピッチだけ戻されるように送られ、空カセット５
における第２スロットが挿入作動位置にセットされる。
続いて、受渡し装置２１により搬送されて来たＮ０．２
のウエハ１がこの第２スロットに挿入される。

【００３７】以上の作動が繰り返されることにより、ウ
エハ１群はアンローディングステーション１３の空カセ
ット５内へ、各ウエハコードによる順番に従ってスロッ
ト番号通りに並べられて収容されることになる。この場
合、第１スロットにはウエハコードＮ０．１のウエハ
が、第２スロットにはウエハコードＮ０．２のウエハ
が、第ＮスロットにはウエハコードＮ０．ｎのウエハが
それぞれ挿入されていることになる。しかも、各スロッ
トに収容された各ウエハ１は向きを揃えられた状態、す
なわち、オリフラ３の位置が全て揃えられた状態になっ
ている。

【００３８】以上の作用により、識別コード読み取り作
業およびウエハ分類作業が実施されるのであるが、これ
らの作業と同時に、読取装置４０の読み取りデータに基
づき、メモリー４５においては各ウエハの処理およびウ
エハ来歴ファイル等を作成することができる。

【００３９】前記実施例によれば次の効果が得られる。（１）ウエハの識別コード読取装置の読取ステージに
ウエハを受け渡す受渡し装置自体に読取ステージを設定
するとともに、ウエハの識別コード表示位置を読取ステ
ージの読取エリアに合致させるアライメント機能を設け
ることにより、読取装置および受渡し装置と別に読取ス
テージおよびアライメント装置を付帯させなくて済むた
め、ウエハ識別装置全体としての占有床面積、タクトタ
イムおよび価格を抑制することができる。

【００４０】（２）旋回軸によって回転される第１ア
ームと、第１アームの自由端部に軸支されて回転される
第２アームと、第２アームの回転中心から離れた位置に
軸支されて回転されるハンドと、ハンドの中心から離れ
た互いに対向する位置にそれぞれ配置されており物品の
互いに対向する部位にそれぞれ当接することによって位
置合わせする位置合わせ部とにより受渡し装置を構成す
ることにより、直線運動する部分を省略することができ
るため、ウエハ識別装置全体としての占有床面積、タク
トタイムおよび価格をより一層抑制することができる。

【００４１】（３）受渡し装置の上方に物品を仮置き
する仮置き装置を設備することにより、受渡し装置がウ
エハを持ち替えることができるため、ウエハの向きを揃
えてアンローディングすることができる。

【００４２】（４）ローディングされたウエハの識別
コードを読み取ってウエハカセットにアンローディング
することができるため、ウエハ群の分類作業や、並べ換
え作業、ロット編成作業、ウエハの抜き取り作業、ウエ
ハの識別コード確認作業等を実施することができる。

【００４３】（５）ウエハの識別コードをメモリーに
記憶することにより、ロットの再分割再合成等の特殊な
作業を実施することができるとともに、各ウエハの来歴
を識別コードを索引として作成することができる。

【００４４】図６は本発明の他の実施例であるウエハ識
別装置を示しており、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）
のｂ−ｂ線に沿う平面図である。

【００４５】本実施例２が前記実施例１と異なる点は、
直進形のアーム（以下、直進アームという。）２６Ａ
と、真空吸着式のハンド（以下、吸着ハンドという。）
２９Ａとが使用されている点である。すなわち、第２ア
ームとしての直進アーム２６Ａの伸長作動によって吸着
ハンド２９Ａの吸着部３０Ａがウエハ１の中心Ｏ₁に当
てがわれると、吸着ハンド２９Ａは吸着部３０Ａによっ
てウエハ１を真空吸着保持する。次いで、直進アーム２
６Ａが短縮作動されることにより、ウエハ１の中心Ｏ₁
が旋回軸２４の中心Ｏ₂₄に合致される。その後は前記実
施例１と同様に、旋回軸２４の旋回によってウエハ１の
識別コード４が読取装置４０の読取エリア４７に位置合
わせされ、識別コード４が読み取られる。識別コード４
を読み取られたウエハ１は旋回軸２４の旋回作動および
直進アーム２６Ａの伸長作動によって、所定の位置にア
ンローディングされる。

【００４６】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００４７】例えば、ウエハ分類装置におけるローディ
ングステーションおよびアンローディングステーション
のエレベータを省略して、ウエハ識別装置の受渡し装置
に持ち替え作業用のエレベータに加えてローディング作
業およびアンローディング作業用のエレベータを設けて
もよい。また、持ち替え作業用のエレベータはローディ
ング作業およびアンローディング作業用のエレベータを
兼用するように構成してもよい。

【００４８】また、ウエハ分類装置におけるローディン
グステーションおよびアンローディングステーションは
ウエハを置く置き台によってそれぞれ構成してもよい。
さらに、ウエハ分類装置におけるローディングステーシ
ョンおよびアンローディングステーションはそれぞれ１
基ずつ設備するに限らず、それぞれ２基以上設備しても
よい。

【００４９】ウエハ識別装置はウエハ分類装置に使用す
るに限らず、ロット編成装置やウエハ抜き取り装置、ウ
エハ並べ換え装置およびウエハの識別コード確認装置等
に使用することができ、要は、識別コード読み取り前後
のウエハの取り扱いに限定はない。

【００５０】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるウエハ
の識別技術に適用した場合について説明したが、それに
限定されるものではなく、フロッピディスク、ハードデ
ィスク、コンパクトディスク等のデータ記憶媒体や、そ
の他、識別コードが表示された物品全般の識別技術に適
用することができる。

【００５１】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００５２】識別コード読取装置の読取ステージに物品
を受け渡す受渡し装置自体に読取ステージを設定すると
ともに、物品の識別コード表示位置を読取ステージの読
取エリアに合致させるアライメント機能を設けることに
より、読取装置および受渡し装置と別に読取ステージお
よびアライメント装置を付帯させなくて済むため、物品
識別装置全体としての占有床面積、タクトタイムおよび
価格を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるウエハ識別装置を備え
たウエハ分類装置を示す一部省略斜視図である。

【図２】その平面図である。

【図３】そのウエハ識別装置を示しており、（ａ）は正
面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線に沿う平面図である。

【図４】読み取り作用を説明するための図であり、
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は各部分平面図、
（ｅ）、（ｆ）は各画面図である。

【図５】持ち替え作用を説明するための図であり、
（ａ）、（ｃ）は各部分正面図、（ｂ）、（ｄ）は各部
分平面図である。

【図６】本発明の他の実施例であるウエハ識別装置を示
しており、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線
に沿う平面図である。

【符号の説明】

１…ウエハ（物品、ワーク）、２…第１主面、３…オリ
エンテーションフラット（オリフラ）、４…識別コー
ド、５…カセット、５Ａ…実カセット、１１…ウエハ分
類装置、１２…ローディングステーション、１３…アン
ローディングステーション、１４、１５…エレベータ、
２０…ウエハ識別装置（物品識別装置）、２１…受渡し
装置、２２…エレベータ、２３…ロータリーアクチュエ
ータ、２４…旋回軸、２５…第１アーム、２６…第２ア
ーム、２７、２８…ベルト伝動装置、２９…ハンド、３
０…位置合わせ凸部（位置合わせ部）、３１…ガイド
溝、３２…位置合わせピン（位置合わせ部）、３３…運
動変換伝動装置、３４…読取ステージ、３５…ウエハ仮
置き装置、３６…支持プレート、３７…ピン、３８…ロ
ータリーアクチュエータ、４０…識別コード読取装置、
４１…照明装置、４２…テレビカメラ、４３…識別コー
ド認識装置、４４…モニタ、４５…メモリー、４６…デ
ータ処理装置、４７…読取エリア、２６Ａ…直進形のア
ーム、２９Ａ…真空吸着式のハンド、３０Ａ…吸着部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者小林誠一郎東京都青梅市藤橋３丁目３番地２日立東京エレクトロニクス株式会社内 (72)発明者飯塚春雄東京都青梅市藤橋３丁目３番地２日立東京エレクトロニクス株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】物品に付された識別コードを光学的に読
み取る読取装置と、この読取装置の読取ステージに物品
を受け渡す受渡し装置とを備えており、各物品の識別コ
ードを読み取ることにより物品を識別する物品識別装置
において、前記受渡し装置は前記読取装置の読取ステージに配置さ
れているとともに、物品の識別コードが付された位置を
前記読取装置の読取エリアに合致させるように構成され
ていることを特徴とする物品識別装置。
【請求項２】前記受渡し装置は、旋回軸によって旋回
される第１アームと、第１アームの自由端部に軸支され
て回転される第２アームと、第２アームの回転中心から
離れた位置に軸支されて回転されるハンドと、ハンドの
中心から離れた互いに対向する位置にそれぞれ配置され
ており物品の互いに対向する部位にそれぞれ当接するこ
とによって位置合わせする位置合わせ部と、を備えてい
ることを特徴とする請求項１に記載の物品識別装置。
【請求項３】前記受渡し装置は、旋回軸によって旋回
される第１アームと、第１アームに摺動自在に支持され
て往復運動される第２アームと、第２アームに支持され
たハンドと、ハンドに配置されて物品の一主面に吸着す
る吸着部とを備えていることを特徴とする請求項１に記
載の物品識別装置。
【請求項４】前記受渡し装置の上方に物品を仮置きす
る仮置き装置が設備されていることを特徴とする請求項
１または請求項２または請求項３に記載の物品識別装
置。