JPH0973615A - 磁気ヘッドの検査データ収集方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気ヘッド等の製造工程において、マークシ
ートを用いることにより、効率良く、かつ高い信頼性で
検査データの収集を行う。 【構成】 個々の磁気ヘッドチップが連接したロー状態
の磁気ヘッドの配列と対応した配列を有する検査データ
の記入領域を設けたマークシートを、ロー状態の磁気ヘ
ッドと共に製造工程に流し、各工程では個々の磁気ヘッ
ドの検査結果をマークシートの対応する領域にマーク
し、仕分け工程においてマークシートに記入された検査
データをマークシートリーダで読み取り、この検査デー
タを仕分け装置に提供してワークの自動仕分けを行う磁
気ヘッドの検査データ収集方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、マークシートを利用し
た検査データの収集方法、特に磁気ヘッドの製造工程に
おける検査データの収集方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ用磁気ヘッドを製造する工
程は、通常、「加工→検査→洗浄→仕分け→最終検査」
になっている。磁気ヘッドのワークの形状は、一連の製
造工程のうち、所定の加工工程までは１個１個の磁気ヘ
ッドが１０数個連接したロー状のワークの状態で流す。
これは、ロー状のワークで流した方が加工などの作業効
率が高いからである。加工工程においては、ロー状のワ
ークについてラッピング加工等の精密加工や、ロー状の
ワークの切断加工を行う。加工が終了すると、個々の磁
気ヘッドに加工不良等が発生していないかを顕微鏡等を
使用して検査を行う。もし、加工不良等の不良が見つか
った場合には、どのローの何番目の磁気ヘッドが不良で
あるかの記録を取る必要がある。この検査記録を取る理
由は、仕分け工程において、１個１個の磁気ヘッドにつ
いて「良品」「不良品」に仕分けする必要があるからで
ある。加工工程で切断された磁気ヘッドは、ロー状の配
列の同じ配列になるようにトレイに移し替え、洗浄工程
において洗浄される。洗浄が終了した磁気ヘッドは、仕
分け工程において仕分け装置により、前工程の検査情報
に基いて自動的に仕分けられる。例えば、１個１個の磁
気ヘッドを良品、不良１、不良２、・・・、に仕分け
る。

【０００３】このような磁気ヘッドの製造ラインにおい
て、各工程の検査結果に基いてワークを自動仕分けする
ための検査データを収集する方法としては、従来から次
のような方法が採用されている。 １）検査伝票に検査結果を記入し、この検査情報を検査
データ入力端末から入力し、仕分け装置を制御するパー
ソナルコンピュータ（以下パソコンという）に提供す
る。 ２）各種の検査装置をパソコンに接続し、検査情報をこ
れらパソコンに直接入力し、収集した検査情報を仕分け
装置に提供する。 上記１）の方法は、最も確実な方法であるが、検査結果
を伝票に記入するために、作業効率の低下、記入ミスの
発生が生じる。この欠点を補うために、マークシート等
の光学式マーク読み取り装置を応用した検査データの入
力方法が提案されている（特開平３−２６６１８２号公
報、特開昭６４−１２３６９号公報）。上記２）の方法
は、上記１）の方法と比較して信頼性は向上するが、多
額の設備投資を必要とする。特に、磁気ヘッド製造工程
においては、作業者による顕微鏡を用いた検査工程が設
置される場合があるため、上記１）の方法を採用してい
る例が多い。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来の
欠点を改良したマークシートを応用した検査データの収
集方法を提供することにより、作業者の検査作業の効率
低下を防止すると共に、信頼性の高い検査データを収集
することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、一連の製造工
程のうち所定の工程までは個々のワークが連接したロー
状態のワークを数個まとめたロット単位で流し、所定工
程以降は前記ロー状態の個々のワークの配列を保持した
状態で前記ワークをトレーに移載して仕分け工程に前記
ロット単位で流すようにした磁気ヘッドの製造工程の検
査データ収集システムにおいて、前記ロー状態の個々の
ワークの配列に対応した配列を有する検査結果の記入領
域を設けたマークシートカードを前記各ロットに添付
し、各工程では前記ワークの検査結果を前記マークシー
トカードの対応する領域にマークするとともに、前記仕
分け工程においては、前記マークシートカードに記入さ
れた検査情報をマークシートリーダにより読み取り、こ
の検査情報を前記仕分け装置に提供してロット単位でワ
ークの仕分けを行うことを特徴とする磁気ヘッドの検査
データの収集方法である。

【０００６】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基いて説明す
る。図３（ａ）は、本発明に適用することができる薄膜
磁気ヘッド用チップなどのワークの形状の一例を示す図
である。図３（ａ）に示すようにワーク１は細長い板状
の磁気ヘッドの素材（以下ロー状のワークという）であ
り、寸法は例えば、長さ５０mm、幅３mm、高さ１mmであ
る。ロー状のワーク１は、製造工程の途中までは数個の
磁気ヘッド１ａ、１ｂ、１ｃ、・・・が連接した状態に
なっており、このロー状のワーク１は冶具２に接着材で
固着された状態で所定の工程まで流れる。なお、通常の
磁気ヘッドでは、ロー状のワーク１に磁気ヘッド１ａ、
１ｂ、１ｃ、・・・が十数個連接しているが、本実施例
の説明では、４個の磁気ヘッド１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ
が連接した例について説明する。

【０００７】図１は本発明を実施するためのシステム構
成を製造工程と共に示した図である。まず、ロット編成
工程において、予め設定した数本のロー状のワークで１
ロットを編成し、以降の工程はこのロット単位で流す。
ロー接着工程においては、ロー状のワーク１は治具２に
接着材を利用して接着される。そして、治具２に接着さ
れたロー状のワーク１は加工工程において、その表面の
精密加工、例えばラップ加工、レール加工、及びロー状
のワーク１の切断加工、すなわち１個１個の磁気ヘッド
１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄへの切断加工が行われる。続い
て、検査１、検査２工程で画像処理装置、あるいは顕微
鏡を使用した検査が行われる。

【０００８】続いて、洗浄工程では、まず、切断された
個々の磁気ヘッドを治具２から剥がし、トレー３に移し
替える。このとき、切断前の１本のロー状のワーク１の
個々の磁気ヘッドの配列が保持された状態でトレー３に
移し替える。すなわち、トレー３の１行がロー状のワー
ク１の磁気ヘッドの配列１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを保持
した状態で移し替える。なお、トレー３は、１個１個の
磁気ヘッド１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを並べるための微少
な升目を有する容器である。

【０００９】磁気ヘッドを収納したトレー３は洗浄治具
に入れ、洗浄装置で磁気ヘッドの洗浄を行う。洗浄が終
了した磁気ヘッドはトレー３に収納された状態で仕分け
工程に送られ、仕分け装置４を用いてマークシート５に
マークした各工程での検査情報に基いて自動仕分けが行
われる。

【００１０】次に、本発明に用いるマークシート５につ
いて説明する。マークシート５は数個のロー状のワーク
１を１ロットとして、このロット単位で各工程を流れ
る。マークシート５は図２に示すように、領域５ａに該
当する列がロー状のワーク１の１個に対応している。マ
ークシート５の各列５ａにロー番号等の識別番号を記入
することで、各々のロー状のワーク１がマークシート５
上のどの列に対応しているかを容易に判別することがで
きる。しかし、ロー状ワーク１は小さいために、肉眼で
は判別できない大きさのロー番号がレーザなどにより刻
印されている。そのため、治具に固有の番号（例えば治
具番号）をマークシート５に記入することにより間接的
にロー状ワーク１の判別を可能にすることができる。

【００１１】マークシート５の一つの升目５ｂが磁気ヘ
ッド１個に相当する。従って、マークシート５の１列に
含まれる升目の数は、ロー状のワーク１の１個を形成す
る磁気ヘッドの数と同数である。升目５ｂには、検査デ
ータを記入するための数個のマーク記入欄を設ける。こ
のマーク記入欄へのマーク付けは専用のボールペン等を
使用して、該当するマーク記入欄を塗りつぶすか、線を
引く。図２に示す各マーク記入欄の「１」は不良コード
１、「２」は不良コード２、「３」は不良コード３、
「４」は不良コード４を示す。これらの不良コードは、
仕分け工程において、各工程での検査結果に基いて、仕
分け装置が自動仕分け行うための区分を示している。な
お、升目５ｂに何もマークがない場合は良品であること
を示している。

【００１２】続いて、本発明の作用について図１に示す
製造工程に従って説明する。 １）ロット編成工程 各工程にはロット単位で流すために、予め設定した数本
のロー状のワーク１で１ロットを編成する。また、この
工程では、図示していないがロー状のワーク１を製造す
るウエハの製造工程からの製造履歴データ（ロー状のワ
ークの品質情報）がフロッピィーデスク６により提供さ
れる。そして、このフロッピィーデスク６の情報からパ
ソコン７を用いてマークシート５に、ロット番号、ロー
番号などをプリンタ８により印刷する。マークシート５
は、ロット単位のロー状のワーク１と共に次工程以降を
流れて行く。 ２）ロー接着工程 図３（ｂ）に示すように、ロー状のワーク１を治具２に
接着剤を用いて接着する。接着が完了すると、治具番号
７をマークシート５に記入する。

【００１３】３）加工工程 この工程では、各種のラップ機を用いて磁気ヘッド表面
の精密加工、及びスライサー機を用いて、ロー状のワー
ク１を個々の磁気ヘッド１ａ、１ｂ、１ｃ、 １ｄに切
断するための加工を行う。 ４）検査１工程 画像処理装置を用いた検査装置９により、個々の磁気ヘ
ッドの検査を行う。検査項目としては、欠け、割れ、等
であり、検査結果をパソコン１０に接続したプリンタ１
１によりマークシート５にマークする。

【００１４】５）検査工程２ 顕微鏡を使用した人手による検査工程である。個々の磁
気ヘッドの微細な欠け、割れ、キズ、等の検査を行い、
不良が見つかった場合には、マークシート５の該当する
升目５ｂの不良コードにマークを付ける。 ６）洗浄工程 この工程では、まず、治具２に接着されている磁気ヘッ
ド１ａ、１ｂ、１ｃ、 １ｄを剥がし、トレー３に移し
替える。このとき、切断前の１本のロー状ワー ク１の
磁気ヘッド１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの配列が保持された
状態になるよう にトレー３に移し替える。移し替えが
終了すると、トレー３の１行にロー状の ワーク１の１
個が配列された状態になる。続いて、磁気ヘッドが入っ
たトレーを洗浄用治具にセットし洗浄装置により磁気ヘ
ッド表面の洗浄を行う。洗浄が終了した磁気ヘッドは、
トレー３に収納した状態で仕分け工程に流す。

【００１５】７）仕分け工程 まず、パソコン１２に接続した光学式マーク読み取り装
置１３（以下、マークシートリーダという）を用いて、
マークシート５を読み込ませ、読み取った不良コードを
フロッピィーディスク１４に記録する。続いて、このフ
ロッピィーディスク１４を仕分け装置４に接続したパソ
コン１５に読み込ませる。パソコン１５はマークシート
５からの情報に基いて、ロット番号ごとにトレー３別に
升目ごとに、不良コードデータから仕分け区分データへ
の変換を行う。自動仕分け装置４はこの仕分け区分デー
タに基いて自動仕分けを行う。仕分け装置４の詳細は図
示していないが、仕分け前のトレー３に収納されている
磁気ヘッドをパソコン１５からの指示により真空吸着を
用いたピックアンドプレス方式の仕分けハンドにより自
動仕分けを行う。仕分けが終了した良品の磁気ヘッド
は、次工程である最終検査工程、あるいは加工工程を経
て最終検査工程に流れる。

【００１６】

【発明の効果】以上に説明した本発明は次の効果があ
る。 １）磁気ヘッド等を製造する工程では、人手による顕微
鏡を用いた検査作業が含まれる。この場合でも、検査結
果の記録がマークシートに簡単にマークできるために、
作業者に検査作業の効率を著しく低下させることはな
く、正確な検査データの収集ができる。 ２）検査データの収集のために、高価なパソコンネット
ワークを構築する必要がない。 ３）工程変更が生じても、収集する検査項目に変更がな
い限り、柔軟に対応することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を実施するためのシステム構成の一例を
示す図

【図２】本発明に用いるマークシートの様式の一例を示
す図

【図３】本発明に用いることができるワークの形状例を
示す図

【符号の説明】

１ ロー状のワーク １ａ ワーク（磁気ヘッド） １ｂ ワーク（磁気ヘッド） １ｃ ワーク（磁気ヘッド） １ｄ ワーク（磁気ヘッド） ２ 治具 ３ トレー ４ 仕分け装置 ５ マークシート

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一連の製造工程のうち所定の工程までは
   個々のワークが連接したロー状態のワークを数個まとめ
   てロット単位で流し、所定工程以降は前記ロー状態の個
   々のワークの配列を保持した状態で前記ワークをトレー
   に移載して仕分け工程に前記ロット単位で流すようにし
   た磁気ヘッドの製造工程の検査データ収集方法におい
   て、 前記ロー状態の個々のワークの配列に対応した配列を有
   する検査データの記入領域を設けたマークシートを前記
   各ロットに添付し、 各工程では前記ワークの検査データを前記マークシート
   の対応する領域にマークするとともに、 前記仕分け工程においては、前記マークシートに記入さ
   れた検査データをマークシートリーダにより読み取り、
   この検査データを前記仕分け装置に提供し、ロット単位
   でワークの仕分けを行うことを特徴とする磁気ヘッドの
   検査データ収集方法。