JPH0979946A - 表示装置の検査装置 - Google Patents

表示装置の検査装置

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JPH0979946A
JPH0979946A JP23808095A JP23808095A JPH0979946A JP H0979946 A JPH0979946 A JP H0979946A JP 23808095 A JP23808095 A JP 23808095A JP 23808095 A JP23808095 A JP 23808095A JP H0979946 A JPH0979946 A JP H0979946A
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JP23808095A
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Masakazu Asano
昌和 浅野
Atsuo Saijo
淳夫 西條
Ryuji Suzuki
龍司 鈴木
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Sanyo Electric Co Ltd
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Sanyo Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は、高い検査精度を維持しかつ処理
速度を向上させることができ、しかもインデックステー
ブルの容量が少なくてすむ表示装置の検査装置を提供す
ることを目的とする。 【解決手段】 被検査表示装置を撮像装置で撮像し、そ
の撮像画像に基づいて被検査表示装置の欠陥を検査する
表示装置の検査装置において、被検査表示装置1の各画
素位置に対して、撮像装置4の1つの画素を対応させて
記憶しているインデックステーブル、撮像装置4によっ
て撮像された被検査表示装置1の画像であってかつ撮像
装置4の画素数に応じた解像度の第1画像と、インデッ
クステーブルとに基づいて、第1画像を被検査表示装置
1の画素数に対応した解像度の第2画像に変換する変換
手段5、第2画像に基づいて、被検査表示装置1の欠陥
を検査する検査手段5を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、LCDパネル等
の被検査表示装置の表示画面を、CCDカメラ等の撮像
装置で撮像して、被検査表示装置の欠陥を検査する表示
装置の検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】LCD(liquid crystal display)パネル
等の被検査表示装置の検査は、人間の目視による検査が
主流である。しかし、近年、検査基準の定量化、生産性
の向上のために自動検査が試みられている。
【0003】LCDパネルの自動検査では、CCD(cha
rge coupled device) カメラ等の撮像装置でLCDパネ
ルが撮像され、その撮像画像に基づいてLCDパネルの
欠陥部分が抽出される。このような自動検査では、撮像
装置であるCCDカメラの解像度によって処理方法、性
能が異なる。
【0004】低解像度のCCDカメラを用いた場合に
は、画素数が少ないので、処理時間は短いが、モアレが
発生する、細かい欠陥が検出できないという問題があ
る。一方、高解像度のCCDカメラを用いた場合には、
モアレの発生がなく、細かい欠陥を検出できるが、処理
時間が長いという問題がある。したがって、処理速度と
検査精度(信頼性)とは、トレードオフの関係にあると
いえる。
【0005】このようなことから、LCDパネルの自動
検査装置の課題は、高解像度のCCDカメラを用いて高
い検査精度を維持し、しかも処理速度を向上させること
にあるといえる。
【0006】高解像度のCCDカメラを用いた検査装置
として、特開平5−27704号公報に記載されたもの
がある。この公報に記載された検査装置では、注目LC
D画素とそれに対応するCCD画素との関係付けを行な
うために、CCDカメラの画素数に応じたインデックス
テーブルが設けられている。このため、インデックステ
ーブルの容量が大きいという問題がある。また、CCD
カメラの画素数に応じた高解像度の画像に基づいてLC
Dパネルの欠陥の検査が行なわれているため、処理時間
が長いという問題がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、高い検査
精度を維持しかつ処理速度を向上させることができ、し
かもインデックステーブルの容量が少なくてすむ表示装
置の検査装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明による表示装置
の検査装置は、被検査表示装置を撮像装置で撮像し、そ
の撮像画像に基づいて被検査表示装置の欠陥を検査する
表示装置の検査装置において、被検査表示装置の各画素
位置に対して、撮像装置の1つの画素を対応させて記憶
しているインデックステーブル、撮像装置によって撮像
された被検査表示装置の画像であってかつ撮像装置の画
素数に応じた解像度の第1画像と、インデックステーブ
ルとに基づいて、第1画像を被検査表示装置の画素数に
対応した解像度の第2画像に変換する変換手段、および
第2画像に基づいて、被検査表示装置の欠陥を検査する
検査手段を備えていることを特徴とする。
【0009】インデックステーブルとして、被検査表示
装置の各画素位置に対して、撮像装置の1つの画素を対
応させて記憶しているものが用いられているので、高解
像度の撮像装置を用いた場合にも、インデックステーブ
ルの情報量は被検査表示装置の画像数に応じたものとな
る。このため、インデックステーブルの容量を少なくで
きる。
【0010】また、被検査表示装置の画素数に対応した
解像度の第2画像に基づいて、欠陥を検出しているの
で、高解像度の撮像装置を用いた場合にも、処理時間が
短くなる。
【0011】高解像度の撮像装置を用いた場合におい
て、低解像度の第2画像に基づいて欠陥を検出した後、
その欠陥部のみについては高解像度の第1画像に基づい
て詳細な欠陥検査を行なうことにより、高精度の検査を
短い時間で行なうことができるようになる。
【0012】インデックステーブルとしては、たとえ
ば、被検査表示装置の各画素の中心位置に対応する撮像
装置の1つの画素が、被検査表示装置の各画素に関連し
て記憶されているものが用いられる。
【0013】変換手段は、被検査表示装置の注目画素の
輝度値を、たとえば、次の(1)(2)(3)(4)
(5)または(6)の値に決定することにより、第1画
像を第2画像に変換する。
【0014】(1)被検査表示装置の注目画素に対応す
る撮像装置の1画素の輝度値。
【0015】(2)被検査表示装置の注目画素に対応す
る撮像装置の1画素を中心とする所定領域内の各画素の
輝度値のうちの最も高い輝度値。
【0016】(3)被検査表示装置の注目画素に対応す
る撮像装置の1画素を中心とする所定領域内の輝度値の
加算値または平均値。
【0017】(4)被検査表示装置の注目画素に対応す
る撮像装置の1画素を中心とする所定領域内の各画素の
輝度値に、位置に応じた重みを付けた後の加算値または
そ平均値。
【0018】(5)注目画素に対応する撮像装置の1画
素を中心とする第1所定領域が設定され、第1所定領域
内の各画素を中心とする第2所定領域ごとの輝度値の加
算値のうち、最も大きな加算値。
【0019】(6)注目画素に対応する撮像装置の1画
素を中心とする第1所定領域が設定され、第1所定領域
内の各画素を中心とする第2所定領域ごとの輝度値の平
均値のうち、最も大きな平均値。
【0020】第1画像に基づいて、インデックステーブ
ルが適合する基準位置に対する、被検査表示装置のずれ
量を算出するずれ量算出手段、およびずれ量算出手段に
よって求められたずれ量に基づいて、インデックステー
ブルの内容を、被検査表示装置の位置に適合するように
補正する手段を設け、第1画像と、補正後のインデック
ステーブルとに基づいて、第1画像を第2画像に変換す
ることが好ましい。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態について説明する。
【0022】被検査表示装置であるLCDパネルを、C
CDカメラで撮像することにより、LCDパネルの欠陥
を検査するLCDパネル検査装置にこの発明を適用した
場合の実施の形態について説明する。
【0023】図1は、LCDパネル検査装置の構成を示
している。
【0024】LCDパネル検査装置は、LCDパネル1
に背面から光を当てるバックライト2、LCDパネル1
を駆動するためのLCD駆動部3、LCDパネル1を撮
像するための高解像度CCDカメラ4、カメラ4によっ
て撮像された画像に対して画像処理を行なう画像処理装
置5、カメラ4によって撮像された画像等を表示するた
めのモニタ6、ならびに画像処理装置5およびLCD駆
動部3を制御するパーソナルコンピュータ7を備えてい
る。
【0025】パーソナルコンピュータ7は、各種条件の
設定、LCDパネル1の検査パターンの発生等を行な
う。LCDパネル1の検査パターンは、LCD駆動部3
に送られる。
【0026】図2は、画像処理装置5の詳細な構成を示
している。
【0027】以下の説明において、CCDカメラ4の画
素数に応じた解像度の画像をCCD画像といい、LCD
パネル1の画素数に応じた解像度の画像をLCD画像と
いうことにする。
【0028】画像処理装置5は、画像入力ボード11、
画素変換ボード12、画像処理ボード13およびCPU
ボード14を備えている。画像入力ボード11に入力さ
れた映像信号は、モニタ6に送られ、モニタ6にCCD
画像が表示される。画像入力ボード11は、CCDカメ
ラ4からの映像信号をディジタル信号に変換して画素変
換ボード12に送る。
【0029】画素変換ボード12に入力されたディジタ
ル信号は、CCD画像メモリ21に格納される。画素変
換ボード12は、CCD画像メモリ21に格納されたC
CD画像に対して、CCDカメラ4の各画素の感度のば
らつき、バックライト2の光量の位置的なばらつき等の
補正を行なうためにシェイディング補正を行なった後、
CCDカメラ4の画素とLCDパネル1の画素との対応
関係が記憶されたインデックステーブルに基づいてCC
D画像をLCD画像に変換する。
【0030】生成されたLCD画像は、画像処理ボード
13に送られ、LCD画像メモリ22に格納される。画
像処理ボード13は、LCD画像メモリ22に格納され
たLCD画像に基づいて、2値化処理、ラベリング処
理、特徴量抽出処理等を行なう。特徴量抽出処理では、
欠陥の位置、欠陥の個数、欠陥の面積、欠陥の連続長、
欠陥の輝度等が抽出される。
【0031】CPUボード14は、画像処理装置5の全
体的な制御を行なうとともに、画像処理ボード13によ
って検出された欠陥部について、CCD画像メモリ21
に格納されているCCD画像に基づいてさらに詳細な検
査を行なって、最終的な欠陥判定、欠陥の分類を行な
う。
【0032】なお、画素変換ボード12は、後述する前
処理(図3参照)で行なわれるインデックステーブルの
生成およびシェーディング補正用データの生成も行な
う。さらに、画素変換ボード12は、後述するLCDパ
ネルの欠陥検査において実行されるずれ量算出処理(図
6のステップ12)およびインデックステーブルの補正
処理(図6のステップ13)をも行なう。
【0033】図3は、基準となるLCDパネルを用いて
行なわれる前処理の手順を示している。
【0034】この前処理においては、基準となるLCD
パネルがCCDカメラ4によって撮像されて取り込まれ
る(ステップ1)。そして、画素変換ボード12上のC
CD画像メモリ21に記憶される。CCD画像メモリ2
1に記憶された画像に基づいて、インデックステーブル
が作成されて画素変換ボード12上のメモリに記憶され
る(ステップ2)。また、CCD画像メモリ21に記憶
された画像に基づいて、シェーディング補正用データが
作成されて画素変換ボード12上のメモリに記憶される
(ステップ3)。
【0035】インデックステーブルの作成方法について
説明する。ここでは、LCDパネル1の画素配列が、図
4に示すように、奇数列と偶数列とでずれているような
LCDパネルを検査する場合を例にとって説明する。
【0036】まず、CCDカメラ4によって撮像された
画像に基づいて、基準LCDパネルの偶数列画素群の4
隅の画素位置P1、Q1、R1、S1および奇数列画素
群の4隅の画素位置P2、Q2、R2、S2の座標が求
められる。
【0037】次に、偶数列画素群の4隅の画素位置P
1、Q1、R1、S1と、画素位置P1、Q1、R1、
S1および偶数列画素群の画素数から得られるX方向の
ピッチXPITCH、Y方向のピッチYPITCHとに基づいて、偶
数列画素群の各画素の位置が計算によって求められる。
同様にして、奇数列画素群の各画素の位置が計算によっ
て求められる。このようにして求められた基準LCDパ
ネルの各画素位置を仮画素位置ということにする。
【0038】次に、ピークサーチ法に基づいて、LCD
パネルの各画素の仮画素位置を補正する。つまり、輝度
の高い方向にLCDパネルの各画素の仮画素位置を修正
する。なお、この際、CCDカメラ4のレンズによる撮
像画像の歪みが比較的大きく、それが無視できない場合
には、ピークサーチの範囲や方向を歪みに応じて変える
ことが好ましい。具体的には、場所ごとにレンズによる
撮像画像の歪みの量と方向を予めテーブル化しておき、
そのテーブルを参照してピークサーチ法を適用する。
【0039】このようにして、得られた基準LCDパネ
ルの各画素位置と、各画素位置の中心に対応するCCD
カメラ4の画素位置とをテーブル化することにより、図
5に示すようなインデックステーブルが作成される。図
5の各ます目は、基準LCDパネルの画素を示してお
り、各ます目内の座標は当該基準LCDパネル画素の中
心に対応するCCDカメラ4の画素位置を示している。
したがって、このインデックステーブルは、基準LCD
パネルの画素数に応じた数の情報からなる。
【0040】図6は、前処理によって得られたデータを
元に、LCDパネルの欠陥検査を行なう際の処理手順を
示している。
【0041】まず、検査対象であるLCDパネル1がC
CDカメラ4によって撮像される(ステップ11)。C
CDカメラ4の映像信号はディジタル信号に変換された
後、CCD画像メモリ21に格納される。
【0042】CCD画像メモリ21に格納されたCCD
画像に基づいて、LCDパネル1の基準位置からのずれ
量が算出される(ステップ12)。このずれ量の算出方
法について説明する。
【0043】図7に示すように、基準LCDパネルP1
の2つの角の位置をA1(a1,b1)、B1(c1、
d1)とする。この2点に対応する検査LCDパネルP
2の位置A2(a2,b2)、B2(c2、d2)が求
められる。
【0044】そして、検査LCDパネルP2の基準LC
DパネルP1に対する回転角θ、移動量Δx、Δyが次
のようにして求められる。
【0045】まず、次の数式1、2に基づいて、cos
θ、sin θが求められる。
【0046】
【数1】
【0047】
【数2】
【0048】また、次の数式3または数式4のいずれか
の式に基づいて、Δx、Δyが求められる。
【0049】
【数3】
【0050】
【数4】
【0051】次に、求められたΔx、Δyおよびθに基
づいて、インデックステーブルが補正される(ステップ
13)。補正前のインデックステーブルを基準テーブル
といい、補正後のインデックステーブルを検査用テーブ
ルということにすると、基準テーブル、求められたΔ
x、Δyおよびθに基づいて、検査用テーブル上の各要
素(座標値)が計算される。つまり、数式3のΔx、Δ
yおよびθの値を、求められたΔx、Δyおよびθと
し、数式3のa1,b1に、基準テーブルの各要素を順
次代入していくことにより、検査用テーブルの各要素が
数式3のa2、b2として計算される。このようにして
得られた検査用テーブルは、画素変換ボード12のメモ
リに、格納される。
【0052】一方、CCD画像メモリ21に格納された
CCD画像に対して、シェーディング補正用データを用
いてシェーディング補正が行なわれた後(ステップ1
4)、補正後のインデックステーブル(検査用テーブ
ル)を用いて、CCD画像がLCD画像に変換される
(ステップ15)。
【0053】CCD画像のLCD画像への変換方法に
は、次のような方法がある。
【0054】(1)LCDパネルの注目画素の中心に対
応するCCDカメラの画素(補正後のインデックステー
ブルに当該注目画素に対応するCCDカメラの画素とし
て記憶されている画素であり、以下、注目画素に対応す
るCCD画素ということにする)の輝度値を、当該注目
画素の輝度値とする。図8は、CCD画像と、このCC
D画像から、このような方法で得られたLCD画像とを
示している。
【0055】(2)注目画素に対応するCCD画素を中
心とする所定領域(たとえば、当該CCD画素を中心と
する3×3の9画素)内の各画素の輝度値のうち、最も
高い輝度値を、当該注目画素の輝度値とする。
【0056】(3)注目画素に対応するCCD画素を中
心とする所定領域(たとえば、当該CCD画素を中心と
する3×3の9画素)内の各画素の輝度値の加算値また
は平均値を、当該注目画素の輝度値とする。
【0057】(4)注目画素に対応するCCD画素を中
心とする所定領域(たとえば、当該CCD画素を中心と
する3×3の9画素)内の各画素の輝度値に、位置に応
じた重みを付けた後の加算値または平均値を、当該注目
画素の輝度値とする。
【0058】(5)注目画素に対応するCCD画素を中
心とする第1所定領域(たとえば、当該CCD画素を中
心とする3×3の9画素)を設定し、設定した第1所定
領域内の各画素を中心とする第2所定領域(たとえば、
各画素を中心とする3×3の9画素)内の輝度値の加算
値をそれぞれ算出する。算出された輝度値の加算値のう
ち、最も大きな加算値を当該注目画素の輝度値とする。
【0059】(6)注目画素に対応するCCD画素を中
心とする第1所定領域(たとえば、当該CCD画素を中
心とする3×3の9画素)を設定し、設定した第1所定
領域内の各画素を中心とする第2所定領域(たとえば、
各画素を中心とする3×3の9画素)内の輝度値の平均
値をそれぞれ算出する。算出された輝度値の平均値のう
ち、最も大きな平均値を当該注目画素の輝度値とする。
【0060】このようにして、補正後のインデックステ
ーブルと、CCD画像とに基づいて、LCDパネル1の
各画素の輝度値が決定されることによって、CCD画像
がLCD画像に変換される。得られたLCD画像はLC
D画像メモリ22に格納される。
【0061】この後、LCD画像に対して2値化処理お
よびラベリング処理が行なわれる(ステップ16)。そ
して、LCD画像およびLCD画像の2値化画像に基づ
いて、特徴量が抽出される(ステップ17)。つまり、
欠陥の位置、欠陥の個数、欠陥の面積、欠陥の連続長、
欠陥の輝度等が抽出される。
【0062】次に、ステップ17によって検出された欠
陥部について、CCD画像メモリ21に格納されている
CCD画像に基づいてさらに詳細な検査が行なわれ、最
終的な欠陥判定、欠陥の分類が行なわれる(ステップ1
8)。
【0063】上記実施の形態では、インデックステーブ
ルは、LCDパネルの各画素位置に対して、CCDカメ
ラ4の1つの画素を対応させて記憶しているので、イン
デックステーブルの情報量はLCDパネルの画像数に応
じたものとなるので、インデックステーブルの容量が少
なくて済む。
【0064】また、まず、LCDパネルの画素数に対応
した低解像度のLCD画像に基づいて欠陥を検出し、検
出された欠陥部のみについて高解像度のCCD画像に基
づいて詳細な欠陥検査を行なっているので、高精度の検
査を短い時間で行なうことができる。
【0065】
【発明の効果】この発明によれば、高い検査精度を維持
しかつ処理速度を向上させることができ、しかもインデ
ックステーブルの容量が少なくてすむ表示装置の検査装
置が実現する。
【図面の簡単な説明】
【図1】LCD検査装置の全体的な構成を示すブロック
図である。
【図2】画像処理装置の構成を示す示すブロック図であ
る。
【図3】基準LCDパネルを用いた前処理の手順を示す
フローチャートである。
【図4】インデックステーブルの作成方法を説明するた
めの模式図である。
【図5】インデックステーブルの一例を示す模式図であ
る。
【図6】LCDパネルの欠陥検査を行なうときの処理手
順を示すフローチャートである。
【図7】検査LCDパネルの基準LCDパネルに対する
ずれ量を算出する方法を説明するための模式図である。
【図8】CCD画像をLCD画像に変換する方法を説明
するための模式図である。
【符号の説明】
1 LCDパネル 2 バックライト 3 LCD駆動部 4 CCDカメラ 5 画像処理装置 6 モニタ 7 パーソナルコンピュータ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検査表示装置を撮像装置で撮像し、そ
    の撮像画像に基づいて被検査表示装置の欠陥を検査する
    表示装置の検査装置において、 被検査表示装置の各画素位置に対して、撮像装置の1つ
    の画素を対応させて記憶しているインデックステーブ
    ル、 撮像装置によって撮像された被検査表示装置の画像であ
    ってかつ撮像装置の画素数に応じた解像度の第1画像
    と、インデックステーブルとに基づいて、第1画像を被
    検査表示装置の画素数に対応した解像度の第2画像に変
    換する変換手段、および第2画像に基づいて、被検査表
    示装置の欠陥を検査する検査手段、を備えていることを
    特徴とする表示装置の検査装置。
  2. 【請求項2】 インデックステーブルには、被検査表示
    装置の各画素の中心位置に対応する撮像装置の1つの画
    素が、被検査表示装置の各画素に関連して記憶されてい
    る請求項1に記載の表示装置の検査装置。
  3. 【請求項3】 変換手段は、(1)被検査表示装置の注
    目画素に対応する撮像装置の1画素の輝度値、(2)被
    検査表示装置の注目画素に対応する撮像装置の1画素を
    中心とする所定領域内の各画素の輝度値のうちの最も高
    い輝度値、(3)被検査表示装置の注目画素に対応する
    撮像装置の1画素を中心とする所定領域内の輝度値の加
    算値または平均値、(4)被検査表示装置の注目画素に
    対応する撮像装置の1画素を中心とする所定領域内の各
    画素の輝度値に、位置に応じた重みを付けた後の加算値
    または平均値、(5)注目画素に対応する撮像装置の1
    画素を中心とする第1所定領域が設定され、第1所定領
    域内の各画素を中心とする第2所定領域ごとの輝度値の
    加算値のうち、最も大きな加算値、若しくは(6)注目
    画素に対応する撮像装置の1画素を中心とする第1所定
    領域が設定され、第1所定領域内の各画素を中心とする
    第2所定領域ごとの輝度値の平均値のうち、最も大きな
    平均値、を当該注目画素の輝度値として決定することに
    より、第1画像を第2画像に変換するものである請求項
    1および2のいずれかに記載の表示装置の検査装置。
  4. 【請求項4】 第1画像に基づいて、インデックステー
    ブルが適合する基準位置に対する、被検査表示装置のず
    れ量を算出するずれ量算出手段、およびずれ量算出手段
    によって求められたずれ量に基づいて、インデックステ
    ーブルの内容を、被検査表示装置の位置に適合するよう
    に補正する手段を備えており、変換手段は、第1画像
    と、補正後のインデックステーブルとに基づいて、第1
    画像を第2画像に変換するものである請求項1、2およ
    び3のいずれかに記載の表示装置の検査装置。
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