JPH097954A - 気相成長装置用ガラス状カーボン製ノズル - Google Patents
気相成長装置用ガラス状カーボン製ノズルInfo
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- JPH097954A JPH097954A JP7171581A JP17158195A JPH097954A JP H097954 A JPH097954 A JP H097954A JP 7171581 A JP7171581 A JP 7171581A JP 17158195 A JP17158195 A JP 17158195A JP H097954 A JPH097954 A JP H097954A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエハの品質を向上でき、かつ長寿命なノズ
ルを提供する。 【構成】 サセプタにウエハを設置した状態で、反応室
内にサセプタを設け、反応室内にノズルから反応ガスを
流してウエハを加熱し、ウエハ表面に気相成長膜を形成
する気相成長装置において使用し、ノズル全体をガラス
状カーボンで形成したことを特徴とする気相成長装置用
ガラス状カーボン製ノズル。
ルを提供する。 【構成】 サセプタにウエハを設置した状態で、反応室
内にサセプタを設け、反応室内にノズルから反応ガスを
流してウエハを加熱し、ウエハ表面に気相成長膜を形成
する気相成長装置において使用し、ノズル全体をガラス
状カーボンで形成したことを特徴とする気相成長装置用
ガラス状カーボン製ノズル。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、気相成長装置に使用す
る気相成長装置用ガラス状カーボン製ノズルに関する。
る気相成長装置用ガラス状カーボン製ノズルに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、気相成長装置は石英又はステン
レス製炉内に反応室を形成し、その中にサセプタを設け
ている。ウエハがサセプタ上に載置され、サセプタが加
熱される。そしてノズルから反応ガスが反応室内に導か
れ、サセプタ上に接触する。
レス製炉内に反応室を形成し、その中にサセプタを設け
ている。ウエハがサセプタ上に載置され、サセプタが加
熱される。そしてノズルから反応ガスが反応室内に導か
れ、サセプタ上に接触する。
【０００３】従来のノズルは石英やＳＵＳで形成したも
のが一般的であった。
のが一般的であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のノズルにおいて
は、使用後にポリシリコンがノズル表面に付着したと
き、それらのポリシリコンがパーティクルとして散乱し
て、ウエハ表面の気相成長に悪影響を及ぼす欠点があっ
た。
は、使用後にポリシリコンがノズル表面に付着したと
き、それらのポリシリコンがパーティクルとして散乱し
て、ウエハ表面の気相成長に悪影響を及ぼす欠点があっ
た。
【０００５】そのようなノズル表面に付着したポリシリ
コンをＨＮＯ3 −ＨＦ水溶液で洗浄すると、ノズル表面
が侵食されてしまう欠点があった。
コンをＨＮＯ3 −ＨＦ水溶液で洗浄すると、ノズル表面
が侵食されてしまう欠点があった。
【０００６】以上のような従来技術の欠点を解決して、
ウエハの品質を向上でき、かつ長寿命なノズルを提供す
ることが本発明の目的である。
ウエハの品質を向上でき、かつ長寿命なノズルを提供す
ることが本発明の目的である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、サセプターに
ウエハを設置した状態で、反応室内にサセプターを設
け、反応室内に反応ガスを流しながらウエハを加熱し
て、ウエハ表面に気相成長膜を形成する気相成長装置に
おいて、ノズル全体をガラス状カーボンで形成したこと
を特徴とする気相成長装置用ガラス状カーボン製ノズル
を要旨としている。
ウエハを設置した状態で、反応室内にサセプターを設
け、反応室内に反応ガスを流しながらウエハを加熱し
て、ウエハ表面に気相成長膜を形成する気相成長装置に
おいて、ノズル全体をガラス状カーボンで形成したこと
を特徴とする気相成長装置用ガラス状カーボン製ノズル
を要旨としている。
【０００８】
【発明の効果】本発明によれば、従来のノズルにあった
前述の諸欠点が解消される。とくに従来例では侵食が生
じやすいため不可能であったＨＮＯ3 −ＨＦ水溶液によ
る洗浄が可能となった。それゆえ、加熱処理後にノズル
の表面にポリシリコンが付着しても、ＨＮＯ3 −ＨＦ水
溶液で洗浄できる。しかも、ポリシリコンとガラス状カ
ーボンの熱膨張係数が近似しているので昇降温プロセス
におけるパーティクルの発生が回避できる。同じ理由に
より、ノズルの全面にポリシリコンが付着しても、ノズ
ルが過度に応力を受けたり変形したりしない。
前述の諸欠点が解消される。とくに従来例では侵食が生
じやすいため不可能であったＨＮＯ3 −ＨＦ水溶液によ
る洗浄が可能となった。それゆえ、加熱処理後にノズル
の表面にポリシリコンが付着しても、ＨＮＯ3 −ＨＦ水
溶液で洗浄できる。しかも、ポリシリコンとガラス状カ
ーボンの熱膨張係数が近似しているので昇降温プロセス
におけるパーティクルの発生が回避できる。同じ理由に
より、ノズルの全面にポリシリコンが付着しても、ノズ
ルが過度に応力を受けたり変形したりしない。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の好適な実施
例を説明する。
例を説明する。
【００１０】図１において、炉内に反応室１を形成し、
反応室１の上方側部にノズル２が設けられていて、そこ
を介して反応ガスが反応室１内に所定の流速で流入す
る。反応室１の内部には、バレル型のサセプタ３が設け
られており、サセプタ３にはウエハ４が取りつけられて
いる。この他に加熱手段や、反応ガスを均一にウエハ４
に流すために整流手段その他が設けられているが、図の
簡略化のために、それらの図示は省略している。
反応室１の上方側部にノズル２が設けられていて、そこ
を介して反応ガスが反応室１内に所定の流速で流入す
る。反応室１の内部には、バレル型のサセプタ３が設け
られており、サセプタ３にはウエハ４が取りつけられて
いる。この他に加熱手段や、反応ガスを均一にウエハ４
に流すために整流手段その他が設けられているが、図の
簡略化のために、それらの図示は省略している。
【００１１】図２は本発明の別の実施例を示している。
ＳＵＳ製の半球状ベルジャー１９の内側にＳｉＯ2 製の
半球状ベルジャー２０が同心に配置されていて、それら
の中に反応室２１を形成している。ノズル２２は、反応
室２１のほぼ中心に垂直に配置されており、そこを介し
て反応ガスが反応室２１内に所定の流速で流入する。そ
のノズル２２と交差する形で、パンケーキ型のサセプタ
２３が水平に設けられており、その上にウエハが配置さ
れる。サセプタ２３の真下には、高周波加熱コイル２４
が設けられていて、サセプタ２３を加熱するようになっ
ている。２５は高周波加熱コイル２４のカバーである。
ＳＵＳ製の半球状ベルジャー１９の内側にＳｉＯ2 製の
半球状ベルジャー２０が同心に配置されていて、それら
の中に反応室２１を形成している。ノズル２２は、反応
室２１のほぼ中心に垂直に配置されており、そこを介し
て反応ガスが反応室２１内に所定の流速で流入する。そ
のノズル２２と交差する形で、パンケーキ型のサセプタ
２３が水平に設けられており、その上にウエハが配置さ
れる。サセプタ２３の真下には、高周波加熱コイル２４
が設けられていて、サセプタ２３を加熱するようになっ
ている。２５は高周波加熱コイル２４のカバーである。
【００１２】図１〜２の気相成長装置においては、反応
室１、２１内は５０〜４００Ｔｏｒｒの減圧雰囲気が形
成され、ノズル２、２２からジクロルシラン等の原料ガ
スと水素等のキャリアガスが多量に導入され、ウエハ４
の表面に気相成長が行われる。この際には、ウエハ温度
は１１５０℃程度で加熱されている。
室１、２１内は５０〜４００Ｔｏｒｒの減圧雰囲気が形
成され、ノズル２、２２からジクロルシラン等の原料ガ
スと水素等のキャリアガスが多量に導入され、ウエハ４
の表面に気相成長が行われる。この際には、ウエハ温度
は１１５０℃程度で加熱されている。
【００１３】ノズル２、２２の全体を後述のようにガラ
ス状カーボンで形成しているため、それらの表面が平滑
な状態になっていて、簡単にＨＮＯ3 −ＨＦ水溶液で表
面を洗浄できる。その結果、洗浄によって表面は再度良
好な平滑状態で、再使用が容易となる。
ス状カーボンで形成しているため、それらの表面が平滑
な状態になっていて、簡単にＨＮＯ3 −ＨＦ水溶液で表
面を洗浄できる。その結果、洗浄によって表面は再度良
好な平滑状態で、再使用が容易となる。
【００１４】本発明に使用するノズル２、２２は、とく
に次に説明するようなガラス状カーボンで形成するのが
好ましい。
に次に説明するようなガラス状カーボンで形成するのが
好ましい。
【００１５】ガラス状カーボンは、外観がガラス状の硬
質炭素であり、例えば熱硬化性樹脂の固相炭素化によっ
て生成することができる。好ましいガラス状カーボンは
カサ密度が１．５０〜１．５６ｇ／ｃｍ3 であり、曲げ
強度が１００ＭＰａ以上であり、固有抵抗が４０００〜
４４００μΩｃｍであり、開気孔率が０．１％以下であ
り、ショア硬度が１００以上であり、熱伝導率が５〜１
０Ｗ／ｍ・Ｋである。これらの範囲を外れる場合には、
加熱特性が不安定になる恐れがある。
質炭素であり、例えば熱硬化性樹脂の固相炭素化によっ
て生成することができる。好ましいガラス状カーボンは
カサ密度が１．５０〜１．５６ｇ／ｃｍ3 であり、曲げ
強度が１００ＭＰａ以上であり、固有抵抗が４０００〜
４４００μΩｃｍであり、開気孔率が０．１％以下であ
り、ショア硬度が１００以上であり、熱伝導率が５〜１
０Ｗ／ｍ・Ｋである。これらの範囲を外れる場合には、
加熱特性が不安定になる恐れがある。
【００１６】ガラス状カーボン製のノズル２、２２の製
造方法の一例を述べる。まず、原料となる樹脂（例えば
フラン系樹脂やフェノール系樹脂等）を所定の形状に成
形し、しかる後に非酸化性雰囲気において９５０℃で焼
成することによって樹脂をガラス状カーボンにすること
ができる。
造方法の一例を述べる。まず、原料となる樹脂（例えば
フラン系樹脂やフェノール系樹脂等）を所定の形状に成
形し、しかる後に非酸化性雰囲気において９５０℃で焼
成することによって樹脂をガラス状カーボンにすること
ができる。
【００１７】
【発明の効果】ノズル全体をガラス状カーボンで形成し
ているため、簡単にＨＮＯ3 −ＨＦ水溶液で表面を洗浄
できる。その結果、表面を良好な平滑状態で、再使用が
容易となる。
ているため、簡単にＨＮＯ3 −ＨＦ水溶液で表面を洗浄
できる。その結果、表面を良好な平滑状態で、再使用が
容易となる。
【００１８】本発明によれば、ノズルが優れた耐熱性と
耐蝕性を有する。
耐蝕性を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す図。
【図２】本発明の別の実施例を示す図。
１ 反応室 ２，２２ ノズル ３，２３ サセプタ １９，２０ ベルジャー ２１ 反応室 ２４ 高周波加熱コイル
Claims (1)
- 【請求項１】 サセプタにウエハを設置した状態で、反
応室内にサセプタを設け、反応室内にノズルから反応ガ
スを流してウエハを加熱し、ウエハ表面に気相成長膜を
形成する気相成長装置において、ノズル全体をガラス状
カーボンで形成したことを特徴とする気相成長装置用ガ
ラス状カーボン製ノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7171581A JPH097954A (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | 気相成長装置用ガラス状カーボン製ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7171581A JPH097954A (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | 気相成長装置用ガラス状カーボン製ノズル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH097954A true JPH097954A (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=15925814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7171581A Pending JPH097954A (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | 気相成長装置用ガラス状カーボン製ノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH097954A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7485239B2 (en) | 2002-08-06 | 2009-02-03 | Kobe Steel, Ltd | Component of glass-like carbon for CVD apparatus and process for production thereof |
-
1995
- 1995-06-15 JP JP7171581A patent/JPH097954A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7485239B2 (en) | 2002-08-06 | 2009-02-03 | Kobe Steel, Ltd | Component of glass-like carbon for CVD apparatus and process for production thereof |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040413 |